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번호 장비명(영문) 장비명(국문) 상태
1 E-Beam Lithography System - I 전자빔리소그래피시스템 가동중
2 E-Beam Lithography System - II 전자빔리소그래픽시스템 가동중
3 Laser Lithography System 레이저리소그래피시스템 가동중
4 I-Line Stepper 노광기 가동중
5 PR Track 트렉 시스템 가동중
6 EUV-IL System 극자외선 간섭 리소그라피 장치 가동중
7 EUV-IL PR Track 극자외선 트렉 시스템 가동중
8 PR Spin Coater 감광막 도포 시스템 가동중
9 Rinse and Dryer 웨이퍼세정장치 가동중
10 Developer 감광제 현상 시스템 가동중
11 Pt coater Pt 박막 코팅 가동중
12 Wet Station_Organic 습식현상 가동중
13 Atomic Layer Deposition(ALD) 원자층증착장치 가동중
14 UHV-CVD 초고진공화학기상증착기 가동중
15 Sputter - I 물리증착장치(스퍼터) 가동중
16 Sputter - II 물리증착장치(스퍼터) 가동중
17 AP-CVD 대기압 화학증착장치 가동중
18 LP-CVD 저압 화학증착장치 가동중
19 Furnace 산화막 증착 가동중
20 PE-CVD - I 플라즈마증착장치 가동중
21 Sputter - III 물리증착장치(스퍼터) 가동중
22 PE-CVD - II 플라즈마증착장치 가동중
23 Dry Etcher_ICP ICP 식각장치 가동중
24 Dry Etcher_20nm급 플라즈마 유도결합 식각장치 가동중
25 Dry Etcher_Oxide 산화막 식각장치 가동중
26 Dry Etcher_Poly Si 다결정규소막 식각장치 가동중
27 PR Asher_BEOL 감광제 제거 시스템 가동중
28 PR Asher_FEOL 감광제 제거 시스템 가동중
29 Dry Etcher_Metal 금속막 식각장치 가동중
30 Wet Station_Acid 세정 및 에칭장치 가동중
31 Spin Dryer 스핀건조기 가동중
32 Wet Station_Pre Clean - I Wafer 전처리 장치 가동중
33 Wet Station_SPM SPM 세정 가동중
34 Wet Station 전처리 - II Wafer 전처리 장치 가동중
35 Furnace_Low T Ann. 저온 열처리로 가동중
36 Furnace_N+ Dopant Ann. N+ 불순물 열처리로 가동중
37 Furnace_Pyro Oxidation 습식열산화막 반응로 가동중
38 Furnace_Poly Si 다결정규소박막증착로 가동중
39 Furnace_High T Anneal 고온열처리로 가동중
40 Furnace_Dry Oxidation 건식열산화막 반응로 가동중
41 RTP for RTO 급속열산화막용 급속열처리기 가동중
42 RTP for Silicide 실리사이드용 급속열처리기 가동중
43 High Current Implanter 고전류 이온주입장치 가동중
44 Medium Current Implanter 중전류 이온주입장치 가동중
45 CD-SEM 임계치수 측정 주사현미경 가동중
46 Spectroscopic Ellipsometer 박막두께측정기 가동중
47 4 Point Probe-1 4단 면저항 측정기 가동중
48 3D Profiler 3차원 프로파일러 가동중
49 Stress Measurement System 스트레스측정시스템 가동중
50 4 Point Probe-2 4단 면저항 측정기 가동중
51 HR FE-SEM(Clean Room) 전계방출전자현미경 가동중
52 Thickness Measurement 박막두께측정기 가동중
53 EUV Aerial Image Microscope(AIMS) 극자외선 마스크 결함분석장치 가동중
54 EUV Reflectometry 극자외선반사광측정장치 가동중
55 Cryogenic RF Measurement System 초저온RF측정시스템 가동중
56 Flicker Noise Measurement System 노이즈분석측정시스템 가동중
57 FT-IR 적외선 분광 농도측정기 가동중
58 Nanocrystal-Synthesis System 나노입자제조 시스템 가동중
59 Mask Aligner for NEMS 마스크얼라이너 가동중
60 NEMS Base System NEMS 제작을 위한 Base System 가동중
61 PR Asher for NEMS 감광제 제거 시스템 가동중
62 E-Beam Evaporator 이온빔증착기 가동중
63 PZT Coater PZT 코팅기 가동중
64 Deep Reactive Ion Etcher(DRIE) 이온실리콘식각장치 가동중
65 PZT Etcher PZT 식각장치 가동중
66 Mask Aligner 마스크 정렬 노광 장비 가동중
67 Semiconductor technical support service(1) 반도체 기술지원 서비스(1) 가동중
68 Semiconductor technical support service(2) 반도체 기술지원 서비스(2) 가동중
69 Semiconductor technical support service(3) 반도체 기술지원 서비스(3) 가동중

 

번호 장비명(영문) 장비명(국문) 상태
1 Spin Coater with Glove Box 스핀코터 가동중
2 Display Photo Base System 디스플레이포토베이스시스템 가동중
3 Ink Jet Printing System 잉크젯프린팅시스템 가동중
4 OMBD_ Metal Evaporation System 유기&금속 증착 시스템 가동중
5 OLED Evaporation System OLED 증착장비(200x200 glass) 가동중
6 Sputter (OLED) 스퍼터 (OLED) 가동중
7 PECVD System 플라즈마 화학 기상 증착기 가동중
8 OLED Probe Station with Glove Box OLED 프로브스테이션_글로브 박스 가동중
9 Surface Potential Measurement System 표면장력측정시스템 가동중

 

번호 장비명(영문) 장비명(국문) 상태
1 CNT Synthesis System 탄소나노튜브 합성장치 가동중
2 High Resolution FE-SEM 고분해능 전계방출 주사전자현미경 가동중
3 Focused Ion Beam System (GUMI Center) 집속이온빔 (구미분소) 가동중
4 Focused Ion Beam/EBSD 집속이온빔/전자후방산란 회절 가동중
5 HR (S)TEM - I (2100F with Cs Corrected STEM) 구면수차보정 투과전자현미경 가동중
6 HR-[S]TEM-2200FS(with Image Cs-corrector) 구면수차보정 투과전자현미경 가동중
7 3 Dimensional Atom Probe 3차원원자현미경 가동중
8 SPM System (AFM/STM Base) 원자탐침현미경 가동중
9 Multi-mode STM_AFM 다기능 주사형탐침현미경 가동중
10 Secondary Ion Mass Spectrometry(SIMS) 2차이온질량분석기 가동중
11 Magnetic Property Measurement System(MPMS) 자기적특성분석시스템 가동중
12 Sample Preparation System TEM, AP 샘플준비 가동중
13 Cutting/Grinding/Polishing System 절단/연마시스템 가동중
14 Gentle Mill 젠틀 밀 가동중
15 Ion Beam Thinner 이온빔연마기 가동중