PECVD System P-5000 장비일지 |
기자재관리번호 : 0 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2022-05-23 10시 | 11시 | TEOS 300A Deposition | 서강대학교 | 전자공학과 | 이장우 | 335,000원 |
| 2 | 2022-06-14 9시 | 17시 | 국가나노인프라를 활용한 나노소자공정실습교육 | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 3,000,000원 |
| 3 | 2022-08-09 10시 | 13시 | SiC_VD_02 2-1-1 TEOS depo | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 400,000원 |
| 4 | 2022-08-09 14시 | 15시 | LOT ID: Module 목적: TEOS 증착 총 3장 [나노융합기반 고도화사업] |
(주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 조기수 | 300,000원 |
| 5 | 2022-08-11 10시 | 11시 | LOT ID: Module 목적: TEOS 증착 총 2장 [나노융합기반 고도화사업] |
(주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 조기수 | 200,000원 |
| 6 | 2022-08-22 15시 | 17시 | 3-1-1 TEOS 300A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 400,000원 |
| 7 | 2022-08-22 9시 | 16시 | TEOS Depo | (주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 최준석 | 2,800,000원 |
| 8 | 2022-08-25 13시 | 15시 | 1-3-2 SPM PR Strip 1-4-3 BOE Wet Strip Spin Dry 이용 확산 공정 팀이 진행함으로 인해 확산 장비로 청구 |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 391,000원 |
| 9 | 2022-09-06 9시 | 11시 | 4-1-1 TEOS 300A 증착 | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 400,000원 |
| 10 | 2022-09-08 9시 | 18시 | TEOS Depo | (주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 최준석 | 1,500,000원 |
| 11 | 2022-09-13 14시 | 17시 | PE_TEOS 500A, 700A, 1000A Si 3매, 500A SiC 1매 증착 총 4매 |
주식회사 엘엑스세미콘 | 소자팀 | 김동균 | 1,040,000원 |
| 12 | 2022-09-19 13시 | 15시 | 5-1-1 PE_TEOS 300A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 500,000원 |
| 13 | 2022-09-22 10시 | 16시 | TEOS 3um 5매 진행 | SKW Associates, Inc. | SKW Associates, Inc. | Soo kap Hahn | 1,650,000원 |
| 14 | 2022-11-07 10시 | 13시 | 4.0024860.01, 차세대 압전기반 모션센서 공정플랫폼 과제 | 포항공과대학교 | 대외협력팀 | 김인철 | 495,000원 |
| 15 | 2022-11-17 16시 | 12시 | 전문인력양성사업 나노소자공정 실습교육 | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 1,500,000원 |
| 16 | 2022-12-02 15시 | 16시 | PE-TEOS | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김태균 | 160,000원 |
| 17 | 2023-04-05 10시 | 12시 | 8\\\'si bare wafer TEOS 300nm 증착 1매 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 85,000원 |
| 18 | 2023-04-24 14시 | 16시 | TEOS 8000A | 주식회사 아이큐랩 | 생산기술 | 김희종 | 180,000원 |
| 19 | 2023-05-11 10시 | 11시 | [나노융합기반 고도화산업] 8\'si test wafer 1매 공정 스테이지에서 TEOS 300nm 2회 증착 |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 100,000원 |
| 20 | 2023-05-15 10시 | 12시 | [나노융합기반 고도화산업] 8\\\\\\\'si wafer(양면 SiO2 증착되어 있음) TEOS 300nm x 2회 증착 4매 * 5월 11일 증착 레시피로 진행부탁드립니다. |
주식회사 보다 | 연구개발 | 김형원 | 800,000원 |
| 21 | 2023-06-13 15시 | 16시 | PECVD System P-5000 | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 145,000원 |
| 22 | 2023-07-05 14시 | 18시 | 전문인력양성교육 나노 소자공정&일자리연계 교육(7월) | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 1,100,000원 |
| 23 | 2023-07-17 14시 | 15시 | LOT ID: Module 목적: TEOS 증착 (1um) 총 2장 [나노융합기반 고도화사업] |
(주)유우일렉트로닉스 | FAB팀 | 조기수 | 330,000원 |
| 24 | 2023-08-07 19시 | 20시 | 2-1-1 TEOS 300A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 180,000원 |
| 25 | 2023-08-07 9시 | 14시 | 2-1-1 TEOS 300A | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 26 | 2023-08-16 15시 | 18시 | 3-1-1 TEOS 300A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 180,000원 |
| 27 | 2023-08-17 9시 | 13시 | 3-1-1 TEOS 300A | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 28 | 2023-08-21 13시 | 13시 | 전문인력양성사업 나노소자공정&측정 일자리연계 교육(8월) | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 3,200,000원 |
| 29 | 2023-08-28 10시 | 12시 | 4-1-1 TEOS 300A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 180,000원 |
| 30 | 2023-08-28 13시 | 17시 | 4-1-1 TEOS 300A | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 31 | 2023-09-05 13시 | 14시 | TEOS 5300A | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 80,000원 |
