High Current Implanter 장비일지

 기자재관리번호 : B0000055-082002-A0009
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-01-01 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
2 2010-01-01 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
3 2010-01-05 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
4 2010-01-05 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
5 2010-01-07 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
6 2010-01-07 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
7 2010-01-10 09시 10시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
8 2010-01-10 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
9 2010-01-12 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
10 2010-01-12 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
11 2010-01-12 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
12 2010-01-13 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
13 2010-01-13 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
14 2010-01-13 16시 18시 Phos. 50KeV 5E15cm-2 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 340,000원
15 2010-01-15 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
16 2010-01-17 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
17 2010-01-20 09시 10시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
18 2010-01-22 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
19 2010-01-26 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
20 2010-01-27 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 86,400원
21 2010-01-28 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 43,200원
22 2010-02-01 10시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 129,600원
23 2010-02-05 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 43,200원
24 2010-02-05 14시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 129,600원
25 2010-02-07 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 86,400원
26 2010-02-10 09시 10시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 43,200원
27 2010-02-10 10시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 129,600원
28 2010-02-12 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 43,200원
29 2010-02-12 15시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 129,600원
30 2010-02-13 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 86,400원
31 2010-02-15 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 43,200원
32 2010-02-17 11시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 129,600원
33 2010-02-22 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 86,400원
34 2010-02-26 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 43,200원
35 2010-02-27 10시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 129,600원
36 2010-03-24 09시 15시 Wafer 내 ion-implanting 지엠티 박은화 1,500,000원
37 2010-04-01 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
38 2010-04-06 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
39 2010-04-07 10시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
40 2010-04-10 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
41 2010-04-13 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
42 2010-04-15 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
43 2010-04-16 09시 10시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
44 2010-04-19 14시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
45 2010-04-22 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
46 2010-04-23 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
47 2010-04-25 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
48 2010-04-28 09시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
49 2010-05-03 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
50 2010-05-06 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
51 2010-05-07 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
52 2010-05-10 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
53 2010-05-13 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
54 2010-05-14 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
55 2010-05-17 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
56 2010-05-19 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
57 2010-05-22 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
58 2010-05-24 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
59 2010-05-25 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
60 2010-05-28 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
61 2010-06-01 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
62 2010-06-03 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
63 2010-06-07 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
64 2010-06-08 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
65 2010-06-10 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
66 2010-06-11 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
67 2010-06-15 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
68 2010-06-17 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
69 2010-06-18 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
70 2010-06-22 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
71 2010-06-24 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
72 2010-06-28 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
73 2010-07-01 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
74 2010-07-02 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
75 2010-07-05 16시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
76 2010-07-06 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
77 2010-07-08 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
78 2010-07-09 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
79 2010-07-12 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
80 2010-07-14 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
81 2010-07-19 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
82 2010-07-21 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
83 2010-07-23 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
84 2010-07-28 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
85 2010-08-02 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
86 2010-08-03 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
87 2010-08-06 14시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
88 2010-08-09 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
89 2010-08-11 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
90 2010-08-16 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
91 2010-08-23 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
92 2010-08-24 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
93 2010-08-27 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
94 2010-08-31 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
95 2010-09-01 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
96 2010-09-04 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
97 2010-09-05 10시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
98 2010-09-07 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
99 2010-09-10 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
100 2010-09-11 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
101 2010-09-13 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
102 2010-09-16 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
103 2010-09-18 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
104 2010-09-20 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
105 2010-09-24 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
106 2010-09-28 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
107 2010-10-01 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
108 2010-10-03 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
109 2010-10-05 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
110 2010-10-06 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
111 2010-10-07 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
112 2010-10-11 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
113 2010-10-12 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
114 2010-10-14 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
