MEMS Spin Coater 장비일지

기자재관리번호 : 0
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2024-03-11 21시 22시 DNR pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 24,000원
2 2024-03-11 23시 24시 . 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
3 2024-03-12 10시 11시 YPP1700 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
4 2024-03-12 21시 22시 DNR pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 24,000원
5 2024-03-13 10시 12시 이용자: 손종민 (010-9766-0039)

TIPS 과제로 정산 부탁드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 48,000원
6 2024-03-13 17시 18시 YPP 1000 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
7 2024-03-13 9시 10시 2-4-1 PR Coat 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 160,000원
8 2024-03-15 15시 16시 DNR L300 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
9 2024-03-18 10시 11시 1-1-1 PR Coat (Backside 진행) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 32,000원
10 2024-03-18 12시 13시 pt/ti lift off 를 위한 dnr l 300을 3 um 패터닝하려고 합니다.
웨이퍼는 6인치 SOI 이며, Thermal oxidation 500 nm가 되어있습니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
11 2024-03-18 13시 14시 조각 시편 3 ea 진행 포항공과대학교 전자전기공학과 정현수 96,000원
12 2024-03-19 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
13 2024-03-20 15시 17시 이용자: 손종민 (010-9766-0039)

ICT 제품화지원사업
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 60,000원
14 2024-03-20 9시 10시 DNRL300 coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
15 2024-03-21 12시 13시 pt/ti lift off를 위한 DNR L 300 3 um 패터닝을 하려고 합니다.
Thermal oxidation이 진행된 SOI 웨이퍼 입니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
16 2024-03-21 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
17 2024-03-25 14시 16시 CTLM pattern 공정 예약
김성준 박사 직접 진행
포항공과대학교 기술지원팀 김성준 48,000원
18 2024-03-25 22시 23시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
19 2024-03-26 10시 12시 3-1-1 coat
Sic_Cap_01 조각 4 ea
포항공과대학교 기술지원팀 김성준 128,000원
20 2024-03-26 12시 13시 Pt/Ti Lift off를 위한 LOR-28 6um 패터닝을 할 예정입니다.
웨이퍼는 thermal oxidation이 된 SOI 웨이퍼 입니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
21 2024-03-26 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
22 2024-03-27 14시 15시 PR 증착 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
23 2024-03-28 20시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 60,000원
24 2024-03-28 22시 2시 PZT Lift off를 위한 LOR 28 6 um 패터닝을 진행할 예정입니다.
Pt/Ti/SiO2 가 증착된 SOI 웨이퍼입니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 96,000원
25 2024-03-31 18시 19시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 24,000원
26 2024-04-01 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
27 2024-04-02 12시 13시 Pt/Ti lift off를 위한 LOR-28 6 um 패터닝을 할려고 합니다.
PZT/Pt/Ti/Sio2가 증착된 6인치 soi 웨이퍼입니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
28 2024-04-02 13시 14시 PR coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
29 2024-04-03 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
30 2024-04-04 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
31 2024-04-05 12시 13시 LOR 28 6um 패터닝을 하려고 합니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
32 2024-04-05 13시 14시 Au/Cr Lift off를 위한 LOR-28 6 um 패터닝을 하려고 합니다.
6인치 soi 웨이퍼입니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
33 2024-04-05 20시 21시 ICT제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
34 2024-04-11 11시 12시 Spin coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
35 2024-04-11 16시 17시 AT_M_Doping02
pr coating 5 ea
포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 160,000원
36 2024-04-16 17시 18시 AZ5214 Spin coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
37 2024-04-17 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
38 2024-04-18 13시 14시 담당 연구원: 손종민 (010-97676-0039)

ICT 제품화지원사업
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
39 2024-04-18 14시 16시 SU-8 spin coating 예정입니다.

