MEMS Spin Coater 장비일지 |
기자재관리번호 : 0 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2024-03-11 21시 | 22시 | DNR pattern | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 24,000원 |
| 2 | 2024-03-11 23시 | 24시 | . | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 30,000원 |
| 3 | 2024-03-12 10시 | 11시 | YPP1700 | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 4 | 2024-03-12 21시 | 22시 | DNR pattern | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 24,000원 |
| 5 | 2024-03-13 10시 | 12시 | 이용자: 손종민 (010-9766-0039) TIPS 과제로 정산 부탁드립니다. |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 48,000원 |
| 6 | 2024-03-13 17시 | 18시 | YPP 1000 | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 7 | 2024-03-13 9시 | 10시 | 2-4-1 PR Coat | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 160,000원 |
| 8 | 2024-03-15 15시 | 16시 | DNR L300 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 9 | 2024-03-18 10시 | 11시 | 1-1-1 PR Coat (Backside 진행) | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 32,000원 |
| 10 | 2024-03-18 12시 | 13시 | pt/ti lift off 를 위한 dnr l 300을 3 um 패터닝하려고 합니다. 웨이퍼는 6인치 SOI 이며, Thermal oxidation 500 nm가 되어있습니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 11 | 2024-03-18 13시 | 14시 | 조각 시편 3 ea 진행 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 정현수 | 96,000원 |
| 12 | 2024-03-19 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 13 | 2024-03-20 15시 | 17시 | 이용자: 손종민 (010-9766-0039) ICT 제품화지원사업 |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 60,000원 |
| 14 | 2024-03-20 9시 | 10시 | DNRL300 coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 15 | 2024-03-21 12시 | 13시 | pt/ti lift off를 위한 DNR L 300 3 um 패터닝을 하려고 합니다. Thermal oxidation이 진행된 SOI 웨이퍼 입니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 16 | 2024-03-21 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 17 | 2024-03-25 14시 | 16시 | CTLM pattern 공정 예약 김성준 박사 직접 진행 |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 48,000원 |
| 18 | 2024-03-25 22시 | 23시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 19 | 2024-03-26 10시 | 12시 | 3-1-1 coat Sic_Cap_01 조각 4 ea |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 128,000원 |
| 20 | 2024-03-26 12시 | 13시 | Pt/Ti Lift off를 위한 LOR-28 6um 패터닝을 할 예정입니다. 웨이퍼는 thermal oxidation이 된 SOI 웨이퍼 입니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 21 | 2024-03-26 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 22 | 2024-03-27 14시 | 15시 | PR 증착 | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 23 | 2024-03-28 20시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 60,000원 |
| 24 | 2024-03-28 22시 | 2시 | PZT Lift off를 위한 LOR 28 6 um 패터닝을 진행할 예정입니다. Pt/Ti/SiO2 가 증착된 SOI 웨이퍼입니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 96,000원 |
| 25 | 2024-03-31 18시 | 19시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 24,000원 |
| 26 | 2024-04-01 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 27 | 2024-04-02 12시 | 13시 | Pt/Ti lift off를 위한 LOR-28 6 um 패터닝을 할려고 합니다. PZT/Pt/Ti/Sio2가 증착된 6인치 soi 웨이퍼입니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 28 | 2024-04-02 13시 | 14시 | PR coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 29 | 2024-04-03 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 30 | 2024-04-04 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 31 | 2024-04-05 12시 | 13시 | LOR 28 6um 패터닝을 하려고 합니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 32 | 2024-04-05 13시 | 14시 | Au/Cr Lift off를 위한 LOR-28 6 um 패터닝을 하려고 합니다. 6인치 soi 웨이퍼입니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 33 | 2024-04-05 20시 | 21시 | ICT제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 34 | 2024-04-11 11시 | 12시 | Spin coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 35 | 2024-04-11 16시 | 17시 | AT_M_Doping02 pr coating 5 ea |
포항공과대학교 | 선행기술팀 | 한성웅 | 160,000원 |
| 36 | 2024-04-16 17시 | 18시 | AZ5214 Spin coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 37 | 2024-04-17 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 38 | 2024-04-18 13시 | 14시 | 담당 연구원: 손종민 (010-97676-0039) ICT 제품화지원사업 |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 39 | 2024-04-18 14시 | 16시 | SU-8 spin coating 예정입니다. 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039) ICT 제품화 지원사업 |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 60,000원 |
