Sputter_SNTEC 장비일지

 기자재관리번호 : B0000055-082002-A0001
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-01-05 16시 17시 Cr 1000A Depo. 부산대학교 기계공학부 이재민 80,000원
2 2010-01-18 17시 19시 Cr 500nm 2ea Sputter
Cr 300nm 1ea Sputter		 부산대학교 mems실험실 이상민 380,000원
3 2010-01-22 14시 16시 Cr Sputtering 2ea 부산대학교 mems실험실 이상민 160,000원
4 2010-01-22 16시 17시 Cr 500A, Al 500A Sputtering 부산대학교 기계공학부 이재민 100,000원
5 2010-01-22 17시 18시 Al 500nm 영남대학교 디스플레이화학공학 박진호 0원
6 2010-02-04 14시 17시 Cr 7000A Dep. (2ea) 부산대학교 mems실험실 이상민 344,000원
7 2010-02-04 17시 18시 Cr 1500A Dep. 부산대학교 기계공학부 이재민 72,000원
8 2010-03-05 09시 10시 Ti 50A + Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 60,000원
9 2010-03-09 10시 15시 Ta reactive sputtering (50A) 5ea KAIST 물리학과 박선규 400,000원
10 2010-03-10 10시 14시 Ti 50A / Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 240,000원
11 2010-03-10 14시 18시 Ti 50A / Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 240,000원
12 2010-03-15 12시 14시 Al 1000A 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 120,000원
13 2010-03-16 13시 17시 Ti 50A / Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 240,000원
14 2010-03-17 09시 13시 Ti 50A / Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 240,000원
15 2010-03-18 13시 16시 패턴된 웨이퍼 위 박막 형성 작업 진행 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 350,000원
16 2010-03-19 09시 13시 Ti 50A / Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 360,000원
17 2010-03-19 13시 18시 Ti 50A / Al 100A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 360,000원
18 2010-03-24 14시 15시 Ti 100A / Al 200A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 60,000원
19 2010-03-26 10시 11시 Al 1000A (etch test 용) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
20 2010-04-01 10시 11시 Cr 5000A 부산대학교 정밀가공시스템전공(MEMS LAB) 김영욱 113,000원
21 2010-04-29 10시 11시 Al 1000A 포항공과대학교 물리학과 박종현 72,500원
22 2010-05-01 15시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
23 2010-05-04 15시 16시 Al 3000A Dep.(김동욱 학생) 영남대학교 디스플레이화학공학 박진호 0원
24 2010-05-06 09시 16시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 504,000원
25 2010-05-07 13시 15시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
26 2010-05-10 14시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 378,000원
27 2010-05-13 09시 10시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
28 2010-05-14 09시 11시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
29 2010-05-17 09시 10시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
30 2010-05-19 09시 11시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
31 2010-05-22 09시 10시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
32 2010-05-24 10시 11시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
33 2010-05-25 09시 11시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
34 2010-05-28 10시 11시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
35 2010-05-31 15시 17시 Cr 300A (NIL Test용 Etch Mask) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
36 2010-06-01 10시 11시 PR pattern 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 126,000원
37 2010-06-01 11시 12시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
38 2010-06-03 11시 13시 PR pattern 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 252,000원
39 2010-06-03 13시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 504,000원
40 2010-06-07 11시 13시 PR pattern 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 252,000원
41 2010-06-09 11시 14시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 378,000원
42 2010-06-10 11시 12시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
43 2010-06-11 11시 12시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
44 2010-06-14 13시 14시 Al 3000A Dep.(Etch Test) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
45 2010-06-14 15시 17시 Target 교체, Chamber 안정화, Depo Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
46 2010-06-15 10시 13시 Ti 50A + Al 200A (4ea) 포항공과대학교 화학공학과 오유진 224,000원
47 2010-06-16 12시 14시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
48 2010-06-17 09시 12시 Ti 50A / Al 200A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 336,000원
49 2010-06-18 11시 12시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
50 2010-06-21 09시 12시 Ti 50A / Al 200A (6ea) 포항공과대학교 화학공학과 오유진 336,000원
51 2010-06-21 13시 15시 Al Dep. (Etch test) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
52 2010-06-22 09시 12시 Ti 50A , Ti 300A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 112,000원
53 2010-06-22 13시 15시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
54 2010-06-23 11시 12시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
55 2010-06-23 14시 15시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
56 2010-06-24 13시 15시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
57 2010-06-25 11시 12시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
58 2010-07-01 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
59 2010-07-05 16시 20시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 504,000원
60 2010-07-07 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
61 2010-07-09 16시 19시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 378,000원
62 2010-07-13 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
63 2010-07-14 15시 17시 Ti 50A + Al 200A 포항공과대학교 화학공학과 오유진 168,000원
64 2010-07-15 16시 18시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
65 2010-07-19 14시 16시 Cr Target exchange_Pumping 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
66 2010-07-22 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
67 2010-07-23 09시 16시 Ti 500nm + Al 3um 포항공과대학교 화학공학과 오유진 448,000원
68 2010-07-26 10시 12시 Cr 1000A Dep. (NIL) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
69 2010-07-26 16시 18시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
70 2010-07-27 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
71 2010-07-28 09시 12시 Al 면저항 Test (DGIST) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
72 2010-07-28 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
73 2010-07-29 13시 15시 Al 2000A Dep. 영남대학교 디스플레이화학공학 박진호 0원
74 2010-07-29 16시 18시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 252,000원
75 2010-07-30 16시 17시 Al(3000Å), Ti, TiN Dep 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 126,000원
76 2010-08-05 10시 12시 Al2O3(Reactive Sputter) 경북대학교 전자전기컴퓨터학부 이정희 140,000원
77 2010-08-16 14시 16시 Al Dep. 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 560,000원
78 2010-08-27 09시 11시 Al 1um Dep (4inch) 포항공과대학교 기계공학과 김형모 280,000원
79 2010-08-30 10시 12시 Al 3000A (양면) 포항공과대학교 기계과 황용환 152,000원
80 2010-09-02 10시 11시 Cr 500A 포스텍 전자전기공학과 조정현 56,000원
81 2010-09-02 11시 16시 Cr(3000A)/Ti(3000A), Ti(3000A)/Cr(3000A) POSCO 표면처리연구그룹 조재동 824,000원
82 2010-09-03 15시 18시 Al 1um (양면) 포항공과대학교 기계과 황용환 472,000원
83 2010-09-13 15시 16시 Cr 1000A 포항공과대학교 화학과 이정우 56,000원
84 2010-09-15 10시 13시 Al2O3 1000Å 포항공과대학교 화학공학과 윤원민 224,000원
85 2010-09-16 13시 15시 Al 7000A 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 336,000원
86 2010-09-28 10시 15시 Cr 300A (주)디엠에스 김성해 560,000원
87 2010-09-29 09시 10시 Cr 300A (주)디엠에스 김성해 112,000원
88 2010-09-29 10시 11시 Al 1000A 포항공과대학교 물리학과 박종현 56,000원
89 2010-09-29 11시 14시 target교체, Cleaning, Pressure 유지 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
90 2010-10-04 10시 12시 Cr 300A (주)디엠에스 김성해 112,000원
91 2010-10-04 15시 17시 Al 800A Dep. 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 168,000원
92 2010-10-06 14시 17시 Target 교체_Cleaning_챔버 Pressure유지 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
93 2010-10-07 10시 12시 TaN Depo Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
94 2010-10-07 14시 17시 Target 교체_Cleaning_Base Pressure_ITO Test_RF Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
95 2010-10-12 09시 13시 ITO Depo Test (DC) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
96 2010-10-13 14시 15시 Al 1000A 포스텍 전자전기공학과 조정현 56,000원
97 2010-10-13 15시 18시 Target change_Cleaning_Pumping 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
98 2010-10-18 09시 11시 Al Dep SK에너지 기술원 분석Lab 이주욱 140,000원
99 2010-10-21 11시 12시 Al 1000A 울산대학교 물리학과 편민욱 63,000원
100 2010-10-21 13시 14시 Al 1000A (TEM) 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 112,000원
101 2010-10-25 09시 10시 Al 1500A (SEM image 평가용) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
102 2010-11-01 10시 12시 Al 1000A (주)디엠에스 김성해 168,000원
103 2010-11-01 13시 18시 Cr 1000A 재료연구소 융합공정연구본부 나종주 630,000원
104 2010-11-03 10시 15시 Ti + Al 포항공과대학교 화학공학과 오유진 784,000원
105 2010-11-04 14시 15시 TiN 700A 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 112,000원
106 2010-11-05 13시 15시 Target change_clean_pumping 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
107 2010-11-08 10시 11시 Cr 500A 부산대학교 정밀가공시스템전공(MEMS LAB) 김영욱 63,000원
108 2010-11-11 10시 11시 Cr 2000A 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 112,000원
109 2010-11-12 10시 12시 Ti / Al / TiN (wf17,wf18) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 208,000원
110 2010-11-15 10시 11시 Al 2000A (TEM) 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 112,000원
111 2010-11-24 10시 11시 TiN 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 112,000원
112 2010-11-24 13시 15시 Cr Dep (주)디엠에스 김성해 224,000원
113 2010-12-14 09시 18시 Metal Sputter Test (Ni_Fe) 포스코 기술연구원 전기강판연구그룹 고현석 1,344,000원
114 2010-12-14 18시 21시 Ti 300A / Al 1200A (S1012-01) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 525,000원
115 2010-12-17 11시 13시 Ti 300A / Al 1200A 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 315,000원
116 2010-12-20 09시 12시 SiN / Ti / Al 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 817,500원
117 2010-12-23 15시 17시 TaN Dep. 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 112,000원
118 2010-12-27 09시 11시 Al 1000A (S1012-01) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 210,000원
119 2010-12-30 01시 03시 Al 1600A depo. (S1012-01) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 240,000원
120 2011-01-04 10시 12시 Target 교체_cleaning 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
121 2011-01-05 13시 16시 Ti 400A 2ea, Al 1200A, Ti/Al/Ti=300/1200/400 1ea 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 435,000원
122 2011-01-06 09시 15시 2-4-1 Ti/Al/Ti Depo. (S1012-02) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 945,000원
123 2011-01-11 09시 10시 Al 1000A 기능성분자계연구실 화학과 김선호 56,000원
124 2011-01-18 10시 16시 Metal Hillock Test (Ti/Al 3ea, Ti/Al/Ti 3ea) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 787,500원
