PE-CVD - P5000 장비일지

기자재관리번호 : B0000055-092002-A0007
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-01-01 09시 10시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
2 2010-01-01 11시 12시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
3 2010-01-07 15시 17시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 180,000원
4 2010-01-09 11시 13시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 180,000원
5 2010-01-13 17시 18시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
6 2010-01-15 13시 14시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
7 2010-01-19 16시 18시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 180,000원
8 2010-01-22 13시 15시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 180,000원
9 2010-01-28 11시 12시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
10 2010-02-01 09시 10시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
11 2010-02-05 11시 14시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 270,000원
12 2010-02-09 11시 13시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 180,000원
13 2010-02-13 17시 18시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
14 2010-02-15 13시 14시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 90,000원
15 2010-02-19 16시 18시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 180,000원
16 2010-02-22 13시 16시 Oxide, Nitride Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 270,000원
17 2010-10-26 09시 11시 nit 5000a 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 160,000원
18 2010-12-08 09시 11시 Nitride 5000A 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 287,500원
19 2010-12-09 09시 11시 Nitride Dep. (5000A) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 187,500원
20 2010-12-13 10시 12시 PE-Nit 1600A (S1012-01) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 300,000원
21 2010-12-17 09시 11시 SiN Dep.(metal etch 용) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 212,500원
22 2010-12-27 13시 16시 Nitride 1600A (S1012-02) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 512,500원
23 2010-12-29 14시 16시 Nitride 3000A (S1012-01) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 250,000원
24 2011-01-21 16시 18시 6-4-1 Nitride depo. (S1012-02) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 287,500원
25 2011-02-11 13시 15시 SiN 3000A 5ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
26 2011-02-14 11시 12시 Al2O3 wet-etching_SiN 3000A 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 167,500원
27 2011-02-15 10시 11시 Al2O3 Wet etching_SiN 3000A 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 167,500원
28 2011-03-21 13시 16시 8인치 웨이퍼 상 nitride 형성 지엠티 박은화 1,000,000원
29 2011-03-23 14시 16시 7-4-1 Nitride depo. (S04-0221) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 325,000원
30 2011-04-05 09시 12시 8inch patterned wafer 반도체 박막 증착 공정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
31 2011-04-13 09시 12시 8" patterned wafer nitride 크린콜비지니스 신명환 1,000,000원
32 2011-04-13 14시 17시 8inch Patterned Wafer nitride 메이플세미컨덕터 정은식 1,000,000원
33 2011-04-27 13시 16시 8인치 patterned wafer nitride 메이플세미컨덕터 정은식 1,000,000원
34 2011-04-28 09시 12시 8인치 patterned wafer nitride 크린콜비지니스 신명환 1,000,000원
35 2011-05-02 09시 12시 8inch patterned wafer nitride (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
36 2011-05-07 09시 12시 8인치 patterned wafer nitride 증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
37 2011-05-09 09시 11시 7-4-1 Nitride Depo (S06-0331) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 325,000원
38 2011-05-09 13시 16시 8inch patterned wafer nitride 메이플세미컨덕터 정은식 1,000,000원
39 2011-05-13 10시 12시 Nitride 1000A depo 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 242,500원
40 2011-05-17 13시 16시 8" patterned wafer nitride 지엠티 박은화 1,000,000원
41 2011-05-19 13시 16시 8" patterned wafer nitride 엔씨케이(주) 신상순 1,000,000원
42 2011-05-23 13시 14시 6-5-1 Nitride depo. (S07a-0503) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 280,000원
43 2011-06-01 13시 16시 8inch patterned wafer nitride 제위드 대표자 조상호 1,000,000원
44 2011-06-02 13시 14시 8-5-3 Nitride Depo (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
45 2011-06-03 11시 13시 8-5-3 Nitride Depo. (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
46 2011-06-07 13시 16시 8inch patterned wafer nitride 제위드 대표자 조상호 1,000,000원
47 2011-06-08 09시 12시 8인치 patterned wafer nitride 엔씨케이(주) 신상순 1,000,000원
48 2011-06-08 09시 10시 6-5-1 Nitride Depo (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
49 2011-06-15 13시 16시 8inch patterned wafer nitride 엔씨케이(주) 신상순 1,000,000원
50 2011-06-17 09시 12시 8inch patterned wafer nitride (주)에이팸 조미옥 1,000,000원
51 2011-06-22 10시 11시 8-4-3 Nitride Depo. (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 175,000원
52 2011-06-29 10시 13시 Nitride depo Split_LED 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 572,500원
53 2011-07-04 09시 10시 6-5-1 Nitride depo (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 325,000원
54 2011-07-04 10시 11시 6-5-1 Nitride depo (S11-0526) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 250,000원
