Spin Rinse Dryer 장비일지

 기자재관리번호 : 20045220
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-12-27 10시 11시 웨이퍼 세정후 작업 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 7,500원
2 2011-10-04 10시 11시 Wafer dry 대구경북과학기술원 에너지연구부 백성호 0원
3 2011-10-07 11시 12시 wafer dry 대구경북과학기술원 에너지연구부 백성호 0원
4 2012-01-04 08시 22시 Si-SEG Test
- Si-SEG 진행 전 세정 작업
(Process 측정 분석 결과 공유조건으로 50% 할인)		 나노종합기술원 CMOS소자팀 전호승 15,000원
5 2012-01-09 14시 15시 C02 Metal 평가 (주)디엠에스 김성해 9,000원
6 2012-01-26 09시 10시 5-4-1 S/D Cleaning (DHF) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
7 2012-01-27 10시 11시 6-3-3 PR Strip 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 7,500원
8 2012-02-02 14시 15시 2-3-4 PR Strip ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
9 2012-02-07 17시 18시 3-3-3 PR Strip ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
10 2012-02-28 09시 12시 UHV-CVD 사용전 세정 나노종합기술원 CMOS소자팀 전호승 25,000원
11 2012-03-20 16시 17시 Native Oxide Remove after 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 10,000원
12 2012-04-09 13시 14시 4-2-1 W/S 사용후 Spin Dryer 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 10,000원
13 2012-05-21 14시 15시 Cleaning 후 Dry 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 10,000원
14 2012-06-18 16시 17시 Wet Clean 후 Spin Dry 1회 LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 10,000원
15 2014-03-27 12시 13시 Spin Dryer 2회 (주)휴템 연구개발팀 최윤성 20,000원
16 2014-04-10 11시 12시 Spin Dryer 2회 (주)휴템 연구개발팀 최윤성 20,000원
17 2015-03-06 10시 11시 water 드라이 포항공과대학교 전자전기공학과 김강민 8,000원
18 2015-04-20 16시 17시 Rinse and dry 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
19 2015-04-22 17시 18시 PR removal and DHF 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
20 2015-04-24 10시 11시 Si wafer dry 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
21 2015-10-23 10시 11시 spin dry 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 7,000원
22 2018-09-04 10시 12시 1 wafer notch->f/z wet pr strip sin dryer 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
23 2018-09-04 10시 12시 1 wafer notch->f/z wet pr strip sin dryer 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
24 2018-09-07 10시 11시 mask etch pr strip wet pr strip spm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
25 2018-09-07 11시 12시 mask etch pr strip wet pr strip spm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
26 2018-09-07 14시 15시 5 densify cleaning spm
 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
27 2018-09-07 17시 18시 5 densify cleaning spm
 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
28 2018-10-04 10시 11시 2 cleaning spin dryer 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
29 2018-10-17 16시 17시 7 wet BOE Etch 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
30 2018-10-22 17시 18시 8 pr strip wet pr strip 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
31 2020-01-06 10시 16시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
32 2020-01-09 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 루트세미콘 루트세미콘 루트세미콘 0원
33 2020-01-10 9시 13시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
34 2020-01-14 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
35 2020-01-16 9시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
36 2020-01-21 9시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
37 2020-01-23 9시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
38 2020-02-07 9시 10시 나노인프라 활용 나노기술 응용제품 제작 지원사업 이코루미 연구소 김석근 0원
39 2020-02-11 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 루트세미콘 루트세미콘 루트세미콘 0원
40 2020-02-14 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
41 2020-02-17 10시 12시 나노인프라 활용 나노기술 응용제품 제작 지원사업 이코루미 연구소 김석근 0원
42 2020-02-17 9시 10시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
43 2020-02-19 9시 10시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 (주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
44 2020-07-15 15시 16시 SiO2 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
45 2020-07-16 17시 18시 표면 물질 없음 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
46 2020-08-26 17시 18시 이온 주입 전 cleaning (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
47 2020-08-26 20시 21시 이온 주입 후 cleaning step (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
48 2020-09-09 14시 16시 IMP 전 세정 후 건조 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
49 2020-09-09 22시 23시 Activation 전 전세정 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
50 2020-09-10 16시 17시 SPM/rinse 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
51 2020-10-30 10시 12시 6" HM wet etch 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 9,000원
52 2020-10-30 13시 14시 6인치 스핀 드라이 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 54,000원
53 2020-11-02 16시 17시 Wet Cleaning 후 건조 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 9,000원
54 2020-11-06 20시 21시 cleaning 후 스핀 건조 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 9,000원
55 2020-11-10 14시 15시 SPM 후 Cleaning (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 9,000원