125 2011-01-21 10시 11시 Al, Ti depo (Al2O3 etch Test) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 165,000원
126 2011-01-24 11시 16시 Ti/Al=3000A/10000A, 2ea 포항공과대학교 화학공학과 오유진 952,000원
127 2011-01-25 09시 11시 TiN 400A 포항공과대학교 신소재공학과 조영준 112,000원
128 2011-01-26 14시 18시 7-4-1 Ti/Al depo 5ea (S1012-02) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 525,000원
129 2011-02-10 14시 15시 TaN 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 112,000원
130 2011-03-04 14시 15시 6-4-1 Al Sputter (S03-0131) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 135,000원
131 2011-03-08 10시 12시 TaN reactive Sputter 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 112,000원
132 2011-03-10 13시 14시 Al BOE wet etch Test_Al Depo. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 82,500원
133 2011-03-19 09시 12시 patterned wafer Al 증착 지엠티 박은화 1,400,000원
134 2011-03-30 13시 15시 TaN Depo. 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 224,000원
135 2011-04-04 10시 11시 Al 1000A_TEM 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 56,000원
136 2011-04-07 09시 12시 8인치 patterned wafer Al 증착 크린콜비지니스 신명환 700,000원
137 2011-04-08 10시 12시 Out Gas 측정_6ea_1m_3m_5m 세림티티시 영남연구소 강태선 280,000원
138 2011-04-25 10시 11시 Al 1000A depo. SK에너지 기술원 분석Lab 이주욱 70,000원
139 2011-04-28 13시 16시 8inch patterned wafer Al증착 (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 700,000원
140 2011-05-07 09시 12시 8inch patterned wafer Al증착 크린콜비지니스 신명환 700,000원
141 2011-05-11 11시 13시 Ti 4000A + Al 3000A 포항공과대학교 첨단재료과학부 김성연 168,000원
142 2011-05-11 14시 16시 Target 교체 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
143 2011-05-12 14시 16시 TaN Depo. 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 224,000원
144 2011-05-23 13시 17시 5-4 S/D Metal _Ti/Al Depo (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 660,000원
145 2011-05-25 09시 11시 Metal Dry Etch_Ti_Al depo 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 330,000원
146 2011-05-26 09시 12시 8" patterned wafer Al증착 엔씨케이(주) 신상순 1,400,000원
147 2011-05-26 09시 13시 TiN 3000A 양면 Depo. 포스코 기술연구원 전기강판연구그룹 권민석 336,000원
148 2011-05-31 09시 15시 7-4 FP Metal Depo_Ti+Al (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 795,000원
149 2011-06-01 15시 16시 TiN depo 포항공과대학교 ITCE 정새벽 112,000원
150 2011-06-14 09시 11시 7-4 FP Metal Depo_Ti_Al (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 345,000원
151 2011-06-24 09시 12시 8inch patterned wafer Al증착 (주)에이팸 조미옥 1,400,000원
152 2011-07-01 14시 16시 TaN 150nm_3ea 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 168,000원
153 2011-07-04 18시 19시 TaN 2ea 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 70,000원
154 2011-07-06 11시 13시 TiN 100A 한양대학교 산학협력단 최만수 140,000원
155 2011-07-14 10시 12시 TiN Depo 포항공과대학교 ITCE 정새벽 112,000원
156 2011-07-20 09시 11시 TiN Depo (100A, 500A, 1000A) 한양대학교 산학협력단 최만수 350,000원
157 2011-07-21 09시 15시 Ti 5000A_6ea (1000A/70000원) 제주대학교 메카트로닉스 당현우 1,260,000원
158 2011-07-26 09시 11시 Ti/Al=300A/2000A_2ea 포항공과대학교 전자전기공학과 조동환 224,000원
159 2011-07-27 16시 17시 Al 1000A 포항공과대학교 신소재공학과 정지원 56,000원
160 2011-07-28 13시 15시 Ti/Al=300A/2000A depo 포항공과대학교 전자전기공학과 조동환 224,000원
161 2011-08-01 13시 15시 Vacuum Maintenance 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
162 2011-08-10 13시 14시 Al2O3 depo 포항공과대학교 화학공학과 이재근 56,000원
163 2011-08-22 13시 15시 Ti/Al=200A/4000A 포항공과대학교 전자전기공학과 조동환 168,000원
164 2011-09-22 10시 12시 Cr depo (FIB시편) 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 140,000원
165 2011-09-22 13시 18시 8" patterned wafer Al증착 팩토이엔씨 김영수 1,400,000원
166 2011-10-04 16시 18시 Ti/Al/Ti=300/1000/300 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 168,000원
167 2011-10-05 09시 18시 절연막 테스트 Al depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,260,000원
168 2011-10-05 18시 20시 TiN etch(SF6)_TiN depo 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 157,500원
169 2011-10-10 09시 12시 TiN 2ea, CrN 2ea 포스코 기술연구원 전기강판연구그룹 권민석 224,000원
170 2011-10-14 09시 11시 Ti/Al=200/2000A depo 포항공과대학교 전자전기공학과 조동환 112,000원
171 2011-10-19 10시 11시 Ti 1000A 포항공과대학교 ITCE 정새벽 56,000원
172 2011-10-21 09시 13시 8" patterned wafer Al증착 팩토이엔씨 김영수 1,400,000원
173 2011-10-24 11시 16시 Ti 1000A 4ea, Al 1000A 4ea 재료연구소 융합공정연구본부 나종주 504,000원
174 2011-10-28 13시 16시 Ti/Al=200A/4000A, 2ea 포항공과대학교 전자전기공학과 조동환 448,000원
175 2011-11-03 10시 11시 Ti 2000A 포항공과대학교 ITCE 정새벽 56,000원
176 2011-11-08 14시 15시 Ti 1000A 포항공과대학교 기계공학과 이상유동연구실 김지민 56,000원
177 2011-11-08 15시 18시 Ti 50A / Al 1um 경북대학교 화학공학과 나노재료연구실 손수정 350,000원
178 2011-11-11 09시 11시 Ti 1000A 3ea 부산대학교 기계공학부 이재민 189,000원
179 2011-11-16 13시 17시 Al 10000A depo_13ea (황인준) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 965,000원
180 2011-11-17 09시 12시 Ti 5000A depo_13ea (황인준) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 965,000원
181 2011-11-21 14시 15시 Al depo 포항공과대학교 신소재공학과 정지원 56,000원
182 2011-11-22 10시 13시 Cr depo 한국전기연구원 나노공정장비연구그룹 김판겸 63,000원
183 2011-11-28 09시 12시 Al depo 6ea 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 420,000원
184 2011-11-28 09시 12시 8" patterned wafer Al증착 (주)셈크로 전태주 1,400,000원
185 2011-11-29 09시 12시 Si depo 8ea 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 560,000원
186 2011-12-01 15시 16시 Al 1000A depo 포항공과대학교 전자과 백상원 56,000원
187 2011-12-08 09시 13시 Si depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
188 2011-12-08 14시 18시 Al depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
189 2011-12-13 09시 13시 Si_Al depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
190 2011-12-14 10시 11시 Al 1000A 2회 포스텍 기계공학과 류성남 112,000원
191 2011-12-14 13시 17시 Al depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
192 2011-12-15 12시 16시 Si depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
193 2011-12-27 09시 13시 8인치 patterned wafer Al증착 (주)유시스텍 최승훈 1,400,000원
194 2011-12-29 11시 12시 TiN depo 포항공과대학교 ITCE 정새벽 56,000원
195 2012-01-06 10시 11시 TiN 30nm 증착 포항공과대학교 신소재공학과 성지호 56,000원
196 2012-01-13 14시 15시 TiN 30nm 증착 포항공과대학교 신소재공학과 성지호 56,000원
197 2012-02-02 11시 12시 TiN 30nm 증착 포항공과대학교 신소재공학과 성지호 56,000원
198 2012-02-10 15시 16시 TiN 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 56,000원
199 2012-02-13 21시 22시 TiN 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 강대건 35,000원
200 2012-03-07 15시 16시 Met Sputter Test
Ti: 50A, Al: 1500A		 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 140,000원
201 2012-03-08 01시 01시 TiN 증착 포항공과대학교 ITCE 정새벽 56,000원
202 2012-03-09 17시 19시 4-2-1 MET Sputter Ti50A + Al1500A 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 440,000원
203 2012-03-14 18시 19시 K01 Rework
target : Al-2000		 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 140,000원
204 2012-03-15 09시 11시 Al Sputter 진행 포항공과대학교 전자전기공학과 정윤영 112,000원
205 2012-03-20 17시 19시 4-1-2 Met Sputter Ti-50A 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 210,000원
206 2012-03-20 17시 19시 4-1-3 Met Sputter Al-2000A 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 210,000원
207 2012-03-21 09시 10시 Al2O3 증착 포항공과대학교 화학공학과 이재근 56,000원
208 2012-03-27 10시 11시 Ti 2000A 증착 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 70,000원
209 2012-03-29 09시 10시 Al 증착 진행 포항공과대학교 전자전기공학과 정윤영 56,000원
210 2012-04-03 22시 23시 TiN 증착 포항공과대학교 ITCE 정새벽 25,000원
211 2012-04-04 10시 11시 Ti 2000A 증착
(서비스 70000원/500A 입니다.)		 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 280,000원
212 2012-04-04 11시 12시 Metal Foil에 TiN 증착 한양대학교 산학협력단 최만수 70,000원
213 2012-04-09 14시 17시 4-2-2 MET Sputter Ti 50A 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 390,000원
214 2012-04-09 14시 17시 4-2-4 MET Sputter Al 2000A 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 390,000원
215 2012-04-11 09시 10시 Al2O3 증착 포항공과대학교 화학공학과 이재근 56,000원
216 2012-04-13 14시 15시 Ti 1000A 증착 POSCO 기술연구원 미래제품연구그룹 손창영 96,000원
217 2012-04-26 14시 15시 Ti 1000A POSCO 기술연구원 미래제품연구그룹 손창영 112,000원
218 2012-04-30 16시 18시 Si wafer위에 Ti을 증착
8 inch Si-wafer이용, Ti 100 nm 증착, 3 EA		 POSCO 기술연구원 미래제품연구그룹 손창영 288,000원
219 2012-04-30 17시 18시 wafer 조각 위에 Ti 200 nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 이재근 56,000원
220 2012-05-10 09시 12시 계명대 교육실습 사용
- Ti Sputter 진행		 나노기술집적센터 구미분소 김두석 0원
221 2012-05-21 15시 17시 4-1-1 MET Sputter Ti 50A/Al 1500A 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 640,000원
222 2012-05-22 09시 10시 TiN 800A 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 110,000원
223 2012-05-22 10시 17시 Ti 500A 증착 주성엔지니어링(주) JC팀 윤호빈 1,134,000원
224 2012-05-30 15시 16시 Cr 증착 포항공과대학교 화학 김웅 56,000원
225 2012-06-06 22시 23시 TiN 800A 증착 (야간 사용) 포항공과대학교 ITCE 정새벽 25,000원
226 2012-06-07 09시 10시 LGIT GaN on Si 전력 소자 단위 공정 Test
- Ti 500A 증착		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 70,000원
227 2012-06-07 09시 10시 LGIT GaN on Si 전력 소자 단위 공정 Test
- Al 1500A 증착 (1000A 당 70000원)
DC Power 600W Test		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 70,000원
228 2012-06-07 10시 11시 LGIT GaN on Si 전력 소자 단위 공정 Test
- Al 1500A 증착 (1000A 당 70000원)
DC Power 1500W Test		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 70,000원
229 2012-06-08 16시 17시 LGIT 단위 공정 평가
- Metal Wet Etch 평가 test 용 Ti 2000A 증착
(Ti 500 당 70000원) 2장 제작		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 560,000원
230 2012-06-08 17시 18시 LGIT 단위 공정 평가
- Metal Wet Etch 평가 test 용 Al 5000A 증착
(Al 1000A 당 70000원) 2장 제작		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 700,000원
231 2012-06-11 10시 11시 Ti 2000A 증착
(Ti 증착 = 70000원/500A)
수량은 4회로 청구		 포항공과대학교 화학공학과 이재근 224,000원
232 2012-06-12 15시 16시 Cr Sputter 진행 포항공과대학교 화학 김웅 40,000원
233 2012-06-19 09시 11시 Ohmic COntact 평가
1-4-2. M1 Depo Al 1000A
W01,02,03,04,11,12,15,16,17		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 630,000원
234 2012-06-19 11시 15시 Ohmic COntact 평가
1-4-2. M1 Depo Ti/Ti/TiN= 300A/300A/600A
W01,02,03,04,11,12,15,16,17
(Ti(TiN) = 500A/회)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,260,000원
235 2012-06-19 14시 15시 Ti 3000A 증착
(Ti 500A=70,000원)		 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 420,000원
236 2012-06-19 15시 17시 Ohmic COntact 평가
1-4-2. M1 Depo
W13 Ti = 2000A
W14 TiN = 2000A		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 560,000원
237 2012-06-20 11시 12시 TiN 2000A증착
500A당 70000원		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 224,000원
238 2012-06-25 18시 20시 Ohmic Contact 평가
3-2-2. M1 Depo Al= 1000A
W01,02		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 140,000원
239 2012-06-25 18시 20시 Ohmic Contact 평가
3-2-2. M1 Depo Ti/Ti/TiN= 300A/300A/600A
W01,02
(Ti(TiN) = 500A/회)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 280,000원
240 2012-06-26 12시 14시 Ti 1000A 증착 3매 진행