| 40 | 2024-04-18 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 41 | 2024-04-18 9시 | 10시 | Spin coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 42 | 2024-04-19 10시 | 11시 | Spin coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 43 | 2024-04-22 14시 | 15시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 24,000원 |
| 44 | 2024-04-22 19시 | 20시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 45 | 2024-04-22 8시 | 9시 | YPP1700 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 46 | 2024-04-24 14시 | 15시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 47 | 2024-04-24 9시 | 12시 | Logo photo YPP 1700 coating 4ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 48 | 2024-04-25 13시 | 14시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 49 | 2024-04-25 14시 | 17시 | Pt/Ti lift off를 위한 lor 28 6 um 패터닝 예정입니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 72,000원 |
| 50 | 2024-04-26 11시 | 13시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 48,000원 |
| 51 | 2024-04-29 10시 | 12시 | Logo photo black |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 22,500원 |
| 52 | 2024-04-30 14시 | 16시 | 패터닝을 위한 GXR 601 46 cp를 사용할 예정입니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 48,000원 |
| 53 | 2024-05-02 10시 | 11시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 54 | 2024-05-02 14시 | 16시 | logophoto PR coating 4ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 55 | 2024-05-03 16시 | 17시 | YPP 1000 Photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 56 | 2024-05-07 16시 | 18시 | logo photo ypp 1700 coating 4ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 57 | 2024-05-07 18시 | 19시 | 1-1-1 CTLM PR Coat (DNR-L300) | 포항공과대학교 | 반도체기술융합센터 | 김준 | 126,000원 |
| 58 | 2024-05-07 8시 | 9시 | YPP 1700 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 59 | 2024-05-08 10시 | 11시 | Red추가 포토 - YPP 1매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 22,500원 |
| 60 | 2024-05-08 11시 | 13시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 48,000원 |
| 61 | 2024-05-08 13시 | 17시 | RED 포토 재진행 - PR코팅 4매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 62 | 2024-05-09 11시 | 12시 | . | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 윤승빈 | 24,000원 |
| 63 | 2024-05-09 18시 | 21시 | Pt/Ti Lift off를 위한 DNR L 300 3 um 패터닝을 하려고 합니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 72,000원 |
| 64 | 2024-05-10 11시 | 14시 | 크롬포토 - YPP 코팅 4매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 65 | 2024-05-10 16시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 24,000원 |
| 66 | 2024-05-10 17시 | 19시 | RED포토 - PR 코팅 4매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 67 | 2024-05-13 13시 | 14시 | 2-2-1 Backside photo PR Coat ICT 제품화 지원사업 |
마이크로어낼리시스(주) | 마이크로어낼리시스 (주) | 안재훈 | 100,000원 |
| 68 | 2024-05-13 15시 | 17시 | VOx test DNR coating 4ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 90,000원 |
| 69 | 2024-05-14 16시 | 17시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 70 | 2024-05-17 11시 | 12시 | YPP 1700 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 71 | 2024-05-20 11시 | 12시 | 없음 | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김우현 | 24,000원 |
| 72 | 2024-05-20 8시 | 9시 | YPP1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 73 | 2024-05-21 13시 | 14시 | . | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김우현 | 24,000원 |
| 74 | 2024-05-21 17시 | 18시 | 안녕하세요. 물리학과 성열헌 입니다. 스핀코터 장비 직접사용 신청합니다. 감사합니다. 성열헌 드림 |
포항공과대학교 | 물리학과 | 성열헌 | 24,000원 |
| 75 | 2024-05-21 24시 | 4시 | Lift off를 위한 LOR-28 6 um 패터닝을 진행할 예정입니다. 6인치 SOI 웨이퍼 4장을 진행하려고 합니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 96,000원 |
| 76 | 2024-05-22 10시 | 12시 | . | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 윤승빈 | 48,000원 |
| 77 | 2024-05-22 9시 | 10시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 78 | 2024-05-23 13시 | 14시 | Lift off를 위한 LOR 28 6 um 패터닝 예정입니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 24,000원 |
| 79 | 2024-05-23 16시 | 17시 | coating 2ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 45,000원 |
