Sputter_ENDURA - 2 장비일지

 기자재관리번호 : B0000055-092005-A0004
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-01-01 10시 11시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 36,000원
2 2010-01-05 13시 15시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
3 2010-01-06 11시 13시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
4 2010-01-12 14시 16시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
5 2010-01-13 16시 17시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 36,000원
6 2010-01-15 11시 13시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
7 2010-01-20 09시 10시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 36,000원
8 2010-01-22 10시 11시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 36,000원
9 2010-01-26 14시 15시 BPSG ,PSG 농도 측정 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 36,000원
10 2010-02-05 13시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 108,000원
11 2010-02-06 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
12 2010-02-12 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
13 2010-02-13 16시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 36,000원
14 2010-02-15 11시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 108,000원
15 2010-02-22 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 72,000원
16 2010-03-24 10시 14시 8인치 웨이퍼 메탈 증착 지엠티 박은화 250,000원
17 2010-04-01 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
18 2010-04-05 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
19 2010-04-07 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
20 2010-04-09 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
21 2010-04-12 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
22 2010-04-15 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
23 2010-04-16 09시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
24 2010-04-19 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
25 2010-04-22 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
26 2010-04-23 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
27 2010-04-27 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
28 2010-07-02 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
29 2010-07-05 13시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
30 2010-07-06 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
31 2010-07-08 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
32 2010-07-09 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
33 2010-07-12 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
34 2010-07-14 13시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
35 2010-07-16 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
36 2010-07-21 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
37 2010-07-23 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
38 2010-07-27 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
39 2010-08-03 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
40 2010-08-05 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
41 2010-08-07 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
42 2010-08-09 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
43 2010-08-11 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
44 2010-08-13 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
45 2010-08-14 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
46 2010-08-16 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
47 2010-08-17 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
48 2010-08-23 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
49 2010-08-27 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
50 2010-09-01 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
51 2010-09-04 13시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
52 2010-09-07 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
53 2010-09-14 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
54 2010-09-17 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
55 2010-09-18 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
56 2010-09-19 13시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
57 2010-09-21 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
58 2010-09-23 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
59 2010-09-27 13시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
60 2010-09-30 13시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
61 2010-10-01 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
62 2010-10-04 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
63 2010-10-12 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
64 2010-10-14 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
65 2010-10-15 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
66 2010-10-18 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
67 2010-10-20 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
68 2010-10-22 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
69 2010-10-25 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
70 2010-10-26 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
71 2010-10-29 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
72 2010-11-03 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
73 2010-11-05 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
74 2010-11-07 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
75 2010-11-07 17시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
76 2010-11-09 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
77 2010-11-12 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
78 2010-11-14 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
79 2010-11-16 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
80 2010-11-18 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
81 2010-11-22 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
82 2010-11-25 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
83 2011-01-03 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
84 2011-01-06 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
85 2011-01-08 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
86 2011-01-09 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
87 2011-01-10 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
88 2011-01-12 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
89 2011-01-15 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
90 2011-01-25 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
91 2011-01-26 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
92 2011-01-27 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
93 2011-01-30 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
94 2011-02-02 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
95 2011-02-03 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
96 2011-02-07 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
97 2011-02-08 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
98 2011-02-11 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
99 2011-02-12 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
100 2011-02-18 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
101 2011-02-19 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
102 2011-02-20 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
103 2011-02-22 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
104 2011-02-28 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
105 2011-03-03 17시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
106 2011-03-06 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
107 2011-03-11 17시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
108 2011-03-19 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
109 2011-03-21 10시 13시 Patterned wafer 배선용 Al 박막을 증착함 지엠티 박은화 1,000,000원
110 2011-03-22 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
111 2011-03-25 17시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
112 2011-04-04 13시 16시 8" patterned wafer Al Depo (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,000,000원
113 2011-04-11 09시 13시 8인치 patterned 웨이퍼 Al증착 크린콜비지니스 신명환 1,000,000원
114 2011-04-12 13시 16시 8inch patterned wafer Al증착 메이플세미컨덕터 정은식 1,000,000원
115 2011-04-27 09시 12시 8inch patterned wafer Al증착 메이플세미컨덕터 정은식 1,000,000원
116 2011-05-04 09시 12시 8inch patterned wafer Al증착 메이플세미컨덕터 정은식 1,000,000원
117 2011-05-09 09시 12시 8" patterned wafer Al증착 지엠티 박은화 1,000,000원
118 2011-05-20 09시 12시 8인치 patterned wafer Al증착 지엠티 박은화 1,000,000원
119 2011-06-02 13시 16시 8inch patterned wafer Al증착 엔씨케이(주) 신상순 1,000,000원
120 2011-06-08 09시 12시 8inch patterned wafer Al증착 (주)에이팸 조미옥 1,000,000원
121 2011-06-18 09시 12시 8inch patterned wafer Al증착 (주)에이팸 조미옥 1,000,000원
122 2011-07-01 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
123 2011-07-03 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
124 2011-07-05 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
125 2011-07-14 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
126 2011-07-17 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
127 2011-07-18 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
128 2011-07-20 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
129 2011-07-22 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
130 2011-07-24 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
131 2011-07-29 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
132 2011-08-01 16시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
133 2011-08-04 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
134 2011-08-05 16시 19시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
135 2011-08-08 16시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
136 2011-08-11 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
137 2011-08-13 16시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
138 2011-08-15 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
139 2011-08-16 16시 19시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
140 2011-08-30 16시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
141 2011-08-31 16시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
142 2011-09-18 09시 15시 반도체 소자 제조공정 중 배선용 Al 박막을 증착함. (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
143 2011-09-19 09시 14시 8인치 patterned wafer Al증착 팩토이엔씨 김영수 1,000,000원
144 2011-10-18 10시 14시 8inch patterned wafer Al증착 (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 1,000,000원
145 2011-10-18 14시 18시 8inch patterned wafer Al증착 팩토이엔씨 김영수 1,000,000원
146 2011-11-14 16시 17시 2-4-1 Gate TiN depo (S27-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
147 2011-11-16 17시 18시 2-4-1 Gate TiN depo (S28-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
148 2011-11-17 13시 16시 8" patterned wafer Al증착 저스트코퍼레이션 이병설 1,000,000원
149 2011-11-18 13시 16시 8inch patterned wafer Al증착 팩토이엔씨 김영수 1,000,000원
150 2011-11-21 09시 10시 5-4-1 S/D Metal Depo_Ti (S27-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
151 2011-11-21 10시 11시 5-4-3 S/D Metal Depo_Al (S27-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
152 2011-11-21 11시 12시 5-4-5 S/D Metal Depo_TiN (S27-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 317,500원
153 2011-11-28 15시 12시 Al Sputter Dep Rate Test 진행 (DC Power 및 Dep Time 변경) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 640,000원
154 2011-11-29 12시 13시 2-4-1 Gate TiN depo (S30-1124) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
155 2011-11-29 15시 18시 Al Sputter 290 Target Test 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 212,500원
156 2011-12-02 09시 16시 Al Metal 증착 장비간 유의차 확인 Test 진행
-Ti dep 진행		 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 505,000원
157 2011-12-05 09시 11시 Al Metal 증착 장비간 유의차 확인
- TiN 증착		 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 325,000원
158 2011-12-12 10시 13시 SD metal depo & Photo_Ti/Al/TiN depo 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 850,000원
159 2011-12-19 12시 15시 7-4-1 FP Metal Depo_Ti/Al/TiN (S23-0928) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 550,000원
160 2011-12-19 15시 16시 5-4-1 Pre sputter (S28-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 362,500원
161 2011-12-19 16시 19시 5-5 S/D Metal depo_Ti/Al/TiN (S28-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 625,000원
162 2011-12-20 10시 16시 Ti Silicide 단위 공정 Test
- Ti Sputter 300A 진행 (Pre Clean 적용)		 (주)디엠에스 김성해 1,225,000원
163 2011-12-21 09시 12시 SD metal test_Ti/Al/TiN depo 12ea 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 1,000,000원
164 2011-12-21 12시 15시 5-4 S/D Metal depo_Ti/Al/TiN (S29-1114) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 887,500원
165 2011-12-21 15시 17시 5-5 S/D Metal depo_Ti/Al/TiN (S30-1124) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 887,500원
166 2012-01-02 14시 15시 2-4-1 Gate TiN Depo. 1000A 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 442,500원
167 2012-01-13 11시 13시 CMOS contact Etch test 진행
1-5-3. Barrier Metal sputter (Ti 300) , 선행 test 포함		 (주)디엠에스 김성해 355,000원
168 2012-01-13 11시 13시 CMOS contact Etch test 진행
1-5-3. Barrier Metal sputter (TiN 800) , 선행 test 포함		 (주)디엠에스 김성해 355,000원
169 2012-01-17 15시 17시 5-5-5 S/D Metal Depo. (TiN-300) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
170 2012-01-17 15시 17시 5-5-1 S/D Metal Depo. (Al-1200) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 430,000원
171 2012-01-17 15시 17시 5-5-1 S/D Metal Depo. (Ti) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 405,000원
172 2012-01-26 09시 12시 5-4-1 S/D Metal Depo (TI300,AL1200,TIN300) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 1,065,000원
173 2012-02-01 15시 18시 CMOS Metal Depo (주)디엠에스 김성해 730,000원
174 2012-02-02 15시 17시 2-4-1 Gate TiN Depo ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
175 2012-02-06 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
176 2012-02-06 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
177 2012-02-06 14시 15시 Ti 300 Depo. (주)디엠에스 김성해 235,000원
178 2012-02-06 15시 16시 Al 5000 Depo. (주)디엠에스 김성해 235,000원
179 2012-02-06 16시 17시 TiN 800 Depo. (주)디엠에스 김성해 235,000원
180 2012-02-07 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
181 2012-02-10 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
182 2012-02-15 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
183 2012-02-16 10시 12시 5-5-3 S/D Metal Depo. (Al-1200A) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
184 2012-02-16 10시 12시 5-5-1 S/D Metal Depo. (Ti-300A) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
185 2012-02-16 10시 12시 5-5-5 S/D Metal Depo. (TiN-300A) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
186 2012-02-17 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
187 2012-02-21 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
188 2012-02-21 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
189 2012-02-21 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
190 2012-02-22 17시 19시 7-4-5 FP Metal Depo. (TiN-300A) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
191 2012-02-22 17시 19시 7-4-3 FP Metal Depo. (Al-1200A) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
192 2012-02-22 17시 19시 7-4-1 FP Metal Depo. (Ti-300A) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
193 2012-02-23 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
194 2012-02-27 09시 12시 Ti 증착 (주)디엠에스 김성해 450,000원
195 2012-02-27 10시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
196 2012-02-27 10시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
197 2012-03-01 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
198 2012-03-02 12시 18시 Barrier Metal Sputter
Al 5000A 5ea
Ti 2000A 5ea
TiN 2000A 5ea
Ti 300A/TiN 800A 10ea		 나노융합기술원 공정기술팀 김수곤 0원
199 2012-03-06 11시 14시 Metal 1 Sputter
Ti300/Al5000/Ti300/TiN800		 나노융합기술원 공정기술팀 김수곤 0원
200 2012-03-06 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
201 2012-03-07 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
202 2012-03-08 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
203 2012-03-08 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
204 2012-03-12 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
205 2012-03-13 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
206 2012-03-14 10시 12시 8인치 TiN 2000A 증착 5장 요청 포항공과대학교 화학공학과 원동찬 450,000원
207 2012-03-14 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
208 2012-03-20 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
209 2012-03-20 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
210 2012-03-21 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
211 2012-04-05 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
212 2012-04-06 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
213 2012-04-13 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
214 2012-04-17 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
215 2012-04-18 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
216 2012-04-18 14시 17시 , TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
217 2012-04-18 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
218 2012-04-18 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
219 2012-04-19 14시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
220 2012-04-26 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
221 2012-04-26 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
222 2012-05-22 11시 14시 Al 증착 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 600,000원
223 2012-06-06 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
224 2012-06-06 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
225 2012-06-14 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
226 2012-06-14 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
227 2012-06-15 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
228 2012-06-20 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
229 2012-06-21 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
230 2012-06-21 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
231 2012-06-27 15시 18시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
232 2012-06-27 15시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
233 2012-06-29 15시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
234 2012-07-03 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
235 2012-07-04 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
236 2012-07-04 11시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
237 2012-07-05 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
238 2012-07-10 11시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
239 2012-07-17 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
240 2012-07-18 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
241 2012-07-20 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
242 2012-07-23 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
243 2012-07-24 11시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
244 2012-07-26 11시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
245 2012-08-01 14시 15시 1-5-1 MESA Gate Metal Depo. Ti 300A / TiN 1000A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 220,000원
246 2012-08-06 12시 13시 2-2-2 Gate Metal Depo. Ti 300A + Al 10000A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 190,000원
247 2012-09-03 09시 11시 Al 증착(3000A) 엠프리시젼 문우영 600,000원
248 2012-09-03 13시 14시 Ti 증착 (1000A) 엠프리시젼 문우영 500,000원
249 2012-09-06 14시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
250 2012-09-19 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
251 2012-09-20 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 675,000원
252 2012-09-21 14시 19시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 675,000원
253 2012-09-22 11시 12시 Al 증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 500,000원
254 2012-09-24 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
255 2012-09-25 14시 15시 Al 증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 500,000원
256 2012-09-26 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
257 2012-09-27 12시 14시 Al 증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 500,000원
258 2012-10-16 11시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 1,080,000원
259 2012-10-23 12시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 1,215,000원
260 2012-10-23 18시 20시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
261 2012-10-26 11시 13시 3-6-1 Gate Metal Depo.
TiN 1000A : 40,000원/1000A		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
262 2012-11-01 14시 15시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. TiN Sputtering 1000A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 390,000원
263 2012-11-06 09시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
264 2012-11-13 09시 10시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
265 2012-11-13 18시 20시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
266 2012-11-15 09시 10시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
267 2012-11-20 09시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
268 2012-11-20 09시 15시 0-2-1 MET1 Sputter Al30000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 1,600,000원
269 2012-11-20 18시 19시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
270 2012-11-21 09시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
271 2012-11-23 09시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
272 2012-11-23 09시 11시 TiN 실습 Test 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 400,000원
273 2012-11-23 09시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
274 2012-11-26 09시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
275 2012-11-26 09시 11시 7-4-1 MET2 Sputter 진행
Al Thickness 30000A
(Al 10000A 기본가)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 550,000원
276 2012-11-26 09시 10시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 135,000원
277 2012-11-29 13시 14시 1-4-3 Metal Sputter
TiN 1000A 증착
(TiN 500A 당 40000원)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
278 2012-12-06 10시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 675,000원
279 2012-12-08 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
280 2012-12-11 10시 11시 SiC 과제 관련
Al 3um Step coverage 평가 (Al Sputter 진행)
1um 기준 50000원		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 250,000원
281 2012-12-13 10시 12시 SiC_Metal test 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 700,000원
282 2012-12-13 10시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 945,000원
283 2012-12-17 09시 11시 특성화고 교육 진행 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 500,000원
284 2012-12-17 10시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 675,000원
285 2013-01-17 14시 17시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
286 2013-01-18 14시 19시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 675,000원
287 2013-01-21 16시 18시 7-4-1. MET2 Depo
Al 40000A 증착
(Al 10000A 기본 50000원, 장당 200000원)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 700,000원
288 2013-01-22 10시 13시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
289 2013-01-22 10시 14시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 540,000원
290 2013-01-23 09시 11시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 270,000원
291 2013-01-23 12시 15시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 405,000원
292 2013-01-28 14시 16시 0-2-1 MET1 Depo. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 600,000원
293 2013-02-04 07시 12시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 675,000원
294 2013-02-12 11시 13시 3-6-1 Gate TiN depo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
295 2013-02-14 09시 10시 3-6-1. Gate Metal Depo
TiN Sputter		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
296 2013-02-15 08시 16시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 1,080,000원
297 2013-02-15 14시 15시 1st IMD Thermal Damage Test
0-4-1. Gate Metal Depo		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
298 2013-02-21 13시 20시 Ti, TiN , Ti/Ni/Ag Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 945,000원
299 2013-02-26 16시 18시 7-4-1 MET2 Depo_Metal sputter LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,100,000원
300 2013-03-06 10시 14시 Al 3um 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
301 2013-03-10 11시 15시 Al 3um 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
302 2013-03-10 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 3,340,000원
303 2013-03-26 16시 20시 3-6-1 Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 370,000원
304 2013-04-04 20시 22시 0-1-1 Gate Metal Depo. TiN 1000A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
305 2013-04-16 13시 17시 3-6-1 Gate Metal Depo. Sputter-3 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 410,000원
306 2013-04-18 20시 2시 7-4 M2OP MET2 Depo.(5매 제외) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
307 2013-04-21 9시 18시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 이시원 3,340,000원
308 2013-05-08 16시 18시 3-6-1 RCSS Gate Metal Eepo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 330,000원
309 2013-05-09 15시 17시 Al 1um 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 240,000원
310 2013-05-10 15시 21시 7-4-2 M2OP MET2 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,430,000원
311 2013-05-21 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 3,340,000원
312 2013-06-04 12시 14시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
313 2013-06-11 16시 18시 2-6-1 RCSS Gate Metal Depo.
TiN 1000A : 5매
TiN 300A : 2매
 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 460,000원
314 2013-06-18 15시 18시 7-4-2 MET2 Depo. Al 4um LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 730,000원
315 2013-06-21 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 3,340,000원
316 2013-06-26 11시 13시 7-4-2 M2OP MET2 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 930,000원
317 2013-07-05 13시 15시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 370,000원
318 2013-07-12 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,030,000원
319 2013-07-13 10시 18시 Al 2.5um 5매 진행 탑나노임프린팅 연구소 김상희 850,000원
320 2013-07-18 15시 18시 7-4-2 MET2 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 930,000원
321 2013-07-26 15시 17시 5-6-1 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 210,000원
322 2013-08-12 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,030,000원
323 2013-08-14 15시 20시 7-4-1 M2OP Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,530,000원
324 2013-08-29 11시 13시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 370,000원
325 2013-09-11 11시 16시 7-4-2 M2OP MET2 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,300,000원
326 2013-09-12 12시 15시 Al 1um 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 170,000원
327 2013-09-12 9시 12시 Al 1um 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 170,000원
328 2013-09-21 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 3,030,000원
329 2013-10-24 11시 13시 단위공정(뒷면 메탈 데포)완료 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 1,250,000원
330 2013-10-30 14시 16시 단위공정(메탈증착)완료 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 1,200,000원
331 2013-11-01 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
332 2013-11-06 9시 14시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 330,000원
333 2013-11-19 14시 20시 7-4-1 MET2 Depo. Al 4um LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 1,130,000원
334 2013-11-28 14시 17시 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 330,000원
335 2013-12-11 10시 12시 Al 1um 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 170,000원
336 2013-12-19 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
337 2013-12-20 10시 14시 7-4-1 MET2 Depo. Al 4um LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 0원
338 2014-01-19 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
339 2014-01-23 17시 19시 3-5-1 MET1 Sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 460,000원
340 2014-02-04 12시 14시 2-5-1 MET Sputter, Al 3um 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 490,000원
341 2014-02-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
342 2014-03-04 9시 10시 AAO-1 : Ti/Al= 300A/2um
AAO-2 : TiN/Al = 1000A/2um		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 296,000원
343 2014-03-13 10시 18시 Ti 300A + Al 2um
TiN 1000A + Al 2um		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 595,000원
344 2014-03-20 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
345 2014-04-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
346 2014-05-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
347 2014-06-17 9시 11시 8-7-1 MET1 Sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 235,000원
348 2014-06-18 13시 14시 2-2-1 Sputter al 1um 150,000원
349 2014-06-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
350 2014-06-23 9시 12시 Silicide 3매 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 250,000원
351 2014-06-26 11시 12시 2-2-1 Metal Depo. 200,000원
352 2014-07-07 15시 17시 Silicide (7/2) 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 150,000원
353 2014-07-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
354 2014-07-22 10시 12시 Silicide 5매(18일4매, 22일 1매, 총2회 진행) 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 350,000원
355 2014-08-04 9시 12시 Slicide 1매(7/24), 1매(7/31) 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 200,000원
356 2014-08-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
357 2014-08-25 11시 12시 9-2-1 contact metal 1 sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 550,000원
358 2014-08-29 15시 15시 SC33_Metal Depo
3.3um 진행 (50000A 당 50000원)
1매 선행 포함 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 660,000원
359 2014-09-01 13시 15시 Silicide 90sec *3매(8/25),
 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 250,000원
360 2014-09-02 10시 12시 Silicide 90sec * 1매 (8/26) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
361 2014-09-02 13시 15시 Silicide 90sec *1매 (8/27) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
362 2014-09-18 9시 18시 Oxide Nitride Thickness 측정
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 7,950,000원
363 2014-09-30 15시 18시 9-2-1 met1 sputter 33000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 450,000원
364 2014-10-13 15시 17시 2-2-1 metal depo
Al 1um (선행 포함) 5장 진행		 390,000원
365 2014-10-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
366 2014-10-22 13시 15시 Silicide 2매 (10/2) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
367 2014-10-24 13시 15시 Silicide 2매 (10/21) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
368 2014-10-24 17시 18시 Silicide 1매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
369 2014-10-24 9시 10시 Silicide 1매 (9/25) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
370 2014-10-27 13시 16시 Silicide 3매 (10/23) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
371 2014-10-27 9시 10시 Silicide 1매 (10/22) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
372 2014-10-30 13시 14시 9-2-1 MET1 Sputter
Metal Sputter Al 13000A
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 310,000원
373 2014-11-12 11시 12시 Silicide 90sec 1매 (11/5) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
374 2014-11-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
375 2014-11-26 16시 17시 Silicide 90sec 1매(11/24) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
376 2014-11-28 18시 19시 9-2-1 MET1 Sputter
Al 330000A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 345,000원
377 2014-12-01 10시 12시 Silicide 90sec 2매 (11/25) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
378 2014-12-05 15시 17시 Silicide 90sec 2매(11/28) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
379 2014-12-05 17시 18시 Silicide 90sec 1매 (12/2) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
380 2014-12-09 16시 19시 9-2-1 Metal Sputter
AL 33000A Depo		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 310,000원
381 2014-12-12 13시 14시 Silicide 90sec*2매 (11/28) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
382 2014-12-12 14시 15시 Silicide 90sec*1매(12/2) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
383 2014-12-12 15시 17시 Al 10000A 증착 290,000원
384 2014-12-17 11시 12시 Silicide 90sec*2매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
385 2014-12-17 13시 14시 Silicide 90sec*1매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
386 2014-12-18 12시 14시 9-2-1 Metal Sputter
Al 33000A 2매 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 310,000원
387 2014-12-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
388 2014-12-24 15시 16시 Silicide 90sec 1매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
389 2014-12-24 17시 18시 Silicide 90sec 2매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
390 2014-12-26 15시 16시 Silicide 90sec 1매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 150,000원
391 2014-12-26 17시 18시 Silicide 90sec 4매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 300,000원
392 2014-12-29 15시 16시 Silicide 90sec 2매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
393 2014-12-29 17시 18시 Silicide 90sec 2매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
394 2014-12-30 17시 18시 9-2-1 MET1 Sputter
Al 33000A 증착 (선행 포함)		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 415,000원
395 2015-01-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
396 2015-02-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
397 2015-03-04 10시 12시 2-2-1 Metal Depo Al 1um (선행 TEST 포함) 410,000원
398 2015-03-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
399 2015-04-07 16시 18시 2-2-1 metal depo al 1um 310,000원
400 2015-04-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
401 2015-04-27 17시 19시 2-2-1 Metal Depo Sputter Al(Si0.8%), thick 1㎛ 57sec 선행 1매 + 본장 2매
TE connectivity R&D 박봉현 310,000원
402 2015-05-08 15시 16시 silicide 90sec*4매 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 200,000원
403 2015-05-14 16시 17시 silicide 90sec*4매 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 200,000원
404 2015-05-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
405 2015-05-21 15시 16시 silicide 90sec 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 150,000원
406 2015-05-22 15시 17시 silicide 90sec/120sec 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 400,000원
407 2015-05-26 13시 15시 silicide 90sec 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 400,000원
408 2015-05-28 13시 14시 silicide 90sec 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 250,000원
409 2015-06-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
410 2015-06-19 10시 11시 silicide 90 sec * 3매 진행
SIC wafer 975도 90초		 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 150,000원
411 2015-06-22 13시 14시 silicide 90sec
950도 90초 진행		 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 200,000원
412 2015-06-23 9시 10시 silicide 90sec
975도 90초 진행		 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 300,000원
413 2015-07-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
414 2015-08-10 10시 13시 3-6-1 Gate metal depo Tin 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 276,000원
415 2015-08-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
416 2015-08-28 10시 12시 7-4-2 MET1 Sputter Al 40000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 520,000원
417 2015-09-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
418 2015-10-15 15시 17시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. TiN Sputter Tin 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 244,000원
419 2015-10-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
420 2015-10-20 13시 14시 3-2-1 Metal
Metal Depo Al 1um		 310,000원
421 2015-11-11 14시 16시 10-4-2 MET2 Depo. T04 선행, Recipe: NCNT Ch1 Al 30K, Al 목표두께: 30,000A,
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 475,000원
422 2015-11-12 9시 17시 1-1-1 Metal Depo Al 30000A/ Ti 1000A / TiN1000A / (TI/AL/TI/TIN 100/15000/100/300 )
Al 3회 x4 = 600,000
Ti 1000A x2회 : 100,000
Tin 1000Ax2회 : 100,000
Ti/AL/Ti/TIN x10회 : 2,500,000