Ti 증착 = 70000원/500A		 전북대학교 전자공학부 김기현 336,000원
241 2012-06-27 15시 17시 1-4-2 MET1 Depo.
Ti = 2000A, TiN = 2400A
(70,000원/500A)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
242 2012-06-27 15시 17시 1-4-2 MET1 Depo.
Al = 10800A
(70,000원/1000A)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
243 2012-06-28 08시 10시 Ti 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 정윤영 40,000원
244 2012-07-03 16시 17시 3-2-3 MET1 Depo TiN:300A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 140,000원
245 2012-07-10 15시 16시 Ti-1000A POSCO 기술연구원 미래제품연구그룹 손창영 112,000원
246 2012-07-11 11시 14시 Ti 300A/TiN 3000A 1ea (WF01진행) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
247 2012-08-08 14시 15시 YSZ Sputtering 진행 재료연구소 내열재료연구실 윤대원 40,000원
248 2012-08-09 10시 13시 특성화고 교육 파워마스터반도체 주식회사 공정 기술팀 이원범 1,150,000원
249 2012-08-09 14시 15시 Cr1000A 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 56,000원
250 2012-08-14 10시 12시 Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 280,000원
251 2012-08-20 16시 17시 YSZ 증착

(직접 구매한 Sputter Tareget 을사용하여 장비 이용료만 청구 하며 할인율 없음)		 재료연구소 내열재료연구실 윤대원 150,000원
252 2012-08-23 13시 18시 YSZ 증착

(직접 구매한 Sputter Tareget 을사용하여 장비 이용료만 청구 하며 할인율 없음)		 재료연구소 내열재료연구실 윤대원 300,000원
253 2012-08-28 15시 16시 Ta2O5 증착 Test 진행 포항공과대학교 환경공학부 김형일 56,000원
254 2012-08-30 10시 11시 WF04 : Top Ti 200A + Al 1000A + Ti 200A Bottom
WF05 : Top Ti 500A + Al 1500A + Ti 300A Bottom		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
255 2012-09-03 13시 15시 4-2-2 MET Sputter
Metal Sputter Ti/Al		 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 0원
256 2012-09-03 15시 17시 Ti 2000A x2 = 6000A 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 840,000원
257 2012-09-07 11시 13시 1-4-2 MET1 Depo. Ti/AlTi Split
WF06 Ti 200A/Al 1000A/Ti 500A
WF07 Ti 300A/Al 1000A/Ti 500A
WF08 Ti 200A/Al 1500A/Ti 500A		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 630,000원
258 2012-09-17 13시 17시 4인치 wafer Back-side에 Ti/TiN/Al=100/200/5000A 증착 (전세정 DHF 진행)

Al : 70000원/1000A
Ti/TiN : 70000원/500A

Total Thickness
Al : 100000A = 10회 진행 가격
Ti/TiN : 600A = 1회 진행 가격		 경북대학교 산학연구진흥과 전자전기컴퓨터학부 전성찬 870,000원
259 2012-09-17 18시 19시 TIN 800A 포항공과대학교 ITCE 정새벽 50,000원
260 2012-09-18 11시 13시 Ti 3000A 포항나노기술집적센터 팹운영부 변창섭 420,000원
261 2012-09-18 13시 14시 Ti 800A 포항공과대학교 ITCE 정새벽 80,000원
262 2012-10-04 16시 19시 1-4-2 MET1 Depo. Metal Sputter LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,120,000원
263 2012-10-12 09시 12시 4인치 wafer 3장, 장비 2회 진행, TiN/Al=300/3000A 증착 (전세정 DHF 진행) 경북대학교 산학연구진흥과 전자전기컴퓨터학부 전성찬 660,000원
264 2012-10-15 12시 13시 Ti 1000A (back gate용) 포항공과대학교 ITCE 정새벽 112,000원
265 2012-10-16 09시 12시 Ti 100A + TiN 200A + Al 5000A, 2회 진행, 4" wafer 3ea 경북대학교 산학연구진흥과 전자전기컴퓨터학부 전성찬 940,000원
266 2012-10-17 17시 18시 Ti 1000A 증착
(기준 500A)		 포항공과대학교 ITCE 정새벽 80,000원
267 2012-10-17 18시 19시 Al 3000A 증착
(기준 1000A 기준)		 포항공과대학교 ITCE 정새벽 75,000원
268 2012-10-23 09시 15시 Al depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 710,000원
269 2012-10-25 01시 02시 Ti 1000A 증착
(기본가 : 500A)		 포항공과대학교 ITCE 정새벽 50,000원
270 2012-10-26 02시 03시 Ti 1000A 증착 (야간 사용) 포항공과대학교 ITCE 정새벽 50,000원
271 2012-10-29 10시 13시 Ti/Al depo 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 550,000원
272 2012-10-30 17시 21시 3-4-2 MET1 Depo. MET1 Sputter
Ti 300A /Al 1500A/Ti 500A/TiN 300A		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 2,140,000원
273 2012-10-31 16시 18시 Ti 100A Sputtering 직접사용 포항공과대학교 ITCE 정새벽 40,000원
274 2012-11-05 11시 12시 Al 시편 위에 Ti 3000A 증착
(Ti 증착 기본 thickness 500A)		 포항공과대학교 대외협력팀 이남석 420,000원
275 2012-11-07 15시 16시 Al 1500A 증착
(Al 증착 단가 기준 1000A으로 1000A 이상 증착시 2회분 적용 됨)		 포항공과대학교 신소재공학과 정지원 112,000원
276 2012-11-12 09시 16시 Metal(Ti/Al) depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 950,000원
277 2012-11-13 10시 15시 Metal depo Test 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 420,000원
278 2012-11-14 10시 12시 3-4-2 MET1 Depo. MET1 Sputter
Ti 300A /Al 1500A/Ti 500A/TiN 300A		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 700,000원
279 2012-11-14 13시 15시 특성화고 실습 진행 (Al Sputter 진행) 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 350,000원
280 2012-11-14 13시 17시 Metal depo Test 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 420,000원
281 2012-11-15 09시 13시 Metal depo Test 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 420,000원
282 2012-11-15 14시 17시 ILD First Full Run_1차
5-4-2 MET1 Depo
MET1 Sputter Ti/Al/Ti/AiN = 300/1500/500/300		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,050,000원
283 2012-11-19 09시 11시 특성화고 실습 진행 (Ti Sputter 진행) 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 350,000원
284 2012-11-20 13시 14시 Ti 1000A 456" 포항공과대학교 ITCE 정새벽 80,000원
285 2012-11-21 10시 14시 Ti/Al depo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 700,000원
286 2012-11-26 09시 11시 Al 증착 실습 진행 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 700,000원
287 2012-11-26 13시 17시 Diffusion_PVD (NCNT 사용료) 포항공과대학교 화학공학과 임창용 1,000,000원
288 2012-11-27 10시 16시 Diffusion_PVD (NCNT 사용료) 포항공과대학교 기계공학과 서창호 1,000,000원
289 2012-11-29 10시 11시 1-4-1 Metal Sputter
Al=1500A Sputter1
(기본 1000A당 70000원)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 140,000원
290 2012-12-04 09시 12시 Depo_포항TP 지원 심화교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 500,000원
291 2012-12-04 14시 18시 3-4-2 MET1 Depo.
Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A + TiN300 4매
Ti 200A + Al 1000A + T`i 500A + TiN300 1매
Ti 500A + Al 1500A + Ti 500A + TiN300 1매		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 2,030,000원
292 2012-12-06 09시 11시 특성화고 교육 진행
Ti 증착		 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 700,000원
293 2012-12-07 09시 11시 특성화고 교육 진행
Al 증착		 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 700,000원
294 2012-12-12 14시 18시 SiC 과제 관련 Test 진행
Ni Silicide 진행 관련 Ti/Al Sputter 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 380,000원
295 2012-12-14 14시 17시 4-2-2 MET Sputter Ti 50A + Al 2000A, 5매 (주)아이엠헬스케어 이인제 1,050,000원
296 2012-12-18 11시 12시 C 3000A 증착
(Cr 증착 기준 1000A 당 1회		 한국광기술원 LED소자연구센터 정태훈 210,000원
297 2012-12-26 09시 12시 특성화고 교육 진행 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 700,000원
298 2012-12-28 14시 16시 4-2-2 MET Sputter
Ti/Al Sputter (50A/2000A)		 (주)아이엠헬스케어 이인제 1,050,000원
299 2013-01-02 10시 11시 Al Metal 증착 (1000A) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 70,000원
300 2013-01-03 09시 11시 SiC 과제 관련 Ti/Al metal layer 증착
Ti/Al = 300/2000A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 560,000원
301 2013-01-03 10시 18시 2-2-1 반사율 Metal Depo. Cr 1000A 한국표준과학연구원 진종한 560,000원
302 2013-01-14 10시 13시 5-4-2 M1OP
MET1 Sputter
Ti/Al/Ti/ATiN = 300/1500/500/300A
(Ti/Al/Ti/ATiN = 300/1500/500/300A 진행시 장당 350,000원)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,050,000원
303 2013-01-15 13시 16시 DF_Metal dep 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 500,000원
304 2013-01-17 14시 18시 3-4-2 M1 Depo
MET1 Sputter
Ti/Al/Ti/ATiN = 300/1500/500/300A 5장 진행
(Ti/Al/Ti/ATiN = 300/1500/500/300A 진행시 장당 350,000원 = 5회 사용)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,750,000원
305 2013-01-22 11시 14시 DF_Metal Depo 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 700,000원
306 2013-01-24 14시 16시 4-2-2. MET sputter
Ti/Al Sputter
(Ti/Al = 50/2000)
Ti:70000원 + Al:140000원 = 210000원(1장)		 (주)아이엠헬스케어 이인제 1,050,000원
307 2013-01-28 10시 12시 Al 3000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
308 2013-02-06 13시 14시 Al 100nm 증착
(500A 1회 사용 적용)
1000A = 2회 사용 적용 됨		 포항공과대학교 ITCE 정새벽 64,000원
309 2013-02-13 17시 19시 MET1 Etch Test
0-4-2. MET1 Depo
(Ti/Al/Ti/TiN = 300/1500/300/300)
장당 350,000원 X 4장 = 1,400,000원		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,400,000원
310 2013-02-13 19시 20시 MET1 Etch Test
0-4-2. MET1 Depo
Ti 1000 = 2회 (500A 당 1회)
TiN 1000 = 2회 (500A당 1회)
Al 1500 = 2회 (1000A당 1회)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
311 2013-02-14 10시 11시 Ni Wet Etch 평가 Test
0-3-1. Ni Sputter 1000A 증착
(Ni 증착 기본가 500A당 70000원)		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 420,000원
312 2013-02-14 11시 15시 SiC_MET Step coverage 선행 테스트 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 1,260,000원
313 2013-02-14 17시 18시 Ni 2000A 증착
(1회 기준 500A)		 포스텍 신소재공학과 서홍규 224,000원
314 2013-02-18 09시 13시 SiC_Ni Depo Test 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 700,000원
315 2013-02-18 14시 18시 5-4-2 MET1 Depo_Sputter LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,750,000원
316 2013-02-20 09시 13시 SiC_MET dep 평가 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 370,000원
317 2013-02-25 16시 22시 3-4-2 M1OP MET1 Depo. Ti 300A + Al 1500A + Ti 300A + TiN 300A 7매진행 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 2,450,000원
318 2013-02-26 09시 10시 Cr 400A + Al 5000A 증착 진행