| 32 | 2023-09-07 11시 | 16시 | 5-1-1 TEOS 300A | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 33 | 2023-09-07 9시 | 18시 | 전문인력양성사업 나노소자공정 실습교육 | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 1,900,000원 |
| 34 | 2023-09-07 9시 | 11시 | 5-1-1 TEOS 300A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 180,000원 |
| 35 | 2023-09-12 10시 | 11시 | 1-1-4 PE-TEOS 500A | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 90,000원 |
| 36 | 2023-09-14 9시 | 11시 | 1-1-7 TEOS 550A | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 180,000원 |
| 37 | 2023-09-21 13시 | 15시 | 7-1-4 PE_TEOS 8000A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 180,000원 |
| 38 | 2023-09-21 15시 | 18시 | 7-1-4 PE_TEOS 8000A | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 39 | 2023-09-25 14시 | 16시 | TEOS E/R 평가용 | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 270,000원 |
| 40 | 2023-10-11 10시 | 12시 | 4-1-1 TEOS 1um | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 160,000원 |
| 41 | 2023-10-19 10시 | 11시 | (1st) 4-3-1 TEOS 12000A | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 180,000원 |
| 42 | 2023-10-20 14시 | 15시 | (2st) 4-3-1 TEOS 12000A | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 180,000원 |
| 43 | 2023-10-25 16시 | 17시 | (3st) 4-3-1 TEOS 12000A | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 180,000원 |
| 44 | 2023-10-28 10시 | 13시 | 9-1-2 TEOS 6000A | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 45 | 2023-10-28 9시 | 10시 | 9-1-2 TEOS 6000A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 180,000원 |
| 46 | 2023-11-01 18시 | 20시 | (4st) 4-3-1 TEOS 12000A | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 360,000원 |
| 47 | 2023-11-02 9시 | 11시 | TEOS E/R 평가목적 1.2um 1매 진행 | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 220,000원 |
| 48 | 2023-11-15 16시 | 18시 | 4-1-1 TEOS 1.2um | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 360,000원 |
| 49 | 2023-11-16 9시 | 12시 | TEOS E/R 평가목적 1.2um 1매 진행 | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 1,100,000원 |
| 50 | 2023-11-20 10시 | 12시 | WBG 과제 TEOS 500A | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 90,000원 |
| 51 | 2023-11-23 14시 | 15시 | TEOS 12000A | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 180,000원 |
| 52 | 2023-12-06 11시 | 16시 | 1-1-2 TEOS Depo 5000Å | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 600,000원 |
| 53 | 2023-12-07 13시 | 15시 | (WF01, 03) 3-1-2 TEOS Depo 2um | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 360,000원 |
| 54 | 2023-12-08 13시 | 16시 | 6-1-2 TEOS 2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 55 | 2023-12-08 9시 | 12시 | 6-1-2 TEOS 2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 56 | 2023-12-09 9시 | 12시 | (WF01, 03) 4-1-2 PE-TEOS 1.2um | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 360,000원 |
| 57 | 2023-12-11 13시 | 16시 | 6-1-2 TEOS 2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 58 | 2023-12-11 15시 | 18시 | 6-4-1 TEOS Depo 300Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 59 | 2023-12-11 9시 | 12시 | 6-1-2 TEOS 2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 60 | 2023-12-12 15시 | 16시 | TEOS Depo 3300Å | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 양웅석 | 90,000원 |
| 61 | 2023-12-12 9시 | 12시 | 6-4-1 TEOS Depo 300Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 62 | 2023-12-19 16시 | 14시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 424,000원 |
| 63 | 2023-12-28 14시 | 15시 | TEOS Depo 3300Å | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 양웅석 | 90,000원 |
| 64 | 2024-01-02 13시 | 16시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 65 | 2024-01-02 9시 | 12시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 66 | 2024-01-23 9시 | 11시 | 전문인력양성사업 교육생 장비 신청 | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 이상민 | 0원 |
| 67 | 2024-01-29 9시 | 13시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성종합기술원 | V-T/F | 양성석 | 1,120,000원 |
| 68 | 2024-01-31 9시 | 18시 | 전문인력양성사업 나노 소자공정&측정 일자리연계 교육(1월) | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 3,000,000원 |
