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B0000055-092002-A0000 | ||
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PE-CVD - I | |||
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플라즈마증착장치 | |||
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BMR Technology | |||
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HiDep-SC | |||
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Source RF Power Supply 2.5 KW @ 13.56MHz, 500oC | |||
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박막 TFT 형성, 저온산화막 형성 | ||
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장비상세설명
장비사용료
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| 박막 TFT 형성, 저온산화막 형성 | 회/매 | 80,000 | 100,000 | ||
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
장비담당자
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| 강성민 | 054-279-0228 | ggang25@postech.ac.kr |