56 2021-01-14 17시 18시 전문인력 양성 교육 심화 실습 교육

Wet station에서 SPM, QDR 완료된 wafer를 spin dryer를 통해 건조하려 합니다.		 나노융합기술원 사업지원팀 전문인력 1조 0원
57 2021-01-18 16시 17시 전문인력양성교육-심화실습교육
이전단계에서 cleaning한 wafer 건조 부탁드립니다. 		나노융합기술원 사업지원팀 전문인력 1조 0원
58 2021-01-19 16시 18시 전문인력양성교육-심화실습교육

Wet station 이후 남은 물기제거를 위해 장비를 사용하려합니다.		 나노융합기술원 사업지원팀 전문인력 1조 0원
59 2021-01-26 13시 14시 6 인치 SPM 및 cleaning 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
60 2021-01-27 14시 15시 이온 주입 후 cleaning (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
61 2021-01-28 11시 12시 Graphite 제거 후 cleaning (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
62 2021-01-29 16시 17시 Activation test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
63 2021-02-05 11시 12시 6 inch cleaning 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
64 2021-02-22 20시 21시 P+ HM 제거 및 cleang 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
65 2021-03-02 11시 12시 PT02 뒷면 자국 검증용 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
66 2021-03-26 14시 15시 BSG cleaning (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
67 2021-04-01 9시 10시 cleaning 후 spin dry (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
68 2021-04-02 14시 15시 Non-metal용 Spin dry 사용 요청 드립니다. 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
69 2021-04-07 17시 18시 SiC SPM 후 Spin Dry 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
70 2021-04-09 15시 16시 spm 후 Spin dry 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
71 2021-05-11 10시 11시 6인치 Spindryer 3매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
72 2021-05-13 15시 16시 6 인치 JBS, MPS SBD Cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
73 2021-05-14 14시 15시 6인치 Spin Dry 진행 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
74 2021-05-17 14시 15시 1매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
75 2021-05-18 17시 18시 4매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
76 2021-05-21 10시 11시 6인치 ring HM etch test 용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
77 2021-05-25 17시 18시 3매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
78 2021-05-27 13시 14시 6인치 BSG 단위평가 시료 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
79 2021-05-27 17시 18시 3ea 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
80 2021-06-03 11시 12시 cleaning 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
81 2021-06-04 13시 14시 Activation 전 cleaning 완료 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
82 2021-06-04 16시 17시 재 클리닝 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
83 2021-06-07 11시 12시 3매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
84 2021-06-08 14시 15시 Cleaning 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
85 2021-06-08 9시 10시 Spin Dry (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 0원
86 2021-06-11 17시 18시 5매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
87 2021-06-16 10시 11시 이온주입 전 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
88 2021-06-16 9시 10시 Spin (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 0원
89 2021-06-17 10시 11시 6inch SiC Wafer Spin Dry (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 0원
90 2021-06-17 16시 17시 cleaning 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
91 2021-06-21 16시 17시 Ni strip 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
92 2021-06-22 14시 15시 Spin Dry 진행 (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 0원
93 2021-06-25 10시 11시 이온주입 전 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
94 2021-06-28 13시 14시 Ni-V 파티클 클리닝 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
95 2021-06-29 14시 15시 Ni strip 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
96 2021-06-29 17시 18시 Ni strip 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
97 2021-07-05 11시 12시 1매 에스케이파워텍(주) 선행연구소 천상익 0원
98 2021-08-05 17시 18시 cleaning 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
99 2021-08-06 11시 12시 SPM cleaning 후 dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
100 2021-08-11 17시 18시 cleaning 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
101 2021-08-24 14시 15시 6인치 650V 8A MPS cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
102 2021-08-24 19시 20시 잔여 Ni 제거 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
103 2021-08-30 16시 17시 back oxide etch 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
104 2021-08-30 18시 19시 PR 제거 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
105 2021-09-13 14시 15시 P+ 이온주입 전 클리닝 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
106 2021-09-15 16시 17시 Activation 전 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
107 2021-09-23 17시 18시 graphite 제거 완료 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
108 2021-09-28 16시 17시 12매 BSG 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
109 2021-09-28 17시 18시 신규 투입 15매 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
110 2021-09-29 15시 16시 이온주입 전 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