담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039)

ICT 제품화 지원사업
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 60,000원
40 2024-04-18 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
41 2024-04-18 9시 10시 Spin coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
42 2024-04-19 10시 11시 Spin coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
43 2024-04-22 14시 15시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 24,000원
44 2024-04-22 19시 20시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
45 2024-04-22 8시 9시 YPP1700 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
46 2024-04-24 14시 15시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
47 2024-04-24 9시 12시 Logo photo
YPP 1700 coating 4ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
48 2024-04-25 13시 14시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
49 2024-04-25 14시 17시 Pt/Ti lift off를 위한 lor 28 6 um 패터닝 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 72,000원
50 2024-04-26 11시 13시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 48,000원
51 2024-04-29 10시 12시 Logo photo
black
주식회사 보다 연구개발 김형원 22,500원
52 2024-04-30 14시 16시 패터닝을 위한 GXR 601 46 cp를 사용할 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 48,000원
53 2024-05-02 10시 11시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
54 2024-05-02 14시 16시 logophoto
PR coating 4ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
55 2024-05-03 16시 17시 YPP 1000 Photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
56 2024-05-07 16시 18시 logo photo
ypp 1700 coating 4ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
57 2024-05-07 18시 19시 1-1-1 CTLM PR Coat (DNR-L300) 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 126,000원
58 2024-05-07 8시 9시 YPP 1700 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
59 2024-05-08 10시 11시 Red추가 포토
- YPP 1매
주식회사 보다 연구개발 김형원 22,500원
60 2024-05-08 11시 13시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 48,000원
61 2024-05-08 13시 17시 RED 포토 재진행
- PR코팅 4매
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
62 2024-05-09 11시 12시 . 포항공과대학교 대학원 기계공학과 윤승빈 24,000원
63 2024-05-09 18시 21시 Pt/Ti Lift off를 위한 DNR L 300 3 um 패터닝을 하려고 합니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 72,000원
64 2024-05-10 11시 14시 크롬포토
- YPP 코팅 4매
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
65 2024-05-10 16시 17시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 24,000원
66 2024-05-10 17시 19시 RED포토
- PR 코팅 4매
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
67 2024-05-13 13시 14시 2-2-1 Backside photo PR Coat
ICT 제품화 지원사업
마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 100,000원
68 2024-05-13 15시 17시 VOx test
DNR coating 4ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 90,000원
69 2024-05-14 16시 17시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
70 2024-05-17 11시 12시 YPP 1700 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
71 2024-05-20 11시 12시 없음 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김우현 24,000원
72 2024-05-20 8시 9시 YPP1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
73 2024-05-21 13시 14시 . 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김우현 24,000원
74 2024-05-21 17시 18시 안녕하세요.
물리학과 성열헌 입니다.

스핀코터 장비 직접사용 신청합니다.

감사합니다.
성열헌 드림
포항공과대학교 물리학과 성열헌 24,000원
75 2024-05-21 24시 4시 Lift off를 위한 LOR-28 6 um 패터닝을 진행할 예정입니다.
6인치 SOI 웨이퍼 4장을 진행하려고 합니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 96,000원
76 2024-05-22 10시 12시 . 포항공과대학교 대학원 기계공학과 윤승빈 48,000원
77 2024-05-22 9시 10시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
78 2024-05-23 13시 14시 Lift off를 위한 LOR 28 6 um 패터닝 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 24,000원
79 2024-05-23 16시 17시 coating 2ea 주식회사 보다 연구개발 김형원 45,000원
80 2024-05-23 17시 18시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
81 2024-05-24 9시 10시 PR coating 1ea 주식회사 보다 연구개발 김형원 22,500원
82 2024-05-26 17시 19시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 48,000원
83 2024-05-27 15시 17시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 48,000원
84 2024-05-28 14시 16시 Lift off를 위한 LOR-28 6 um를 패터닝하려고 합니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 48,000원
85 2024-05-29 20시 21시 AZ5214 Photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
86 2024-05-30 8시 9시 AZ5214 Photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
87 2024-05-31 16시 18시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 48,000원
88 2024-05-31 9시 10시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
89 2024-06-03 11시 12시 직접사용 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 24,000원
90 2024-06-03 20시 22시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 48,000원
91 2024-06-03 24시 2시 Lift off를 위한 GXR 601 46cp 패터닝을 진행하려고 합니다 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 48,000원
92 2024-06-05 16시 17시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 임창훈 24,000원
93 2024-06-07 15시 17시 logo photo
YPP 1700 coating 2ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 45,000원
94 2024-06-10 15시 17시 logo photo
coating 2ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 45,000원
95 2024-06-11 10시 11시 logo photo
AZ4330 coating 2ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 45,000원
96 2024-06-11 19시 21시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 24,000원
97 2024-06-12 14시 18시 ICT 제품화 지원사업

담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)