| 80 | 2024-05-23 17시 | 18시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 81 | 2024-05-24 9시 | 10시 | PR coating 1ea | 주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 22,500원 |
| 82 | 2024-05-26 17시 | 19시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 48,000원 |
| 83 | 2024-05-27 15시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 48,000원 |
| 84 | 2024-05-28 14시 | 16시 | Lift off를 위한 LOR-28 6 um를 패터닝하려고 합니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 48,000원 |
| 85 | 2024-05-29 20시 | 21시 | AZ5214 Photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 86 | 2024-05-30 8시 | 9시 | AZ5214 Photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 87 | 2024-05-31 16시 | 18시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 48,000원 |
| 88 | 2024-05-31 9시 | 10시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 89 | 2024-06-03 11시 | 12시 | 직접사용 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 24,000원 |
| 90 | 2024-06-03 20시 | 22시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 48,000원 |
| 91 | 2024-06-03 24시 | 2시 | Lift off를 위한 GXR 601 46cp 패터닝을 진행하려고 합니다 | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 48,000원 |
| 92 | 2024-06-05 16시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 임창훈 | 24,000원 |
| 93 | 2024-06-07 15시 | 17시 | logo photo YPP 1700 coating 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 45,000원 |
| 94 | 2024-06-10 15시 | 17시 | logo photo coating 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 45,000원 |
| 95 | 2024-06-11 10시 | 11시 | logo photo AZ4330 coating 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 45,000원 |
| 96 | 2024-06-11 19시 | 21시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 24,000원 |
| 97 | 2024-06-12 14시 | 18시 | ICT 제품화 지원사업 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch wafer 7ea, DNR-L300-D1, spin coating |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 210,000원 |
| 98 | 2024-06-12 8시 | 9시 | 1-1-0 5in_231218_NINT_KSJ PR Coat | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 126,000원 |
| 99 | 2024-06-13 13시 | 14시 | logo photo coating 1ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 22,500원 |
| 100 | 2024-06-13 13시 | 14시 | Frontside PR Coating | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 96,000원 |
| 101 | 2024-06-13 14시 | 15시 | 1-1-1 CTLM PR Coat | 포항공과대학교 | 반도체기술융합센터 | 김준 | 128,000원 |
| 102 | 2024-06-13 19시 | 20시 | YPP 1000 | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 103 | 2024-06-14 10시 | 11시 | ICT 제품화 지원사업 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch wafer 3ea, oxide thicnkness inspection |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 120,000원 |
| 104 | 2024-06-14 14시 | 15시 | AZ5214 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 105 | 2024-06-17 13시 | 14시 | 1-1-1 CTLM PR Coat (DNR-L300) | 포항공과대학교 | 반도체기술융합센터 | 김준 | 84,000원 |
| 106 | 2024-06-17 16시 | 17시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 107 | 2024-06-18 18시 | 19시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 108 | 2024-06-24 15시 | 18시 | ICT 제품화 지원사업 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 3ea, Su8 coating |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 90,000원 |
| 109 | 2024-06-25 13시 | 16시 | ICT 제품화 지원사업 이용자: 손종민 (010-9766-0039) |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 90,000원 |
| 110 | 2024-06-25 16시 | 17시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 111 | 2024-06-25 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 112 | 2024-06-26 10시 | 11시 | AZ5214 Photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 113 | 2024-06-26 13시 | 16시 | ICT 제품화 지원사업 이용자: 손종민 (010-9766-0039) |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 90,000원 |
| 114 | 2024-06-26 2시 | 3시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 115 | 2024-07-01 15시 | 16시 | 직접사용 라이센스 취득 (더미 웨이퍼 활용) 1회차 : 장비작동원리 및 장비사용법 설명, Reference 조건으로 서비스 진행 교육 |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 140,000원 |
| 116 | 2024-07-02 13시 | 14시 | 6-1-1 PSPI PR Coat (선행) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 140,000원 |
| 117 | 2024-07-03 14시 | 17시 | ict 제품화 지원사업 담당 연구원: 전자과 손종민 (010-9766-0039) |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 90,000원 |
