PZT sputtering 장비일지 |
기자재관리번호 : 0 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2022-05-04 13시 | 15시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 2 | 2022-05-06 10시 | 12시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 3 | 2022-05-09 14시 | 16시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 4 | 2022-05-11 14시 | 16시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 5 | 2022-05-13 14시 | 16시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 6 | 2022-05-18 14시 | 16시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 7 | 2022-05-19 14시 | 16시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 8 | 2022-05-20 10시 | 12시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 9 | 2022-05-24 13시 | 15시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 10 | 2022-05-25 13시 | 15시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 11 | 2022-05-26 13시 | 15시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 12 | 2022-05-30 13시 | 15시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 13 | 2022-05-31 13시 | 15시 | PZT 공정 및 RTA 코팅 | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 400,000원 |
| 14 | 2022-07-12 10시 | 14시 | PZT 5000 A dep. | 대구경북과학기술원 | 로봇및기계전자공학과 | 김선형 | 1,100,000원 |
| 15 | 2022-10-27 13시 | 14시 | LOT ID: Module 목적: PZT 2000A 총 1장 [나노융합기반 고도화사업] |
(주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 조기수 | 500,000원 |
| 16 | 2022-11-07 13시 | 17시 | PZT 5000A Sputtering 4.0024860.01, 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 과제 |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 1,100,000원 |
| 17 | 2022-11-09 10시 | 11시 | 900A PZT Sputtering |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 800,000원 |
| 18 | 2022-11-09 15시 | 18시 | 4.0024860.01, 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 과제 PZT Sputtering 1um depo |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 2,100,000원 |
| 19 | 2022-11-23 13시 | 15시 | PZT Depo. 1.5um | 한국기계연구원 | 자연모사응용연구실 | 이덕규 | 3,200,000원 |
| 20 | 2022-12-05 9시 | 18시 | 조건 1) 0.3um 조건 2) 0.5um 조건 3) 0.3um 조건 4) 0.09um 조건 5) 0.5um 이후 RTA 8회 진행 4.0024860.01, 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 과제 |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 800,000원 |
| 21 | 2023-02-03 11시 | 18시 | 공정후 측정 data공유 및 공정후의 wafer사진 촬영 부탁 합니다. | 뉴라이트 | 경영 | 서주옥 | 1,900,000원 |
| 22 | 2023-03-07 9시 | 14시 | 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 4.0026049.01 1000A seed layer deposition 2회 / RTA 3회 |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 1,890,000원 |
| 23 | 2023-03-14 10시 | 17시 | 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 4.0026049.01 1000A seed layer deposition 1회 / 3um layer deposition 1회 / RTA 2회 |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 6,660,000원 |
| 24 | 2023-03-20 9시 | 18시 | 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 4.0026049.01 1um Target seed layer deposition 4회 / RTA 2회 |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 8,460,000원 |
| 25 | 2023-04-03 10시 | 18시 | 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 4.0026049.01 1.5um Target seed layer deposition 4회(working pressure split) / RTA 2회 |
포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 12,060,000원 |
| 26 | 2023-04-17 16시 | 24시 | PZT 증착두께 : 30 nm (300 A) 어닐링 조건: 700도 20분 기본조건으로 말씀드렸는데, 황현주 연구원님과 유선상으로 증착하려는 PZT가 너무 얇아서 온도를 조금 낮추어서 진행하기로 하였습니다. 이후에 진행하신 온도만 저에게 말씀해주시면 감사하겠습니다. 추가로, 투명해서 눈에 잘 보이지 않지만 표면에 매우 얇은(0.3nm & 10nm, 시편별로 상이함) 물질이 증착되어있습니다. 시편을 잡으실 때 최대한 손상이 가지 않도록 조심해주시고, 이 물질의 표면상태에 따라서 특성이 크게 변해서 최대한 표면이 깨끗하게 유지되도록 부탁드립니다. 감사합니다. |
포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 윤석현 | 680,000원 |
| 27 | 2023-08-01 13시 | 16시 | 2-2-1 PZT Seed 0.2um | 나노콘 | 나노콘 연구소 | 나노콘 | 280,000원 |
| 28 | 2023-08-03 13시 | 18시 | 2-2-5 PZT Main Layer 3um | 나노콘 | 나노콘 연구소 | 나노콘 | 920,000원 |
| 29 | 2023-10-24 14시 | 17시 | PZT 400A 증착 | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 윤석현 | 180,000원 |
| 30 | 2023-11-20 13시 | 16시 | 시드 없이 PZT 500 nm, 1um 올렸을때 막질 테스트를 하려고 합니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 3,160,000원 |
| 31 | 2024-01-11 9시 | 12시 | 400Å 1회, 800Å 1회 | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 윤석현 | 460,000원 |
| 32 | 2024-02-06 11시 | 16시 | PZT 40 nm / 80 nm 증착 의뢰드립니다. | 포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 윤석현 | 460,000원 |
| 33 | 2024-03-05 15시 | 18시 | 6인치 SOI 웨이퍼에 PZT 3 um (Seed 포함) 증착하려고 합니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 2,060,000원 |
| 34 | 2024-03-29 14시 | 18시 | pt/ti가 올라간 6인치 SOI 웨이퍼입니다. PZT 표준 레시피로 1 um 올릴 예정입니다. |
포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 2,060,000원 |
| 35 | 2024-04-03 12시 | 17시 | main layer deposition | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 3,960,000원 |
| 36 | 2024-04-03 9시 | 12시 | Seed layer deposition | 나노콘 | 나노콘연구소 | 조윤빈 | 360,000원 |
| 37 | 2024-05-23 13시 | 14시 | 6인치 웨이퍼에 PZT 1 um을 증착하려고 합니다. | 포항공과대학교 대학원 | 기계공학과 | 김영신 | 2,060,000원 |