111 2021-09-30 16시 17시 BSG 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
112 2021-10-06 19시 20시 SPM후spin 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
113 2021-10-07 11시 12시 back oxide etch 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
114 2021-10-07 14시 15시 SPM 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
115 2021-10-07 19시 20시 back oxide etch 후 cleaing 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
116 2021-10-18 14시 15시 Activation 22매 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
117 2021-10-18 15시 16시 P+ 이온주입 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
118 2021-10-18 19시 20시 P+ 이온주입 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
119 2021-10-19 14시 15시 P+ 이온주입 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
120 2021-10-19 17시 18시 Activation 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
121 2021-10-20 16시 17시 Graphite 제거 후 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
122 2021-10-21 13시 14시 graphite 제거 후 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
123 2021-10-21 17시 18시 graphite 제거 후 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
124 2021-10-25 14시 15시 이온주입 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
125 2021-10-26 16시 17시 원자재 전세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
126 2021-11-01 15시 16시 이온주입 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
127 2021-11-02 11시 12시 잔여 ohmic 제거 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
128 2021-11-04 11시 12시 ohmic 후 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
129 2021-11-04 16시 18시 ohmic 후 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
130 2021-11-08 15시 16시 ohmic 후 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
131 2021-11-09 11시 12시 이온주입 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
132 2021-11-09 17시 18시 PR coating 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
133 2021-11-10 10시 11시 Activation 전 세정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
134 2021-11-11 16시 17시 ion activation anneal 후 cleaning 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
135 2021-11-18 15시 16시 이온주입 전 세정 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
136 2021-11-18 9시 10시 이온주입 전 클리닝 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
137 2021-11-30 10시 11시 6인치 이온주입 전 SPM 세정 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
138 2021-11-30 19시 20시 이온주입 후 세정 및 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
139 2021-12-01 16시 17시 6인치 SiC wafer, Activation anneal 완료 후 세정 및 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
140 2021-12-16 10시 11시 6인치 SiC 이온주입 전 세정 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
141 2022-01-06 16시 17시 이온주입 완료 후 SPM 세정 및 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
142 2022-01-18 13시 14시 이온주입 전 non metal SPM 세정 완료 웨이퍼, Spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
143 2022-01-18 14시 15시 [21년도 전문인력양성 1조]
WET STATION 후 SPIN DRYER 사용		 나노융합기술원 사업지원팀 21년도 전문인력 1조 0원
144 2022-01-24 13시 14시 이온주입 전 non metal SPM 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
145 2022-01-25 10시 11시 이온주입 전 non metal SPM 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
146 2022-01-27 16시 17시 이온주입 전 non metal SPM 후 spin dry 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
147 2022-01-27 9시 11시 Spin Dry (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 0원
148 2022-02-04 15시 16시 이온주입 전 non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
149 2022-02-09 16시 17시 6인치 SiC, non-metal SPM 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
150 2022-02-10 11시 12시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
151 2022-02-10 17시 18시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
152 2022-02-11 13시 14시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 Spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
153 2022-02-11 15시 16시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
154 2022-02-15 13시 14시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
155 2022-02-15 17시 18시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
156 2022-02-16 11시 12시 6인치 SiC, non metal standard cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
157 2022-02-17 11시 12시 6인치 SiC, non metal standard cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
158 2022-02-17 15시 16시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
159 2022-02-21 11시 12시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
160 2022-02-21 16시 17시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
161 2022-02-22 11시 12시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
162 2022-02-22 17시 18시 6인치 SiC, non metal standard cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
163 2022-02-23 15시 16시 6인치 SiC, non metal standard cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
164 2022-02-23 16시 17시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