115 2010-10-21 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
116 2010-10-22 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
117 2010-10-25 17시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
118 2010-10-27 17시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
119 2010-11-02 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
120 2010-11-03 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
121 2010-11-08 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
122 2010-11-11 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
123 2010-11-13 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
124 2010-11-15 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
125 2010-11-16 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
126 2010-11-17 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
127 2010-11-19 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
128 2010-11-20 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
129 2010-11-24 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
130 2010-11-30 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
131 2011-01-02 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
132 2011-01-06 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
133 2011-01-09 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
134 2011-01-11 15시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
135 2011-01-14 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
136 2011-01-15 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
137 2011-01-22 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
138 2011-01-23 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
139 2011-01-24 15시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
140 2011-01-26 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
141 2011-01-29 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
142 2011-01-31 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
143 2011-02-01 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
144 2011-02-04 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
145 2011-02-08 11시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
146 2011-02-10 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
147 2011-02-12 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
148 2011-02-13 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
149 2011-02-14 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
150 2011-02-18 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
151 2011-02-20 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
152 2011-02-22 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
153 2011-02-27 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
154 2011-02-28 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
155 2011-03-04 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
156 2011-03-05 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
157 2011-03-12 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
158 2011-03-16 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
159 2011-03-19 16시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
160 2011-03-24 09시 13시 Source / Drain implantation (N+/P+) 11 boron, 60Kev 지엠티 박은화 4,200,000원
161 2011-03-27 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
162 2011-04-21 13시 16시 8inch patterned wafer Implant 메이플세미컨덕터 정은식 3,000,000원
163 2011-05-13 09시 12시 8inch patterned wafer implant 크린콜비지니스 신명환 3,000,000원
164 2011-05-31 09시 12시 8" patterned wafer Implant 지엠티 박은화 3,000,000원
165 2011-06-13 09시 12시 8" patterned wafer Implant 엔씨케이(주) 신상순 1,500,000원
166 2011-06-30 13시 16시 8inch patterned wafer Implant 지엠티 박은화 1,500,000원
167 2011-07-01 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
168 2011-07-02 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
169 2011-07-03 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
170 2011-07-05 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
171 2011-07-07 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
172 2011-07-08 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
173 2011-07-11 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
174 2011-07-14 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
175 2011-07-15 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
176 2011-07-18 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
177 2011-07-22 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
178 2011-07-23 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
179 2011-08-03 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
180 2011-08-05 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
181 2011-08-08 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
182 2011-08-12 14시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
183 2011-08-16 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
184 2011-08-17 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
185 2011-08-18 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
186 2011-08-19 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
187 2011-08-20 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
188 2011-08-22 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
189 2011-08-24 14시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
190 2011-08-29 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
191 2011-09-15 09시 14시 8인치 Patterned wafer ion implant 주입 11born, 80 kev, 1E 15, 7deg 팩토이엔씨 김영수 1,500,000원
192 2011-10-13 12시 16시 8inch patterned wafer Implant 팩토이엔씨 김영수 1,500,000원
193 2011-11-19 09시 12시 8인치 patterned wafer Implant (주)셈크로 전태주 1,500,000원
194 2012-01-02 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
195 2012-01-04 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
196 2012-01-10 10시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
197 2012-01-11 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
198 2012-01-12 11시 12시 CMOS 전기적 특성 평가
0-3-1 Si-Poly 후 Implanter 진행		 (주)디엠에스 김성해 270,000원
199 2012-01-13 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
200 2012-01-13 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
201 2012-01-16 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
202 2012-01-18 10시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
203 2012-01-21 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
204 2012-01-23 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
205 2012-01-28 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
206 2012-01-30 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
207 2012-02-03 19시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
208 2012-02-06 06시 08시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
209 2012-02-07 13시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
210 2012-02-07 19시 23시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
211 2012-02-08 08시 10시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
212 2012-02-08 19시 21시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
213 2012-02-10 19시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
214 2012-02-14 11시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
215 2012-02-14 19시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
216 2012-02-16 09시 11시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
217 2012-02-20 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
218 2012-02-20 15시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
219 2012-02-28 09시 13시 Implanter 진행 (주)디엠에스 김성해 1,890,000원
220 2012-03-07 19시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 270,000원
221 2012-03-07 20시 21시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
222 2012-03-08 16시 18시 DOP Imp(BF2) 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 300,000원
223 2012-03-08 20시 22시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
224 2012-03-13 19시 23시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,080,000원
225 2012-03-13 19시 21시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
226 2012-03-13 19시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
227 2012-03-13 20시 22시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