Cr 1000A 기준 1회
Al 1000A 기준 1회
진행 횟수 총 6회 산정 (Cr 1회 + Al 5회)		 부산대학교 기계공학부 안철희 378,000원
319 2013-03-05 12시 15시 Ti200A + Al 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
320 2013-03-06 5시 7시 5-4-2 M1OP MET1 Sputter LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 560,000원
321 2013-03-10 17시 18시 Ni 2000A Sputtering 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 400,000원
322 2013-03-13 11시 16시 Ti 200A + Al 12000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
323 2013-03-18 12시 15시 Al 5000A 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 350,000원
324 2013-03-19 12시 15시 Al 5000A 2회 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
325 2013-03-19 18시 22시 7-4-1 MET2 Depo. Sputter-1 Al 4um LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
326 2013-03-21 12시 15시 Al 5000A 2회 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 700,000원
327 2013-03-26 12시 15시 Ni 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
328 2013-03-27 14시 17시 Ti 200A + Al 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
329 2013-03-31 15시 1시 4-4-1 M1OP Depo. Sputter-1 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,680,000원
330 2013-04-03 10시 11시 contact 형성을 위한 Ni 증착 포항공과대학교 전자과 백상원 56,000원
331 2013-04-04 11시 13시 Ti 200A + Al 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
332 2013-04-04 9시 11시 Ti 200A + Al 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
333 2013-04-05 13시 15시 Ti 2000A 삼성모바일디스플레이 연구소 김진광 224,000원
334 2013-04-11 10시 12시 0-3-1 MET1 Depo. Sputter-1
Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A + TiN 300A 2매
TiN 1000A 1매		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 700,000원
335 2013-04-12 11시 12시 Al 2000A 전자부품연구원 에너지나노센터 신권우 140,000원
336 2013-04-12 13시 18시 5-4-2 MET1 Depo. Sputter-1
Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A + TiN 300A 6매(5매 청구 제외)		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 280,000원
337 2013-04-15 14시 15시 Cr 2000A 삼성모바일디스플레이 연구소 김진광 112,000원
338 2013-04-16 13시 14시 TEM 샘플링을 위한 증착
Cr 3000A		 포항공과대학교 화학공학과 현승 168,000원
339 2013-04-17 14시 15시 4인치 SiO2(100nm)/Si wafer 에
Ti 20nm를 증착하고 바로 이어서
TiN 100nm를 증착하려고 합니다.
 포항공과대학교 신소재공학과 이장식 168,000원
340 2013-04-18 11시 12시 Ti 2000A 삼성전자 DMC연구소 박수진 224,000원
341 2013-04-19 10시 12시 Ti 200A + Al 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
342 2013-04-19 12시 13시 al depo 포항공과대학교 전자전기공학과 고명동 56,000원
343 2013-04-19 14시 20시 3-4-2 M1OP MET1 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,120,000원
344 2013-04-24 10시 14시 ITO 증착 Test (20옴이하 target)
1mtorr, 2mtorr, 4mtorr
 포항공과대학교 DANE 첨단원자력공학부 김설하 80,000원
345 2013-04-26 10시 14시 Ti 200A + Al 2000A
BV Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
346 2013-04-30 9시 12시 4인치 웨이퍼 위 TiN 증착 (50nm) ; wafer 전체적으로 50nm TiN 증착

※ 공정완료 후 공정의뢰함에 넣어주세요.		 포항공과대학교 신소재공학과 반상현 56,000원
347 2013-05-02 11시 13시 Ti 2000A 삼성전자/종합기술원 FRL 신현진 224,000원
348 2013-05-03 9시 12시 Shadow mask를 사용하여, Ta(20nm)와 TiN(50nm)를 연속하여 4인치 웨이퍼 위 증착( 1st : Ta, 2nd : TiN)

※ Ta/TiN 증착은 in situ로 진행해주세요.
※ 웨이퍼 정보 : 현재 TiN/HfO2 증착되어 있음.		 포항공과대학교 신소재공학과 반상현 112,000원
349 2013-05-07 10시 14시 Ti 200A + Al 2000A 3회진행 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
350 2013-05-07 13시 18시 5-4-1 MET1 Depo. Sputter
Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A + TiN 300A		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,680,000원
351 2013-05-08 10시 11시 Al 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 0원
352 2013-05-08 12시 18시 4-4-1 MET1 Depo. Sputter
Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A + TiN 300A 		LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,680,000원
353 2013-05-10 15시 16시 Al 2000A 포항공과대학교 화학과 윤경원 112,000원
354 2013-05-13 16시 18시 Ti 3000A 삼성전자/종합기술원 FRL 신현진 336,000원
355 2013-05-16 14시 18시 5-4-2 M1OP MET1 Depo. Sputter-1 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,180,000원
356 2013-05-20 13시 14시 Al 300nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 현승 168,000원
357 2013-05-20 15시 17시 Diffusion (NCNT 사용료) 포항공과대학교 기계공학과 서창호 1,000,000원
358 2013-05-20 9시 11시 Diffusion (NCNT 사용료) 포항공과대학교 IT융합공학과 김진영 1,000,000원
359 2013-05-22 17시 24시 7-4-2 M2OP MET2 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 900,000원
360 2013-05-23 10시 12시 Shadow Mask 이용한 박막 층착 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 150,000원
361 2013-05-29 10시 12시 Ti 2000A 삼성전자 DMC연구소 박수진 224,000원
362 2013-06-05 10시 11시 Ti/Al/Ti/TiN = 20nm/100nm/20nm/60nm 증착 LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 224,000원
363 2013-06-05 13시 14시 Ti 2000A 대구경북과학기술원 중앙기기센터 이봉호 224,000원
364 2013-06-05 9시 10시 연구과제 진행을 위한 박막 증착
4inch 2매		 포항공과대학교 신소재공학과 한언빈 98,000원
365 2013-06-07 13시 15시 폴리카보네이트 필터에 알루미늄 증착 포항공과대학교 기계공학과 정화평 400,000원
366 2013-06-11 15시 18시 5-4-2 MET1 Depo. Sputter LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 560,000원
367 2013-06-11 18시 21시 3-6-1 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 560,000원
368 2013-06-11 21시 24시 4-4-2 M!OP MET1 Depo.
WF1 : Ti 300A + Al 1500A + Ti 500A + TiN300A
WF2 : Ti 100A + Al 1500A + Ti 500A + TiN300A
WF3 : Ti 500A + Al 1500A + Ti 500A + TiN300A
WF4 : Ti 300A + Al 2000A + Ti 500A + TiN300A
WF5 : Ti 300A + Al 1500A + Ti 300A + TiN300A
 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,400,000원
369 2013-06-17 10시 11시 조각시편에
알루미늄 20nm 증착		 포항공과대학교 신소재공학과 홍현영 49,000원
370 2013-06-20 10시 15시 5-4-2 MET1 Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,680,000원
371 2013-06-20 15시 16시 Al 1000A 포항공과대학교 전자과 백상원 49,000원
372 2013-06-21 10시 11시 Ti 2000A 삼성전자 DMC연구소 박수진 224,000원
373 2013-06-24 10시 17시 TaN 5000A 포항공과대학교 화학공학과 장지욱 310,000원
374 2013-07-03 12시 15시 Ti / Al = 200A / 2000A 이코니 이코니 김준우 1,134,000원
375 2013-07-05 13시 18시 3-4-2 M1OP MET1 Depo. Ti300A + Al1500A + Ti500A + TiN300A LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,960,000원
376 2013-07-09 11시 12시 Al 2000A 포항공과대학교 전자전기공학과 고명동 112,000원
377 2013-07-10 20시 24시 5-4-2 M1OP MET1. Depo. Sputtering LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,400,000원
378 2013-07-11 16시 17시 조각시편에
알루미늄 70nm 증착		 포항공과대학교 신소재공학과 홍현영 35,000원
379 2013-07-18 10시 12시 Ti 2000A 삼성전자 DMC연구소 박수진 224,000원
380 2013-07-25 14시 17시 스테인레스 스틸 표면 처리
Cr(25") & 300C
Cr(250") & 300C
CrN(25")
CrN(250")
 한국표준과학연구원 진공센터 정낙관 420,000원
381 2013-08-01 14시 17시 Ti 2000A (7/29) 성균관대학교 HINT 서상준 280,000원
382 2013-08-20 9시 18시 Sputter-I Ti/Al(100/2000A) 이코니 실험 이코니 이코니 김준우 930,000원
383 2013-09-03 15시 20시 5-4-2 MET1 Depo. Sputtering LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,680,000원
384 2013-09-12 15시 18시 3-2-1 Metal Depo. Cr 1000A 휴비츠 연구소 현미경 그룹 김연중 280,000원
385 2013-09-13 14시 17시 Ti 400A + TiN 800A
Ti 100A + Al 3000A + TiN 300A		 경북대학교 전자공학과 이용수 420,000원
386 2013-09-16 11시 13시 Ti 100A + TiN 300A (주)지오화인켐 기술연구소 권다정 880,000원
387 2013-09-25 13시 15시 Ti 300A + Al 2000A 포항공과대학교 ITCE 박현진 147,000원
388 2013-09-27 11시 14시 Ti100A + TiN 300A
8장 진행(23,27)		 (주)지오화인켐 기술연구소 권다정 1,120,000원
389 2013-10-07 14시 18시 Metal Depo (Thickness Split) TE connectivity R&D 박봉현 1,280,000원
390 2013-10-08 14시 17시 Ti 100A + Al 7000A + TiN 400A
 경북대학교 권유미 560,000원
391 2013-10-11 12시 16시 Ni 4um, Taget 지원, 2200s 10step 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 560,000원
392 2013-10-16 11시 14시 Ti 50A + Al 2000A (주)아이엠헬스케어 이인제 840,000원
393 2013-10-17 17시 20시 Ti 400A + TiN 800A
Ti 100A + Al 3000A + TiN 300A		 경북대학교 권유미 420,000원
394 2013-10-18 14시 17시 Al 600A 포항공과대학교 ITCE 박현진 49,000원
395 2013-10-21 11시 12시 Al 증착 TE connectivity R&D 박봉현 280,000원
396 2013-10-21 14시 18시 Sputter-I Ti/Al(100A/2000A) 8매 이코니 이코니 김준우 1,008,000원
397 2013-10-22 14시 15시 Al 100A 포스텍 물리학과 김상우 56,000원
398 2013-10-23 11시 12시 Al 1000A 포스텍 물리학과 김상우 56,000원
399 2013-10-23 9시 11시 the front 300A
the back 3000A		 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 1,620,000원
400 2013-10-24 14시 15시 Ti(200A) / Al(2000A)
김태희		 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 147,000원
401 2013-10-25 9시 11시 단위공정(메탈증착) 완료 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 1,750,000원
402 2013-10-26 9시 11시 단위공정(메탈증착) 완료 메이플세미컨덕터(주) 신사업본부 최지영 1,750,000원
403 2013-10-31 10시 14시 Ni 400nm, Taget 지원, 1090s 2step 3회진행
1. Ni 400nm
2. Ti 20nm + Ni 400nm
3. Cr 20nm + Ni 400nm		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 294,000원
404 2013-11-08 11시 16시 Cr 20nm + Ni 7um, Taget 지원, 2750s * 8step = 22000s 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 980,000원
405 2013-11-12 15시 21시 5-4-2 MET1 Depo. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 1,400,000원
406 2013-11-19 12시 20시 Cr 20nm + Ni 7um, Taget 지원, 2750s * 8step = 22000s 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 980,000원
407 2013-11-21 14시 18시 4-2-2 MET Sputter (주)아이엠헬스케어 이인제 1,260,000원
408 2013-11-28 10시 11시 Ti 300A + Al 2000A 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 147,000원
409 2013-11-28 14시 15시 Ti 100A + Al 1000A 포항공과대학교 ITCE 박현진 98,000원
410 2013-12-04 10시 15시 Al 시편 위에 Al 3um 증착 탑나노임프린팅 연구소 김상희 1,500,000원
411 2013-12-04 15시 16시 Al 100nm 증착을 통한 pattern 확인
 포항공과대학교 신소재공학과 강민국 56,000원
412 2013-12-05 12시 17시 5-4-2 M1OP MET1 Depo. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 0원
413 2013-12-05 16시 17시 Ti 100A + Al 1000A 포항공과대학교 ITCE 박현진 98,000원
414 2013-12-23 11시 12시 Ti (300A) / Al (2500A) 김태희 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 196,000원
415 2014-01-10 12시 16시 4-2-2 MET Sputter (주)아이엠헬스케어 이인제 1,260,000원
416 2014-01-13 16시 17시 TiN 전극 증착 포항공과대학교 신소재공학과 강민국 56,000원
417 2014-01-20 18시 19시 3-5-1 CONT Ni Sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 160,000원
418 2014-01-27 17시 18시 1-4-2 Gate Ni Sputter
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 270,000원
419 2014-01-28 10시 17시 Ni-Cr Sputtering Test
20sccm, 2mtorr, 600W, 10min
면저항 및 SEM 분석결과 : 박막 2000A 증착		 포항공과대학교 기계공학과 김중길 202,000원
420 2014-02-03 15시 16시 Ni-Cr 2000A (Target 지원) 포항공과대학교 기계공학과 김중길 70,000원
421 2014-02-04 1시 2시 NiCr 박막 증착
Ni-Cr 2000A (Target 지원) 		포항공과대학교 기계공학과 김중길 90,000원
422 2014-02-07 11시 12시 Al sputter 김태희 DC 150W, 1mT, 200s 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 49,000원
423 2014-02-12 12시 13시 Ni/Cr 2000 A, (타겟 별도 구매) 포항공과대학교 기계공학과 김중길 90,000원
424 2014-02-28 16시 17시 TiN deposition 50nm Nano Electronic Materials & Devices Lab, Prof. Jang-Sik Lee Materials Science & Engineering Masoud Akbari 49,000원
425 2014-03-17 20시 21시 Ni/Cr 증착 ~ 200 nm (타겟 별도 구매) 포항공과대학교 기계공학과 김중길 90,000원
426 2014-03-24 1시 2시 Ni/Cr 합금 증착 ( 2000 Å, 4장 ) 포항공과대학교 기계공학과 김중길 360,000원
427 2014-03-24 15시 16시 Ni/Cr 증착 2000 Å 포항공과대학교 기계공학과 김중길 180,000원
428 2014-04-15 10시 11시 TiN 100nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 98,000원
429 2014-04-16 10시 11시 TiN 70nm 증착 부탁드립니다. (조각 2개) 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 98,000원
430 2014-04-28 17시 18시 NiCr alloy deposition
8\'\' 2000Å 1장
8\'\' 1000Å 1장		 포항공과대학교 기계공학과 김중길 147,000원
431 2014-05-27 10시 11시 TiN 60nm 증착 의뢰 부탁드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 49,000원
432 2014-05-28 10시 12시 샘플 1. Cr 1000A 증착 --> Al 1000A 증착 변경