165 2022-02-24 16시 17시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
166 2022-02-24 9시 10시 6인치 SiC, non metal SPM 세정 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
167 2022-03-02 11시 12시 6인치 SiC, non metal standard cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
168 2022-03-23 9시 11시 나노융합기술원 입주기업 예스파워테크닉스에서 사용 신청합니다. (주)예스파워테크닉스 제품개발그룹 김영남 0원
169 2022-03-30 11시 12시 6inch SiC wafer, non metal cleaning 후 spin dryer 사용 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
170 2022-04-04 15시 16시 Spin Dry 사용 요청 (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 0원
171 2022-04-15 15시 16시 이온주입 전 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
172 2022-04-19 16시 17시 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
173 2022-04-19 17시 18시 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
174 2022-04-19 9시 10시 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
175 2022-04-25 13시 14시 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
176 2022-04-29 17시 18시 이온주입 전 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
177 2022-05-02 11시 12시 이온주입 전 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
178 2022-05-03 18시 19시 cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
179 2022-05-03 9시 10시 Non metal cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
180 2022-05-09 18시 20시 Non Metal Cleaning 후 Spin Dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 이예찬 0원
181 2022-05-10 9시 10시 YPT 6inch 직접 진행 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조팀 이예찬 0원
182 2022-05-24 11시 12시 cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
183 2022-05-26 10시 11시 cleaning 후 spin dryer 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
184 2022-06-02 15시 16시 6인치 Spin Dry 사용 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 0원
185 2022-07-07 19시 20시 Spin dryer 53매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 54,000원
186 2022-07-08 15시 16시 6inch SIC 4매 Spin 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
187 2022-07-20 17시 19시 Spin Dryer 3회 진행입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
188 2022-07-29 17시 18시 SiC 6inch 8매 non metal spin dryer 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
189 2022-08-01 13시 14시 SiC 6INCH 8매 논메탈 Spin dryer 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 72,000원
190 2022-08-04 17시 21시 6Inch Spin 목적으로 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 0원
191 2022-08-05 15시 16시 6Inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
192 2022-08-09 23시 24시 6인치 SiC Wafer 1매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
193 2022-08-09 9시 10시 6inch Spin 진행 으로 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
194 2022-08-11 19시 20시 6인치 SiC wafer 10매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
195 2022-08-12 15시 16시 Spin Dryer 1회 진행입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
196 2022-08-29 16시 17시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
197 2022-08-30 17시 18시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
198 2022-08-30 4시 5시 SiC 6inch non metal wafer 21매 직접 이용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
199 2022-08-31 11시 12시 6Inch Spin 진행 목적으로 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
200 2022-08-31 15시 16시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
201 2022-08-31 6시 7시 SiC 6inch 10매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
202 2022-09-05 14시 15시 6인치 1매 직접 진행 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 9,000원
203 2022-09-05 15시 16시 Spin Dryer 2회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
204 2022-09-13 13시 14시 6inch SiC 10매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
205 2022-09-13 15시 17시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
206 2022-09-19 10시 11시 6inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
207 2022-09-20 14시 15시 6Inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
208 2022-09-20 2시 3시 6inch SiC wafer 1매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
209 2022-09-22 18시 19시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
210 2022-09-23 3시 4시 SiC 6inch 2매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
211 2022-09-26 16시 18시 Spin Dryer 2회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
212 2022-09-28 19시 20시 6inch SIC 10매 직접 사용합니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
213 2022-10-05 16시 18시 Spin Dry 사용 (주)예스파워테크닉스 연구소 박현 9,000원
214 2022-10-06 21시 22시 6inch spin 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
215 2022-10-07 17시 18시 6Inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
216 2022-10-07 8시 9시 6inch SiC Wafer 10매 직접 진행 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
217 2022-10-08 17시 18시 6inch SiC 15매 직접 진행 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
218 2022-10-12 3시 4시 6inch SiC 25매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
219 2022-10-14 23시 24시 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
