- 장비목록보기
- 서비스지원
장비목록보기
 |
 |
 |
B0000055-072002-A0022 | ||
|---|---|---|---|---|
 |
Laser Lithography System | |||
 |
레이저리소그래피시스템 | |||
 |
Heidelberg | |||
 |
DWL200 | |||
 |
Minimum Feature Size : 1㎛(4mm lens) , 2㎛(10mm lens) | |||
|
 |
9인치, 6T 이하 Free Size 노광 ( 2,4,5,6,7,8,9 inch wafer, mask, etc. ) | ||
 |
Litho, Lithography, 리소, 리소그라피, 패턴, 레이져 | |||
장비상세설명
장비사용료
 |
 |
 |
 |
 |
|
|---|---|---|---|---|---|
 |
 |
||||
| 7inch 1㎛ 급 직접노광 | 회/매 | 0 | 700,000 | 재료비 및 공정비 별도 | |
| Mask Design Fee | 1시간 | 0 | 50,000 | Mask Design 작업 | |
| 5inch 2㎛ 급 직접노광 | 회/매 | 0 | 300,000 | 재료비 및 공정비 별도 | |
| 7inch 2㎛ 급 직접노광 | 회/매 | 0 | 500,000 | 재료비 및 공정비 별도 | |
| 6inch 2㎛ 급 직접노광 | 회/매 | 0 | 400,000 | 재료비 및 공정비 별도 | |
| 5inch 1㎛ 급 직접노광 | 회/매 | 0 | 500,000 | 재료비 및 공정비 별도 | |
| 6inch 1㎛ 급 직접노광 | 회/매 | 0 | 600,000 | 재료비 및 공정비 별도 | |
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
장비담당자
 |
 |
 |
|---|---|---|
| 황정희 | 054-279-0226 | poshboy@postech.ac.kr |