228 2012-03-14 20시 21시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
229 2012-03-21 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
230 2012-03-21 20시 22시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 540,000원
231 2012-03-21 20시 21시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
232 2012-03-21 20시 21시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 270,000원
233 2012-04-05 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
234 2012-04-12 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
235 2012-04-17 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
236 2012-04-24 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,800,000원
237 2012-05-08 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
238 2012-05-29 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
239 2012-05-30 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
240 2012-05-30 11시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,800,000원
241 2012-05-30 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
242 2012-05-31 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
243 2012-06-11 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
244 2012-06-20 11시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,800,000원
245 2012-06-21 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
246 2012-06-27 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
247 2012-06-27 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
248 2012-07-04 18시 22시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,800,000원
249 2012-07-24 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
250 2012-07-25 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
251 2012-07-25 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
252 2012-07-26 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
253 2012-08-03 18시 22시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,800,000원
254 2012-08-03 18시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 450,000원
255 2012-08-15 18시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 450,000원
256 2012-08-16 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
257 2012-08-17 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
258 2012-08-17 18시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 900,000원
259 2012-09-12 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
260 2012-09-13 13시 17시 이온주입 (Implant) (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
261 2012-09-14 16시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 1,800,000원
262 2012-09-15 13시 15시 implant (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 2,000,000원
263 2012-09-18 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
264 2012-09-20 10시 12시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
265 2012-09-21 11시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
266 2012-09-24 09시 10시 Implant (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
267 2012-09-24 09시 10시 Implant (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
268 2012-10-02 10시 14시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,600,000원
269 2012-10-10 14시 16시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 1,800,000원
270 2012-11-15 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
271 2012-11-15 16시 20시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 1,800,000원
272 2012-11-20 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
273 2012-11-22 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
274 2012-11-22 16시 18시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
275 2012-12-13 09시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 1,800,000원
276 2012-12-20 15시 23시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,600,000원
277 2013-01-16 09시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 2,700,000원
278 2013-01-25 13시 15시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 900,000원
279 2013-01-29 09시 13시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 1,800,000원
280 2013-02-14 13시 17시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 1,800,000원
281 2013-02-21 11시 19시 고농도 doping(P+,N+,Back Imp) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,600,000원
282 2013-03-15 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,500,000원
283 2013-04-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,500,000원
284 2013-05-13 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 3,500,000원
285 2013-06-13 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 3,500,000원
286 2013-07-22 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,060,000원
287 2013-08-22 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,060,000원
288 2013-09-27 11시 15시 4E14
73KeV
As Doping		 포항공과대학교 전자전기공학과 고명동 350,000원
289 2013-09-27 9시 11시 ★파워솔루션 바우처 사용 건-9월달 1억에서 차감 해야 함★ 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 2,000,000원
290 2013-10-01 9시 11시 ★파워솔루션 바우처 사용 건-10월달 1억에서 차감 해야 함★ 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 2,000,000원
291 2013-10-07 14시 16시 As, 100keV, 4x10^15 포항공과대학교 전자전기공학과 고명동 350,000원
292 2013-10-10 9시 11시 ★파워솔루션 바우처 사용 건-10월달 1억에서 차감 해야 함★ 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 2,000,000원
293 2013-10-15 9시 11시 ★파워솔루션 바우처 사용 건-10월달 1억에서 차감 해야 함★ 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 2,000,000원
294 2013-10-18 9시 13시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 2,500,000원
295 2013-11-13 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 3,500,000원
296 2013-12-12 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 3,500,000원
297 2014-01-12 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 3,500,000원
298 2014-02-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
299 2014-02-20 11시 14시 As, 100keV, 4x10^15 포항공과대학교 전자전기공학과 고명동 350,000원
300 2014-03-03 14시 16시 2-3 High Current Implant : (P,40keV,8E15) & (P,50keV,8E15) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 700,000원
301 2014-03-13 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
302 2014-04-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
303 2014-04-22 12시 14시 P, 40KeV, 8E15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 350,000원
304 2014-05-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
305 2014-06-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
306 2014-06-16 12시 15시 N-type bare wafer를 n-type으로 high doping 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 400,000원
307 2014-06-26 10시 12시 홍난기, B, 40KeV, 1E16 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 350,000원
308 2014-07-01 14시 17시 P, 10^14cm-2, 45keV 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 350,000원
309 2014-07-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
310 2014-07-14 10시 13시 As Doping 진행 (Dose 량 8E14)
1. 120keV 선행 진행 (선행 Test)
2. 100keV 진행
3. 120keV 진행 		나노종합기술원 CMOS소자팀 전호승 1,350,000원
311 2014-08-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
312 2014-09-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
313 2014-10-01 10시 11시 2-4-1 ION implant
Phos. 40keV 8E15 2매 진행		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 350,000원
314 2014-10-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
315 2014-10-16 15시 16시 - Dopant : As
- Energy : 100KeV
- Dose 량 : 8E14
- Tilt : 5
- Twist : 182
진행		 나노종합기술원 CMOS소자팀 전호승 450,000원
316 2014-11-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
317 2014-12-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
318 2015-01-09 15시 17시 2-2-1 P,40KeV,1E16 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 400,000원
319 2015-01-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
320 2015-02-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
321 2015-03-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
322 2015-03-17 10시 11시 As 120keV 8E14
Tilt : 5 Twist : 182		 나노종합기술원 CMOS소자팀 전호승 450,000원
323 2015-03-24 12시 13시 3-3-1 P,40KeV,8E15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
324 2015-03-24 14시 15시 3-3-1 HC_IMP P,40KeV,8E15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
325 2015-03-25 10시 11시 BSF(Back Surface Field) layer 형성
p+ Boron을 8\'\' Si wafer Back side에 형성(후면 20nm PEOxide deposition된 상태)