55 2011-07-07 15시 17시 8-4-3 Nitride depo (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
56 2011-07-18 13시 14시 6-5-1 Nitride Depo. (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 250,000원
57 2011-07-21 19시 20시 8-4-3 Nitride Depo (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 280,000원
58 2011-07-27 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
59 2011-08-16 17시 18시 6-5-1 Nitride depo. (S13-0620) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 467,500원
60 2011-08-17 17시 18시 6-5-1 Nitride depo (S14a-0725) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
61 2011-08-24 17시 19시 6-5-1 Nitride deopo (S18a-0809) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
62 2011-08-24 19시 21시 6-5-1 Nitride depo. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
63 2011-08-28 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
64 2011-08-30 13시 15시 8-4-3 Nitride depo. (S13-0620) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
65 2011-09-01 18시 19시 8-4-3 Nitride Depo. (S18a-0809) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
66 2011-09-02 17시 19시 8-4-3 Nitride depo (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
67 2011-09-10 09시 16시 8" patterned wafer nitride증착 (주)좋은램프 최근철 1,000,000원
68 2011-09-10 10시 14시 8" patterned wafer nitride증착 (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
69 2011-09-11 19시 22시 8" patterned wafer nitride 증착 제이케이이엔씨 김종규 1,000,000원
70 2011-09-16 09시 14시 8인치 patterned wafer nitride depo Thickness Uniformity: ±3%(3sigma) Side Step Coverage ≥ 65% @ Aspect Ratio 2.0 Pattern Bottom Step Coverage ≥ 80% @ Aspect Ratio 2.0 Pattern (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
71 2011-09-17 09시 14시 Patterned wafer nitride depo 제이케이이엔씨 김종규 1,000,000원
72 2011-09-20 08시 09시 4-4-3 Nitride depo (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 280,000원
73 2011-09-23 09시 11시 6-5-1 Nitride depo (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
74 2011-09-23 17시 19시 4-4-1 Nitride depo (S21-0909) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 392,500원
75 2011-09-27 15시 16시 6-5-1 Nitride depo (S21-0909) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
76 2011-10-04 15시 16시 4-4-3 Nitride depo (S17a-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 355,000원
77 2011-10-05 10시 11시 8-4-3 Nitride depo (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 280,000원
78 2011-10-06 12시 16시 8인치 patterned wafer nitride (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
79 2011-10-07 09시 15시 8inch patterned wafer nitride (주)좋은램프 최근철 1,000,000원
80 2011-10-10 09시 12시 8인치 patterned wafer nitride증착 제이케이이엔씨 김종규 1,000,000원
81 2011-10-11 09시 12시 8inch patterned wafer nitride증착 제이케이이엔씨 김종규 1,000,000원
82 2011-10-11 14시 15시 4-4-1 Nitride depo (S22-1004) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 467,500원
83 2011-10-14 13시 17시 8inch patterned wafer nitride (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
84 2011-10-17 13시 14시 6-5-1 Nitride depo (S22-1004) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 280,000원
85 2011-10-17 14시 15시 6-5-1 Nitride depo (S17a-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 467,500원
86 2011-10-18 13시 14시 4-4-3 Nitride depo (S25-1004) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 175,000원
87 2011-10-19 14시 15시 3-4-1 Nitride depo (S24-1013) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
88 2011-10-24 17시 18시 6-5-1 Nitride depo (S24-1013) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 212,500원
89 2011-10-27 20시 21시 6-5-1 Nitride depo (S26-1017) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
90 2011-11-01 15시 18시 8인치 patterned wafer nitride (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
91 2011-11-02 14시 18시 8" patterned wafer nitride (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
92 2011-11-03 14시 18시 8inch patterned wafer nitride 제이케이이엔씨 김종규 1,000,000원
93 2011-11-07 09시 12시 8inch patterned wafer nitride (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,100,000원
94 2011-11-09 13시 14시 SM02_Nitride depo 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
95 2011-11-15 09시 12시 8" patterned wafer nitride증착 팩토이엔씨 김영수 1,000,000원
96 2011-11-17 09시 12시 8inch patterned wafer nitride증착 저스트코퍼레이션 이병설 1,000,000원
97 2011-11-21 13시 16시 8inch patterned wafer nitride 저스트코퍼레이션 이병설 1,000,000원
98 2011-11-30 10시 18시 Al sputter 290A target Test 진행 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 572,500원
99 2011-12-02 09시 12시 8" patterned wafer nitride (주)셈크로 전태주 1,000,000원
100 2011-12-03 13시 16시 8인치 patterned wafer nitride 저스트코퍼레이션 이병설 1,300,000원
101 2011-12-06 13시 16시 8인치 patterned wafer nitride (주)셈크로 전태주 1,000,000원
102 2011-12-12 09시 12시 8inch patterned wafer nitride (주)셈크로 전태주 1,000,000원
103 2011-12-21 09시 12시 8인치 patterned wafer nitride증착 (주)유시스텍 최승훈 1,000,000원
104 2012-01-05 09시 12시 8인치 patterned wafer nitride 티엠에스 정명일 1,000,000원