8inch wafer 7ea, DNR-L300-D1, spin coating
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 210,000원
98 2024-06-12 8시 9시 1-1-0 5in_231218_NINT_KSJ PR Coat 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 126,000원
99 2024-06-13 13시 14시 logo photo
coating 1ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 22,500원
100 2024-06-13 13시 14시 Frontside PR Coating 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 96,000원
101 2024-06-13 14시 15시 1-1-1 CTLM PR Coat 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 128,000원
102 2024-06-13 19시 20시 YPP 1000 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
103 2024-06-14 10시 11시 ICT 제품화 지원사업

담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)

8inch wafer 3ea, oxide thicnkness inspection
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 120,000원
104 2024-06-14 14시 15시 AZ5214 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
105 2024-06-17 13시 14시 1-1-1 CTLM PR Coat (DNR-L300) 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 84,000원
106 2024-06-17 16시 17시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
107 2024-06-18 18시 19시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
108 2024-06-24 15시 18시 ICT 제품화 지원사업

담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)

8inch SOI 3ea, Su8 coating
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 90,000원
109 2024-06-25 13시 16시 ICT 제품화 지원사업

이용자: 손종민 (010-9766-0039)
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 90,000원
110 2024-06-25 16시 17시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
111 2024-06-25 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
112 2024-06-26 10시 11시 AZ5214 Photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
113 2024-06-26 13시 16시 ICT 제품화 지원사업

이용자: 손종민 (010-9766-0039)
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 90,000원
114 2024-06-26 2시 3시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
115 2024-07-01 15시 16시 직접사용 라이센스 취득 (더미 웨이퍼 활용)

1회차 : 장비작동원리 및 장비사용법 설명, Reference 조건으로 서비스 진행 교육
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 140,000원
116 2024-07-02 13시 14시 6-1-1 PSPI PR Coat (선행) 삼성전자 DS 김태훈 140,000원
117 2024-07-03 14시 17시 ict 제품화 지원사업

담당 연구원: 전자과 손종민 (010-9766-0039)
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 90,000원
118 2024-07-09 10시 11시 . 포항공과대학교 대학원 기계공학과 윤승빈 24,000원
119 2024-07-09 11시 12시 YPP 1000 spin coating 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
120 2024-07-09 12시 14시 ICT 제품화 지원사업

담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)

8inch test wafer 1ea Su8 coating
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 60,000원
121 2024-07-09 21시 22시 ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
122 2024-07-11 10시 11시 DNR L300 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
123 2024-07-11 22시 23시 최선호/010-5102-9680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
124 2024-07-12 16시 18시 16-1-1 PI PR Coat 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
125 2024-07-15 15시 16시 장비 직접사용 라이센스 획득을 위한 교육

2회차 : 본인 샘플로 직접 사용 & 엔지니어 확인
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 30,000원
126 2024-07-15 16시 18시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 48,000원
127 2024-07-17 10시 11시 5-1-1 Back PR Coat 나노콘 연구소 주종호 92,000원
128 2024-07-17 17시 18시 DNR L300 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
129 2024-07-17 8시 9시 1-1-1 PR Coat (DNR-L300)

ICT 제품화 지원사업
그래핀스퀘어주식회사 기획관리팀 권회창 100,000원
130 2024-07-17 9시 10시 4-1-1 Au Contact PR Coat (DNR-L300) 나노콘 연구소 주종호 46,000원
131 2024-07-18 13시 14시 장비 직접사용 라이센스 획득을 위한 교육