샘플 2. TiN 500A 증착

의뢰 부탁드립니다.		 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 98,000원
433 2014-06-02 9시 18시 TiO2 Sputter 조건 Split 진행 (Sputter전 Wet 세정 포함)
총 7개 조건 Test 진행함 (Gas량, Pr, DC power 변경 Split Test)		 삼성전자 종합기술원 이정엽 2,588,000원
434 2014-06-04 22시 23시 TiN 500A 증착 (직접사용)

 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 35,000원
435 2014-06-13 10시 12시 6-5-2 Front Ni Sputter
6-6-1 Back Ni Sputter		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 560,000원
436 2014-06-16 13시 14시 NiCr ~ 1000Å (280\'\', 8\' 1장) 포항공과대학교 기계공학과 김중길 49,000원
437 2014-06-19 10시 11시 TiN 50 nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 이준영 49,000원
438 2014-06-20 10시 11시 TiN 500A 증착 의뢰부탁드립니다.

(샘플은 스퍼터 장비 앞에 두도록 하겠습니다.)		 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 49,000원
439 2014-06-25 16시 17시 TiN 500A 증착 의뢰 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 49,000원
440 2014-06-25 20시 21시 TiN 500A 증착(직접사용) 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 35,000원
441 2014-07-01 3시 4시 TiN 500A 증착 (직접사용) 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 35,000원
442 2014-07-02 1시 2시 TiN 500A (직접사용) 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 35,000원
443 2014-07-02 10시 11시 Al 200nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 박범진 112,000원
444 2014-07-07 14시 15시 "Meterial: TiN, Target Thickness: 30nm, Stage Temp:_RT_
Recipe: _#18_, Depo Time:_300sec_"
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 49,000원
445 2014-07-14 11시 12시 Al (1000A) 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 49,000원
446 2014-07-15 23시 24시 NiCr 증착 (DC1, 300s, 1000Å)
8 in wafer 기준 7장		 포항공과대학교 기계공학과 김중길 434,000원
447 2014-07-23 15시 17시 Ti sputtering 50nm 100nm 포항공과대학교 화학공학과 최종민 147,000원
448 2014-08-19 11시 12시 6-5-2 silicide ni sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
449 2014-08-22 10시 12시 8-1-1 back Ni sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
450 2014-08-28 19시 20시 SC33_Back Ni Depo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
451 2014-08-28 20시 21시 SC33_Ni Front Depo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
452 2014-09-04 13시 14시 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 294,000원
453 2014-09-16 16시 17시 Tin 1000A 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 98,000원
454 2014-09-18 10시 12시 Tin 3000A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 294,000원
455 2014-09-18 13시 14시 일전에 몇번 사용했던 화학과 학생입니다.
AFM probe에 AuNP가 붙어 있는 상태인데
그위에 5 nm두게로 Ti를 증착 하고 싶습니다.		 포항공과대학교 화학과 김웅 56,000원
456 2014-09-25 1시 11시 시료측정 포항공과대학교 화학공학과 최종민 196,000원
457 2014-09-25 16시 18시 si wafer 조각 2매
Target - 1000A
Tio 증착 Test 		포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 98,000원
458 2014-09-26 12시 14시 si wafer 조각 2매
Target - 1000A
Tio 증착 Test 		포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 98,000원
459 2014-09-26 14시 16시 Ti 증착
총 증착 두께 1800A
(500A 당 1회 청구)		 포항공과대학교 화학공학과 최종민 196,000원
460 2014-09-29 10시 12시 6-5-2 ni sputter 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
461 2014-09-30 10시 11시 8-1-1 back ni sputter 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
462 2014-10-27 10시 13시 TiN 6증착 진행
1200A 1장
500A 5장		 392,000원
463 2014-10-28 13시 18시 BioSensor Multi Metal Deposition Test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 690,000원
464 2014-10-29 15시 16시 6-5-2 Ni Sputter
Front Ni Sputter 200A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
465 2014-10-29 16시 17시 Metal/Insulator/Metal 구조 상부전극용
40nm target		 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
466 2014-10-30 13시 16시 한국과학기술연구원 교원교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 650,000원
467 2014-10-30 9시 10시 8-1-1 Ni Sputter
Back Ni Sputter 1000A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
468 2014-11-11 15시 18시 UE 공정수행 계약_Thinfilm (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 300,000원
469 2014-11-12 9시 11시 Al 증착 3회 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 210,000원
470 2014-11-16 8시 9시 Ni/Cr 증착 1000Å 포항공과대학교 기계공학과 김중길 98,000원
471 2014-11-18 16시 17시 TiN 40nm target 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
472 2014-11-25 9시 15시 1차 Full Process_Diffusion (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 2,100,000원
473 2014-11-28 10시 11시 6-5-2 Ni Sputter
Front Ni sputter 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
474 2014-11-28 17시 18시 8-1-1 Ni sputter
Back Ni Sputter		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
475 2014-12-01 13시 15시 Al 증착 6회 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 420,000원
476 2014-12-02 13시 15시 전기적 특성 검토를 위한 Sample 제작 (주)피코셈 관리 김용국 1,000,000원
477 2014-12-04 10시 12시 PDMS 상부에 Metal interconnect를 증착하기 위한 용도입니다. 부산대학교 기계공학부 정경국 567,000원
478 2014-12-05 13시 15시 6-5-2 Ni sputter
front Ni sputter 200A 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
479 2014-12-05 13시 15시 Al 증착 3회(11/26), 3회(11/28) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 420,000원
480 2014-12-09 15시 17시 8-1-1 Back Ni
Sputter-1 1000A 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
481 2014-12-12 9시 12시 Al 증착 3회(11/28), 6회(12/2) 파워큐브세미(주) 부설연구소 홍영성 630,000원
482 2014-12-15 21시 22시 TiN 증착 (직접사용)
700A 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 70,000원
483 2014-12-16 13시 15시 증착
Ti 400,600,800,1000A 중착		 포항공과대학교 화학공학과 최종민 294,000원
484 2014-12-17 15시 17시 6-5-2
Ni sputter 200A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
485 2014-12-18 14시 15시 8-1-1
Back Ni Sputter 1000A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
486 2014-12-18 15시 17시 1-2-1 Metal 1
Ti/Al = 100/2000A 2매 진행		 (주)소로나 관리 (주)소로나 170,000원
487 2014-12-19 10시 12시 TiN 400A 부탁드립니다.
(예전에 보낸 시편..)

증착완료후 택배 부탁드립니다.		 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
488 2014-12-19 16시 18시 2-2-1 Metal sputter
Ti/Al/TiN		 (주)소로나 관리 (주)소로나 190,000원
489 2014-12-23 13시 15시 2014년도 WISET경북지역사업단 나노기술전문인력양성교육 포항공과대학교 나노융합기술원 사업지원팀 김병수 600,000원
490 2014-12-26 10시 11시 1-3-2 Back side Metal depo
Ni 1000A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
491 2014-12-30 12시 13시 6-5-2 Ni Sputter
Front Ni Sputter		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
492 2014-12-30 16시 17시 8-1-1 Ni Sputter
Back Ni Sputter		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 280,000원
493 2015-01-02 13시 15시 지름이 10 mm인 원형 glass 20개
앞뒷면 모두 Al 코팅
두께: 500 nm
 포항공과대학교 IBB 최승환 560,000원
494 2015-01-06 10시 18시 UE MEMS Sensor 2차 Run_Diffusion (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 2,000,000원
495 2015-01-08 10시 11시 TiN 40nm dep 15/01/07 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
496 2015-01-08 20시 20시 TiN 40nm 15-01-08 부산대학교 재료공학과 이동권 56,700원
497 2015-01-14 12시 14시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
498 2015-01-15 15시 16시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
499 2015-01-19 12시 14시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
500 2015-01-19 9시 12시 시료 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 441,000원
501 2015-01-20 10시 12시 전문인력양성사업 나노소자공정 실습교육(확산) 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 600,000원
502 2015-01-26 9시 10시 SiC Ni Silicide 평가 Test
Ni Sputter 200A,1000A 증착		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 343,000원
503 2015-01-27 17시 18시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
504 2015-01-28 11시 14시 1-3-2 back side metal depo. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
505 2015-01-28 14시 15시 시료보관함에 시료보관해두겠습니다.