Total : 3,300,000+ 기본료 100,000 = 3,400,000 		(주) 이너센서 이너센서 강문식 0원
423 2015-11-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
424 2015-12-09 9시 13시
1-1-1 Metal Depo (TI/AL/TI/TIN 100/15000/100/300 )
 (주) 이너센서 이너센서 강문식 0원
425 2015-12-10 13시 14시 Silicide 5매 (11/19) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 250,000원
426 2015-12-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
427 2015-12-29 10시 11시 Silicide (11/26) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 400,000원
428 2015-12-29 11시 12시 Silicide 12매 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 600,000원
429 2015-12-29 13시 14시 Silicide (12/10) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 200,000원
430 2016-01-28 14시 14시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
431 2016-02-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
432 2016-03-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
433 2016-04-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
434 2016-05-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
435 2016-06-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
436 2016-07-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
437 2016-08-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
438 2016-09-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
439 2016-10-18 17시 17시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
440 2016-11-30 18시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
441 2016-12-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
442 2017-01-18 9시 18시 Ti, TiN Deposition
 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 3,340,000원
443 2017-03-08 13시 14시 SiC 과제 관련 Metal depo
Al 4장 (장당 4회)
한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 800,000원
444 2017-07-19 10시 17시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,180,000원
445 2017-07-24 14시 15시 * 설비 Test (DF04)

이전진행 내역 : DHF

진행할 공정 : Ti Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
446 2017-07-25 11시 13시 * 설비 Test (DF04)

이전진행 내역 : Metal Wet etch

진행할 공정 : Al Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
447 2017-07-26 10시 11시 * 설비 Test (DF04)

이전진행 내역 : DHF

진행할 공정 : Back Metal Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
448 2017-08-02 16시 17시 * 샘플제작 (1차)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Metal Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
449 2017-08-07 14시 15시 * 샘플제작 (1차)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Metal Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
450 2017-08-09 17시 18시 * Rework (1차 샘플)

이전공정내역 : EKC

진행요청공정 : Metal Depo. 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
451 2017-08-09 18시 19시 * 샘플제작 (1차)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Back metal		 테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
452 2017-08-10 10시 11시 * 샘플제작 (1차)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Back Metal 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
453 2017-08-16 15시 16시 * 샘플제작 (2차)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Metal Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
454 2017-08-17 15시 16시 * 샘플제작 (2차)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Metal Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
455 2017-08-17 17시 18시 * 설비 Test (Al Depo Test)

이전공정내역 : DHF

진행요청공정 : Metal Depo 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
456 2018-03-09 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
457 2018-04-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
458 2018-05-02 14시 15시 상부 TiN 전극을 100nm가량 증착하고 싶습니다.
sample이 조각된 상태이고, 수백um의 지름을 가진 mask를 이용하고자 합니다.		 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 68,000원
459 2018-05-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
460 2018-06-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
461 2018-07-06 10시 12시 Al 3um sputter 6장 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 675,000원
462 2018-07-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
463 2018-08-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
464 2018-09-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
465 2018-09-10 9시 10시 Ti/Al/Ti/TiN 100/1000/200/300 A (WF: 03 ~06) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 644,000원
466 2018-09-12 10시 11시 endura metal etch
Ti/Al/Ti/TiN		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 228,000원
467 2018-09-12 13시 14시 Endural TiN 물성 평가
TiN 1000A, 100A 8장		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 732,000원
468 2018-09-12 14시 15시 SS04 : Ti 100/ Al 1000/ Ti 200/ TiN 300 6매 (Ar:N2 = 30:40) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 724,000원
469 2018-09-12 15시 16시 Endura Test

Ti/Al/Ti/TiN = 300/30000/300/500 5매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,020,000원
470 2018-09-12 9시 10시 Endura Metal etch test
Ti,Al,TiN 1000A		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 228,000원
471 2018-09-13 10시 12시 SS06

Ti/Al/Ti/TiN = 100/1000/200/300		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 210,000원
472 2018-09-13 13시 14시 Lot ID: U-PC-ETCH

TiN = 1000 A 1매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 120,000원
473 2018-09-14 10시 11시 TiN = 1000 A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 292,000원
474 2018-09-17 10시 11시 Endura test Al : 9000 W / 20 sec 1매

11500 W 20 /sec 1매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 274,000원
475 2018-09-17 17시 19시 Endura test : TiN 1000A x 3 ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 196,000원
476 2018-09-18 10시 12시 Endura TEST

Ti 200 A ( 1500 W )
Al 6000 W, 4000 W 20 sec
TIN 300 A

Wafer : 4장		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 704,000원
477 2018-09-18 13시 14시 TiN : Ar:N2=30:30 4 sec 1매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 179,000원
478 2018-09-18 15시 16시 TiN 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 228,000원
479 2018-09-20 9시 10시 Al Depo TEST

9000 W , 7 sec 1000 A
6000 W, 9 sec 1000 A
12000 W , 6 sec, Ar 1/2 1000 A
 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
480 2018-09-21 10시 12시 SS08
TiN ( 30 : 40 ) = 1000 A x 6 매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 292,000원
481 2018-09-28 13시 14시 Endura TEST
Al 1000 W, 12 sec 1000 A
Al 3000 W, 15 sec 1000 A		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 274,000원
482 2018-10-01 13시 14시 TiN (30:40) 51 sec, 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 356,000원
483 2018-10-01 9시 12시 TiN (30:40) 51 sec, 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 356,000원
484 2018-10-05 10시 11시 SS11

TiN 1000 A		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 228,000원
485 2018-10-05 12시 14시 ss08

Ti/Al/Ti/TiN = 100/1000/200/300 A x6매 		삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 868,000원
486 2018-10-05 15시 17시 Metal etch rate test 6매

Ti : 500 A x 2매
TiN : 500 A x 2매
Al : 10000 A x 2매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 574,000원
487 2018-10-05 17시 18시 Al 1000

6000W, 100 C test		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 140,000원
488 2018-10-08 13시 14시 Ti : 1000 A x2
TiN : 1000 A x2
Al : 50000 A x2

SS etch test		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 910,000원
489 2018-10-08 9시 12시 Ti/Al/Ti/TiN 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,124,000원
490 2018-10-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
491 2018-10-11 16시 17시 Metal1 depo 4장 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 612,000원
492 2018-10-12 16시 17시 SS11
Metal1 depo
Ti/Al/Ti/TiN		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 612,000원
493 2018-10-15 10시 14시 Thick wafer test

Ti/TiN/Al/TiN = 250 A /250 A/5 um/ 250 A
 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,028,000원
494 2018-10-15 14시 17시 SS test

STD wafer TiN x 5매 8000W 9000W		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 510,000원
495 2018-10-18 9시 12시 Ti/ TiN / Al / TiN = 250 A / 250 A / 5 um / 250 A

2매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 556,000원
496 2018-10-19 10시 14시 SS12

TiN Depo
W1,3,5 = 8000 W, 1000 A + test wafer 2매
W2,4,6 = 9000 W, 1000 A + test wafer 2매
 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 420,000원
497 2018-10-19 16시 18시 SS13

W4 : Ti/Al/Ti/TiN 100/1000/200/300
W2,5: Ti/Al/Ti/TiN 200/1000/200/300
W3,6: Ti/Al/TiN 300/1200/300		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 620,000원
498 2018-10-19 18시 20시 SS test

Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/5um/250 x2 매

Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x2 매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,060,000원
499 2018-10-31 13시 18시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 620,000원
500 2018-11-05 9시 15시 Ti/TiN/Al/TiN 250/250/50000/250 A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 892,000원
501 2018-11-12 13시 16시 SS14-1

W07 : Ti/Al/Ti/TiN

W08 : Ti/Al/Ti/TiN		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 268,000원
502 2018-11-12 16시 18시 SS module test

TiN (600 A) * 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 228,000원
503 2018-11-12 18시 20시 SS module test

Ti/Al/Ti/TiN = x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 412,000원
504 2018-11-12 9시 13시 TiN 1000 A

SS17 : WF 1 3 6 7 8		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 260,000원
505 2018-11-13 12시 16시 SS18

Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 412,000원
506 2018-11-13 9시 12시 SS10-1

Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/2.5um/250 x 2매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 460,000원
507 2018-11-14 10시 14시 TiN 1000 A 51s x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 292,000원
508 2018-11-15 9시 14시 Ti/Al/Ti/TiN 200/1000/200/300 x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 620,000원
509 2018-11-19 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
510 2018-11-20 9시 14시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5um/250 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 412,000원
511 2018-11-21 15시 18시 TiN = 500 A
Al/TiN = 4000 A / 300 A x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 289,000원
512 2018-11-22 9시 15시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 724,000원
513 2018-11-23 9시 15시 W2.4.6.5 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 516,000원
514 2018-11-26 9시 15시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
515 2018-11-27 10시 13시 TiN = 1000 A , 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
516 2018-11-27 13시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5um/250 x5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 620,000원
517 2018-11-27 17시 19시 TiN = 1000 A , 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 356,000원
518 2018-11-27 9시 11시 Ti/Al/Ti/TiN =200/1000/200/300 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
519 2018-11-28 16시 11시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5um/250 x4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 516,000원
520 2018-12-04 9시 12시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
521 2018-12-05 9시 13시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 932,000원
522 2018-12-06 13시 16시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 516,000원
523 2018-12-06 9시 13시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/5um/250 x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 562,000원
524 2018-12-07 13시 15시 TiN/Al/TiN = 500/4000/300 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 352,000원
525 2018-12-07 9시 12시 Al 5000 x1 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 135,000원
526 2018-12-11 10시 14시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5um/250 x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 820,000원
527 2018-12-11 14시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5um/250 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
528 2018-12-12 13시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 3매 - CH3
Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 3매 - CH2		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 724,000원
529 2018-12-13 14시 17시 TiN 1000 A x 4매
TiN/Al/TiN x 2매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 364,000원
530 2018-12-13 9시 14시 TiN 500 A x 5매
Al/TiN 4000/300 x 5매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 460,000원
531 2018-12-14 10시 13시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
532 2018-12-14 15시 17시 TiN = 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 180,000원
533 2018-12-17 9시 14시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 884,000원
534 2018-12-18 14시 18시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x6 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,444,000원
535 2018-12-19 15시 18시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 724,000원
536 2018-12-19 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
537 2018-12-19 9시 12시 TiN = 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 292,000원
538 2018-12-20 9시 12시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5um/250 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 412,000원
539 2018-12-24 10시 16시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,444,000원
540 2018-12-26 11시 16시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5/250 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 412,000원
541 2018-12-26 16시 19시 TiN 1000 A x 3매
TiN/Al/TiN 500/4000/300 x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 373,000원
542 2018-12-27 9시 16시 Ti/Al/Ti/TiN 200/1000/200/300 x 10매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,140,000원
543 2018-12-28 10시 16시 TI 1000 / TiN 100 / Al 4 um LG전자 ICS팀 김기민 1,052,000원
544 2018-12-28 16시 19시 TiN = 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 356,000원
545 2019-01-03 15시 19시 TiN = 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
546 2019-01-07 14시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 2매 300C 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 275,000원
547 2019-01-08 13시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매
 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
548 2019-01-09 9시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 660,000원
549 2019-01-10 14시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
550 2019-01-10 9시 12시 TiN 1000 A x 3매
TiN/Ti/Al/Ti/TiN 500/100/4000/100 x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 457,000원
551 2019-01-14 10시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/0.5/250 x 4매

Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,330,000원
552 2019-01-16 15시 17시 TiN = 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
553 2019-01-18 11시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
554 2019-01-18 17시 18시 TiN 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
555 2019-01-18 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
556 2019-01-21 13시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = Split x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
557 2019-01-21 17시 18시 TiN = 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
558 2019-01-21 9시 12시 Ti/Al/Ti/TiN x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
559 2019-01-23 15시 17시 1. Wafer information
- Si / SiO2 100nm Deposition wafer

2. Metal film request
- Ti 100nm 1ea
- TiN 100nm 1ea
- Al-Si 100nm 1ea
- Total 3ea		 주식회사 에이프로세미콘 소자개발팀 배석태 220,000원
560 2019-01-23 9시 12시 TiN 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
561 2019-01-24 13시 18시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
562 2019-01-25 14시 18시 Ti 200 / Al 1000 / Ti 200/ TiN 300 x 1매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 184,000원
563 2019-01-28 12시 15시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 352,000원
564 2019-01-28 15시 18시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
565 2019-01-28 9시 12시 TiN 1000 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 184,000원
566 2019-01-30 16시 18시 tiN 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
567 2019-01-31 10시 18시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
568 2019-02-01 11시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x8 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 150,000원
569 2019-02-07 10시 12시 TiN, Al-Si, Ti 각 100nm 증착 총 3매 입니다.
자세한 정보는 Wafer와 함께 동봉하였습니다.		 주식회사 에이프로세미콘 소자개발팀 배석태 220,000원
570 2019-02-07 14시 17시 TiN 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
571 2019-02-08 13시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 4매만 청구 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
572 2019-02-11 14시 18시 TiN 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 268,000원
573 2019-02-11 18시 20시 M0 : Ti/Al/Ti/TiN x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
574 2019-02-11 9시 12시 Ti/Al/Ti/TiN = 400/2000/400/300 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 585,000원
575 2019-02-13 13시 18시 M1 : Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
576 2019-02-13 9시 11시 TiN = 1000 A x 6 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
577 2019-02-14 14시 18시 TiN = 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
578 2019-02-19 12시 18시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 4매

Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,150,000원
579 2019-02-19 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
580 2019-02-22 18시 21시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
581 2019-02-22 21시 23시 TiN = 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
582 2019-02-22 9시 18시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1.2um/250 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 910,000원
583 2019-02-25 17시 18시 Ti/Al/Ti = 100/2000/500 x 5매 삼성전자 종합기술원 한주헌 482,500원
584 2019-02-25 9시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1.2um/250 x8 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
585 2019-02-26 10시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1.2um/250 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 640,000원
586 2019-02-27 9시 16시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1.2um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
587 2019-02-28 11시 15시 TiN = 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
588 2019-03-04 9시 13시 TiN 1000 A x 8 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
589 2019-03-05 9시 15시 TiN 1000 A x 8 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
590 2019-03-06 10시 14시 M0 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
591 2019-03-07 10시 13시 TiN 1000 x 4매

Ti/Al/Ti/TiN = 400/2000/400/300 x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 576,000원
592 2019-03-07 14시 16시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
593 2019-03-08 10시 13시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
594 2019-03-11 10시 15시 M1 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
595 2019-03-11 15시 16시 Al 4 um x 2 매 LG전자 ICS팀 김기민 480,000원
596 2019-03-12 10시 12시 TiN 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
597 2019-03-12 12시 14시 TiN 1000 x 1매

Ti/Al/Ti/TiN = 400/2000/400/300 x 1매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
598 2019-03-13 10시 13시 M1 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
599 2019-03-15 10시 15시 M1 x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,045,000원
600 2019-03-18 10시 13시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
601 2019-03-18 12시 14시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
602 2019-03-19 10시 13시 Al 4 um x 4매 LG전자 ICS팀 김기민 860,000원
603 2019-03-19 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
604 2019-03-20 11시 14시 M1 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
605 2019-03-20 15시 16시 TiN 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
606 2019-03-25 14시 18시 M1 : Ti/TiN/Al/TiN x 8매 250/250/1.2um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
607 2019-03-25 9시 11시 TiN x 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
608 2019-03-26 10시 11시 TiN 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 324,000원
609 2019-03-26 12시 14시 Al 1.2 um x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 814,000원
610 2019-03-26 15시 18시 Ti/Al/Ti/TiN 400/2000/400/300 x8 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
611 2019-03-27 13시 18시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
612 2019-03-27 9시 11시 Ti/Al/Ti/TiN = 400/2000/400/300 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
613 2019-03-28 13시 14시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
614 2019-03-28 15시 18시 TiN 1000 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
615 2019-04-01 13시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1.2/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
616 2019-04-02 10시 12시 Al 2 um x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 380,000원
617 2019-04-02 13시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
618 2019-04-02 16시 18시 Ti/Al/Ti = 200/2000/5000 x 12 매 삼성전자 종합기술원 한주헌 964,000원
619 2019-04-02 9시 10시 TiN = 1000 A , 8 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
620 2019-04-05 10시 12시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1.2/250 x8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,180,000원
621 2019-04-05 12시 15시 TI/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
622 2019-04-05 15시 18시 TiN 1000 x 6매
Ti/Al/Ti/TiN 400/2000/400/300 x6매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 814,000원
623 2019-04-08 10시 12시 Al 4 um LG전자 ICS팀 김기민 290,000원
624 2019-04-09 10시 12시 Ti/Al = 500/2000 A LG전자 ICS팀 김기민 185,500원
625 2019-04-09 12시 13시 Ti/Al/Ti/TIN = 200/1000/200/300 x8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
626 2019-04-09 12시 13시 TiN x 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
627 2019-04-10 11시 13시 AL 2000 A LG전자 ICS팀 김기민 147,500원
628 2019-04-10 15시 16시 Ti/Al 500/2000 A LG전자 ICS팀 김기민 185,500원
629 2019-04-12 11시 14시 Ti/Al/Ti/TiN 200/1000/200/300 x8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
630 2019-04-15 11시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
631 2019-04-16 11시 19시 Ti/TiN/Al/TiN 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
632 2019-04-17 11시 12시 TiN 1000 A 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
633 2019-04-17 12시 14시 M0 200/1000/200/300 x8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
634 2019-04-17 14시 15시 M0 200/1000/200/300 x8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
635 2019-04-17 15시 16시 tiN 1000 A 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 324,000원
636 2019-04-19 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
637 2019-04-22 8시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
638 2019-04-23 10시 11시 Ti 50 A / Al 3000 A x 2매 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 280,000원
639 2019-04-23 15시 17시 TiN 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
640 2019-04-25 14시 17시 Ti/Al/Ti/TiN 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
641 2019-04-25 17시 20시 TiN 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
642 2019-04-29 11시 17시 Ti/TiN/Al/TiN 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
643 2019-04-29 17시 19시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
644 2019-04-29 19시 19시 TiN = 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
645 2019-04-30 14시 17시 TiN = 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
646 2019-05-02 15시 17시 Ti/Al/Ti/TiN 400/2000/400/300 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
647 2019-05-03 17시 18시 TiN 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 268,000원
648 2019-05-03 8시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
649 2019-05-08 14시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 400/2000/400/300 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
650 2019-05-08 17시 19시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
651 2019-05-08 9시 14시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
652 2019-05-09 11시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,276,000원
653 2019-05-14 15시 18시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
654 2019-05-15 12시 18시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x7 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,570,000원
655 2019-05-17 10시 17시 Ti/TiN/Al/TiN 250/250/4um/250 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
656 2019-05-20 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
657 2019-05-21 10시 13시 gate TiN 1000 A x 6 매

Ti/Al/Ti/TiN=400/2000/400/300 x 6 매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 785,000원
658 2019-05-21 13시 16시 M0 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
659 2019-05-24 10시 17시 TiN 1000 x 8 매

Ti/Al/Ti/TiN 400/2000/400/300 x4 매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 830,000원
660 2019-06-04 13시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 400/2000/400/300 x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 775,000원
661 2019-06-04 6시 12시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
662 2019-06-05 12시 17시 Ti/Al/Ti/TiN = 200/1000/200/300 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
663 2019-06-05 17시 21시 Ti/TiN/Al/TiN = 20/250/4um/250 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
664 2019-06-11 12시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/4um/250 x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 775,000원
665 2019-06-11 17시 19시 TiN 1000 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 190,000원
666 2019-06-12 11시 15시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
667 2019-06-12 15시 18시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
668 2019-06-18 12시 16시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
669 2019-06-18 16시 19시 M0 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
670 2019-06-20 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
671 2019-06-24 12시 16시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
672 2019-06-25 14시 16시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
673 2019-06-26 9시 11시 TiN 4000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
674 2019-06-28 12시 16시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/2000/250 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
675 2019-07-03 13시 16시 M1 depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
676 2019-07-03 16시 19시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
677 2019-07-08 10시 16시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
678 2019-07-12 11시 13시 TiN = 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
679 2019-07-12 15시 17시 TiN = 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
680 2019-07-15 15시 17시 TiN x 6매 1000 A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
681 2019-07-17 11시 17시 Al 3 um x 6매 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 865,000원
682 2019-07-17 17시 20시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
683 2019-07-18 14시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
684 2019-07-18 17시 18시 TiN x 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
685 2019-07-18 18시 19시 TiN x 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
686 2019-07-18 9시 14시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
687 2019-07-22 16시 18시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
688 2019-07-22 9시 15시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
689 2019-07-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
690 2019-07-24 11시 14시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
691 2019-07-26 10시 14시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
692 2019-07-26 14시 16시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
693 2019-07-29 9시 13시 M0 split x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
694 2019-07-30 12시 13시 11-3-1 gc gate tin depo.
TiN x 1000 x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
695 2019-07-30 15시 16시 11-3-2 gc gate mutimetal ti/al/ti/tin depo.
M0 x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
696 2019-07-31 11시 13시 7-4-1 v0 pad metal depo. m1 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
697 2019-07-31 9시 11시 7-4-1 v0 pad metal depo. m1 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
698 2019-08-02 15시 16시 11-3-1 gc gate tin depo.
TiN x 1000 x 4매
(gc module setup_sin)		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
699 2019-08-02 15시 16시 11-3-2 gc gate mutimetal ti/al/ti/tin depo.
M0 x 4매
(gc module setup_sin)		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
700 2019-08-05 13시 14시 4-2-1 pc gate tin depo.
TiN x 1000 x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
701 2019-08-05 17시 18시 pc gate tin depo.
tin 1000a depo. 4ea		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
702 2019-08-06 13시 15시 나노선 열전소자 제작(Silicide Metal) 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 0원
703 2019-08-06 13시 19시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
704 2019-08-07 15시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
705 2019-08-08 15시 17시 TiN 1000 A x6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
706 2019-08-09 11시 17시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
707 2019-08-12 15시 17시 TiN 1000 A x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
708 2019-08-13 13시 17시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
709 2019-08-14 15시 17시 TiN 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
710 2019-08-16 13시 17시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
711 2019-08-16 9시 11시 tiN 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
712 2019-08-19 13시 17시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
713 2019-08-22 16시 19시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
714 2019-08-22 9시 16시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
715 2019-08-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,500,000원
716 2019-08-23 9시 13시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
717 2019-08-27 10시 13시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
718 2019-08-28 10시 16시 M1 x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,150,000원
719 2019-08-29 11시 17시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
720 2019-09-02 11시 16시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
721 2019-09-05 11시 12시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
722 2019-09-05 12시 16시 TiN 1000 x 5매
Multi layer x 5매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 737,500원
723 2019-09-10 11시 15시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
724 2019-09-10 15시 16시 tiN 1000 A x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 160,000원
725 2019-09-10 17시 18시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
726 2019-09-17 12시 14시 M0 x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
727 2019-09-17 15시 18시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
728 2019-09-20 13시 16시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
729 2019-09-20 16시 18시 MULTI
TiN 1000 x 4매
M0 x 2 x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
730 2019-09-23 13시 17시 M1 x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,150,000원
731 2019-09-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,100,000원
732 2019-09-24 13시 16시 M1 x 4 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
733 2019-09-24 16시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
734 2019-09-27 16시 19시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
735 2019-09-30 12시 16시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
736 2019-10-01 15시 18시 TiN 1000 A x 4매 : 16만
Multi x 4매 : 52만
 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 610,000원
737 2019-10-01 9시 13시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
738 2019-10-02 13시 17시 Ti/TiN/Al/TiN = 250/250/1um/250 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
739 2019-10-04 10시 13시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
740 2019-10-07 13시 15시 TiN x 1000A x 4매
Multi x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
741 2019-10-10 15시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
742 2019-10-11 16시 19시 Multi x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
743 2019-10-11 18시 20시 TiN 1000 A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
744 2019-10-11 9시 16시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
745 2019-10-14 14시 17시 Multi depo
1. TiN 1000
2. Multi x 4매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
746 2019-10-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,940,000원
747 2019-10-15 14시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
748 2019-10-16 14시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
749 2019-10-16 17시 18시 TiN x 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
750 2019-10-16 9시 13시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
751 2019-10-17 14시 17시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
752 2019-10-21 14시 17시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
753 2019-10-21 16시 17시 TiN 1000 A x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
754 2019-10-23 12시 16시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
755 2019-10-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,100,000원
756 2019-10-23 9시 12시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
757 2019-10-24 14시 16시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
758 2019-10-24 16시 17시 TiN 1000 A x 1매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 128,000원
759 2019-10-24 9시 13시 Multi x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
760 2019-10-28 9시 12시 Multi x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
761 2019-11-01 11시 14시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
762 2019-11-01 14시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
763 2019-11-01 17시 21시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
764 2019-11-01 21시 23시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
765 2019-11-01 7시 9시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
766 2019-11-01 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,100,000원
767 2019-11-01 9시 11시 M0 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
768 2019-11-04 13시 14시 Multi x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 275,000원
769 2019-11-04 15시 17시 TiN x 1000A x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
770 2019-11-05 14시 17시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
771 2019-11-07 14시 17시 M1 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
772 2019-11-08 15시 17시 TiN 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
773 2019-11-11 14시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
774 2019-11-11 9시 12시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
775 2019-11-12 14시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
776 2019-11-13 10시 12시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
777 2019-11-14 10시 16시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
778 2019-11-14 16시 19시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
779 2019-11-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,940,000원
780 2019-11-18 10시 13시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
781 2019-11-18 15시 17시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
782 2019-11-19 10시 12시 열전소자 시험분석_Silicide Deposition: Metal Sputter 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 0원
783 2019-11-20 13시 14시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
784 2019-11-20 9시 12시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
785 2019-11-22 9시 11시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
786 2019-11-26 9시 16시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
787 2019-11-27 15시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
788 2019-11-27 9시 14시 M1 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
789 2019-12-02 11시 13시 TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
790 2019-12-02 15시 16시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 180,000원
791 2019-12-02 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,100,000원
792 2019-12-04 13시 20시 M1 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
793 2019-12-04 9시 12시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
794 2019-12-09 14시 17시 TiN 1000 x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 160,000원
795 2019-12-09 17시 13시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
796 2019-12-10 15시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
797 2019-12-12 13시 15시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 360,000원
798 2019-12-13 13시 18시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 715,000원
799 2019-12-13 9시 10시 M0 x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 287,500원
800 2019-12-16 14시 17시 TiN 1000 / Ti 400 / Al 2000 A x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 275,000원
801 2019-12-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,900,000원
802 2019-12-18 10시 13시 M1 x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 520,000원
803 2019-12-18 14시 16시 M1 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 660,000원
804 2019-12-18 16시 17시 TiN 1000 A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
805 2019-12-18 9시 12시 Ti/Al = 300/4000 A x 2매 포항공과대학교 신소재공학과 임석재 181,000원
806 2019-12-19 11시 16시 Al 3 um x 2매 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 255,000원
807 2019-12-19 11시 16시 M1 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
808 2019-12-23 10시 14시 Multi x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
809 2019-12-27 10시 14시 M0 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
810 2019-12-27 16시 19시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
811 2019-12-30 10시 19시 Module : M1 ( Al 1um, 1.5 um, 2um, 2.5 um ) x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,108,000원
812 2020-01-02 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,100,000원
813 2020-01-03 10시 12시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
814 2020-01-03 13시 14시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
815 2020-01-03 15시 17시 TiN 1000 A x 3 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 190,000원
816 2020-01-03 17시 19시 TiN 1000 Ax 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
817 2020-01-07 12시 17시 M1 x 6매 ( Al = 0.5 um ) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
818 2020-01-08 14시 17시 M1 x 4매 ( Al = 0.5 um ) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
819 2020-01-08 9시 12시 M0 x 4 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
820 2020-01-09 14시 17시 M0 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
821 2020-01-10 15시 17시 TiN 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 324,000원
822 2020-01-10 9시 11시 Al = 1.5 um 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 185,000원
823 2020-01-13 10시 12시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
824 2020-01-13 15시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
825 2020-01-14 14시 16시 Ti/TiN = 250/1000 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
826 2020-01-14 16시 18시 M1 ( Al=0.5 um) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
827 2020-01-15 14시 16시 M0 x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
828 2020-01-16 14시 16시 TiN x 1000 A x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 340,000원
829 2020-01-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,900,000원
830 2020-01-17 12시 16시 M1 ( Al = 1.5 um ) x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 505,000원
831 2020-01-17 9시 12시 M1 ( Al 0.5 um ) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
832 2020-01-22 15시 17시 M1 ( Al = 0.5 um ) x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 295,000원
833 2020-01-22 9시 12시 TiN x 1000A x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 250,000원
834 2020-01-23 13시 17시 M1 ( Al 0.5 um x 2매 ) = 26만원
M1 ( Al 1.5 um x 2매 )= 36 만원
M1 ( Al 2.5 um x 2매 )= 46 만원
M1 ( Al 4.0 um x 2매 )=56 만원

