Wet Station_Acid - 2 장비일지 |
기자재관리번호 : |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2020-05-13 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 2 | 2020-06-16 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 3 | 2020-07-16 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 4 | 2020-08-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 5 | 2020-09-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 6 | 2020-10-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 7 | 2020-11-13 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 8 | 2020-12-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 9 | 2021-01-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 10 | 2021-02-15 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 11 | 2021-03-15 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 12 | 2021-04-15 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 13 | 2021-05-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 14 | 2021-06-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 15 | 2021-07-14 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 16 | 2021-08-16 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 17 | 2021-09-16 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 18 | 2021-10-18 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 19 | 2021-11-18 9시 | 19시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 150,000원 |
| 20 | 2021-12-10 9시 | 14시 | 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제조 공정기술팀장 | 손춘배 | 75,000원 |
| 21 | 2023-03-07 13시 | 14시 | W/S_Acid(BOE) | 삼성전자 | 생산기술연구소 | 구자명 | 300,000원 |
| 22 | 2023-03-30 13시 | 14시 | Non-metallic SPM 진행 | (주)예스파워테크닉스 | 부설연구소 | 김기현 | 142,500원 |
| 23 | 2023-04-17 20시 | 21시 | 나노융합기반 고도화사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 120,000원 |
| 24 | 2023-04-25 10시 | 12시 | BOE Etch | 주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 270,000원 |
| 25 | 2023-05-08 15시 | 16시 | SPM | 주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 108,000원 |
| 26 | 2023-05-11 14시 | 15시 | H2SO4 | 주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 108,000원 |
| 27 | 2023-05-17 11시 | 12시 | H2SO4 직접 이용 | 주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 108,000원 |
| 28 | 2023-05-22 11시 | 12시 | Spm | 주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 108,000원 |
| 29 | 2023-07-13 13시 | 14시 | BOE 고도화사업 |
주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 250,000원 |
| 30 | 2023-07-18 14시 | 15시 | SPM 고도화사업비 |
주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 120,000원 |
| 31 | 2023-07-20 12시 | 13시 | 사용 외 신청 | 포항공과대학교 대학원 | 신소재공학과 | 지창욱 | 72,000원 |
| 32 | 2023-11-02 10시 | 12시 | si wet etch si etch si depth 50um si wet etch si etch si depth 100um si wet etch si etch si depth 150um |
동서대학교 산학협력단 | 동서대학교 기계공학과 | 김호진 | 900,000원 |
| 33 | 2023-11-02 11시 | 12시 | 3-1-1 s/d ohmic pre-cleaning sc2 clean 2023년 나노융합고도화 사업 |
주식회사 에이프로세미콘 | 기술연구소 | 조영우 | 300,000원 |
| 34 | 2023-11-02 14시 | 16시 | 7-1-1 S_D CNT S-D Metal Cleaning SC2 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 270,000원 |
| 35 | 2023-11-27 15시 | 17시 | 2-4-3 SPACER PolySi Remove TMAH(25%) | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 240,000원 |
| 36 | 2024-03-08 14시 | 15시 | 0-1-3 SC2 clean 2023년 나노융합기반 고도화 사업 |
(주)칩스케이 | 연구개발팀 | 임진홍 | 0원 |
| 37 | 2024-03-13 9시 | 18시 | 1. 시편 종류 : - LP nitride 40nm 증착후 11cm*14cm 영역 Nitride 제거 웨이퍼, 2장 - LP nitride 40nm 증착 + PE oxide 1um 증착 웨이퍼, 2장 (slot #1, 3 loading, #1 2일차 제) - Thermal oxide / LP Nitride / PE oxide 증착 웨이퍼(후면 11cm*14cm 영역 Nitride 제거), 5장(slot #2, 4, 6, 8, 10 loading) |
티디앤제이 | 개발팀 | 하태중 | 1,920,000원 |
| 38 | 2024-04-02 10시 | 11시 | 인산 직접사용 | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 200,000원 |
| 39 | 2024-04-02 15시 | 17시 | 2-2-3 PR Strip SPM | (주)지아이에스 | 지아이에스 부설연구소 | 이민재 | 0원 |
| 40 | 2024-04-02 15시 | 17시 | 2-2-3 PR Strip SPM | (주)지아이에스 | 지아이에스 부설연구소 | 이민재 | 0원 |
| 41 | 2024-04-02 19시 | 21시 | 2-4-2 PR Cleaning SPM | 트리노테크놀로지 | 경영지원팀 | 트리노테크놀로지 | 0원 |
| 42 | 2024-04-02 19시 | 21시 | 2-4-3 Oxide Remove BOE 10 : 1 | 트리노테크놀로지 | 경영지원팀 | 트리노테크놀로지 | 0원 |
| 43 | 2024-04-03 18시 | 19시 | 0-1-1 Pre Cleaning SC-1 | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 144,500원 |
| 44 | 2024-04-03 19시 | 20시 | 0-1-1 Pre Cleaning SPM | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 144,500원 |
| 45 | 2024-04-03 19시 | 20시 | 0-1-1 Pre Cleaning SPM | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 144,500원 |
| 46 | 2024-04-03 20시 | 21시 | 0-1-4 Pre Cleaning SC-1 | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 144,500원 |
| 47 | 2024-04-03 20시 | 21시 | 0-1-4 Pre Cleaning SC-1 | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 144,500원 |
| 48 | 2024-04-03 20시 | 21시 | 1-3-2 PR Strip SPM | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 136,000원 |
| 49 | 2024-04-04 10시 | 12시 | 0-1-7 Pre Cleaning BOE | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 272,000원 |
| 50 | 2024-04-04 10시 | 12시 | 0-1-7 Pre Cleaning BOE | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 272,000원 |
| 51 | 2024-04-23 9시 | 18시 | SiN, Oxide tmah 25% 6hr 10hr boe 10:1 20min 4min |
티디앤제이 | 개발팀 | 하태중 | 2,240,000원 |
| 52 | 2024-05-10 15시 | 16시 | ICT 제품화 지원사업 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) dHF 8inch Si wafer 1매 |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 80,000원 |
| 53 | 2024-05-14 11시 | 14시 | 0-1-3 0 fab-in h3po4 10min wf1 0-1-3 0 fab-in h3po4 20min wf2,4 0-1-3 0 fab-in h3po4 30min wf3 |
삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 1,080,000원 |
| 54 | 2024-05-17 17시 | 18시 | 0-1-3 fab-in h3po4 25min | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 288,000원 |
| 55 | 2024-05-17 17시 | 18시 | 0-1-3 fab-in h3po4 25min | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 288,000원 |
| 56 | 2024-07-04 8시 | 9시 | 1-1-2 TMAH | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 320,000원 |
| 57 | 2024-09-10 10시 | 12시 | SiN 4000A/TEOS 6000A 증착된 Wafer 입니다. ------------------------------ 인산 55min dipping |
에스케이파워텍(주) | 불량분석팀 | 윤승복 | 320,000원 |
| 58 | 2024-10-24 8시 | 12시 | 2-1-1 TMAH 25% ICT 제품화지원사업 |
(주)모이모션 | (주) 모이모션 | 최정례 | 640,000원 |