공정후에 시료보관함에 넣어주시면 감사하겠습니다.		 포항공과대학교 화학공학과 최종민 343,000원
506 2015-01-28 17시 18시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
507 2015-02-02 11시 12시 Graphene Memory
0-0-1 Sputter Al 10A Deposit 		포항공과대학교 전자전기공학과 이기환 56,000원
508 2015-02-02 20시 21시 TiN 증착 (700A) 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 70,000원
509 2015-02-03 9시 12시 Subatrate 위 검은색 물질 증착 (TiN 약 1000 A)을 한 후 AL 증착 (약 1000A).

담당자 연락처 : 010-9353-8485 (정재훈)

 아스트 아스트 김영호 840,000원
510 2015-02-10 14시 17시 PI substrate
Al 100nm deposition on substrate
@400, 500, 600w		 포항공과대학교 화학공학과 이은호 168,000원
511 2015-02-11 9시 12시 시료 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 294,000원
512 2015-02-12 12시 16시 FTO(glass) 위에 Ti (또는 TiN) film 형성
두께: 100, 1000
Ti: 2 set, TiN: 2 set, 총 4 set

기타: 졸업생으로 외부 사용자입니다.		 포스텍 환경공학부 김건우 420,000원
513 2015-02-13 13시 14시 물성 분석
Ti,Al,Cr 각 50nm 증착 진행		 포스코 성능연구그룹 정현주 168,000원
514 2015-02-16 9시 10시 1-3-2 Ni Depo 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 140,000원
515 2015-02-27 12시 13시 0-0-1 gate dielectric Sputter Al 10A Deposit 포항공과대학교 전자전기공학과 이기환 56,000원
516 2015-03-02 10시 12시 1-2-1 Metal Deposition
Split 진행
Si/SiO2/ Ti100Å /Al 1,500Å :2장
Si/SiO2/ Ti100Å /Al 1,500Å/TiN 300Å : 2장		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 686,000원
517 2015-03-04 16시 17시 1-1-1 Metal 1
Ti/TiN = 100/300A		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 245,000원
518 2015-03-06 15시 16시 ti 증착
Ti 40nm
Ti 60nm 증착		 포항공과대학교 화학공학과 최종민 98,000원
519 2015-03-11 19시 21시 Ni-Cr 합금 증착 (8인치 기준 4매 1000Å) 포항공과대학교 기계공학과 김중길 168,000원
520 2015-03-16 16시 17시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
521 2015-03-19 14시 15시 Al Sputter
5,10,15,20,25nm 진행		 포스코 성능연구그룹 정현주 280,000원
522 2015-03-20 9시 12시 시료 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 98,000원
523 2015-03-23 14시 15시 2-3-1 Metal depo Tin 1000A 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 112,000원
524 2015-03-26 10시 11시 Al 증착 split (5,10,15,20nm) 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
525 2015-03-30 16시 18시 BioFET05_Metal Deposition(Al) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 490,000원
526 2015-03-30 9시 11시 BioFET05_Metal Deposition 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 800,000원
527 2015-04-02 10시 12시 C 04 _ Al 3000A Depo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 294,000원
528 2015-04-07 14시 16시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
529 2015-04-10 15시 17시 CuTi /CuTiO Test
CuTi : 280V 0.6mA Ar 30 20min depo
CuTiO: 354V 0.6mA Ar30 O2 20 20min depo		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 84,000원
530 2015-04-10 9시 14시 2.25 CuTiO 반응성 Sputtering Test (350V /0.56mA Ar:30 O2:20)
Si 조각 2매+베어글래스 : 25m
Si 조각 2매+베어글래스 : 50m
Si 조각 2매+베어글래스 : 75m		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 252,000원
531 2015-04-14 10시 12시 시편위에 TiN/Al = 1000A/1000A 4장 증착
TiN 1000A은 장당 2회 청구(500A 기준으로 1회)
Al 1000A은 장당 1회 청구(1000A 기준으로 1회)
위 기준에 따라 12회로 청구함
담당자 연락처 : 정재훈 (010-9353-8485)
 아스트 아스트 김영호 840,000원
532 2015-04-22 14시 16시 증착
Ti 200 & 400A 증착		 포항공과대학교 화학공학과 최종민 147,000원
533 2015-04-23 9시 14시 4.23 CuTiO 반응성 Sputtering Test (350V /0.56mA Ar:30 O2:20)
Si (Solar)조각 2매 : 25m
Si (Solar)조각 2매 : 50m
Si (Solar)조각 2매 : 75m
Si (Solar)조각 2매 : (Ar30 O2 x) 진행 		포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 336,000원
534 2015-04-24 11시 16시 4.24 CuTiO 반응성 Sputtering (350V /0.58mA Ar:30 O2:20)
2" Wafer Cu Ti O 200A (2매)
2" Wafer Cu Ti O 400A (2매)
2" Wafer Cu Ti O 600A (2매)		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 420,000원
535 2015-04-24 9시 10시 Back side Al 100nm 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 147,000원
536 2015-04-27 15시 16시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
537 2015-05-04 10시 12시 Ni Sputter 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
538 2015-05-04 12시 17시 5/4 CuTiO 반응성 Sputtering (350V /0.58mA Ar:30 O2:20)
Solar 4\" Wafer Cu Ti O 200A 각 2회 (40m)
Solar 4\"Wafer Cu Ti O 400A 각 2회 (80m)
Solar 4\" Wafer Cu Ti O 600A 각 2회 (160m)		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 588,000원
539 2015-05-04 16시 17시 Ni 증착 포항공과대학교 화학과 김지홍 140,000원
540 2015-05-04 16시 17시 Al 2000A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
541 2015-05-04 18시 19시 VW Oxide Test_VW Depo (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 300,000원
542 2015-05-04 9시 12시 Solar Test Wafer backside Al 1000A DEPO 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 245,000원
543 2015-05-05 10시 12시 Ni Sputter 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
544 2015-05-06 10시 12시 Ni Sputter 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
545 2015-05-06 14시 15시 Ti Etch Target Test_Ti Depo (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 140,000원
546 2015-05-07 10시 11시 Ni Sputter 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 70,000원
547 2015-05-11 11시 12시 VW sputtering 3회 진행 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 180,000원
548 2015-05-13 11시 12시 VW sputter 5회 진행 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 300,000원
549 2015-05-14 16시 18시 Ti 200A 1장
Ti 400A 2장
Ti 600A 1장
Ti 800A 1장		 포항공과대학교 화학공학과 최종민 294,000원
550 2015-05-18 10시 11시 VW 선행 Test 3장 진행
Pre Sputter 10분 진행(1회 청구)
총 4회 진행		 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 240,000원
551 2015-05-22 13시 14시 VW Sputter 6인치 5장 진행
Pre Sputter 10분 진행 (1회청구)로 총 4회 청구		 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 360,000원
552 2015-05-27 15시 16시 Al 15nm,7nm,7nm,10nm 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
553 2015-05-27 19시 20시 TiN 700A 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 70,000원
554 2015-05-28 10시 13시 Ti 800/600/400/200 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 539,000원
555 2015-06-02 10시 11시 metal 시편에 Al 5nm,15nm 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
556 2015-06-02 16시 17시 Ti 500A 증착 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 70,000원
557 2015-06-03 9시 12시 UE MEMS Sensor 2nd 계약_Diffusion (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 1,000,000원
558 2015-06-04 11시 13시 CuTi Test
Back Side Al 500A 7매 진행		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 196,000원
559 2015-06-04 13시 18시 6/4 CuTiO 반응성 Sputtering (350V /0.58mA Ar:30 O2:20)
Cu Ti O 50A 각 1회 (2매) 2회
Cu Ti O 100A 각 1회(2매) 2회
Cu Ti O 200A 각 1회 (2매) 4회
Cu Ti O 300A 각 1회 (2매) 6회
Cu Ti O 400A 각 1회 (2매) 8회		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 924,000원
560 2015-06-05 16시 17시 Ti 500A 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 70,000원
561 2015-06-11 16시 17시 TiN 40nm 부산대학교 재료공학과 이동권 126,000원
562 2015-06-12 15시 17시 Cu O2 반응성 Sputtering Test
20nm 2매
40nm 2매		 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 168,000원
563 2015-06-16 16시 17시 0-1-2 Bottom Gate Ti 100+ Al 1000A Sputter Test (재진행) 포항공과대학교 전자전기공학과 이기환 112,000원
564 2015-06-19 7시 17시 Substrate on Al 7nm depo
포스코 성능연구그룹 정현주 1,008,000원
565 2015-06-22 12시 13시 Ti 40nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 49,000원
566 2015-07-07 10시 13시 Al 70A 증착 7회 진행 포스코 성능연구그룹 정현주 392,000원
567 2015-07-09 16시 17시 Glass위에 Ti 40nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 147,000원
568 2015-07-10 10시 14시 Al 7nm 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 560,000원
569 2015-07-15 14시 17시 저희가 접촉각 변화를 관찰해야되는데
목요일에 시편을 본격적으로 제작하기 전에
수요일에 어느정도 시편을 만들어서 접촉각 변화가 어떻게 되는지 테스트 해보고 싶습니다.
1. TiO2 5nm 1회 (1회 청구)
2. TiO2 10nm 1회 (1회 청구)
3. TiO2 40nm 1회 (3회 청구)
Total 5회 청구 (TiO2 10nm당 1회 청구입니다.)
 한동대학교 기계제어공학과 맹윤환 315,000원
570 2015-07-15 14시 17시 Al Metal 증착 8회 진행 포스코 성능연구그룹 정현주 448,000원
571 2015-07-17 10시 15시 PE CVD로 Oxide 증착한 Mg 시편에 Al 증착 Split 진행
16회 진행(Al 두께별 split 진행)		 포스코 성능연구그룹 정현주 896,000원
572 2015-07-21 9시 13시 포항TP_나노융합 전문인력 양성과정_Diffusion 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 2,000,000원
573 2015-07-22 10시 12시 지난번 스퍼터 장비를 이용한 것과 마찬가지로

PCB를 절단하여 시편을 만든 뒤 TiO2를 저번과 동일하게 반응성 스퍼터링으로 올리려고 합니다.