도핑농도를 1e20/cm^3으로 100nm junction 형성을 목표로 하고 있고,
40keV를 사용하여 최대한 고농도로 도핑하기를 요망		 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
326 2015-04-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
327 2015-05-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
328 2015-05-15 10시 11시 Backside boron doping
50keV, 5e15 boron
 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
329 2015-05-20 14시 16시 Back Side Boron Implant

BSF layer 형성 목적
50KeV, 5e15cm^-2 조건 사용		 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 350,000원
330 2015-06-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
331 2015-07-01 15시 16시 3-4-1 SD IMP Phos. 50keV 8E15 전북대학교 전자공학부 김기현 350,000원
332 2015-07-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
333 2015-08-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
334 2015-08-20 9시 11시 Backside boron 50kev HC IMP 포항공과대학교 전자전기공학부 윤솔 350,000원
335 2015-09-01 13시 15시 P, 40KeV , 8E15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 350,000원
336 2015-09-04 9시 11시 3-3-1 HC_IMP P,40KeV,8e15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 350,000원
337 2015-09-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
338 2015-10-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 6,000,000원
339 2015-11-04 9시 12시 Boron 50KeV 5E15 포항공과대학교 전자전기공학부 윤솔 350,000원
340 2015-11-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
341 2015-12-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
342 2016-01-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
343 2016-02-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
344 2016-03-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+) 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
345 2016-04-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
346 2016-05-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
347 2016-06-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
348 2016-07-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
349 2016-08-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
350 2016-09-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
351 2016-10-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
352 2016-11-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
353 2016-12-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
354 2016-12-22 17시 18시 Phosphorous, 160KeV, 1E13 (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,500,000원
355 2017-01-11 9시 18시 고농도 doping(P+,N+)
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 6,000,000원
356 2017-10-11 9시 16시 실리콘 나노선 열전소자 개발 공정 진행 전북대학교 전자공학부 김기현 2,000,000원
357 2017-11-02 10시 13시 열전소자용 이온주입 : 4.0014275.01-2-2-4 (시험분석료) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 1,500,000원
358 2017-11-22 10시 18시 저저항 Superjunction 파워 MOSFET 개발 및 상용화 [4.0015349.01]_Diffusion 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 1,500,000원
359 2017-12-11 9시 18시 650V50A 저저항 Superjunction 파워 MOSFET 개발 [4.0015349.01]_Diffusion 단위공정 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 1,000,000원
360 2017-12-13 9시 20시 열전소자용 Implantation 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 1,500,000원
361 2018-01-16 14시 18시 11B 15keV 1E13
31P 30keV 1E13
31P 30keV 1E15
3조건 각 1매		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 700,000원
362 2018-01-25 16시 17시 As doping
Dose : 5 x 10^15 cm^2
가속전압 : 80 keV		 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 475,000원
363 2018-02-01 15시 18시 11B 15keV 1E15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
364 2018-02-20 15시 19시 As implant
dose: 5*10^15cm2
가속전압: 80 KeV

 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 550,000원
365 2018-03-08 13시 15시 31P 1E13 30keV 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
366 2018-03-09 10시 12시 implant 공정 (오전 10:30 의뢰 예정)