105 2012-01-09 24시 03시 8인치 patterned wafer nitride (주)유시스텍 최승훈 1,000,000원
106 2012-04-02 15시 17시 절연막 증착 포항공과대학교 ITCE 박현진 120,000원
107 2012-06-15 16시 18시 Oxide, Nitride Dep LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,500,000원
108 2012-06-20 17시 19시 Oxide, Nitride Dep LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,500,000원
109 2012-09-13 11시 13시 산화막 증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 250,000원
110 2012-09-16 16시 18시 nitride (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
111 2012-09-25 11시 12시 Nitride 증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 500,000원
112 2013-03-20 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
113 2013-04-16 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
114 2013-05-16 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 3,350,000원
115 2013-06-17 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 3,350,000원
116 2013-07-04 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,030,000원
117 2013-08-05 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,030,000원
118 2013-09-24 12시 14시 ★파워솔루션 바우처 사용 건-9월달 1억에서 차감 해야 함★ 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 1,250,000원
119 2013-10-17 11시 13시 단위공정 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 1,250,000원
120 2013-11-18 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
121 2013-12-15 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
122 2014-01-15 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
123 2014-02-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
124 2014-03-16 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
125 2014-04-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
126 2014-05-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
127 2014-06-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
128 2014-07-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
129 2014-08-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
130 2014-09-30 17시 17시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
131 2014-10-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
132 2014-11-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
133 2014-12-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
134 2015-01-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
135 2015-02-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
136 2015-03-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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137 2015-04-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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138 2015-05-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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139 2015-06-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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140 2015-07-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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141 2015-08-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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142 2015-09-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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143 2015-10-14 9시 18시 PR ashing
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144 2015-11-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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145 2015-12-30 10시 10시 Oxide, Nitride Deposition
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146 2016-01-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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147 2016-02-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
148 2016-03-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 3,350,000원
149 2016-04-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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150 2016-05-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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151 2016-06-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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152 2016-07-14 9시 19시 Oxide, Nitride Deposition
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153 2016-08-14 16시 16시 Oxide, Nitride Deposition
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154 2016-09-14 1시 1시 Oxide, Nitride Deposition
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155 2016-10-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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156 2016-11-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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157 2016-12-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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158 2017-01-14 9시 18시 Oxide, Nitride Deposition
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159 2020-11-18 13시 14시 의뢰자 : 안수민 (010-3809-9409)
증착 물질 : SiNx 80 nm
국민대학교 화학과 고민지 120,000원