| 118 | 2024-07-09 10시 | 11시 | . | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 윤승빈 | 24,000원 |
| 119 | 2024-07-09 11시 | 12시 | YPP 1000 spin coating | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 120 | 2024-07-09 12시 | 14시 | ICT 제품화 지원사업 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch test wafer 1ea Su8 coating |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 60,000원 |
| 121 | 2024-07-09 21시 | 22시 | ICT 제품화 지원사업 전자과 신성환 010 9081 6590 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 30,000원 |
| 122 | 2024-07-11 10시 | 11시 | DNR L300 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 123 | 2024-07-11 22시 | 23시 | 최선호/010-5102-9680 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 30,000원 |
| 124 | 2024-07-12 16시 | 18시 | 16-1-1 PI PR Coat | 트리노테크놀로지 | 경영지원팀 | 트리노테크놀로지 | 0원 |
| 125 | 2024-07-15 15시 | 16시 | 장비 직접사용 라이센스 획득을 위한 교육 2회차 : 본인 샘플로 직접 사용 & 엔지니어 확인 |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 30,000원 |
| 126 | 2024-07-15 16시 | 18시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 48,000원 |
| 127 | 2024-07-17 10시 | 11시 | 5-1-1 Back PR Coat | 나노콘 | 연구소 | 주종호 | 92,000원 |
| 128 | 2024-07-17 17시 | 18시 | DNR L300 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 129 | 2024-07-17 8시 | 9시 | 1-1-1 PR Coat (DNR-L300) ICT 제품화 지원사업 |
그래핀스퀘어주식회사 | 기획관리팀 | 권회창 | 100,000원 |
| 130 | 2024-07-17 9시 | 10시 | 4-1-1 Au Contact PR Coat (DNR-L300) | 나노콘 | 연구소 | 주종호 | 46,000원 |
| 131 | 2024-07-18 13시 | 14시 | 장비 직접사용 라이센스 획득을 위한 교육 3회차 엔지니어 근무시간에 직접 장비사용 & 점검 (라이센스 획득 완료) |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 30,000원 |
| 132 | 2024-07-18 14시 | 15시 | 5-1-1 No.5 Membrane PR Coat (AZ4330, Backside) | 나노콘 | 연구소 | 주종호 | 46,000원 |
| 133 | 2024-07-19 14시 | 15시 | 직접 사용 | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 24,000원 |
| 134 | 2024-07-19 9시 | 10시 | 1-1-1 CTLM PR Coat (DNR-L300) | 포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 84,000원 |
| 135 | 2024-07-24 14시 | 16시 | 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 48,000원 |
| 136 | 2024-07-25 22시 | 23시 | 최선호 01051029680 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 40,000원 |
| 137 | 2024-07-29 14시 | 15시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 24,000원 |
| 138 | 2024-07-30 9시 | 10시 | 1-1-1 AT TEG-1 PR Coat | 포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 252,000원 |
| 139 | 2024-08-05 15시 | 16시 | YPP 1000 photo | 포항공과대학교 | 공정기술팀 | 박광진 | 22,000원 |
| 140 | 2024-08-05 21시 | 22시 | 최선호 010-5102-9680 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 30,000원 |
| 141 | 2024-08-07 13시 | 14시 | 직접사용 | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 22,000원 |
| 142 | 2024-08-07 14시 | 16시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 143 | 2024-08-08 15시 | 16시 | 라이센스 획득한 상태. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 22,000원 |
| 144 | 2024-08-10 11시 | 12시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 22,000원 |
| 145 | 2024-08-14 15시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 44,000원 |
| 146 | 2024-08-16 15시 | 16시 | - | 포항공과대학교 대학원 | IT융합공학과 | 김기영 | 22,000원 |
| 147 | 2024-08-20 20시 | 21시 | Si | 포항공과대학교 대학원 | IT융합공학과 | 김기영 | 22,000원 |
| 148 | 2024-08-26 10시 | 11시 | 3-1-0 PR Coat (DNR-L300) | 포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 168,000원 |
| 149 | 2024-08-27 21시 | 22시 | 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 150 | 2024-08-28 21시 | 22시 | 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 151 | 2024-08-29 18시 | 19시 | 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 152 | 2024-08-29 9시 | 10시 | 1-2-1 PR coat 조각 8 ea pr coating |
나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 256,000원 |
| 153 | 2024-09-02 15시 | 17시 | 없음 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 44,000원 |
| 154 | 2024-09-09 10시 | 11시 | 2-1-2 PR Coat & Baking |
나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 352,000원 |
| 155 | 2024-09-09 13시 | 14시 | 0-1-3 PR Coat & Baking |
삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 240,000원 |
| 156 | 2024-09-09 21시 | 22시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 157 | 2024-09-09 9시 | 10시 | 4-1-1 PR Coat & Baking |
포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 128,000원 |
| 158 | 2024-09-10 19시 | 20시 | 1-2-1 PR coat 조각 6매 |