증착되는 TiO2의 두께는 2.5nm, 그리고 10nm를 계획 중입니다		 한동대학교 기계제어공학과 맹윤환 126,000원
574 2015-07-23 9시 13시 PE-oxide 두께 split 된 시편 위에 Al 120A(36초) 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 784,000원
575 2015-07-31 9시 14시 PE-oxide 두께 split 된 시편 위에 Al 70A 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 392,000원
576 2015-08-12 17시 18시 TiN 1000A 증착

500A당 1회 청구		 한국전자통신연구원 에너지변환소자연구실 홍성훈 140,000원
577 2015-08-13 9시 18시 PI film 위에 Ti 증착 600W 300nm 2회 600W 100nm 1회 600W 500nm 1회 400W 300nm 1회 800W 300nm 1회 포항공과대학교 화학공학과 김대건 2,688,000원
578 2015-08-21 1시 17시 광학적 패턴 제작 연구 한국전자통신연구원 에너지변환소자연구실 홍성훈 560,000원
579 2015-08-27 13시 17시 5-4-2 MET1 Sputter Ti 300 Al 1500 Ti 300 TiN300 (A) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 775,000원
580 2015-08-27 15시 17시 5-4-2 MET1 Depo
Ti/A/Ti/TiN : 300/1500/300/300
본장 2장, 선행 1장(Etch Rate Test)		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 770,000원
581 2015-09-02 17시 17시 Ti 600/400/200 (A) Depo. 포항공과대학교 화학공학과 최종민 490,000원
582 2015-09-03 17시 18시 Cr 100nm+Ni 200nm 3회 depo 포항공과대학교 창의IT융합공학과 이동규 990,000원
583 2015-09-07 10시 13시 VW dep.
8/6인치 9장 진행 (Pre Sputter 10분 진행으로 1회 추가)
총 10회 진행		 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 600,000원
584 2015-09-08 10시 11시 Ti/Al/TiN 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 400,000원
585 2015-09-08 13시 14시 Al 20nm 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 56,000원
586 2015-09-14 10시 12시 VW 증착(8/31일 분) 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 420,000원
587 2015-09-14 13시 14시 Ti 증착 Test(9/11일 분) 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
588 2015-09-14 16시 18시 VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 250,000원
589 2015-09-16 18시 18시 Ti 500Å증착 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 100,000원
590 2015-09-18 9시 10시 13차 Mg 시편 Al 70A 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
591 2015-09-21 16시 17시 Al 7nm Depo. 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
592 2015-09-22 10시 12시 VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 360,000원
593 2015-09-22 13시 16시 전문인력양성사업 나노융합기술교육_확산 3조 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 1,200,000원
594 2015-09-23 15시 16시 Ti dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 100,000원
595 2015-09-23 20시 21시 5-4-2 MET1 Depo
Ti/Al/Ti/TiN = 300/1500/300/300