| 69 | 2024-02-06 14시 | 15시 | 1-0-1 TEOS Depo 3000Å | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 양웅석 | 160,000원 |
| 70 | 2024-02-14 15시 | 16시 | 5-1-1 TEOS Depo 7000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 90,000원 |
| 71 | 2024-02-15 12시 | 14시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 72 | 2024-02-15 14시 | 16시 | 1-1-2 TEOS Depo 5000Å | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 650,000원 |
| 73 | 2024-02-15 9시 | 12시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 74 | 2024-02-20 9시 | 12시 | 5-1-1 (WF#02) PE-TEOS Depo 7,000Å, (WF#03) PE-TEOS Depo 10,000Å |
삼성전자 | DS | 김태훈 | 725,000원 |
| 75 | 2024-02-21 9시 | 18시 | 전문인력양성사업 나노 소자공정&측정 일자리연계 교육(2월) | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 3,000,000원 |
| 76 | 2024-03-27 13시 | 16시 | 4-1-1 PE-TEOS depo 12,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 77 | 2024-03-27 16시 | 18시 | 4-1-1 PE-TEOS depo 12,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 78 | 2024-03-27 9시 | 12시 | 4-1-1 PE-TEOS depo 12,000Å | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 79 | 2024-04-02 13시 | 15시 | 1-1-1 PE-TEOS Depo 3,000Å | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 양웅석 | 160,000원 |
| 80 | 2024-04-29 16시 | 17시 | TEOS Depo 1,000Å | LG전자 | 차세대디스플레이연구소 | 장성규 | 510,000원 |
| 81 | 2024-07-02 13시 | 16시 | 1-1-1 PE-TEOS Depo 10,000Å | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 1,200,000원 |
| 82 | 2024-07-03 13시 | 15시 | 1-1-1 PE-TEOS Depo 10,000Å | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 1,350,000원 |
| 83 | 2024-07-03 15시 | 17시 | 4-1-2 TEOS Depo 1.2um | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 84 | 2024-07-23 12시 | 19시 | ICT 제품화 지원사업 | 주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 4,050,000원 |
| 85 | 2024-07-23 8시 | 12시 | ICT 제품화 지원사업 7/19 신청(금일 진행)했던 27매 + 금일 신청(명일분) 6매 총 33매 입니다 |
주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 900,000원 |
| 86 | 2024-07-24 13시 | 17시 | ICT 제품화 지원사업 TEOS Depo 1um |
주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 900,000원 |
| 87 | 2024-07-29 19시 | 20시 | 0-1-2 TEOS Depo 1,500Å | 포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 120,000원 |
| 88 | 2024-07-30 14시 | 22시 | 한국해양대학교 반도체공정 & 측정분석 연계 2차 교육 | 나노융합기술원 | 교육홍보팀 | 김동기 | 2,798,601원 |
| 89 | 2024-08-05 13시 | 15시 | 2-1-2 PE-TEOS Depo 350Å | 포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 120,000원 |
| 90 | 2024-08-26 8시 | 18시 | [ICT 제품화 지원사업] | (주)모이모션 | (주) 모이모션 | 최정례 | 5,000,000원 |
| 91 | 2024-09-02 8시 | 10시 | 2-1-4 TEOS Depo 1,000Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 300,000원 |
| 92 | 2024-09-06 8시 | 9시 | 9-1-2 PE-TEOS Depo 1,200Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 0원 |
| 93 | 2024-09-11 16시 | 18시 | glass가 기존에 가지고 있는 Si-OH보다 더 많은 Si-OH를 TEOS를 통해 붙이면 제가 붙이려는 분자체가 더 많이 붙게 될지 확인해보고 싶습니다. 반도체에서 절연층으로 사용한다고 하던데 그 정도로 두껍게 필요한 것은 아니고, device 표면에 쓰일 연구라 투명할수록 좋아서 적당히 쌓으면 좋을 것 같습니다. |
포항공과대학교 대학원 | 화학과 | 김보미 | 80,000원 |
| 94 | 2024-09-23 14시 | 16시 | 9-1-2 PE-TEOS Depo 3,600Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 0원 |
| 95 | 2024-09-25 13시 | 17시 | ICT 제품화 지원사업 (Oxide 5000 DEPO) | 주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 1,800,000원 |
| 96 | 2024-09-26 10시 | 17시 | ICT 제품화 지원사업 (Oxide 5000 DEPO) | 주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 2,700,000원 |
| 97 | 2024-09-27 9시 | 12시 | ICT 제품화 지원사업 (Oxide 5000 DEPO) | 주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 840,000원 |
| 98 | 2024-10-11 19시 | 20시 | 11-1-1 WF01 - TEOS Depo 7,500Å | 포항공과대학교 | 반도체공학과 | 이지원 | 50,000원 |
| 99 | 2024-10-15 8시 | 16시 | Oxide 5000 Depo | 주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 2,040,000원 |
| 100 | 2024-10-17 8시 | 16시 | Oxide 5,000Å Depo | 주식회사 아이큐랩 | 제품기술 | 민영미 | 960,000원 |
| 101 | 2024-11-11 13시 | 13시 | [ICT 제품화 지원사업] | (주) 네이처플라워세미컨덕터 | 본사 | (주)네이처플라워세미컨덕터 | 5,900,000원 |