총액 : 164 만원		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,248,000원
835 2020-01-29 15시 16시 TiN x 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
836 2020-01-29 16시 17시 TiN x 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
837 2020-01-30 14시 18시 M1 ( Al = 0.5 um ) x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
838 2020-01-31 10시 12시 TiN 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
839 2020-01-31 13시 18시 M0 x 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
840 2020-01-31 9시 10시 TiN 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
841 2020-02-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,600,000원
842 2020-02-04 11시 14시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
843 2020-02-04 14시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
844 2020-02-05 9시 11시 나노인프라 활용 나노기술 응용제품 제작 지원사업 이코루미 연구소 김석근 0원
845 2020-02-06 14시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
846 2020-02-06 9시 11시 나노인프라 활용 나노기술 응용제품 제작 지원사업 이코루미 연구소 김석근 0원
847 2020-02-07 14시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
848 2020-02-07 9시 14시 M1(Al 0.5 um) x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 775,000원
849 2020-02-08 14시 17시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
850 2020-02-11 14시 17시 M1(Al 0.5 um) x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
851 2020-02-12 14시 17시 M1 x 4매 ( Al 4 um ) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
852 2020-02-13 14시 18시 M1 ( Al 4 um ) x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
853 2020-02-13 17시 20시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
854 2020-02-13 20시 22시 M1 ( Al 0.5 um) x 1매
M1 ( Al 4um ) x 1매

 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 387,000원
855 2020-02-13 4시 6시 M0 x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 295,000원
856 2020-02-13 9시 12시 M1 ( Al = 0.5 um) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
857 2020-02-17 15시 18시 M1 ( Al : 0.5 um ) x 3 매
M1 ( Al : 0.1 um ) x 1매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
858 2020-02-17 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,900,000원
859 2020-02-19 15시 17시 M1 ( Al 4 um ) x 3 매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
860 2020-02-19 9시 11시 M1 (Al 4um ) x 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 520,000원
861 2020-02-21 15시 17시 TiN 1000 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
862 2020-02-21 17시 21시 M1 (Al 4 um ) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
863 2020-02-21 9시 12시 M1 ( Al 0.5 um ) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
864 2020-02-26 12시 14시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
865 2020-02-26 15시 18시 M1 ( Al 0.5 um ) x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
866 2020-02-27 14시 16시 TiN 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
867 2020-02-28 13시 17시 M1 ( Al 4 um ) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
868 2020-03-03 10시 11시 TiN x 1000 A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
869 2020-03-03 10시 12시 M1 x 4 매 ( Al : 0.5 um) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
870 2020-03-03 13시 15시 M1 ( Al : 0.5 um ) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
871 2020-03-03 16시 18시 M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
872 2020-03-03 18시 21시 M1 ( Al : 0.5 um) x 10매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,010,000원
873 2020-03-04 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
874 2020-03-06 13시 14시 2-4-3 RX Gate TIN Depo TIN Depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
875 2020-03-09 10시 11시 M1 Ti-TiN-Al(5000A)-TIN 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
876 2020-03-10 10시 11시 7-4-2 M1 etch 평가 Al 5000A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
877 2020-03-10 11시 13시 M2 dep Ti-TiN-Al(40,000A)-TiN 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
878 2020-03-10 14시 16시 5-4-1 M0 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
879 2020-03-11 10시 12시 5-4-1 M0 Metal Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
880 2020-03-12 11시 12시 TiN 1000A Depo 2-4-3 Gate TiN Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
881 2020-03-12 13시 15시 12-4-1 M1 Metal Depo Ti-TiN-Al(40,000A)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
882 2020-03-12 9시 11시 5-4-1 M0 Metal Depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
883 2020-03-13 13시 14시 M1 Depo Ti-TiN-Al(5000A)-TiN x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 555,000원
884 2020-03-13 15시 16시 TiN 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
885 2020-03-13 15시 17시 M31 M1 Depo Ti-TiN-Al (5000A)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
886 2020-03-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
887 2020-03-17 14시 15시 M1 Depo Ti-TiN-Al(5000a)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
888 2020-03-18 13시 15시 M0 Ti-Al-Ti-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
889 2020-03-20 14시 16시 12.0 M2 Depo Ti-TiN-Al(40,000A)-TiN 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
890 2020-03-23 10시 11시 M40 Al(5000A) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 240,000원
891 2020-03-23 15시 16시 2.0 TiN 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
892 2020-03-23 16시 18시 TiN 1000A x 3매
Ti 400A - Al 2000A -Ti 400A - TiN 300A x 3매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 482,500원
893 2020-03-23 18시 19시 M1 Depo Ti-TiN-Al(5000a)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
894 2020-03-30 10시 11시 7.0 M1 Depo TI-TiN-Al-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
895 2020-03-30 14시 16시 12.0 M1 Depo Ti-TiN-Al(4um)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
896 2020-03-30 16시 17시 TiN 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
897 2020-03-31 10시 11시 Ti 200A 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 50,000원
898 2020-03-31 16시 18시 M0 Depo Ti-Al-Ti-TiN 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
899 2020-04-01 16시 17시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000a x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
900 2020-04-01 17시 18시 2-4-3 TiN 1000a x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
901 2020-04-02 13시 14시 3-1-2 Metal Depo Ti-Al-Ti x 2매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 244,000원
902 2020-04-03 14시 15시 SS121 M1 Depo Ti-TiN-Al-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
903 2020-04-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
904 2020-04-06 10시 12시 12-4-1 M1 Ti-TiN-Al(40,000a)-TiN x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
905 2020-04-06 13시 15시 5-4-1 M0 Depo Ti-Al-Ti-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
906 2020-04-07 15시 16시 M44 6매 Metal depo M0 Depo Ti-Al-Ti-TiN 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
907 2020-04-07 9시 10시 2-4-3 RX Gate TiN Depo TiN 1000A Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
908 2020-04-08 16시 17시 5-1-1 Metal Depo Ti-Al-Ti x 2매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 244,000원
909 2020-04-08 17시 18시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo Ti-TiN-Al(4um)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
910 2020-04-08 9시 11시 5-4-1 CNT MET Depo 1시간 Interval M0 x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
911 2020-04-09 15시 16시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Ti-TiN-Al(0.5um)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
912 2020-04-09 16시 17시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000A x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
913 2020-04-09 17시 18시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
914 2020-04-09 18시 19시 M0 Metal dep x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
915 2020-04-10 10시 14시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 Ti-Al-TI-TiN x 7매
삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 782,500원
916 2020-04-14 11시 12시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo Ti-TiN-Al(0.5um)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
917 2020-04-14 16시 18시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M2 Depo Ti-TiN-Al(4um)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
918 2020-04-14 9시 10시 Si dummy M0 Depo Ti-Al-Ti-TiN x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
919 2020-04-16 15시 17시 11-3-2 Gate TiN 1000a Depo, Gate MultiMetal Ti400-Al2000-Ti400-TiN300 x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 992,500원
920 2020-04-16 17시 18시 4-1-2 Gate Metal Depo Ti-Al-Ti / 500A-2000A-500A x 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 316,000원
921 2020-04-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
922 2020-04-20 14시 15시 5-4-1 CNT Met1 Depo Met 1 Sputter M0 Depo Ti-Al-Ti-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
923 2020-04-21 16시 18시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo Ti-TIN-Al(4um)-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
924 2020-04-21 9시 10시 안녕하세요 선생님. Si 기판위에 TiN을 60 nm 증착하고 싶습니다!
6인치 웨이퍼를 20일 저녁까지 공정의뢰함에 가져다 놓겠습니다. 감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 63,000원
925 2020-04-22 14시 18시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 interval Ti-Al-Ti-TiN x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
926 2020-04-22 17시 18시 6-1-1 SD Metal Depo Ti-Al-Ti x 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 316,000원
927 2020-04-23 10시 11시 7-4-1 V0 Pad Metal depo
Split WF 2,4,5,7,8 M1 depo
WF 3,6 Al 0.5um depo 		삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 662,500원
928 2020-04-23 14시 15시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
929 2020-04-23 16시 18시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 Interval x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
930 2020-04-23 17시 18시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000A x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
931 2020-04-27 13시 14시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000a x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
932 2020-04-28 10시 13시 M2 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,276,000원
933 2020-04-28 14시 15시 M1 Depo x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
934 2020-04-28 15시 16시 M2 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 884,000원
935 2020-04-28 17시 19시 M2 Depo 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 884,000원
936 2020-05-04 10시 11시 Si dummy M0 dep 4매 (NO interval진행) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
937 2020-05-04 10시 11시 M1 dep slpit V0 metal dep 6매 #1602번 자재만 Al 0.5um dep 그외 M1 dep 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 617,500원
938 2020-05-04 17시 19시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 depo x 3매 30분씩인터벌 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
939 2020-05-04 8시 9시 Ti 300 / Al 1700 / Ti 500 dep 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 316,000원
940 2020-05-04 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,550,000원
941 2020-05-04 9시 10시 M1 dep V0 metal dep 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
942 2020-05-07 10시 14시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo Ti-TiN-Al-TiN x 7매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,570,000원
943 2020-05-08 10시 12시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 depo x 4매 (1매씩 30분) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
944 2020-05-08 12시 13시 2-4-4 RX Gate TiN Depo 1000a x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 250,000원
945 2020-05-08 15시 17시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M2 depo Ti-Tin-Al-TiN x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
946 2020-05-08 17시 18시 2-4-3 Rx Gate TiN depo 1000a x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
947 2020-05-11 11시 12시 6-1-1 S/D Metal Depo Ti300-Al1700-Ti500 x 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 316,000원
948 2020-05-11 15시 18시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo Ti-TiN-Al4um-TiN x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
949 2020-05-12 12시 13시 TiN 1000A dep X2매 LG전자 CTO 부문 센서(연)선행센서기반기술TP 박형조 180,000원
950 2020-05-13 13시 14시 M1 Depo TI250-TIN250-Al5,000-TiN250 x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
951 2020-05-13 14시 15시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
952 2020-05-13 15시 16시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
953 2020-05-13 15시 16시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 392,500원
954 2020-05-18 16시 18시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
955 2020-05-19 11시 12시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000a x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
956 2020-05-19 12시 13시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000a x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
957 2020-05-19 16시 18시 5.0 M0 Depo (1매씩 30분 인터벌) x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
958 2020-05-19 8시 9시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
959 2020-05-20 10시 12시 5-4-1 CNT Metal Depo M0 Depo x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
960 2020-05-21 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
961 2020-05-25 18시 19시 7-4-1 V0 Pad Matel Depo M1 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
962 2020-05-25 19시 20시 7-4-1 V0 Pad Matel Depo M1 Depo x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
963 2020-05-26 15시 18시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 interval x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
964 2020-05-26 17시 18시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 3매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 730,000원
965 2020-05-27 14시 17시 5-4-1 CNT Met1 Depo M0 Interval x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
966 2020-05-29 10시 12시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 5매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,150,000원
967 2020-05-29 14시 15시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
968 2020-06-02 13시 14시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 4매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
969 2020-06-02 14시 15시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
970 2020-06-03 16시 19시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
971 2020-06-03 9시 10시 4-1-2 Gate Metal Depo TI-Al-Ti x 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 316,000원
972 2020-06-04 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,500,000원
973 2020-06-04 9시 10시 TiN N2 flow에 따른 압력 변화 test 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
974 2020-06-05 10시 12시 TiN N2 flow에 따른 압력 RS test 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
975 2020-06-05 18시 21시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo M2 Depo x 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
976 2020-06-09 14시 15시 6-1-1 S/D Metal Depo Ti-Al-Ti x 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 316,000원
977 2020-06-10 17시 18시 4-1-2 Gate metal depo ti-al-ti x 2매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 244,000원
978 2020-06-15 11시 12시 6-1-1 S/D Metal Depo
W1 Ti 300, Al 1700, Ti 500
W2 Ti 300, Al 2000, Ti 500		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 244,000원
979 2020-06-17 8시 10시 10-1-1 Power Metal Depo Ti 500a,Al 4um,Ti 200a 3ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 748,000원
980 2020-06-18 8시 9시 2-4-3 Rx Gate TiN Depo 1000a 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
981 2020-06-18 9시 10시 2-4-3 Rx Gate TiN Depo 1000a 5ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 250,000원
982 2020-06-22 13시 14시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 51sec 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 280,000원
983 2020-06-22 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
984 2020-06-24 15시 18시 5-4-1 CNT MET1 Depo M0 Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
985 2020-06-29 13시 14시 SiC 1.5차 Backside Al 2um depo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 190,000원
986 2020-06-29 9시 12시 1. pattern 있는 샘플 : Ti 40nm / TiN 80nm / Ti 10nm / Al 500nm / TiN 80nm

2. Bare Si wafer : Ti 40nm / TiN 80nm		 대구경북과학기술원 중앙기기센터 성병목 390,000원
987 2020-07-01 15시 16시 4-1-2 Gate Metal Depo Ti/Al/Ti 2ea 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 242,500원
988 2020-07-01 9시 11시 TiN Hysteresis Curve test 1차
GAS : Ar 30sccm고정, N2 split적용(5~50)sccm
DC power : 8000W
총 20조건		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 500,000원
989 2020-07-02 10시 13시 5-4-1 CNT Metal Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
990 2020-07-02 14시 16시 TiN Hysteresis Curve test 2차
N2 10~130sccm split 적용구간
총 26조건		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 620,000원
991 2020-07-02 16시 18시 3차 TiN Hysteresis Curve test
분석(측정)용 자재
Ar30 / N2 60 dep time 100sec 1매
Ar30 / N2 70 dep time 100sec 1매
Ar30 / N2 60 dep time 10sec 1매
Ar30 / N2 70 dep time 10sec 1매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
992 2020-07-03 11시 12시 7-4-1 V0 Pad Metal M1 Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
993 2020-07-03 12시 13시 Reactive TiN Depo Ar:N2 = 50:90
50sec 1ea
6sec 1ea		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
994 2020-07-03 13시 18시 4차 DC power slpit & N2 flow split test
8kW: Ar 15sccm 기준 N2 10~120sccm 24조건
8kW: Ar 50sccm 기준 N2 10~120sccm 24조건
6kW: Ar 30sccm 기준 N2 10~120sccm 24조건
6kW: Ar 50sccm 기준 N2 10~120sccm 24조건		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 2,020,000원
995 2020-07-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,300,000원
996 2020-07-06 10시 11시 5차 분석(측정)용 자재
TiN 8kW Ar:N2=50:90 50s depo / 6s depo 총 2매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
997 2020-07-06 11시 12시 2-4-3 RX Gate TiN Depo 1000A 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
998 2020-07-06 17시 18시 6-1-1 S/D Metal Depo 2ea
TI-Al-Ti		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 244,000원
999 2020-07-07 11시 12시 Reactive TiN 6KW
AR:N2=30:50 50s 1ea
AR:N2=30:50 8s 1ea
AR:N2=50:90 50s 1ea
AR:N2=50:90 8s 1ea		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
1000 2020-07-07 13시 14시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
1001 2020-07-07 9시 10시 6차 분석(측정)용 자재
TiN 6kW Ar:N2=30:50 50s depo / 8s depo 총 2매
TiN 6kW Ar:N2=50:90 50s depo / 8s depo 총 2매		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 212,000원
1002 2020-07-08 10시 12시 5-4-1 CNT Metal Depo M0 interval 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1003 2020-07-08 14시 16시 5-4-1 CNT Metal Depo M0 interval 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1004 2020-07-09 14시 15시 Ti 500A / TiN 2000A Deposition 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 740,000원
1005 2020-07-10 13시 17시 12-4-1 V1 Pad Metal Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
1006 2020-07-13 10시 12시 backside Depo Al 2um 2ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 280,000원
1007 2020-07-13 13시 15시 SS135 M2 Depo Al 4um 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
1008 2020-07-13 15시 16시 7-4-1 M1 Depo Al0.5um 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1009 2020-07-13 16시 17시 4-1-2 Gate Metal Depo 2ea 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 246,000원
1010 2020-07-14 14시 15시 2-4-3 RX GATE TIN DEPO 1000A 4EA 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 220,000원
1011 2020-07-22 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 900,000원
1012 2020-07-23 13시 14시 Ti 500a TiN 2000a 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 180,000원
1013 2020-07-23 14시 15시 6-1-1 S/D Metal depo 2ea 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 244,000원
1014 2020-07-23 15시 16시 SiC Power Metal Depo 1ea ti/al/ti 1ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 352,000원
1015 2020-07-24 10시 11시 Ti 500A / TiN 2000A 증착 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 180,000원
1016 2020-07-28 16시 17시 8inch al 2000a Depo 2ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 185,000원
1017 2020-07-28 17시 18시 10-4-1 Power Metal Backside Al 2um 1ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 190,000원
1018 2020-07-28 9시 12시 12-4-1 M2 metal dep 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1019 2020-07-29 10시 11시 7-4-1 V0 M1 Depo 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1020 2020-07-30 10시 11시 7-4-1 Pad Metal Depo M1 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1021 2020-08-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1022 2020-08-04 10시 11시 7-4-1 V0 Pad Metal Depo M1 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1023 2020-08-05 13시 14시 Ti 200nm depo 2매 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 140,000원
1024 2020-08-05 14시 15시 M81 M1 Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1025 2020-08-05 9시 12시 12-4-1 M2 Depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1026 2020-08-06 10시 12시 12-4-1 V1 M2 Depo 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,515,000원
1027 2020-08-06 13시 15시 Al5000a Depo 2ea 포항공과대학교 전자전기공학부 신성환 255,000원
1028 2020-08-10 16시 18시 12-4-1 M2 Depo 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 940,000원
1029 2020-08-11 15시 16시 4-1-1 Metal Depo Ti 200 Al 10,000 2ea 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 253,000원
1030 2020-08-11 9시 10시 Ti 200nm 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 120,000원
1031 2020-08-19 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1032 2020-08-24 16시 18시 1-3-1 Front Ti Depo 2000A 2ea 1um 1ea 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 160,000원
1033 2020-08-25 10시 11시 7-4-1 Pad Metal depo M1 4ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1034 2020-08-25 16시 17시 1-3-1 Ti Depo 2000a 1ea 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 120,000원
1035 2020-08-27 10시 11시 Al 1000A depo 1ea 충남대학교 전자공학과 송형섭 150,000원
1036 2020-09-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1037 2020-09-11 12시 15시 Ti 1um 2ea
Ti 0.5um 1ea
TiN 1um 2ea		 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 550,000원
1038 2020-09-14 9시 16시 SiC MOSFET Power Metal 공정 test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,000,000원
1039 2020-09-18 13시 17시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
확산 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 900,000원
1040 2020-09-21 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1041 2020-09-21 9시 11시 Ti 3000Ådepo 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 220,000원
1042 2020-09-22 13시 15시 4-1-2 Gata metal Ti-Al-Ti dep 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1043 2020-09-23 10시 12시 Ti 1um depo #1,4 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 300,000원
1044 2020-09-24 15시 17시 Ti 3000A Depo 3ea
8" Wafer 구매		 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 237,000원
1045 2020-09-25 14시 15시 6-1-1 S/D metal Depo Ti Al Ti 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 392,500원
1046 2020-10-05 10시 11시 6-1-1 S/D metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1047 2020-10-05 14시 16시 Ti Depo 1um 3ea 2000A 초과시 1000A당 1만원 추가 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 400,000원
1048 2020-10-06 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1049 2020-10-07 10시 11시 Ti 4000A Depo 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 140,000원
1050 2020-10-07 14시 16시 8-1-1 Conact-2 metal dep Ti-Al_Ti 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 392,500원
1051 2020-10-14 14시 15시 8-1-1 contact metal 2ea 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1052 2020-10-14 15시 16시 8-1-3 Schottky Metal Depo Ti 1500A, Al 40,000A (선행1매)
 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 340,000원
1053 2020-10-15 9시 12시 8-1-3 Schottky Metal Depo Ti 1500A, Al 40,000A (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 820,000원
1054 2020-10-16 9시 12시 8-1-3 Schottky Metal Depo Ti 1500A, Al 40,000A (선행 1매 포함)