3회차 엔지니어 근무시간에 직접 장비사용 & 점검 (라이센스 획득 완료)
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 30,000원
132 2024-07-18 14시 15시 5-1-1 No.5 Membrane PR Coat (AZ4330, Backside) 나노콘 연구소 주종호 46,000원
133 2024-07-19 14시 15시 직접 사용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 24,000원
134 2024-07-19 9시 10시 1-1-1 CTLM PR Coat (DNR-L300) 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 84,000원
135 2024-07-24 14시 16시 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 48,000원
136 2024-07-25 22시 23시 최선호 01051029680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 40,000원
137 2024-07-29 14시 15시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
138 2024-07-30 9시 10시 1-1-1 AT TEG-1 PR Coat 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 252,000원
139 2024-08-05 15시 16시 YPP 1000 photo 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 22,000원
140 2024-08-05 21시 22시 최선호 010-5102-9680 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
141 2024-08-07 13시 14시 직접사용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 22,000원
142 2024-08-07 14시 16시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
143 2024-08-08 15시 16시 라이센스 획득한 상태. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 22,000원
144 2024-08-10 11시 12시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 22,000원
145 2024-08-14 15시 17시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 44,000원
146 2024-08-16 15시 16시 - 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 22,000원
147 2024-08-20 20시 21시 Si 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 22,000원
148 2024-08-26 10시 11시 3-1-0 PR Coat (DNR-L300) 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 168,000원
149 2024-08-27 21시 22시 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
150 2024-08-28 21시 22시 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
151 2024-08-29 18시 19시 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
152 2024-08-29 9시 10시 1-2-1 PR coat
조각 8 ea pr coating
나노융합기술원 대외협력팀 박영재 256,000원
153 2024-09-02 15시 17시 없음 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 44,000원
154 2024-09-09 10시 11시 2-1-2
PR Coat & Baking
나노융합기술원 대외협력팀 박영재 352,000원
155 2024-09-09 13시 14시 0-1-3
PR Coat & Baking
삼성전자 Power device팀 박종원 240,000원
156 2024-09-09 21시 22시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
157 2024-09-09 9시 10시 4-1-1
PR Coat & Baking
포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 128,000원
158 2024-09-10 19시 20시 1-2-1
PR coat 조각 6매
(주)포플스 - 조성우 240,000원
159 2024-09-10 20시 21시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 22,000원
160 2024-09-10 21시 22시 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
161 2024-09-11 21시 23시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 22,000원
162 2024-09-12 10시 11시 DNR coating
조각 2ea
주식회사 보다 연구개발 김형원 40,000원
163 2024-09-19 15시 17시 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
164 2024-09-19 18시 20시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김윤영 22,000원
165 2024-09-19 9시 10시 2-1-0 PR Coat 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 64,000원
166 2024-09-20 15시 16시 박막 공정 후 리프트 오프, 어닐링 진행된 상태. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 22,000원
167 2024-09-20 17시 18시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 22,000원
168 2024-09-20 22시 23시 김도연 010-4715-0095 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
169 2024-09-20 9시 10시 부경대 김도연 모듈 의뢰 (마이크로어낼리시스)

PR Coat

ICT 제품화 지원사업
마이크로어낼리시스(주) 기업부설연구소 조경호 240,000원
170 2024-09-23 21시 23시 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
171 2024-09-25 21시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
172 2024-09-26 9시 11시 2-5-1
PR coat
나노융합기술원 대외협력팀 박영재 288,000원
173 2024-10-01 15시 17시 GXR 601 46cp를 이용한 pr 패터닝을 진행하려고 합니다.
6인치 soi 웨이퍼입니다
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 44,000원
174 2024-10-02 13시 15시 8inch SOI 1ea dnr coating 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
175 2024-10-02 19시 20시 직접사용 라이센스 교육 1회차
Si/SiO2/W/CoFe/MgO/Ta
포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 140,000원
176 2024-10-02 9시 10시 1-1-1 pr coat 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 96,000원
177 2024-10-04 19시 20시 직접사용 라이센스 교육 2회차
Si/SiO2/Pt
포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 40,000원
178 2024-10-04 9시 10시 PMMA A2 1500 RPM
4inch wafer 2ea coating 진행
니나노 적립금 사용
(주)니나노 연구소 박준영 140,000원
179 2024-10-07 14시 16시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
180 2024-10-07 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
181 2024-10-08 1시 3시 GXR 601 46cp를 이용해 패터닝을 할 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 44,000원
182 2024-10-08 13시 14시 스핀코터 라이센스 획득 완료. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 22,000원
183 2024-10-08 14시 16시 담당연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch 1ea dnr coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
184 2024-10-10 10시 11시 구두 전달 포항공과대학교 대학원 배터리공학과 김건우 60,000원
185 2024-10-10 13시 14시 웨이퍼뒷면에 박막존재. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 22,000원
186 2024-10-10 19시 20시 Si/SiO2/W/CoFe/MgO/Ta
직접사용 라이센스 교육 3회차
포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 40,000원
187 2024-10-11 10시 13시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch SOI 1ea DNR coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
188 2024-10-11 13시 15시 샘플 현황 : 4인치 웨이퍼, Si/Ti(50Å)/TiN(2000Å)/HZO(50-150Å)/TiN(100Å) stack (bulk)