Phosphorus
1e15
30KeV		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
367 2018-03-12 13시 16시 11B 1E13 15keV 1매 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
368 2018-03-19 15시 19시 11B 15keV 1E15 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
369 2018-03-30 14시 16시 31P 1E13 30keV 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
370 2018-04-03 9시 12시 Phosphorus
1e15
30KeV		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
371 2018-04-04 17시 19시 11B 15KeV 1E13 8inch 1매 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
372 2018-04-09 14시 19시 11B_1E15_15keV 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 550,000원
373 2018-06-12 16시 19시 5-2-1 N+IMP P 1E16 110keV 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 1,300,000원
374 2018-06-28 10시 14시 B 3E15 120keV 6매 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 1,300,000원
375 2018-07-11 14시 15시 BioFET Source/Drain 형성을 위한 Implant 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 550,000원
376 2018-07-23 16시 19시 backside implanter P 4E15 80keV 6매 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 1,300,000원
377 2018-09-17 10시 11시 8-inch Silicon Wafer
Boron, 30 KeV, 5e15 Implant
공정 진행: Boron, 40 KeV, 3e15 Implant		 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 550,000원
378 2018-09-18 10시 11시 As doping
Dose : 5 x 10^15 cm-2
Power : 80 keV		 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 550,000원
379 2018-10-05 13시 15시 Dopant: As
Energy: 40keV (더 낮은 에너지가 가능하면 더 낮게 부탁드립니다.)
Concentration: 5e15		 삼성전자(종기원) Nano Electronics Lab 김상욱 570,000원
380 2018-10-10 20시 24시 P 5E15 65/80/95K 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
381 2018-10-24 10시 14시 B 3E15 120K 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
382 2018-11-01 16시 18시 B 3E15 40K 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 850,000원
383 2018-11-05 10시 12시 PR로 마스킹 되어있습니다.

Dopant: As
Energy: 40keV
Concentration: 5e15 		삼성전자(종기원) Nano Electronics Lab 김상욱 570,000원
384 2019-01-28 16시 17시 Bio FET S/D Implant 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 550,000원
385 2019-02-14 9시 10시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,150,000원
386 2019-02-21 10시 11시 전자과 이정수교수님 연구실 최원영입니다.
Si test wafer 2장
Target : As
Dose : 5x10^15 cm-2
가속전압 : 80 keV

PR을 mask로 쓰는데요, 혹시 cooling하는 조건을 조절할 수 있다면 PR이 타지 않도록 cooling을 최대로 해주시길 바랍니다.		 (주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 600,000원
387 2019-03-11 9시 10시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,500,000원
388 2019-04-12 13시 15시 Boron Implant 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 570,000원
389 2019-04-24 10시 11시 전자과 최원영 입니다.

Dopant : As
Dose : 5 x 10^15 cm-2
가속전압 : 80 keV

대상 : wafer 19~25번 (총7장)

sample은 implanter 앞에 놔뒀습니다.		 (주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 600,000원
390 2019-06-04 10시 13시 5-2-1 N+ IMP 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 740,000원
391 2019-06-05 10시 18시 MEMS Bio-Sensor 제작 (주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
392 2019-06-21 16시 16시 24WFs을 아래와 같이 IMP 공정 진행 부탁드립니다.

> "P", 45 KeV , 1e15 : 11WFs
> "B", 40 KeV , 5e14 : 13WFs
파워마스터 반도체 공정기술 장희성 1,160,000원
393 2019-07-03 10시 12시 5-5-1 P+ IMP 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 570,000원
394 2019-07-26 14시 17시 나노선 열전소자 제작(P Implant_B_1E16_25Kev) ) 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 0원
395 2019-07-31 10시 14시 나노선 열전소자 제작(N Implant_1E16_80keV) 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 0원
396 2019-11-14 9시 11시 열전소자 시험분석_P Implant : 1E16, 25KeV 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 2,400,000원
397 2019-11-15 16시 18시 열전소자 시험분석_N Implant : P, 1E16, 80KeV 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 2,400,000원
398 2019-11-26 9시 11시 High current Imp (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 1,600,000원
399 2020-02-04 9시 18시 한국나노마이스터고 교육 1차, 2차, 3차_Diffusion 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 1,400,000원
400 2021-04-05 9시 18시 \"8인치 적외선 MEMS Sensor 제작공정\" 계약 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 1,400,000원