 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 808,000원
1055 2020-10-16 9시 15시 SiC Trench MOSFET 단위공정평가 용 Metal Depo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,738,000원
1056 2020-10-21 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1057 2020-10-23 18시 19시 7-4-1 M0 metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1058 2020-10-23 9시 12시 SiC 파워반도체 개발용 Metal Depo 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 827,500원
1059 2020-10-26 9시 13시 12-4-1 M2 Metal depo 6ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
1060 2020-10-29 9시 12시 5-4-1 M0 Metal depo (TI 9sec) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
1061 2020-10-30 15시 18시 5-4-1 M0 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1062 2020-11-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1063 2020-11-04 10시 11시 Ti 5nm 증착 후 TiN 5 nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 180,000원
1064 2020-11-04 11시 12시 4-1-2 TI 300A/ AL 1700A / TI 500A 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1065 2020-11-04 14시 16시 12-4-1 M2 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1066 2020-11-05 13시 14시 7-4-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1067 2020-11-06 13시 17시 레이저 어닐링 기술을 활용한 SiC 파워반도체 개발용 Metal Depo 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 827,500원
1068 2020-11-06 18시 18시 7-4-1 M1 depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
1069 2020-11-10 14시 16시 S/D Metal Etch Test Ti-Al-Ti 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1070 2020-11-10 14시 16시 7-4-1 M1 Metal depo. 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1071 2020-11-13 9시 10시 4-1-2 Gate metal depo (TI 300 - AL 2000 - TI 300) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1072 2020-11-16 10시 12시 12-4-1 M2 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 0원
1073 2020-11-16 15시 17시 12-4-1 M2 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,360,000원
1074 2020-11-16 17시 18시 TFT (Ti 300A - Al 2000A - Ti 100A) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1075 2020-11-17 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1076 2020-11-18 14시 18시 5-4-1 M0 interval 30분 8매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
1077 2020-11-25 10시 11시 한쪽면에 티타늄코팅 1 um 진행하고 싶습니다. 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 216,000원
1078 2020-11-25 9시 10시 TiN 300A deposition 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 260,000원
1079 2020-11-26 9시 10시 7-4-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 880,000원
1080 2020-12-01 10시 11시 6-1-1 Ti 300 - Al 2000 - Ti 300 Metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1081 2020-12-01 11시 12시 6-1-1 Ti 300 - Al 2000 - Ti 300 Metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1082 2020-12-02 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1083 2020-12-07 17시 17시 8-1-1 Ti 300 - Al 2500 -Ti 200 Metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1084 2020-12-07 18시 18시 8-1-1 Ti 300 - Al 2500 -Ti 200 Metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1085 2020-12-08 13시 14시 sample: Ge 2cm * 2cm 조각 샘플
Ti 5 nm 증착 후 capping layer TiN 5 nm 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 168,000원
1086 2020-12-08 9시 13시 12-4-1 M2 depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,780,000원
1087 2020-12-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1088 2020-12-17 15시 16시 8-1-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 464,000원
1089 2020-12-23 17시 17시 4-1-2 Ti 300 - Al 2000 - Ti 100 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1090 2020-12-29 15시 17시 TFT_13 6-1-1 Ti-Al-Ti dep 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1091 2020-12-29 9시 13시 M165 12-1-1 M2 dep 6매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,150,000원
1092 2021-01-06 11시 11시 8-1-1 Ti 300 - Al 2500 - Ti 200 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 295,000원
1093 2021-01-06 14시 15시 sample: Ge wafer 조각 (w/C, w/o C)
내용: Ti 5nm 증착 후 TiN 5nm 증착
(TiN : capping layer)
후속 공정으로 RTP 부탁드리겠습니다.		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 168,000원
1094 2021-01-06 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,660,000원
1095 2021-01-07 10시 11시 5-4-1 M0 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
1096 2021-01-07 11시 11시 5-4-2 M0 + Al 2000A (WF04) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 235,000원
1097 2021-01-07 11시 12시 5-4-4 Ti (200A) - Al (2000A) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 167,500원
1098 2021-01-11 16시 16시 5-4-6 WF03 Ti 200a - Al 2000a 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 167,500원
1099 2021-01-13 15시 15시 7-4-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 197,500원
1100 2021-01-19 14시 16시 전문인력양성교육-심화실습교육 나노융합기술원 사업지원팀 전문인력 1조 0원
1101 2021-01-20 13시 14시 Sample: Ge wf (2cm * 2cm)
공정내용: Ti 5nm 증착 후 TiN 5nm 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 168,000원
1102 2021-01-21 11시 11시 7-4-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
1103 2021-01-21 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,500,000원
1104 2021-01-26 10시 11시 전문인력양성교육-심화실습교육
5000A Ti증착 부탁드립니다!		 나노융합기술원 사업지원팀 전문인력 1조 0원
1105 2021-01-26 17시 17시 7-4-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 282,000원
1106 2021-01-28 14시 14시 12-4-1 WF01 M2 metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 296,000원
1107 2021-01-29 14시 15시 Ti 5nm - TiN 5nm depo 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 168,000원
1108 2021-01-29 16시 16시 Ti 300nm depo 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 214,000원
1109 2021-02-02 11시 11시 7-4-1 M1 depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 587,500원
1110 2021-02-02 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1111 2021-02-04 10시 12시 *Cu seed layer (Via) deposition
-Ti(400nm) + Cu(2,000nm)

*증착 순서 (양면 코팅)
-A side (Ti 400nm) -> B side (Ti 400nm)+Cu(2,000nm) -> A side (Cu 2,000nm)

*기판 수량: 4pcs 		코닝정밀소재주식회사 CTCK-C&D-Thin film 윤중훈 820,000원
1112 2021-02-04 14시 15시 샘플: Ge 2cm * 2cm 조각
공정: Ti 5nm 증착 후 TiN 5nm 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 168,000원
1113 2021-02-08 12시 16시 M173 7-4-1 M1 dep 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 685,000원
1114 2021-02-15 13시 14시 7-4-1 M1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 490,000원
1115 2021-02-15 14시 15시 sample : bare Ge 2cm * 2cm 조각
공정내용: Ti 5nm 증착 후 TiN 5nm 연속증착 공정

(후속공정 RTP for silicide 600도 60초)		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 168,000원
1116 2021-02-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1117 2021-02-19 15시 16시 Ti 5nm / TiN 5nm 증착(2매) 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 236,000원
1118 2021-02-25 16시 17시 Ti/TiN deposition (5nm/5nm) 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 168,000원
1119 2021-03-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1120 2021-03-05 15시 16시 Ti 5nm 후 TiN 5nm 증착
(후속 공정 evaporator 2호기 Ta 100 nm 증착)		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 228,000원
1121 2021-03-16 13시 13시 Al 700A Metal depo (2ea) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 190,000원
1122 2021-03-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1123 2021-04-05 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1124 2021-04-07 10시 13시 1.Low pressure
2.양면 코팅
3.증착 순서
A side (Ti 200nm) -> B side (Ti 200nm, Al 2.000nm) -> A side (Al 2.000nm)		 코닝정밀소재주식회사 CTCK-C&D-Thin film 윤중훈 660,000원
1125 2021-04-08 16시 16시 Ti 100A metal depo. (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 0원
1126 2021-04-15 9시 12시 Al 3um depo (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 140,000원
1127 2021-04-16 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1128 2021-04-19 9시 18시 U.E 공정계약 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 1,300,000원
1129 2021-04-20 9시 10시 Al 3um depo (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 140,000원
1130 2021-04-22 14시 16시 Ti -TiN 각 50A depo 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 164,000원
1131 2021-04-26 14시 15시 6\" Si wafer 4매
Ti(5nm) 증착 후 , TiN(5nm) 증착 (1 Layer 당 40,000)		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 356,000원
1132 2021-04-26 15시 16시 6\" si wafer 1매
Ti(5nm) 증착 후 TiN(5nm) 증착 (1Layer 당 40,000)		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 164,000원
1133 2021-05-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1134 2021-05-13 10시 12시 1~4번 샘플 TiO2 증착 이후 Al 100nm deposition 부탁드립니다. 포항공과대학교 신소재공학과 허성재 145,000원
1135 2021-05-20 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1136 2021-05-24 9시 17시 공정계약02 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1137 2021-05-25 1시 12시 ZrO2 on Si 입니다.
자세한 내용은 첨부파일로 보냈습니다.		 주식회사 원익아이피에스 반도체연구소 High-k Team 조승희 1,080,000원
1138 2021-05-25 10시 12시 SiO2(90nm)/Si 기판 (4inch) 2장
TiN 500A 증착		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 172,000원
1139 2021-05-26 15시 16시 3-2-1 M4 Metal Al 1000A Depo 포항공과대학교 신소재공학과 이동욱 145,000원
1140 2021-05-26 9시 10시 Ti 5nm 증착 후
TiN 5nm 증착		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 260,000원
1141 2021-05-31 16시 18시 6\\\" si wafer

Ti/ TiN 증착
각각 5nm
Ti 증착 후 TiN		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 180,000원
1142 2021-06-02 10시 11시 Ti 5nm / TiN 5nm 연속 증착

(후속 공정 rtp for silicide 600도 60초)		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 172,000원
1143 2021-06-03 9시 10시 2. Al 1000A metal depo 포항공과대학교 신소재공학과 이동욱 145,000원
1144 2021-06-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1145 2021-06-14 10시 13시 11-0-1 Ti 500 - Al 4um - Ti 200 metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 772,000원
1146 2021-06-14 14시 15시 6\" si wafer
Ti/TiN (5nm/5nm) 증착

--> Ti 5nm 증착 후 TiN 5nm 증착		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 164,000원
1147 2021-06-17 13시 15시 1. 쿼츠 기판
2. HfO2/Si(2x2) * 2ea
3. p-Si half wafer

TiN 10nm 증착 부탁드립니다.		 아주대학교 광전자재료연구실 김운정 280,000원
1148 2021-06-18 10시 11시 11-0-1 wf05 Ti 500 - Al 4um - Ti 200 metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 324,000원
1149 2021-06-18 13시 15시 ZrO2 on Si입니다.
샘플은 2 트레이에 나눠서 넣었으며, 한 트레이는 TiN 다른 한 트레이에는 Ti 부탁드립니다. 상세 정보는 피피티에 있습니다.
※제가 실수로 4개 다 shadow mask를 붙였는데 트레이 당 한 개씩 제거 부탁드립니다. 공정 전 연락 한번 더 부탁드립니다.		 주식회사 원익아이피에스 반도체연구소 High-k Team 조승희 180,000원
1150 2021-06-23 13시 15시 0-1-3 metal depo M1 표준조건 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
1151 2021-06-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1152 2021-06-28 14시 17시 M220 M1 Al(DC powerd split)건 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 573,000원
1153 2021-06-28 9시 19시 공정계약03 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1154 2021-07-02 16시 18시 WF04 M2 기본조건
WF05 M2 Al power 6000W 변경 진행		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 492,000원
1155 2021-07-08 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1156 2021-07-12 13시 15시 0-1-3 M1 metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 646,000원
1157 2021-07-12 14시 15시 11-0-1 Ti Al Ti Metal depo (SiC_T02_Module) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 308,000원
1158 2021-07-14 1시 12시 Via 양면 코팅 (박막 두께 Ti 400nm , Al 2.000nm)
-코팅순서 : A side (Ti 400nm) -> B side (Ti 400nm + Al 2.000nm) -> A side (Al 2.000nm)
*코팅조건: 공정 압력 0.2mTorr 이하		 코닝정밀소재주식회사 CTCK-C&D-Thin film 윤중훈 820,000원
1159 2021-07-15 14시 15시 12-4-1 M2 metal depo (Al power 12000W)
12-4-1 M2 metal depo (Al power 6000W)		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 492,000원
1160 2021-07-19 9시 10시 3-2-1 Al depo 충남대학교 전자공학과 송형섭 150,000원
1161 2021-07-22 16시 17시 SD21Y07M-LEG
: Ti 300A

6\" wafer 3ea
 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 220,000원
1162 2021-07-22 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1163 2021-07-23 14시 15시 IDP32017

TiN 300A

8\" 3ea		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 220,000원
1164 2021-07-26 17시 14시 공정계약04 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1165 2021-08-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1166 2021-08-16 11시 15시 공정계약05 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1167 2021-08-23 13시 16시 TiN, Ti 성장입니다. 자세한 것은 이메일로 첨부 드렸으면 한 공정 당 4샘플 씩 입니다. 주식회사 원익아이피에스 반도체연구소 High-k Team 조승희 180,000원
1168 2021-08-24 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1169 2021-08-27 10시 11시 3-2-1 Al 1000A metal depo 충남대학교 전자공학과 송형섭 200,000원
1170 2021-08-30 1시 12시 TiN, Ti를 각각 300W, 500W로 진행하고자합니다.

300W 조건 불가, 500W 조건으로 Ti 2회(300초당 1회) / TiN 1회 (총 3회) 		주식회사 원익아이피에스 반도체연구소 High-k Team 조승희 320,000원
1171 2021-09-07 9시 11시 SiC Trench Test 1.5(TT1.5) Lot_Metal 공정 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 500,000원
1172 2021-09-08 14시 16시 [2x2] x 3ea sample : Si 시편 위에 HfO2 & TiN 기증착되어있습니다.(마스크 부착 후 전달)

TiN 40nm 증착 부탁드립니다.		 아주대학교 광전자재료연구실 김운정 140,000원
1173 2021-09-09 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1174 2021-09-10 9시 18시 공정계약06 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1175 2021-09-13 14시 14시 Ge 웨이퍼 조각 2매
Ti/TiN (5nm/5nm) 증착의뢰.

나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원 사업
전자과 이동훈(010-6763-7749)		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 140,000원
1176 2021-09-13 15시 15시 Ge 웨이퍼 조각 2매
Ti 100nm 증착의뢰.

나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원 사업
전자과 이동훈(010-6763-7749)		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 140,000원
1177 2021-09-14 9시 10시 안녕하세요.

Ar:N2 비율을 3가지로 10 nm TiN을 증착하고 싶습니다.
각 조건별로 실리콘기판 2개, 유리기판 1개가 있습니다.

Ar:N2 = 30:40, 50:20, 60:10
이렇게 3조건별로 총 9개의 기판에 증착하고 싶습니다.
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 208,000원
1178 2021-09-15 16시 17시 전자과 정진표 (010-2757-7319)

실리콘 조각이 4 inch 웨이퍼에 붙어있는 샘플입니다.
Al 50 nm sputter 부탁드립니다		 포항공과대학교 전자전기공학과 전길수 140,000원
1179 2021-09-15 9시 10시 안녕하세요
어제 진행주신 Ar:N2 = 60:10, 50:20, 30:40 이렇게 세 조건으로
150 nm 증착 진행 부탁드립니다

약간의 두께차이는 있어도 괜찮습니다!
샘플은 보관함에 전달했습니다
감사드립니다~!		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 208,000원
1180 2021-09-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1181 2021-10-04 9시 18시 공정계약07 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1182 2021-10-06 10시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원 사업
전자과 이동훈(010-6763-7749)		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 260,000원
1183 2021-10-07 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1184 2021-10-13 9시 13시 나노콘(고도화사업) 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 1,100,000원
1185 2021-10-15 11시 11시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 이동훈(010.6763.7749)

조각 4매씩 2회 Ti - TiN (50-50)
 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 260,000원
1186 2021-10-18 10시 18시 나노콘(고도화사업) 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 1,750,000원
1187 2021-10-18 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1188 2021-10-19 9시 14시 나노콘(고도화사업) 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 1,400,000원
1189 2021-10-20 14시 15시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 이동훈(010.6763.7749)

조각 Wafer 8매 -> 4매씩 Ti50 -TiN50 씩 진행		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 260,000원
1190 2021-10-27 10시 12시 Ti 400A / Al 2000A Depo 진행 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 820,000원
1191 2021-11-02 9시 1시 안녕하세요 TiN 10 nm 증착부탁드립니다 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1192 2021-11-04 10시 11시 안녕하세요 선생님
TiN 150nm - SiO2 60 nm - TiN 50 nm 증착 공정 부탁드립니다.
SiO2는 이정익 선생님께 부탁드리려고 합니다.