(주)포플스 | - | 조성우 | 240,000원 |
| 159 | 2024-09-10 20시 | 21시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 22,000원 |
| 160 | 2024-09-10 21시 | 22시 | 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 161 | 2024-09-11 21시 | 23시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 22,000원 |
| 162 | 2024-09-12 10시 | 11시 | DNR coating 조각 2ea |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 40,000원 |
| 163 | 2024-09-19 15시 | 17시 | 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 164 | 2024-09-19 18시 | 20시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김윤영 | 22,000원 |
| 165 | 2024-09-19 9시 | 10시 | 2-1-0 PR Coat | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 64,000원 |
| 166 | 2024-09-20 15시 | 16시 | 박막 공정 후 리프트 오프, 어닐링 진행된 상태. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 22,000원 |
| 167 | 2024-09-20 17시 | 18시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 22,000원 |
| 168 | 2024-09-20 22시 | 23시 | 김도연 010-4715-0095 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 30,000원 |
| 169 | 2024-09-20 9시 | 10시 | 부경대 김도연 모듈 의뢰 (마이크로어낼리시스) PR Coat ICT 제품화 지원사업 |
마이크로어낼리시스(주) | 기업부설연구소 | 조경호 | 240,000원 |
| 170 | 2024-09-23 21시 | 23시 | 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 171 | 2024-09-25 21시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 172 | 2024-09-26 9시 | 11시 | 2-5-1 PR coat |
나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 288,000원 |
| 173 | 2024-10-01 15시 | 17시 | GXR 601 46cp를 이용한 pr 패터닝을 진행하려고 합니다. 6인치 soi 웨이퍼입니다 |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 44,000원 |
| 174 | 2024-10-02 13시 | 15시 | 8inch SOI 1ea dnr coating | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 175 | 2024-10-02 19시 | 20시 | 직접사용 라이센스 교육 1회차 Si/SiO2/W/CoFe/MgO/Ta |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 홍기륜 | 140,000원 |
| 176 | 2024-10-02 9시 | 10시 | 1-1-1 pr coat | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 한성웅 | 96,000원 |
| 177 | 2024-10-04 19시 | 20시 | 직접사용 라이센스 교육 2회차 Si/SiO2/Pt |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 홍기륜 | 40,000원 |
| 178 | 2024-10-04 9시 | 10시 | PMMA A2 1500 RPM 4inch wafer 2ea coating 진행 니나노 적립금 사용 |
(주)니나노 | 연구소 | 박준영 | 140,000원 |
| 179 | 2024-10-07 14시 | 16시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 180 | 2024-10-07 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 181 | 2024-10-08 1시 | 3시 | GXR 601 46cp를 이용해 패터닝을 할 예정입니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 44,000원 |
| 182 | 2024-10-08 13시 | 14시 | 스핀코터 라이센스 획득 완료. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 22,000원 |
| 183 | 2024-10-08 14시 | 16시 | 담당연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch 1ea dnr coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 184 | 2024-10-10 10시 | 11시 | 구두 전달 | 포항공과대학교 대학원 | 배터리공학과 | 김건우 | 60,000원 |
| 185 | 2024-10-10 13시 | 14시 | 웨이퍼뒷면에 박막존재. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 22,000원 |
| 186 | 2024-10-10 19시 | 20시 | Si/SiO2/W/CoFe/MgO/Ta 직접사용 라이센스 교육 3회차 |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 홍기륜 | 40,000원 |
| 187 | 2024-10-11 10시 | 13시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 1ea DNR coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 188 | 2024-10-11 13시 | 15시 | 샘플 현황 : 4인치 웨이퍼, Si/Ti(50Å)/TiN(2000Å)/HZO(50-150Å)/TiN(100Å) stack (bulk) - 빠르면 목요일에 샘플이 전달될 수도 있습니다. -매뉴얼 방식 진행 (그 외 조건은 10/4 일자 진행 건과 동일합니다.) - standard 한 positive PR 사용 - 사용 aligner 용 mask : TEAM_01_PJS_GATESTACK (NINT에 보관 중이며, 이전에 인폼드린 위아래 구분에 유의해주시면 감사드리겠습니다.) |
포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 박종서 | 256,000원 |
| 189 | 2024-10-14 13시 | 14시 | 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 190 | 2024-10-14 14시 | 18시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 1ea |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 88,000원 |
| 191 | 2024-10-14 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 192 | 2024-10-15 12시 | 15시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch 1ea coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 66,000원 |
| 193 | 2024-10-18 21시 | 22시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 194 | 2024-10-21 11시 | 17시 | 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 132,000원 |