220 2022-10-17 21시 22시 SiC Non metal Wafer 6inch 16매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
221 2022-10-18 15시 16시 6inch SiC Non metal 25매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
222 2022-10-19 21시 22시 SIC Wafer 6Inch 직접 사용을 위해 신청합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
223 2022-10-20 22시 23시 6inch SiC wafer 10매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
224 2022-10-24 16시 18시 6INCH SPIN 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
225 2022-10-25 14시 15시 6inch SiC wafer 14매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
226 2022-10-25 15시 20시 6inch spin dry 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
227 2022-10-26 1시 2시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
228 2022-10-26 11시 12시 6inch 20매 Spin Dry 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
229 2022-10-26 13시 18시 6inch 56매 spin dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
230 2022-10-27 15시 18시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
231 2022-10-27 9시 10시 6inch 6매 spin Dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
232 2022-10-28 14시 16시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
233 2022-10-28 17시 20시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
234 2022-10-28 9시 10시 6inch 10매 spin dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
235 2022-10-31 13시 14시 6inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
236 2022-10-31 21시 22시 1회 진행입니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
237 2022-10-31 9시 12시 6inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
238 2022-11-01 15시 16시 6inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
239 2022-11-01 16시 18시 Spin Dryer 4회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 36,000원
240 2022-11-01 20시 23시 4회 진행 입니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 36,000원
241 2022-11-01 23시 1시 6inch SiC 35매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
242 2022-11-01 6시 7시 6inch SIC 25매 Spin Dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
243 2022-11-02 16시 17시 1회 진행하겠습니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
244 2022-11-04 14시 16시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
245 2022-11-07 15시 16시 6inch 24매 Spin Dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
246 2022-11-08 20시 22시 SIC 6inch 24매 Spin Dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
247 2022-11-08 22시 23시 6inch SiC 46매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
248 2022-11-09 11시 12시 25매 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
249 2022-11-09 20시 23시 6inch 43매 Spin Dry 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
250 2022-11-10 14시 18시 Spin Dryer 4회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 36,000원
251 2022-11-11 10시 11시 1회 진행하겠습니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
252 2022-11-11 22시 23시 6inch SiC wafer 25매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
253 2022-11-14 10시 11시 6inch SIC 24매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
254 2022-11-14 13시 14시 6inch SIC 25매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
255 2022-11-14 14시 18시 6인치 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
256 2022-11-14 24시 1시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
257 2022-11-14 9시 10시 6inch SIC 20매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
258 2022-11-15 16시 18시 6Inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
259 2022-11-16 13시 14시 6inch SIC 25매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
260 2022-11-17 15시 18시 6inch Spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
261 2022-11-17 22시 24시 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
262 2022-11-17 8시 12시 6inch SiC wafer 73매 진행 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
263 2022-11-18 14시 15시 6inch SiC wafer 22매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
264 2022-11-18 15시 19시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
265 2022-11-21 15시 19시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 36,000원
266 2022-11-24 10시 12시 6inch spin 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
267 2022-11-25 1시 2시 6inch SIC 25매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
268 2022-11-25 21시 22시 Spin Dryer 1회 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
269 2022-11-26 7시 8시 6inch SiC 24매 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
270 2022-11-28 10시 15시 Spin Dryer 2회 사용 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 18,000원
271 2022-12-08 10시 14시 6inch Spin 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 27,000원
272 2022-12-26 11시 12시 MET Spin 진행 예정 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 9,000원
273 2024-08-26 13시 14시 ICT 제품화 지원사업

silicon 1매 sic 1매		 주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 10,000원
274 2024-08-27 9시 10시 ICT 제품화 지원사업 주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 10,000원