감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 312,000원
1193 2021-11-09 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1194 2021-11-09 9시 11시 이메일로 따로 송부했습니다. 주식회사 원익아이피에스 반도체연구소 High-k Team 조승희 220,000원
1195 2021-11-17 10시 19시 11/17~11/19 전문인력양성과정 MEMS 센서 소자제작교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,250,000원
1196 2021-11-18 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1197 2021-11-18 9시 18시 공정계약08 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1198 2021-11-19 10시 13시 CBRAM 3-2-1 Al 1000A 충남대학교 전자공학과 송형섭 350,000원
1199 2021-12-08 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,550,000원
1200 2021-12-09 13시 15시 Ti - Al - Ti (500 - 40,000 - 200) 4매 증착 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 996,000원
1201 2021-12-14 9시 19시 공정계약09 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 2,100,000원
1202 2021-12-21 9시 17시 나노융합 소자공정 및 측정분석 실습교육과정(4.0021910.01)_나노 소자 공정 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,050,000원
1203 2021-12-23 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1204 2021-12-27 11시 12시 9-4-1 Backside Al 2um depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 420,000원
1205 2021-12-28 10시 11시 TiN 300C depo 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1206 2021-12-28 9시 10시 TiN RT 100A depo 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1207 2021-12-30 12시 13시 FRTD Ti 500A / Al 2000A / 6\\\" 2EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 280,000원
1208 2022-01-04 17시 18시 FRTD Ti 500A / Al 2000A / 6\" 2EA (#3,4)
 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 280,000원
1209 2022-01-05 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
1210 2022-01-17 10시 14시 SiO2 2850Å * 8ea입니다.

TiN 100nm 증착하고자 합니다.		 아주대학교 광전자재료연구실 김운정 260,000원
1211 2022-01-17 14시 16시 [21년도 전문인력양성 고급실습교육]
- TiN 증착-		 나노융합기술원 사업지원팀 21년도 전문인력 5조 0원
1212 2022-01-17 9시 16시 나노융합 소자공정 및 측정분석 실습교육과정(4.0021910.01) 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 3,100,000원
1213 2022-01-19 10시 12시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
4inch glass wafer위에 TiN 150 nm 증착 부탁드립니다.

TiN 150 nm이 sputter로 올라간 이후, 차례로 PECVD - SiO2 60 nm, Sputter - TiN 50 nm를 순서로 증착하려고 하는데 가능한지 궁금합니다.

감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 174,000원
1214 2022-01-19 13시 14시 TiN 50 nm 포항공과대학교 기계공학과 양영환 134,000원
1215 2022-01-20 10시 12시 [21년도 전문인력양성 고급교육]
- 가스 유량에 따른 TiN		 나노융합기술원 사업지원팀 21년도 전문인력 5조 0원
1216 2022-01-20 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1217 2022-01-25 10시 11시 [21년도 나노소자 전문인력 양성 고급실습 교육]
- TiN 40 : 50 (Ar : N2)		 나노융합기술원 사업지원팀 21년도 전문인력 5조 0원
1218 2022-02-04 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,600,000원
1219 2022-02-07 10시 11시 박혁 010-9879-7930 포항공과대학교 전자전기공학과 전길수 140,000원
1220 2022-02-14 13시 10시 전문인력양성사업 나노 소자공정 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 3,100,000원
1221 2022-02-20 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,100,000원
1222 2022-03-02 9시 10시 안녕하세요. TiN 50 nm 증착 부탁드리겠습니다
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1223 2022-03-09 9시 18시 아이큐랩 \"Si 650V 파워반도체 제작 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 2,100,000원
1224 2022-03-14 10시 18시 나노 반도체 공정 마스터 과정 실습교육_LX세미콘 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,100,000원
1225 2022-03-14 13시 14시 선생님 안녕하세요.
TiN 50 nm sputter 공정의뢰 부탁드립니다.

총 3장입니다.

감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 208,000원
1226 2022-03-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1227 2022-03-15 18시 23시 Metal depo Al 4um (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
1228 2022-03-18 13시 15시 TiN 40nm 증착 부탁드립니다.

구조는 HZO/TiN/Si 이며, 섀도우 마스크 부착하여 송부드렸습니다.

섀도우 마스크는 한번도 쓴 적 없는 새 마스크입니다.		 아주대학교 광전자재료연구실 김운정 140,000원
1229 2022-03-25 13시 15시 안녕하세요 선생님.

15nm의 TiN을 sputter로 증착하고 싶습니다.
샘플은 점심시간에 가져다 놓겠습니다.
감사드립니다!
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1230 2022-03-25 9시 15시 Al 4um Metal depo (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
1231 2022-04-01 9시 13시 [연구기반 활용플러스 사업] 바우처 청구
신규 sputter VW 조건 test		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 640,000원
1232 2022-04-05 10시 12시 SiO2 wafer 6장입니다.

상부에 TiN 100nm 증착 부탁드립니다.

감사합니다.		 아주대학교 광전자재료연구실 김운정 340,000원
1233 2022-04-14 13시 15시 안녕하세요.
TiN 20 nm sputter 부탁드립니다.

SiO2 3000A기판과 Al2O3 나노구조체 2조각이 있습니다.
기판은 오후 1시전에 전달드리겠습니다.
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1234 2022-04-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1235 2022-04-19 10시 11시 안녕하세요 선생님
100 nm TiN 증착샘플 공정건 신청입니다.
신청이 늦어 죄송합니다.
감사드립니다!		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1236 2022-04-20 16시 17시 목적: VW Rs 측정 test (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 80,000원
1237 2022-04-21 14시 15시 TiN 20nm depo 서강대학교 전자공학과 이장우 140,000원
1238 2022-04-26 10시 11시 목적: VW Rs 측정
 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 160,000원
1239 2022-04-27 10시 11시 안녕하세요.
포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
아래 순서처럼 Si 기판 위에 증착이 가능한지 궁금합니다.

1층: TiN 150 nm 스퍼터 증착
2층: SiO2 60 nm PECVD 증착
3층: TiN 50 nm 스퍼터 증착

2,3층도 따로 예약이 필요하면 010-3456-9120 / 양영환으로 회신 부탁드립니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 172,000원
1240 2022-04-27 14시 18시 Ti / TaO 10nm - 10nm depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 1,600,000원
1241 2022-04-28 13시 15시 안녕하세요.
포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
아래 순서처럼 Si 기판 위에 증착이 가능한지 궁금합니다.

1층: TiN 150 nm 스퍼터 증착 (신청완료)
2층: SiO2 60 nm PECVD 증착 (신청완료)
3층: TiN 50 nm 스퍼터 증착

감사합니다.
 포항공과대학교 기계공학과 양영환 132,000원
1242 2022-05-11 11시 14시 Ti -TaO 10nm depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 1,440,000원
1243 2022-05-13 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1244 2022-05-23 9시 10시 TiN 90nm depo 서강대학교 전자공학과 이장우 260,000원
1245 2022-05-23 9시 17시 한국나노마이스터고등학교 공정실습 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,400,000원
1246 2022-06-01 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1247 2022-06-02 10시 11시 LOT ID: Module
 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 160,000원
1248 2022-06-03 14시 15시 TiN 300A 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 168,000원
1249 2022-06-08 10시 11시 지난번 non-metallic TiN 조건으로 500A진행 (이유정 연구원님) 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 168,000원
1250 2022-06-14 14시 15시 LOT ID: UE3700
목적: Metal Depo		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 600,000원
1251 2022-06-14 15시 16시 LOT ID: UE3700
목적: Metal Depo		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 600,000원
1252 2022-06-15 11시 12시 1. Al 단일막 두께 및 수량 : 두께 3종 각 1장(총 3장)
* 3,000Å(0.3 ㎛) - 1장
* 7,000Å(0.7 ㎛) - 1장
* 10,000Å(1.0 ㎛) - 1장

2. Bare Wafer 구매		 LTC 개발1팀 신주원 747,000원
1253 2022-06-15 12시 13시 LOT ID: UE3700
목적: Metal Depo
 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 600,000원
1254 2022-06-21 11시 12시 Backside Al 2um depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 190,000원
1255 2022-06-22 14시 15시 TiN 50nm depo 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 134,000원
1256 2022-06-22 9시 17시 Ti Metal deposition 1500A (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 2,100,000원
1257 2022-06-27 10시 11시 TiN 50nm depo 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1258 2022-06-27 10시 17시 국가나노인프라를 활용한 나노소자공정실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,350,000원
1259 2022-06-27 9시 10시 안녕하십니까 선생님
4 inch glass wafer 위에

1) TiN 150 nm 증착 (sputter)
2) SiO2 60 nm 증착 (PECVD)
3) TiN 50 nm 증착 (sputter

공정진행 부탁드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 176,000원
1260 2022-07-01 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1261 2022-07-04 14시 15시 TiN 10nm / TiN 50nm deposition 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 272,000원
1262 2022-07-06 15시 16시 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 134,000원
1263 2022-07-11 9시 16시 Al 4um Metal deposition (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 4,610,000원
1264 2022-07-14 14시 15시 SiC 조각 sample 1매 Al 1000A depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 142,500원
1265 2022-07-25 10시 17시 Metal depo (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 1,000,000원
1266 2022-08-01 8시 1시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1267 2022-08-01 9시 10시 1) TiN 100 nm sputtering (이유정 선생님)
2) SiO2 60 nm PECVD (이정익 선생님)
3) TiN 40 nm sputtering (이유정 선생님)

공정 부탁드립니다.
항상 감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 272,000원
1268 2022-08-08 15시 16시 SDC_T01+03 Sputter (Ti 100Å) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김태균 260,000원
1269 2022-08-08 16시 18시 metal depo (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 2,100,000원
1270 2022-08-23 9시 15시 80℃ TiN 20nm depo 포항공과대학교 화학공학과 고명철 730,000원
1271 2022-08-24 14시 17시 전문인력양성사업 MEMS 센서 제작 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,400,000원
1272 2022-08-25 17시 18시 SiO2(285nm)/Si 웨이퍼 5장에 TiN 100nm 증착 부탁드리겠습니다. 택배는 내일 또는 모레 도착 예정입니다.

보낸 사람 : 임석원		 아주대학교 에너지시스템학과 임석원 300,000원
1273 2022-08-30 14시 16시 1) TiN 150 nm 증착 (sputter 3호기)
2) SiO2 60 nm 증착 (PECVD)
3) TiN 50 nm 증착 (sputter 3호기)

부탁드립니다.
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 308,000원
1274 2022-09-01 13시 15시 Ti 100A TiN 250A Al 8000A 3매 증착 의뢰드립니다

w/f slot 바뀌지않도록 부탁드리겠습니다
 템퍼스 생산기술팀 서영민 490,000원
1275 2022-09-01 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 13,100,000원
1276 2022-09-15 15시 16시 TiN 500A 증착 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 134,000원
1277 2022-09-16 14시 16시 0-2-1 Metal Depo (W1,4 9kW Ar 45sccm N2 55sccm 42s
W2,5 9kW Ar 50sccm N2 55sccm 42s
W3,6 7kW Ar 30sccm N2 40sccm 48s)		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 268,000원
1278 2022-09-19 10시 11시 TiN Depo (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 1,700,000원
1279 2022-09-19 14시 16시 4 inch 유리기판과 6인치 Si 기판입니다.

1) TiN 100 nm sputter (이유정 선생님 - 3호기)
2) SiO2 60 nm PECVD (이정익 선생님)
3) TiN 40 nm sputter (3호기)

총 2장		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 344,000원
1280 2022-09-22 10시 11시 [나노융합기반 고도화사업], 전자과 서태원 (010.5009.8015)

Al 200 nm 증착하고자 합니다.
Wafer는 quartz wafer 4조각, Silicon wafer 4조각이며 두께 및 크기는 모두 525 um, 2 cm X 2 cm 입니다.		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 150,000원
1281 2022-09-30 9시 15시 전북대학교 반도체 소자 제작교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 600,000원
1282 2022-10-03 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,274,000원
1283 2022-10-04 10시 11시 [나노융합기반 고도화사업], 전자과 서태원 (010-5009-8015)

Al 200 nm 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 150,000원
1284 2022-10-05 10시 11시 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 134,000원
1285 2022-10-19 10시 12시 SiO2 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착(5장 진행)

포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 300,000원
1286 2022-10-20 14시 15시 Al 7000A LG전자 소재기술센터 차세대디스플레이 연구소 양영성 150,000원
1287 2022-10-20 16시 13시 TiN Depo (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 1,000,000원
1288 2022-10-24 10시 11시 기존에 사용했던 조건 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 270,000원
1289 2022-10-25 13시 14시 Al&Si 3% 12000W 700nm 1장(6 inch) LG전자 소재기술센터 차세대디스플레이 연구소 양영성 150,000원
1290 2022-10-27 9시 10시 안녕하세요
TiN 80 nm증착 부탁드립니다.
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1291 2022-11-03 01시 10시 5-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 168,000원
1292 2022-11-03 10시 11시 TiN 500A 4장 증착부탁드립니다 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 236,000원
1293 2022-11-07 14시 16시 전문인력양성사업 나노소자공정 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,300,000원
1294 2022-11-07 14시 15시 5-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 134,000원
1295 2022-11-07 15시 16시 8\" waver Al2O3/Si stack 위에 TiN 500A 증착 부탁드립니다

항상 하던 조건으로 부탁드려요		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 134,000원
1296 2022-11-16 13시 14시 M374 W3 M0 deposition 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 191,000원
1297 2022-11-16 16시 18시 안녕하세요. 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.

아래 순서대로 공정 진행 부탁드립니다.
1) TiN 150 nm Sputtering 3호기
2) SiO2 60 nm PECVD
3) TiN 50 nm Sputtering 3호기

시편은 시편보관함 안에 넣어두겠습니다.
감사합니다.
포항공과대학교 기계공학과 양영환 296,000원
1298 2022-11-17 14시 16시 N2 Hysteris curve 청구 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 2,508,000원
1299 2022-11-18 14시 15시 M381 Al deposition 2매 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 170,000원
1300 2022-11-21 15시 16시 Ti 500A/Al 5000A/Ti500A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 685,000원
1301 2022-11-21 16시 18시 1-2-1 TiN 1000A 7kW Ar:N2 50:55
1-2-2 TiN 1000A 7kW Ar:N2 50:60
1-2-3 TiN 1000A 8kWAr:N2 50:55
1-2-4 TiN 1000A 8kWAr:N2 50:60
1-2-5 TiN 1000A 8kWAr:N2 40:50		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 640,000원
1302 2022-11-22 10시 11시 4-1-2 Al 2um target, backside 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 260,000원
1303 2022-11-28 10시 11시 포항공대 노준석 교수님 실험실 입니다.

아래 공정을 순서대로 부탁드립니다.
1) TiN 200 nm 증착 (sputter 3호기)
2) SiO2 60 nm 증착 (PECVD - 3), 250 도 공정
3) TiN 50 nm 증착 (sputter 3호기)

문의사항은 고명철 학생 (010-3925-2255)로 부탁드립니다.
신청은 Sputter 2회, PECVD 1회로 넣어두겠습니다.

감사합니다.
포항공과대학교 기계공학과 양영환 296,000원
1304 2022-11-28 14시 15시 8\" wafer 2매 TiN 500A 증착 부탁드립니다 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 168,000원
1305 2022-11-30 10시 11시 메일로 연락드린 전자과 서태원 입니다. (010 5009 8015)
Al 100 nm 증착 부탁드립니다.		 포항공과대학교 전자과 서태원 145,000원
1306 2022-12-07 14시 11시 TiN Split test 9매 진행 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,152,000원
1307 2022-12-09 14시 15시 TiN 500A 부탁드립니다.

HZO/TiN/Al2O3/Si stack 이며, n,p-type 두장을 드릴예정이오니 구분을 부탁드리겠니다.		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 202,000원
1308 2022-12-13 15시 17시 Ti-Al-Ti-TiN M0 Depo (W1,3) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 282,000원
1309 2022-12-16 14시 15시 TiN (500A) 6장 부탁드립니다.
웨이퍼 트레이 안에 4장 2장 각각 구분해서 두었으니 구분부탁드립니다.		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 304,000원
1310 2022-12-19 10시 11시 TiN 500A 증착 부탁드립니다
2 장 4장 4장 각각 따로 캐리어에 담아 드립니다.		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 440,000원
1311 2022-12-20 10시 15시 2022년 나노융합기반 고도화 사업 (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 3,100,000원
1312 2022-12-21 10시 11시 TiN 500A 4장 부탁드립니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 236,000원
1313 2022-12-22 10시 15시 전문인력사업 나노 소자공정&측정 일자리연계 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,400,000원
1314 2023-01-03 9시 17시 한국나노마이스터고등학교 반도체 공정교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,840,000원
1315 2023-01-04 10시 17시 Ti Depo (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 2,100,000원
1316 2023-01-04 14시 15시 SiO2 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착(6장 진행)

포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 340,000원
1317 2023-01-05 15시 16시 TiN Deposition 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 384,000원
1318 2023-01-09 11시 12시 Ti 200A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 128,000원
1319 2023-01-10 11시 12시 전문인력양성사업 나노소자공정 & 측정 일자리연계 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,100,000원
1320 2023-01-11 10시 11시 Ti 200A(10s), TiN 300A(15.7s) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 156,000원
1321 2023-01-16 17시 18시 12-1-1 Ti/Al=500A/4um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 820,000원
1322 2023-01-26 10시 12시 5-4-1 W1,2: Ti 400A/Al 2000A/Ti 400A/TiN 300A (Ti 20s / Al 16.1s / Ti 20s/ TiN 15.7s),
W3: Ti 440A/Al 2000A/Ti 440A/TiN 300A (Ti 22s / Al 16.1s / Ti 22s/ TiN 15.7s),
W4: Ti 400A/Al 2200A/Ti 400A/TiN 300A (Ti 20s / Al 17.7s / Ti 20s/ TiN 15.7s),
W5: Ti 440A/Al 2200A/Ti 440A/TiN 300A (Ti 22s / Al 17.7s / Ti 22s/ TiN 15.7s),
W6: Ti 480A/Al 2400A/Ti 480A/TiN 300A (Ti 24s / Al 19.3s / Ti 24s/ TiN 15.7s)
삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 1,046,000원
1323 2023-01-27 10시 13시 나노기술 전문인력 양성과정 나노융합기술원 확산 송종호 0원
1324 2023-02-06 1시 10시 1) TiN 150 nm sputtering (이유정 선생님)
2) SiO2 60 nm PECVD (이정익 선생님)
3) TiN 50 nm sputtering (이유정 선생님)

증착 부탁드립니다. 감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 308,000원
1325 2023-02-06 14시 11시 전문인력양성사업 나노소자공정 & 측정일자리연계 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,660,000원
1326 2023-02-07 10시 11시 4인치 Si 두매 (bare Si, SiO2/Si)TiN 500A 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 168,000원
1327 2023-02-07 13시 18시 동의대학교 LINC 사업단 반도체 나노팹트랙 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 4,500,000원
1328 2023-02-14 9시 10시 총 3개의 샘플이 있습니다.