| 195 | 2024-10-21 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 196 | 2024-10-22 13시 | 19시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 1ea Su8 coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 132,000원 |
| 197 | 2024-10-22 8시 | 9시 | 2-2-1 PR coating SiC_ UV sensor |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 22,000원 |
| 198 | 2024-10-23 19시 | 20시 | metal stack에 대한 photo공정 |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 홍기륜 | 22,000원 |
| 199 | 2024-10-23 8시 | 11시 | 2-1-1 Coating SiC_UV_sensor |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 64,000원 |
| 200 | 2024-10-28 12시 | 14시 | PR | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 남영재 | 44,000원 |
| 201 | 2024-10-28 16시 | 17시 | backside thin film 존재 | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김태일 | 22,000원 |
| 202 | 2024-10-28 21시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 203 | 2024-10-30 9시 | 12시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 1ea Su8 coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 66,000원 |
| 204 | 2024-10-31 9시 | 12시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 1ea Su8 coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 66,000원 |
| 205 | 2024-11-01 22시 | 23시 | 김주빈 01039670825 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 30,000원 |
| 206 | 2024-11-04 15시 | 18시 | 담당연구원:최재용/010-2123-3062/jychoieee@postech.ac.kr | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 66,000원 |
| 207 | 2024-11-05 17시 | 18시 | 4 inch wafer PMMA coating 750 rpm | (주)자비스옵틱스 | 자비스옵틱스 | 자비스옵틱스 | 66,000원 |
| 208 | 2024-11-08 14시 | 16시 | 담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281) 8inch SOI 1ea Su8 coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 209 | 2024-11-08 9시 | 14시 | 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062/jychoieee@postech.ac.kr | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 110,000원 |
| 210 | 2024-11-11 10시 | 11시 | 직접사용 장비라이센스 교육 1회차 | 포항공과대학교 대학원 | IT융합공학과 | 박성아 | 140,000원 |
| 211 | 2024-11-11 12시 | 14시 | 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 212 | 2024-11-11 14시 | 16시 | 담당 연구원 : 도정현 (01063705281) 8inch SOI 1ea Su8 coating |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 213 | 2024-11-11 16시 | 18시 | 담당 연구원: 손종민 (010-9766-0039) |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 44,000원 |
| 214 | 2024-11-12 11시 | 12시 | 장비사용신청자명 : 도정현 (010-6370-5281) / (직접 사용 라이센스 교육 1회차) 연구책임자: 이정수 |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 140,000원 |
| 215 | 2024-11-12 12시 | 13시 | 포항공대 이정수 교수님 연구실 손종민 장비교육이수 (직접 사용 라이센스 교육 1회차) |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 140,000원 |
| 216 | 2024-11-12 13시 | 14시 | 장비사용자명 : 최재용 / (직접 사용 라이센스 교육 1회차) 연구책임자 : 이정수 교수님 |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 140,000원 |
| 217 | 2024-11-12 14시 | 15시 | 포항공대 이정수교수님 연구실 신성환 장비교육이수 (직접 사용 라이센스 교육 1회차) |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 140,000원 |
| 218 | 2024-11-15 13시 | 14시 | 3-1-1 pr Coating |
포항공과대학교 | 선행기술팀 | 한성웅 | 96,000원 |
| 219 | 2024-11-18 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 220 | 2024-11-19 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 221 | 2024-11-20 21시 | 22시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 222 | 2024-11-25 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 223 | 2024-11-27 22시 | 23시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 224 | 2024-11-28 16시 | 17시 | 라이센스 교육 2회차 (직접사용) | 포항공과대학교 대학원 | IT융합공학과 | 박성아 | 40,000원 |
| 225 | 2024-11-28 17시 | 18시 | 포항공대 전자과 신성환 010 9081 6590 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 22,000원 |
| 226 | 2024-11-29 15시 | 16시 | 김주빈 010-3967-0825 공정장비 직접사용 라이선스 갱신 교육 요청 날짜 : 11/29 라이센스 교육 1회차 |
부경대학교 | 기계설계공학과 | 김주빈 | 140,000원 |
| 227 | 2024-11-29 16시 | 17시 | 공정장비 직접사용 라이선스 갱신 교육 요청 부경대학교 김주빈 함께 교육 이수 라이센스 교육 1회차 |
부경대학교 | 기계공학부 기계설계공학전공 | 김도연 | 140,000원 |
| 228 | 2024-11-29 22시 | 23시 | 김도연 01047150095 김주빈 01039670825 |
부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 30,000원 |
| 229 | 2024-11-29 9시 | 11시 | 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 | (주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 60,000원 |