- 빠르면 목요일에 샘플이 전달될 수도 있습니다.
-매뉴얼 방식 진행
(그 외 조건은 10/4 일자 진행 건과 동일합니다.)
- standard 한 positive PR 사용
- 사용 aligner 용 mask : TEAM_01_PJS_GATESTACK (NINT에 보관 중이며, 이전에 인폼드린 위아래 구분에 유의해주시면 감사드리겠습니다.)
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 박종서 256,000원
189 2024-10-14 13시 14시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
190 2024-10-14 14시 18시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch SOI 1ea
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 88,000원
191 2024-10-14 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
192 2024-10-15 12시 15시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch 1ea coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 66,000원
193 2024-10-18 21시 22시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
194 2024-10-21 11시 17시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 132,000원
195 2024-10-21 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
196 2024-10-22 13시 19시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch SOI 1ea Su8 coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 132,000원
197 2024-10-22 8시 9시 2-2-1 PR coating
SiC_ UV sensor
포항공과대학교 기술지원팀 김성준 22,000원
198 2024-10-23 19시 20시 metal stack에 대한 photo공정
포항공과대학교 전자전기공학과 홍기륜 22,000원
199 2024-10-23 8시 11시 2-1-1 Coating
SiC_UV_sensor
포항공과대학교 기술지원팀 김성준 64,000원
200 2024-10-28 12시 14시 PR 포항공과대학교 대학원 기계공학과 남영재 44,000원
201 2024-10-28 16시 17시 backside thin film 존재 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김태일 22,000원
202 2024-10-28 21시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
203 2024-10-30 9시 12시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch SOI 1ea Su8 coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 66,000원
204 2024-10-31 9시 12시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch SOI 1ea Su8 coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 66,000원
205 2024-11-01 22시 23시 김주빈 01039670825 부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
206 2024-11-04 15시 18시 담당연구원:최재용/010-2123-3062/jychoieee@postech.ac.kr 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 66,000원
207 2024-11-05 17시 18시 4 inch wafer PMMA coating 750 rpm (주)자비스옵틱스 자비스옵틱스 자비스옵틱스 66,000원
208 2024-11-08 14시 16시 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch SOI 1ea Su8 coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
209 2024-11-08 9시 14시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062/jychoieee@postech.ac.kr 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 110,000원
210 2024-11-11 10시 11시 직접사용 장비라이센스 교육 1회차 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 박성아 140,000원
211 2024-11-11 12시 14시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
212 2024-11-11 14시 16시 담당 연구원 : 도정현 (01063705281)
8inch SOI 1ea Su8 coating
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
213 2024-11-11 16시 18시 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039)
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
214 2024-11-12 11시 12시 장비사용신청자명 : 도정현 (010-6370-5281) / (직접 사용 라이센스 교육 1회차)

연구책임자: 이정수
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 140,000원
215 2024-11-12 12시 13시 포항공대 이정수 교수님 연구실 손종민

장비교육이수 (직접 사용 라이센스 교육 1회차)
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 140,000원
216 2024-11-12 13시 14시 장비사용자명 : 최재용 / (직접 사용 라이센스 교육 1회차)

연구책임자 : 이정수 교수님
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 140,000원
217 2024-11-12 14시 15시 포항공대 이정수교수님 연구실 신성환

장비교육이수 (직접 사용 라이센스 교육 1회차)
(주)아이제스트 연구개발팀 길연호 140,000원
218 2024-11-15 13시 14시 3-1-1
pr Coating
포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 96,000원
219 2024-11-18 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
220 2024-11-19 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
221 2024-11-20 21시 22시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
222 2024-11-25 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
223 2024-11-27 22시 23시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
224 2024-11-28 16시 17시 라이센스 교육 2회차 (직접사용) 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 박성아 40,000원
225 2024-11-28 17시 18시 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
226 2024-11-29 15시 16시 김주빈
010-3967-0825
공정장비 직접사용 라이선스 갱신 교육 요청
날짜 : 11/29

라이센스 교육 1회차
부경대학교 기계설계공학과 김주빈 140,000원
227 2024-11-29 16시 17시 공정장비 직접사용 라이선스 갱신 교육 요청
부경대학교 김주빈 함께 교육 이수

라이센스 교육 1회차
부경대학교 기계공학부 기계설계공학전공 김도연 140,000원
228 2024-11-29 22시 23시 김도연 01047150095
김주빈 01039670825
부경대학교 기계설계공학과 유동인 30,000원
229 2024-11-29 9시 11시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 60,000원