각 샘플에 TiN 60, 80, 100 nm씩 증착 부탁드립니다.
감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 408,000원
1329 2023-02-16 13시 14시 안녕하세요 선생님.
2개의 샘플에 각각 TiN 20nm, 40 nm씩 증착 부탁드립니다.
샘플은 점심시간동안 보관함에 두겠습니다.
감사드립니다!		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 272,000원
1330 2023-02-16 15시 16시 1-1-1 Ti/Al/Ti/TiN=100A/7500/100A/200A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 440,000원
1331 2023-02-21 14시 15시 포항공대 노준석 교수님 실험실입니다.
아래 단계별로 증착부탁드리며, 시편은 시편보관함안에 넣어두겠습니다.
1) TiN 200 nm 증착 (sputter 3호기) - 장비신청
2) SiO2 60 nm (PECVE-3) - 250도 진행
3) TiN 50 nm 증착 (sputter 3호기)
다른 장비도 신청해두도록 하겠습니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 164,000원
1332 2023-02-21 15시 16시 안녕하세요 선생님.
저번처럼 Al2O3 구조물 위에 TiN을 증착하고 싶습니다.
40 nm 증착 부탁드립니다.
감사드립니다!		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 136,000원
1333 2023-02-22 10시 11시 포항공대 노준석 교수님 실험실입니다.
아래 단계별로 증착부탁드리며, 시편은 시편보관함안에 넣어두겠습니다.
1) TiN 200 nm 증착 (sputter 3호기)
2) SiO2 60 nm (PECVE-3) - 250도 진행
3) TiN 50 nm 증착 (sputter 3호기) - 장비신청
다른 장비도 신청해두도록 하겠습니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 132,000원
1334 2023-02-22 13시 14시 TiN 50nm 부탁드립니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 전재현 236,000원
1335 2023-02-24 14시 16시 1-1-1 Ti/Al/Ti/TiN=100A/7500A/100A/200A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 2,650,000원
1336 2023-03-07 10시 11시 2X2 조각 시편입니다.(총 개수 12개입니다.)
SiO2 조각 시편에 TiN 100nm 증착된 상태로 SrTiO3 및 Al:SrTiO3 가 증착 되어 있습니다.

TiN 10nm 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 200,000원
1337 2023-03-07 11시 12시 Sputter 3
(Al 1,000Å, 2,000Å)		 삼성디스플레이 LED Lab 함지현 360,000원
1338 2023-03-07 14시 16시 P=Si 4인치 7매, SiO2 3매 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착 (

포항 나노펩 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-8524-5806
jiyoung4221@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 박지영 600,000원
1339 2023-03-07 16시 17시 0-2-2 Ti 500A (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 0원
1340 2023-03-07 17시 18시 12-1-1 (WF03) Ti/Al=500A/1um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 195,000원
1341 2023-03-08 13시 14시 Sputter (Al 1,000Å) 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 340,000원
1342 2023-03-08 9시 12시 Sputter (TiN 50,100,200Å) 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 528,000원
1343 2023-03-10 10시 11시 12-1-1 (WF05) Ti/Al=500A/1um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 195,000원
1344 2023-03-13 10시 11시 2-1-1 Ti 500A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 200,000원
1345 2023-03-14 10시 11시 WM_R
8\\\' si wafer
Ti 500A/ Al 9000A 증착		 주식회사 보다 연구개발 김형원 192,500원
1346 2023-03-23 10시 12시 Ti100 -Al7500 -Ti100 -TiN200 3매 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 895,000원
1347 2023-03-23 13시 15시 TiN 500A deposition 5EA 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 300,000원
1348 2023-03-27 10시 12시 TiN 100A depo 5ea 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 300,000원
1349 2023-03-31 10시 12시 TiN 500A 3ea deposition 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 220,000원
1350 2023-04-03 14시 17시 1-1-2 TiN 100A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 300,000원
1351 2023-04-03 9시 18시 TiN N2 Hysterisis curve TEST
increase 6조건
decrease 6조건		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 3,580,000원
1352 2023-04-05 16시 18시 Sputter_ENDURA
(TiN,Al,Ti)		 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 560,000원
1353 2023-04-06 10시 12시 1-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 220,000원
1354 2023-04-11 13시 14시 [나노융합기반 고도화산업]
8\' Si wafer
SiO2 증착면에
Ti 500A/ Al 8000A 증착 4매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 500,000원
1355 2023-04-12 17시 18시 TiN/Al/Ti 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 810,000원
1356 2023-04-17 11시 12시 [나노융합기반 고도화사업]
SD LEG - Ti 300A 증착		 주식회사 보다 연구개발 김형원 150,000원
1357 2023-04-18 13시 14시 [나노융합기반 고도화산업]
Ti 100A + TiN 850A 증착 5매

8\' si wafer
하부 layer에 Al, Ti 있습니다. 		주식회사 보다 연구개발 김형원 600,000원
1358 2023-04-20 14시 16시 TiN Depo WF01 9kW/Ar:N2=75:75
WF02 9kW/Ar:N2=75:45
WF03 9kW/Ar:N2=60:55
WF04 9kW/Ar:N2=60:45
WF05 9kW/Ar:N2=60:65
WF06 9kW/Ar:N2=80:70		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 840,000원
1359 2023-04-25 10시 11시 [나노융합기반 고도화산업]
Ti 100A + TiN 850A 증착 5매

8\\\' si wafer
하부 layer에 Al, Ti 있습니다		 주식회사 보다 연구개발 김형원 600,000원
1360 2023-04-25 11시 12시 1-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 260,000원
1361 2023-04-25 15시 17시 4인치 SiO2(300nm)/Si wafer 위에 TiN 100, 200, 300, 500A 증착 요청 (10, 20, 30, 50 nm) 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 560,000원
1362 2023-04-27 11시 12시 3-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 260,000원
1363 2023-04-27 9시 11시 4 inch SiO2(300nm)/Si 웨이퍼 위에 TiN 20, 20, 50, 80 A 증착 부탁드립니다
(20A 공정 따로 2번 부탁드립니다)		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 460,000원
1364 2023-04-28 9시 10시 TiN 150 nm 증착 부탁드립니다.
샘플 보관함에 기판 두었습니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 155,000원
1365 2023-05-02 15시 16시 [나노융합기반 고도화산업]
Al 2000A 증착, stage temp 300C 1매 		주식회사 보다 연구개발 김형원 150,000원
1366 2023-05-03 14시 15시 안녕하세요.
3개의 조건을 2개의 공정으로 진행하고 싶습니다.
샘플은 총 3개입니다.

1번 샘플) 20 nm 증착
2번 샘플) 40 nm 증착
3번 샘플) 20 nm + 40 nm 증착 (총 60nm)

이렇게 진행하고 싶습니다.
샘플은 내일 오전 중으로 샘플 보관함에 두겠습니다
항상 감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 290,000원
1367 2023-05-04 11시 12시 선행 Al 2um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 195,000원
1368 2023-05-04 15시 16시 WF05 Al 2um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 195,000원
1369 2023-05-04 9시 10시 선생님 안녕하세요.
오늘 부탁드린 증착 샘플 다시 한번 증착 부탁드립니다.
1번 샘플 3개, 2번 샘플 6개 총 9개의 샘플이 있습니다.

TiN 40 nm 증착 부탁드립니다.
샘플은 샘플보관함에 두었습니다.

감사드립니다.
고명철 드림		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 145,000원
1370 2023-05-08 09시 10시 LOT ID: Module
목적: Ti 증착 (500A)
총 1장
[나노융합기반 고도화사업]		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 150,000원
1371 2023-05-08 10시 12시 TiN/Al/Ti/TiN 삼성디스플레이 uLED Lab 이원호 1,430,000원
1372 2023-05-08 13시 15시 Ti/TiN 삼성디스플레이 uLED Lab 이원호 730,000원
1373 2023-05-09 10시 11시 1-1-2 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 300,000원
1374 2023-05-09 13시 14시 [나노융합기반 고도화산업]
Al 2000A 증착, stage temp 300C

주식회사 보다 연구개발 김형원 350,000원
1375 2023-05-09 9시 10시 4인치 웨이퍼 TiN 500A 증착 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 260,000원
1376 2023-05-10 15시 17시 SIO2 5매 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착

포항 나노펩 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-8524-5806
jiyoung4221@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 박지영 350,000원
1377 2023-05-11 14시 15시 1-1-4 TiN 100A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 300,000원
1378 2023-05-16 13시 14시 Al 2000A 증착 stage temp 300C 10매

*5/9 조건과 동일하게 진행부탁드립니다. 		주식회사 보다 연구개발 김형원 525,000원
1379 2023-05-18 15시 16시 8인치 공정 - Ti 500A / Al 2000A 증착_4매
- Si Bare 웨이퍼에 Nitride 증착 되어 있습니다.		 주식회사 보다 연구개발 김형원 470,000원
1380 2023-05-24 11시 12시 3. TiN 2500A 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 165,000원
1381 2023-05-24 14시 15시 Front Metal 4.0um 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 490,000원
1382 2023-06-01 10시 11시 TiN 500A, WF 13 부터 4매 부탁드리겠습니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 260,000원
1383 2023-06-01 11시 13시 Ti Depo 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,250,000원
1384 2023-06-02 9시 10시 TiN 40 nm 증탁 부탁드립니다 포항공과대학교 화학공학과 고명철 145,000원
1385 2023-06-05 09시 12시 WM_D_ON test 자재
Al 2000A dep, stage temp 300C 4ea 		주식회사 보다 연구개발 김형원 270,000원
1386 2023-06-05 13시 16시 Ti-Al-Ti-TiN(100-7500-100-200) 4EA 진행 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 900,000원
1387 2023-06-05 15시 17시 TiN 2500A 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 230,000원
1388 2023-06-07 14시 16시 안녕하세요

1) TiN 150 nm 증착 (sputter 3호기)
2) SiO2 60 nm 증착 (PECVD -2호기, 250도 이하에서 공정부탁드립니다.)
3) TiN 50 nm 증착 (sputter 3호기)

이렇게 진행하고자 합니다.
감사드립니다.
샘플보관함에 두었습니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 300,000원
1389 2023-06-08 9시 10시 WM_D_박막개발
Al 2000A 증착
stage temp 300C 		주식회사 보다 연구개발 김형원 142,500원
1390 2023-06-09 9시 12시 TiN 500A 8매
김승모 선배 공정 그대로 부탁드립니다.		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 420,000원
1391 2023-06-12 10시 12시 2-1-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 2,900,000원
1392 2023-06-13 10시 11시 1-1-2 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 180,000원
1393 2023-06-13 16시 18시 Sputter_ENDURA
(TiN Split 6조건)		 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 840,000원
1394 2023-06-14 10시 11시 1-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 260,000원
1395 2023-06-15 9시 10시 BD3217 - MI
- Al 2000A 증착_8인치 4매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 270,000원
1396 2023-06-16 16시 17시 1-1-1 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 180,000원
1397 2023-06-20 9시 10시 2장 모두

1) TiN 170 nm
2) SiO2 60 nm (250도에서 진행)
3) TiN 50 nm
증착 부탁드립니다.

감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 400,000원
1398 2023-06-21 14시 18시 Ti Depo 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,560,000원
1399 2023-06-21 15시 16시 2-1-1 TiN 20A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 180,000원
1400 2023-06-22 10시 11시 WM_R
Ti 500A + Al 9000A 증착 3매

*하부 layer에 TEOS 증착되어 있습니다. TEOS 증착면에 metal 증착해주세요. 		주식회사 보다 연구개발 김형원 377,500원
1401 2023-06-27 9시 15시 TiN Split 평가 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 4,150,000원
1402 2023-06-28 16시 17시 BD3217-Mi
- Al 2000A 증착 2매
- Nitride만 증착되어있는 자재 입니다.		 주식회사 보다 연구개발 김형원 185,000원
1403 2023-06-28 9시 10시 4-1-2 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 180,000원
1404 2023-07-03 10시 12시 2-1-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 2,100,000원
1405 2023-07-07 14시 16시 Sputter_ENDURA
(Split 2조건+Clamp ring 교체
비용)		 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 2,460,000원
1406 2023-07-10 10시 11시 SiO2 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착(1장 진행)
Si 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착(1장 진행)
-> 총 2장

포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 200,000원
1407 2023-07-10 11시 12시 BD3217_D_0629_MI
- 300도 2000A Al 증착 3매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 227,500원
1408 2023-07-10 9시 10시 Ar: N2 비율을 6:4로 하여 증착 후에 ellipsometry 측정 부탁드립니다.
증착 두께는 20 nm정도로 부탁드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 145,000원
1409 2023-07-17 10시 12시 Sputter_ENDURA-2 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 680,000원
1410 2023-07-18 13시 13시 대구대학교 학부생 대상 반도체공정 몰입교육 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 1,070,000원
1411 2023-07-20 9시 10시 BD3217-0629-LEG
- TiN 300A 증착 - 3매
- 해당 자재에 metal은 Al 있고 전면 Nitride 증착된 상태 입니다.		 주식회사 보다 연구개발 김형원 327,500원
1412 2023-07-21 13시 16시 2.1 Ti/Al/Ti/TiN=100Å/7500Å/100Å/200Å LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 2,100,000원
1413 2023-07-24 9시 18시 Al 4.0㎛ 입니다.
고도화사업비



 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 2,100,000원
1414 2023-07-25 11시 18시 Al 4.0㎛ 입니다.
고도화사업비		 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 1,300,000원
1415 2023-07-26 13시 18시 Al 4.0㎛ 입니다.
고도화사업비		 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 2,500,000원
1416 2023-07-28 9시 11시 Ti/Al/Ti/TiN=100A/7500A/100A/200A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 500,000원
1417 2023-08-01 11시 12시 3장 모두

1) TiN 170 nm
2) SiO2 60 nm (250도에서 진행)
3) TiN 50 nm (장비 issue로 진행 X)
증착 부탁드립니다.

감사드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 245,000원
1418 2023-08-28 16시 12시 전북대학교 나노반도체공정 실습교육 8/28~30 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 1,500,000원
1419 2023-09-01 10시 12시 2-1-2 TiN 800A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 190,000원
1420 2023-09-08 15시 18시 5-4-1 Ti/Al/Ti/TiN=400A/2200A/400A/300A 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 820,000원
1421 2023-09-12 10시 12시 2-1-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 1,100,000원
1422 2023-09-14 14시 16시 Metal Depo 삼성디스플레이 Micro LED Lab. (Micro Display 팀) 정준석 480,000원
1423 2023-09-22 15시 16시 Al2O3 구조물 위에 TiN을 증착하고 싶습니다.
40 nm 증착 부탁드립니다.
감사드립니다!		 포항공과대학교 대학원 화학공학과 홍인주 145,000원
1424 2023-09-25 13시 15시 7-4-1 Ti/TiN/Al/TiN=250A/250A/5000A/250A 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 820,000원
1425 2023-10-11 11시 12시 TiN 500A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 140,000원
1426 2023-10-11 13시 14시 (이은아 책임님 진행 건)
Ti(10nm)/Al(20nm)/Ti(10nm) 증착
증착전 표면처리 없음		 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 400,000원
1427 2023-10-11 14시 15시 FTO glass와 ITO glass 각각 위에 TiN을 증착하고 싶습니다.
5nm 증착 부탁드립니다.

그리고 ITO1, FTO1, FTO2, FTO3 순서가 섞이지 않게 증착 해주시면 감사드리겠습니다.)
감사드립니다!		 포항공과대학교 대학원 화학공학과 홍인주 145,000원
1428 2023-10-11 15시 17시 2-1-1 Ti/Al=100A/2um 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 896,000원
1429 2023-10-11 9시 12시 0-1-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 500,000원
1430 2023-10-13 13시 17시 4-1-1 Ti/Al Depo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,500,000원
1431 2023-10-16 13시 15시 1-1-1 Ti/Al/Ti/TiN=100A/7500A/100A/200A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 700,000원
1432 2023-10-18 10시 11시 FTO glass 와 ITO glass위에 TiN을 증착하고 싶습니다.
40 nm 증착 부탁드립니다.
감사드립니다!		 포항공과대학교 대학원 화학공학과 홍인주 145,000원
1433 2023-10-18 11시 12시 SiO2 3매 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착

포항 나노펨 내의 TiN 래시피로 증착 부탁드립니다.

010-8524-5806
jiyoung4221@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 박지영 250,000원
1434 2023-10-18 9시 10시 SiO2 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착(5장 진행)


포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 350,000원
1435 2023-10-19 10시 11시 TiN 5nm 증착 + 테이프 부분 증착 X 포항공과대학교 대학원 화학공학과 최예정 145,000원
1436 2023-10-23 14시 15시 TiN 40nm 증착 + 테이프 부분 증착X 포항공과대학교 대학원 화학공학과 최예정 145,000원
1437 2023-10-25 15시 16시 BD3217-0823-LEG
- TiN 300A 증착_3매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 227,500원
1438 2023-10-27 10시 11시 BD3217-0823-SEED
- Al 2000A 증착(며칠전에 TiN 증착했던 자재 입니다.)		 주식회사 보다 연구개발 김형원 227,500원
1439 2023-11-02 13시 16시 Ti/Al/Ti/TiN depo 50Å/1,000Å/200Å/300Å
4매		 주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 900,000원
1440 2023-11-02 16시 18시 Ti/Al/Ti/TiN depo 250Å/1,500Å/200Å/300Å
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 490,000원
1441 2023-11-02 17시 18시 Ti/Al/Ti/TiN depo 100Å/7,500Å/100Å/200Å LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
1442 2023-11-06 17시 18시 12-1-1 Ti/Al=500Å/4um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 345,000원
1443 2023-11-06 18시 20시 12-1-1 Ti/Al=500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1444 2023-11-07 16시 18시 (E/R Test)12-1-1 Ti/Al=500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1445 2023-11-10 10시 12시 (2st E/R Test)12-1-1 Ti/Al=500Å/4um
 삼성전자 DS 김태훈 0원
1446 2023-11-14 16시 18시 10-1-2 TiN 800Å Depo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 190,000원
1447 2023-11-15 14시 16시 안녕하세요.
포항공대 신소재공학과 최지웅 입니다.
총 4인치 웨이퍼 5장 TiN 공정 의뢰 맡깁니다.
3장은 SiO2 100 nm 웨이퍼이고 나머지 2장은 SiO2 300 nm/TiN 200 nm/SiO2 200 nm 증착되어 있습니다.
1장은 50 nm, 2장은 100 nm, 2장은 200 nm 증착할 예정입니다.
각각 웨이퍼에 표시해두었고 위치는 공정 후 그대로 두었으면 합니다.
더 필요하신 사항 있으시면 01041179580으로 연락해주시면 됩니다.		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 345,000원
1448 2023-11-15 16시 17시 Ti 500Å Depo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 180,000원
1449 2023-11-21 14시 15시 Al 100nm 증착 부탁드립니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 대학원 기계공학과 전나라 180,000원
1450 2023-11-22 14시 15시 BD3217-1116-LEG
- TiN 300A 증착_2매( 저번에 증착 진행한 자재와 동일한 Layer구성된 자재 입니다.)		 주식회사 보다 연구개발 김형원 185,000원
1451 2023-11-23 14시 16시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 345,000원
1452 2023-11-27 10시 12시 (WF44, Test) 4-1-1 Ti/Al/Ti/TiN=100A/7500A/100A/200A LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 500,000원
1453 2023-11-29 16시 18시 13.3.1 backside Al 2um depo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 195,000원
1454 2023-12-07 9시 14시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,300,000원
1455 2023-12-12 13시 15시 4-1-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 500,000원
1456 2023-12-14 15시 16시 BD3217-D-1117
TIN 300A dep - 3ea 		주식회사 보다 연구개발 김형원 227,500원
1457 2023-12-15 14시 17시 Ti 500A / TiN 700A

RF CLN + AL/Si(1%)/Cu(0.5%) = 4.0um (Cu 가능하면 제외부탁드립니다)		 주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 1,280,000원
1458 2023-12-18 10시 12시 SiO2 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100nm 증착(5장 진행)


포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 300,000원
1459 2023-12-20 13시 15시 1-2-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo 100Å/7,500Å/100Å/200Å LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 1,100,000원
1460 2023-12-27 15시 16시 23-12-27(수) sample 맡겨드리도록 하겠습니다.

이정익 연구원님께서 SPM cleaning 완료 후, Al sputtering 부탁드립니다.		 한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹 노은식 150,000원
1461 2023-12-27 16시 17시 2023 나노융합기반 고도화사업 (주)엔디디 연구소 최영환 2,607,500원
1462 2024-01-04 15시 17시 2.4 TiN depo 200Å (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
1463 2024-01-05 10시 12시 TiN 500 A 증착하려고 합니다.
자세한 기판 및 공정 조건은 나노전자시스템 연구실 김승모 연구원님께 확인해주시면 감사하겠습니다.

나노전자시스템 연구실 김승모
054-279-5422
kimsm2110@postech.ac.kr		 광주과학기술원 신소재공학부 이동현 150,000원
1464 2024-01-05 13시 18시 2-1-1 Metal Stepsoverage 평가 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 1,560,000원
1465 2024-01-05 17시 20시 3-1-1/2/3/4 Metal Depo Split

WF01 Ti 10nm / Al 750nm / Ti 10nm / TiN 20nm
WF02 Ti 10nm / Al New Reipe / Ti 10nm / TiN 20nm
WF03 Ti 5nm / Al 750nm / Ti 5nm / TiN 10nm
WF04 Ti 10nm / Al 750nm / Ti 10nm		 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 1,150,000원
1466 2024-01-08 13시 16시 5-4-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,430,000원
1467 2024-01-08 9시 10시 2-1-1 Ti/AL/Ti/TiN Depo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
1468 2024-01-23 13시 18시 14-1-1 Ti/NiV/Ag Depo 1000Å/3000Å/3000Å 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,250,000원
1469 2024-01-26 13시 15시 M2 Metal Depo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 780,000원
1470 2024-01-29 14시 12시 전문인력양성사업 나노 소자공정&측정 일자리연계 교육(1월) 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 3,000,000원
1471 2024-02-01 14시 15시 6-1-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo 50Å/7,500Å/50Å/100Å LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 300,000원
1472 2024-02-16 13시 15시 4-2-1 1매-Ti/Al/Ti/TiN depo 50Å/7500Å/50Å/100Å

4-2-1 1매 - Ti/Al/Ti/TiN depo 50Å/5,000Å/50Å/100Å		 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 500,000원
1473 2024-02-16 15시 17시 7-4-1 Ti/Al/Ti/TiN depo 50Å/1,000Å/200Å/600Å (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
1474 2024-02-16 9시 12시 7-4-1 Ti/TiN/Al/TiN Depo 250Å/250Å/0.5um/250Å 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,430,000원
1475 2024-02-28 10시 12시 Ti/Al/Ti/TiN depo 50Å/7500Å/50Å/100Å 2EA LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 1,000,000원
1476 2024-02-28 9시 12시 12-1-1 Ti 500 / Al 4um 5ea 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,325,000원
1477 2024-03-07 13시 15시 BD3217-240102-LEG
- TiN 300A 증착_5매
저번에 증착한 자재와 동일하게 공정 진행된 Wafer 입니다.		 주식회사 보다 연구개발 김형원 287,500원
1478 2024-03-08 11시 12시 Al 2um 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 190,000원
1479 2024-03-12 15시 16시 2-1-1 Ti/Al Depo 500Å/3,000Å 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 190,000원
1480 2024-03-13 10시 11시 (Backside) Al Depo 2um - 6\", Si, 1매 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 190,000원
1481 2024-03-13 13시 16시 (Backside) Al Depo 2um 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 640,000원
1482 2024-03-13 9시 10시 (Backside) Al Depo 2um -조각 시편 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 190,000원
1483 2024-03-22 13시 14시 2-2-6 Ti Depo 400Å (WF01, 04, 07) 삼성전자 DS 김태훈 400,000원
1484 2024-03-22 14시 15시 2-2-7 Ti Depo 700Å (WF02, 05, 08) 삼성전자 DS 김태훈 400,000원
1485 2024-03-22 15시 16시 2-2-8 Ti Depo 1000Å (WF03, 06, 09) 삼성전자 DS 김태훈 400,000원
1486 2024-03-22 16시 17시 2-2-9 Ti Depo 2000Å (WF10) 삼성전자 DS 김태훈 200,000원
1487 2024-04-03 13시 14시 (#01,03) TiN Depo 300Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 180,000원
1488 2024-04-03 15시 16시 (#05,07,09) TiN Depo300Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 220,000원
1489 2024-04-03 16시 17시 ( #11,13,15) TiN Depo 300Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 220,000원
1490 2024-04-04 14시 15시 2-1-2 TiN Depo 800Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 204,000원
1491 2024-04-18 19시 21시 1-1-2 Ti/Al Depo 500Å/4um 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1492 2024-04-19 8시 10시 7-1-2 Ti/Al/Ti/TiN depo 250Å/1,500Å/200Å/300Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 290,000원
1493 2024-04-23 20시 22시 13-1-1 (WF01, 02) Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1494 2024-04-24 8시 11시 13-1-1 (WF01, 02) Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1495 2024-04-26 17시 18시 10-1-2 TiN Depo 800Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
1496 2024-04-29 1시 2시 ICT제품화지원사업 (AL40,000 DEPO) 주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 300,000원
1497 2024-05-03 9시 11시 Ti/TiN Depo 50Å/2,000Å 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 박종서 240,000원
1498 2024-05-09 10시 12시 TiN Depo 300Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 260,000원
1499 2024-05-09 13시 15시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 500,000원
1500 2024-05-09 15시 17시 샘플 구조입니다.
1. SiO2/TiN(100nm)/VOx(30nm) 2*2 cm 조각시편(9개) 샘플
2. Si/HfTiO2 10nm 2*2cm 조각시편 (3개) 총 12개

3. SIO2 bare wafer 2매

본 샘플에 TiN (50nm) 증착 부탁드립니다.

연락처
이메일: qwqwqw0123@ajou.ac.kr
휴대전화: 010-2612-7334
택배는 박지영 이름으로 송부드렸습니다.
아주대학교 에너지시스템학과 이진찬 250,000원
1501 2024-05-09 17시 19시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 500,000원
1502 2024-05-14 13시 15시 안녕하세요?

포항공대 노준석 교수님 연구실 전영선입니다.

3. TiN (50nm, reactive sputtering, metallic)으로 multilayer 증착을 하려고 합니다.

glass와 si wafer에 TiN 150nm증착 후 PECVD-1 이정익 선생님께서 SiO2 50nm증착해 주신다고 하셔서 증착 완료되면 다시 TiN 50nm증착 부탁드립니다.

높이가 중요하여 신경써서 증착 부탁드립니다!

감사합니다.

전영선 올림.		 포항공과대학교 대학원 기계공학과 전영선 180,000원
1503 2024-05-14 8시 10시 안녕하세요?

포항공대 노준석 교수님 연구실 전영선입니다.

1. TiN (150nm, reactive sputtering, metallic)

glass와 si wafer에 TiN 150nm증착 후 PECVD-1 이정익 선생님께서 SiO2 50nm증착해 주신다고 하셔서 증착 완료되면 다시 TiN 50nm증착 부탁드립니다.

높이가 중요하여 신경써서 증착 부탁드립니다!

감사합니다.

전영선 올림.		 포항공과대학교 대학원 기계공학과 전영선 200,000원
1504 2024-05-27 14시 16시 2개의 섀도우 마스크 사용하여 마스크 1개 당 Ti/Al=200Å/1um 증착하고 싶습니다.

포항공과대학교 반도체공학과 서유라 325,000원
1505 2024-05-29 13시 15시 2-4-3 TiN Depo 200Å 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 180,000원
1506 2024-05-29 15시 16시 TiN 100A depo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 140,000원
1507 2024-06-03 13시 17시 13-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1508 2024-06-03 8시 12시 13-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1509 2024-06-04 8시 10시 경북 반도체 초격차 전문인력양성사업 안동대학교 공정 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 1,100,000원
1510 2024-06-11 8시 12시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1511 2024-06-12 14시 16시 4-4-1 Ti/Al/Ti/TiN depo 50Å/1,000Å/200Å/600Å 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 480,000원
1512 2024-06-18 17시 19시 2-1-1 Ti/Al 500A/4um 삼성전자 DS 김태훈 850,000원
1513 2024-06-19 13시 21시 2-1-1 Ti/Al 500A/4um 삼성전자 DS 김태훈 2,100,000원
1514 2024-06-20 13시 20시 2-1-2 Ti / Al 500A/4um 삼성전자 DS 김태훈 2,100,000원
1515 2024-06-20 9시 12시 2-1-1 Ti/Al 500A/4um 삼성전자 DS 김태훈 850,000원
1516 2024-06-21 8시 12시 2-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 2,350,000원
1517 2024-07-01 14시 16시 6-4-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo 50Å/1,000Å/50Å/600Å 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 480,000원
1518 2024-07-01 16시 18시 SiO2 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100 nm 증착(7장)

Si(p++) 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100 nm 증착(5장)

총 12장 증착 부탁드립니다.

포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-5018-8801
kim6246@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 김덕환 700,000원
1519 2024-07-12 10시 12시 15-2-2 (WF05) - 15.2 Ti/NiV/Ag Depo 500Å/2,000Å/3,000Å 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1520 2024-07-18 15시 17시 14-4-1 M3 Depo (\'Ti 250A/TiN250A /Al 4um /TiN250A) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,135,000원
1521 2024-07-22 13시 14시 TI/Al/Ti/TiN Depo 50Å/1,000Å/200Å/600Å 주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 300,000원
1522 2024-07-23 16시 17시 SiO2(100 nm)/Si 웨이퍼 2장입니다. 2장 모두 TiN 100nm 증착 부탁드립니다.

감사합니다.

김준호 드림.		 포항공과대학교 신소재공학과 김준호 180,000원
1523 2024-07-24 11시 12시 14-1-2 Al Depo 3,000Å 삼성전자 DS 김태훈 2,150,000원
1524 2024-07-29 14시 16시 1-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 740,000원
1525 2024-07-29 16시 17시 TiN Depo 1,000Å 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 140,000원
1526 2024-07-30 8시 18시 한국해양대학교 반도체공정 & 측정분석 연계 2차 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,348,601원
1527 2024-08-06 13시 15시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 600,000원
1528 2024-08-07 10시 12시 13-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1529 2024-08-07 14시 16시 시료는 MgO (2ea), SRO(5 nm)/MgO, SRO(20 nm)/MgO 입니다.

TiN는 70 nm 정도로 증착하고 싶습니다.
 광주과학기술원 물리광과학과 응집물질물리광학 연구실 이승욱 150,000원
1530 2024-08-13 13시 15시 5-4-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo 200Å/1,000Å/200Å/300Å 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,270,000원
1531 2024-08-23 19시 21시 5-4-1 Ti/Al/Ti/TiN Depo 200Å/1,000Å/200Å/300Å 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,270,000원
1532 2024-08-26 13시 15시 13-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1533 2024-08-26 8시 12시 13-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 삼성전자 DS 김태훈 0원
1534 2024-08-27 17시 19시 7-4-1 M1 Depo (Ti/TiN/Al/TiN Depo 250Å/250Å/5,000Å/250Å) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,270,000원
1535 2024-08-28 13시 15시 7-4-1 M1 Metal Depo (Ti 250A, TiN 250A, Al 0.5um, TiN 250A) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,270,000원
1536 2024-09-04 8시 10시 TiN을 70nm 증착하려고합니다. 광주과학기술원 물리광과학과 진연종 150,000원
1537 2024-09-05 8시 12시 1-2-1 Ti/Al Depo 500Å/2um 삼성전자 Power device팀 박종원 2,200,000원
1538 2024-09-06 11시 12시 9-2-2 Ti/TiN Depo 340Å/150Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 0원
1539 2024-09-09 10시 15시 ICT 제품화 지원사업 (Si - 4매), (SIC - 6매) 주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 1,660,000원
1540 2024-09-10 11시 12시 1-1-1 Ti/Al Depo 500Å/3,000Å (주)포플스 - 조성우 200,000원
1541 2024-09-11 10시 12시 신청자 : 김승현 (010 2381 4171)
zzsd15@ajou.ac.kr

샘플 수량 : 10개 (2by2 size)
샘플 상태 : SiO2/TiN(100nm) 증착
요구 사항: TiN 10nm 증착
기존 하부 전극이 100nm 증착되어있으며 소자 구조 상 필라 전극이 요구되어 TiN 10nm 증착 부탁드립니다.
감사합니다. 		아주대학교 광전자재료연구실 김승현 200,000원
1542 2024-09-30 11시 12시 Silicon 기판위에 SrTiO3 박막이 올라가 있습니다.
이 위에 TiN (70 nm)를 증착하려고 합니다.		 광주과학기술원 물리광과학과 진연종 150,000원
1543 2024-09-30 13시 14시 2-7-1 BackSide, Al Depo 2um 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 190,000원
1544 2024-09-30 8시 11시 12-1-1 Ti/Al Depo 500Å/4um 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 580,000원
1545 2024-10-04 9시 11시 Si/TiN/HZO 위 TiN 100Å 증착
 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 박종서 180,000원
1546 2024-10-10 13시 15시 24.10.10 Al Depo 2um 금오공과대학교 반도체시스템공학과 강규혁 300,000원
1547 2024-10-10 8시 11시 TiN 100A 증착 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 박종서 420,000원
1548 2024-10-14 8시 11시 MI Layer
- Si bare Wafer에 Nitride 증착된 자재 입니다.
- Al 3000A 증착후, TiN 200A 증착 6매 입니다.
- Al 은 300도에서 증착 부탁 드립니다.		 주식회사 보다 연구개발 김형원 625,000원
1549 2024-10-17 8시 10시 1-2-1 Backside Ti/Al Depo 500Å/2um 삼성전자 Power device팀 박종원 550,000원
1550 2024-10-25 13시 17시 8인치 Bare Si에 TiN 총 10매 증착 요청드립니다.
1. Metalic mode TiN : 1000A, 2000A, 3000A, 4000A, 5000A 증착 (총5매)
2. Poisoning mode TiN : 1000A, 2000A, 3000A, 4000A, 5000A 증착 (총5매)

증착할 웨이퍼는 10월23~24일 사이 전달드릴수 있도록 하겠습니다.		 삼성전자 CSS사업팀 심재인 1,700,000원
1551 2024-10-28 13시 15시 2-2-2 TiN Depo 800Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 244,000원
1552 2024-10-28 15시 16시 2-1-1 BackSide, Al Depo 2um 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 190,000원
1553 2024-11-07 8시 12시 2-1-1 Al Depo 5,000Å 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 260,000원
1554 2024-11-08 15시 17시 1-1-1 TiN Depo 1,000Å 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김혜진 225,000원
1555 2024-11-08 15시 17시 7-1-2 Ti/Al/Ti/TiN Depo 250Å/1500Å/200Å/300Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 480,000원
1556 2024-11-14 13시 15시 Si(p-Si) 4인치 웨이퍼 위에 TiN 100 nm 증착(7장)

2x2 샘플 총 17개 상부 TiN 50nm 증착
P-Si 위에 HfO2+TiO2 증착한 샘플 (6개)/
p-Si 위에 증착한 TiN(100nm) 기판 위에 HfO2+ZrO2 증착한 샘플 (11개)
위에 테이프로 부착한 닷마스크는 Cr이고 두께는 100마이크로미터입니다.

총 하부 TiN(100nm)7장 + 상부 2x2 샘플 17개 TiN(50nm) 증착 부탁드립니다.

포항나노팹 내의 TiN 레시피로 증착 부탁드립니다.

010-2548-7584
qkrtndus2001@ajou.ac.kr		 아주대학교 에너지시스템학과 박수연 650,000원
1557 2024-11-19 16시 20시 11-5-2 Ti/TiN/Al Depo 300Å/300Å/4um 현대모비스 전력반도체팀 강민기 3,850,000원
1558 2024-12-04 13시 20시 [ICT 제품화 지원사업] (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 3,210,909원
1559 2024-12-16 16시 14시 [ICT 제품화 지원사업] (주) 이너센서 이너센서 강문식 6,248,409원