 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 245,000원
596 2015-09-24 11시 13시 5-4-2 MET1 Depo
Ti/Al/Ti/TiN = 300/1500/300/300 2장 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 490,000원
597 2015-10-01 10시 11시 VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 240,000원
598 2015-10-02 10시 14시 Al 7nm : 3회
Al 12nm : 7회
Al 30nm : 1회
 포스코 성능연구그룹 정현주 616,000원
599 2015-10-02 14시 15시 Ti 40nm 4회 증착 Ti 60nm 5회증착 포항공과대학교 화학공학과 최종민 441,000원
600 2015-10-05 18시 19시 VW dep 3회
(Pre Dep 1회 추가 청구)		 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 200,000원
601 2015-10-08 10시 12시 Al 7nm : 4회
Al 12nm : 1회 		포스코 성능연구그룹 정현주 280,000원
602 2015-10-08 13시 17시 Ti 40nm Dep 5회
Ti 60nm Dep 1회 		포항공과대학교 화학공학과 최종민 294,000원
603 2015-10-12 10시 11시 Al 3000A 부산대학교 기계공학부 장창욱 189,000원
604 2015-10-14 10시 13시 Ti 40nm 7회
Ti 60nm 2회 		포항공과대학교 화학공학과 최종민 441,000원
605 2015-10-14 9시 10시 Al 70A Depo 3회 포스코 성능연구그룹 정현주 168,000원
606 2015-10-15 13시 13시 VW dep. 5회 진행 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 300,000원
607 2015-10-19 13시 17시 18-ES5차/sputtering
#1 Al 7nm / Rework Al 7nm
#2 Al 7nm / Rework Al 7nm
#3 Al 12nm
#4 Al 7nm
#5 Al 7nm
#6 SiO2 450nm / SiO2 5um 		포스코 성능연구그룹 정현주 448,000원
608 2015-10-20 22시 22시 ROIC w/f SL Ti dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 100,000원
609 2015-10-20 9시 10시 Draco dummy w/f VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
610 2015-10-21 11시 14시 5-4-2 MET1 Depo
Ti/Al/Ti/TiN = 300/1500/300/300 3장 진행 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 735,000원
611 2015-10-21 20시 23시 19-M1차
Al 70A 5ea
Al 100A 2ea
Al 120A 2ea
Al 300A 1ea
 포스코 성능연구그룹 정현주 560,000원
612 2015-10-23 13시 15시 Ti 40 / 60 nm Depo 포항공과대학교 화학공학과 최종민 196,000원
613 2015-10-27 11시 13시 ROIC w/f SE Ti 500Å/Al2000Å 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 300,000원
614 2015-10-28 10시 14시 Al Depo (A)
120-1회
100-2회
300-2회
70-3회		 포스코 성능연구그룹 정현주 448,000원
615 2015-10-28 19시 20시 6inch ROIC w/f, dummy w/f VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 250,000원
616 2015-11-02 11시 13시 Al 120A 3회 Al 70A 1회 사용 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
617 2015-11-03 15시 16시 Metal & RTP Test
1. Ti/Al : 300/1500A
2. Ti/Al/Ti/TiN = 300/1500/300/300A
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 343,000원
618 2015-11-04 9시 10시 ROIC w/f VW dep / PE test dummy VW dep
- Pre Depo 포함		 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 250,000원
619 2015-11-05 12시 13시 al 12nm / 5nm 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
620 2015-11-05 14시 15시 Al 120A 2회 증착 포스코 성능연구그룹 정현주 126,000원
621 2015-11-05 15시 16시 Al 2000A Depo 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 98,000원
622 2015-11-05 16시 17시 Ni 1000 A Depo 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 140,000원
623 2015-11-09 15시 16시 100nm(1000A) Ni 증착 포항공과대학교 화학과 김지홍 140,000원
624 2015-11-10 12시 13시 24차 실험
al 50A 2회		 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
625 2015-11-10 9시 10시 ROIC 6inch VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 350,000원
626 2015-11-13 12시 13시 Al 5nm 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
627 2015-11-16 13시 15시 26차 실험
Al 50A 3회 진행		 포스코 성능연구그룹 정현주 168,000원
628 2015-11-18 14시 16시 27차 실험
al 50A 5회		 포스코 성능연구그룹 정현주 280,000원
629 2015-11-24 13시 18시 posco 28차 공정
al 7nm 8회 진행		 포스코 성능연구그룹 정현주 448,000원
630 2015-11-27 10시 13시 2015년도 WISET 경북지역사업단 나노기술전문인력 양성 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 500,000원
631 2015-11-27 14시 17시 2015년도 WISET 경북지역사업단 나노기술전문인력 양성 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 500,000원
632 2015-12-01 15시 16시 10-1-12 Back Metal Sputter-1 Ti50 + Al 1000A Depo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 196,000원
633 2015-12-04 10시 13시 3220 MEMS IR Sensor_2015/12 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 1,000,000원
634 2015-12-04 14시 16시 아크릴판 위에 메탈을 올려서 나노발전기의 전극으로 사용할 수 있는지를 확인 포항공과대학교 화학공학과 김태완 70,000원
635 2015-12-04 17시 18시 Ni 200nm Depo 포항공과대학교 화학과 김지홍 280,000원
636 2015-12-07 9시 11시 Al 50A Depo 8\" 포항공과대학교 기계공학과 조한동 112,000원
637 2015-12-11 15시 16시 Ni 2000A 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 280,000원
638 2015-12-13 16시 17시 29차 실험
al 7nm 3회		 포스코 성능연구그룹 정현주 168,000원
639 2015-12-16 13시 17시 미래부 전문인력양성_소자공정 실습 (Diffusion) 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 1,000,000원
640 2015-12-18 10시 12시 POSCO AL DEPO
7nm 2회 10nm 2회 		포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
641 2015-12-21 16시 17시 TiN 40nm dep 부산대학교 재료공학과 이동권 63,000원
642 2015-12-22 13시 18시 미래부 전문인력양성_소자공정 실습 (Diffusion) 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 700,000원
643 2015-12-23 10시 13시 1. Al 100 nm
2. Ti 5nm/Al 100nm (Ti가 아래)
3. Ti 5nm/Al 100nm/Ti 5nm		 포항공과대학교 화학공학과 이효찬 336,000원
644 2015-12-23 8시 10시 31차 실험
Al 10nm 4회		 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
645 2015-12-23 9시 18시 1. W/Ru/Os증착 관련 조건 선행 Test
2. 선행 조건 결과에 따른 본시편 증착 진행
과제 번호 : 4.0012476.01
 포항가속기연구소 빔라인부 이한구 2,000,000원
646 2015-12-24 13시 14시 초기 개발준비 조건 검증 (주) 이너센서 연구개발전담부 우종창 800,000원
647 2015-12-31 11시 12시 Ni 100nm Depo 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
648 2016-01-12 11시 12시 Al 300A Depo 포스코 성능연구그룹 정현주 56,000원
649 2016-01-12 14시 15시 Al 100A, 200A 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
650 2016-01-15 11시 12시 Al 100A 2회 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
651 2016-01-22 10시 11시 Al 100A 4ea 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
652 2016-01-27 13시 14시 35-K1 실험
Al 100A 4회 진행		 포스코 성능연구그룹 정현주 252,000원
653 2016-01-28 22시 23시 36-K2 실험
al 7nm, 10nm, 12nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
654 2016-02-01 22시 24시 37-S1
Al 10nm 4회		 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
655 2016-02-11 21시 22시 39-K2 실험
Al 10nm 2회 진행		 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
656 2016-02-22 14시 15시 40-K3
al 100A depo.		 포스코 성능연구그룹 정현주 56,000원
657 2016-02-24 15시 17시 Al 1um Depo 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 490,000원
658 2016-02-25 10시 13시 41차 실험
Al 100A 3ea		 포스코 성능연구그룹 정현주 168,000원
659 2016-02-25 14시 17시 연구용 sample Tio2 증착을 위함. 한동대학교 기계제어공학부 김기쁨 315,000원
660 2016-02-26 15시 15시 6inch w/f VW dep.
 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 350,000원
661 2016-03-03 10시 11시 Si/SiO2/IGZO/Mo 증착된 물질에 Al 10nm 올려주십시오. 포항공과대학교 전자전기공학과 강윤성 56,000원
662 2016-03-04 13시 15시 Photoresist(Ma-N) 리프트오프용 올라가있음.
Cr 500A증착 --> 700A 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 98,000원
663 2016-03-09 12시 14시 al sputtering 10nm 포스코 성능연구그룹 정현주 224,000원
664 2016-03-09 13시 15시 Ni 100nm depo 포항공과대학교 화학과 김지홍 140,000원
665 2016-03-10 10시 12시 TiN 100nm 한국전자통신연구원 에너지변환소자연구실 홍성훈 180,000원
666 2016-03-10 18시 19시 연구과제를 수행하기 위함. 한동대학교 기계제어공학부 김기쁨 630,000원
667 2016-03-11 10시 11시 VW 증착 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
668 2016-03-16 15시 18시 Tio2 증착 후 접촉각 변화 실험데이터를 얻기위함. 한동대학교 기계제어공학부 김기쁨 189,000원
669 2016-03-21 11시 12시 45-P차
Al 10nm, 7nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
670 2016-03-21 16시 17시 Ta2O5 증착 경남대학교 전자공학과 김성진 70,000원
671 2016-03-23 10시 11시 coating
NI 10nm 증착		 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
672 2016-03-24 16시 16시 Ni 100nm Depo 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
673 2016-03-25 16시 18시 cu 증착
1. Cu thickness tunning Test 2회 (Sputter Time 5분,10분)
2. FE-SEM 단면 확인(Thickness 확인 목적)
3. Cu 30nm 1회 진행 (75초)		 영남대학교 물리학과 최찬호 230,000원
674 2016-03-25 9시 11시 Ti 40nm, 20nm depo 포항공과대학교 화학공학과 최종민 147,000원
675 2016-03-30 15시 16시 Ti layer 증착 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
676 2016-03-31 9시 10시 Ni 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
677 2016-04-04 10시 11시 Ni 100nm 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
678 2016-04-04 10시 11시 AlN 50nm 증착 와이솔 연구소 김준호 280,000원
679 2016-04-05 15시 15시 Ti 40nm / 20nm Depo 포항공과대학교 화학공학과 최종민 98,000원
680 2016-04-05 16시 17시 Ti 50 nm 증착 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
681 2016-04-06 13시 14시 Ni coating 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
682 2016-04-06 15시 18시 3220 MEMS IR Sensor_2016/03_2회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 800,000원
683 2016-04-14 12시 13시 Al depo 포스코 성능연구그룹 정현주 56,000원
684 2016-04-14 14시 15시 1-1-1 Metal depo
Backside Al 3000A 증착 3장		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 441,000원
685 2016-04-14 9시 12시 AlN 2000A 4장 진행
- 장당 4회로 청구 (500A당 1회 공정 비용계산됨)하여 총 16회 청구		 와이솔 연구소 김준호 1,120,000원
686 2016-04-15 12시 13시 Ti 50nm 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 49,000원
687 2016-04-19 14시 14시 Organic material sputter 증착 및 평가 진행
sputter time 및 온도 변화에 따른 평가 진행 5회 진행
(증착 두께에 따른 공정 수량 조정되어 1 sample 당 2회 진행 청구)		 포항가속기연구소 빔라인부 이한구 700,000원
688 2016-04-19 14시 14시 Ti 100/200 포항공과대학교 화학공학과 최종민 147,000원
689 2016-04-20 13시 14시 1.front Al 1000Depo
2.back al 2000depo 		포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
690 2016-04-21 11시 12시 al 10nm 2ea 포스코 성능연구그룹 정현주 112,000원
691 2016-04-22 16시 17시 Ni 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
692 2016-04-25 9시 10시 전극 메탈용 Ni 200nm 증착 경남대학교 전자공학과 김성진 400,000원
693 2016-04-26 15시 16시 Ti 50 nm 증착 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
694 2016-04-27 14시 15시 ADD Rewor Al1000A DEPO 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 49,000원
695 2016-04-28 11시 12시 al 100A 2회 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
696 2016-05-03 13시 14시 55-K6
al 10nm 2ea		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
697 2016-05-04 13시 14시 55-K6 2nd, rework
al 10nm 3ea		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
698 2016-05-10 12시 13시 Ti 40nm / 20nm /10nm Depo 포항공과대학교 화학공학과 최종민 196,000원
699 2016-05-11 11시 12시 Ni 100nm depo 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
700 2016-05-11 9시 11시 TiO2 증착 진행
1. 30nm
2. 50nm 진행		 경남대학교 전자공학과 김성진 560,000원
701 2016-05-12 16시 17시 VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
702 2016-05-12 9시 11시 Ni 500nm 2회 진행 포스코 기술연구원 강재1연구그룹 전영수 1,600,000원
703 2016-05-16 13시 16시 1-1-1 Back side Met Evap. Sputter Al 5000A depo 2ea 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 490,000원
704 2016-05-18 15시 17시 Cu 증착
1. 4/18일 선행 Test 및 공정 진행 : 2회
2. 5/18일 30nm 공정 진행 : 2회		 영남대학교 물리학과 최찬호 240,000원
705 2016-05-19 11시 12시 57-PEO
al 10nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
706 2016-05-20 13시 15시 Ni 500nm 증착 포스코 기술연구원 강재1연구그룹 전영수 800,000원
707 2016-05-30 15시 16시 58-DI
al 70A		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
708 2016-05-31 10시 12시 Ni sputter 올리기
100nm 증착		 포항공과대학교 화학공학과 김상국 160,000원
709 2016-06-03 10시 11시 Ni coating 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
710 2016-06-09 9시 11시 Back면에 DRIE 마스크용 Al/Ti 증착
back면은 Si wafer 위에 SiO2 증착됨.
front는 metalic 물질들 depo되어있고 PR로 passivation 한 상태
 포항공과대학교 기계공학과 윤나리 196,000원
711 2016-06-10 10시 11시 VW 500Å dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
712 2016-06-10 11시 13시 60차-PE:Grey
Al 50nm, 25nm, 20nm, 10nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
713 2016-06-10 12시 13시 59-PEO
Al 10nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
714 2016-06-14 10시 11시 Al 200nm 2장 진행
(회당 100nm 기준으로 총 4회로 청구)		 부산대학교 인지메카트로닉스공학과 조상욱 252,000원
715 2016-06-15 14시 15시 TiN sputtering 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 112,000원
716 2016-06-20 15시 17시 Al 100nm x2 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
717 2016-06-21 10시 11시 60-PE:Black
Al 70A 2ea, 100A		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
718 2016-06-21 13시 15시 나노융합 전문인력양성 교육 프로그램_Diffusion 위덕대학교 정보통신공학부 이재성 2,000,000원
719 2016-06-22 15시 16시 TiO2 스퍼터링을 부탁드리고자 합니다. 50 nm의 두께로 부탁드립니다. 포항공과대학교 화학공학과 이윤호 56,000원
720 2016-06-22 8시 10시 Tio2 10nm 포스텍 시스템생명공학부 임찬웅 56,000원
721 2016-06-24 10시 11시 어제 TiO2 50nm 증착했던 학생입니다.
내일 오전중으로 TiO2 40nm 로 두께 바꿔서 증착하고 싶습니다.		 포항공과대학교 화학공학과 김홍기 224,000원
722 2016-06-24 13시 15시 Tantalum 시편위 aluminum film증착 포항공과대학교 기계공학과 서창호 280,000원
723 2016-06-29 11시 13시 폴리우레탄 위에 Ti 50nm증착 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
724 2016-06-29 14시 15시 어제 TiO2 RF스퍼터링 맡겼던 학생입니다.
40 nm로 똑같이 증착 부탁드려요		 포항공과대학교 화학공학과 김홍기 224,000원
725 2016-06-29 16시 18시 VW 200Ådep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 100,000원
726 2016-07-01 10시 11시 VWOx dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
727 2016-07-04 17시 18시 VWOx dep. 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 100,000원
728 2016-07-05 15시 16시 Ti 100/200/400 포항공과대학교 화학공학과 최종민 196,000원
729 2016-07-06 12시 14시 61-헤어
Al 7nm, 10nm, 12nm
61-헤어(rework)
Al 10nm, 12nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
730 2016-07-11 13시 16시 2-1-1 Back Al Depo
5000A 4장
2000A 2장		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,176,000원
731 2016-07-11 15시 16시 al 10nm 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
732 2016-07-14 10시 11시 Si/SiO2/polySi/TiN/ZrO2
Si/SiO2/polySi/TiN/ZrO2/Al2O3/ZrO2		 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 112,000원
733 2016-07-14 16시 17시 63-융/샌딩
al 100A, 120A		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
734 2016-07-18 15시 16시 Ti 50nm x2 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
735 2016-07-21 16시 19시 2-1-1. Back Side Al depo 1um 3장
1장당 10회 청구		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,470,000원
736 2016-07-21 9시 12시 Cu 증착
thickness Split test		 영남대학교 물리학과 황지영 280,000원
737 2016-07-27 9시 12시 Ti 10nm 포항공과대학교 화학공학과 최종민 147,000원
738 2016-07-28 11시 12시 Ti (10%) + Ni (90%) 스퍼터로 adhesion 좋은 니켈 전극 100nm 를 만듦 포항공과대학교 화학공학과 김상국 160,000원
739 2016-07-29 10시 14시 2-1-1 Air hole Metal Front side Al depo 10000 A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 980,000원
740 2016-07-29 11시 12시 65-융/샌딩
al 2회		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
741 2016-08-05 9시 10시 Ni 100nm 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
742 2016-08-09 13시 13시 2-1-1 Back side Metal Al depo Ti200 + Al 10000A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 539,000원
743 2016-08-10 14시 17시 2-1-1 Backside Metal Al depo Ti 200 + Al 10000 A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 539,000원
744 2016-08-11 14시 17시 6inch VW dep. 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 250,000원
745 2016-08-12 14시 15시 Al 3000A 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 147,000원
746 2016-08-16 14시 17시 2-1-1 Air Hole Metal Depo Front Al 10000 A Depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 490,000원
747 2016-08-17 10시 11시 Polyurethane film위에 앞,뒤 Ti 50nm 증착 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
748 2016-08-17 11시 16시 시료 증착
Ti 10nm 증착		 포항공과대학교 화학공학과 편임옥 98,000원
749 2016-08-18 12시 14시 2-1-1 Back side Al depo Ti 200+ Al 10000A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 539,000원
750 2016-08-18 15시 17시 Ti 50nm 증착 앞뒤 2회 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 70,000원
751 2016-08-22 19시 20시 TiN bottom electrode 포항공과대학교 신소재공학과 오승열 152,000원
752 2016-08-26 11시 12시 2-1-1 Air Hole
Metal depo Al 1um		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 525,000원
753 2016-08-26 14시 15시 3-1-1 Front Al depo
Ti/Al = 100/1000Å		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
754 2016-08-30 12시 14시 2-1-1 Backside MET Eva. Ti 200 Al 10000 A Depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 539,000원
755 2016-08-31 9시 10시 2-1-1
Air Hole Metal
Al 1um 증착		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 490,000원
756 2016-09-01 11시 12시 Al 3000A 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 147,000원
757 2016-09-01 14시 16시 FTO 기판 위에 Ti 10nm, 40nm 스퍼터링 포항공과대학교 화학공학과 편임옥 168,000원
758 2016-09-02 16시 17시 폴리우레탄 필름위에 Ti 50 nm 앞뒤 증착
 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
759 2016-09-05 14시 15시 3-1-1 Front Al depo
Al 1500Å		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
760 2016-09-05 16시 17시 test용 Ti 500 dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 100,000원
761 2016-09-06 11시 17시 유연 전극 연구 및 개발 포항공과대학교 화학공학과 손종현 728,000원
762 2016-09-07 10시 17시 유연전극 연구 및 개발 포항공과대학교 화학공학과 손종현 840,000원
763 2016-09-07 17시 18시 Ti/Ni = 150/3000Å 증착
 영남대학교 물리학과 황지영 670,000원
764 2016-09-12 14시 15시 유연전극 연구 및 개발 포항공과대학교 화학공학과 손종현 392,000원
765 2016-09-21 16시 17시 Polyurethane films 위에 Ti 50 nm 증착 앞, 뒤 총 2회 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
766 2016-09-27 10시 11시 2-1-1 Air Hole metal
Al 1um		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 490,000원
767 2016-09-27 16시 17시 2-1-1 Back Side Metal
Ti/Al = 200Å/1um		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 539,000원
768 2016-09-28 16시 18시 Ti50nm 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
769 2016-10-04 11시 12시 3-1-1 Front Al Depo
Ti/Al = 50/1000Å		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
770 2016-10-05 10시 12시 Polyurethane film 조각들을 8 inch wafer에 부착, Ti 50 nm 증착
앞뒤 총 2회 		포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 98,000원
771 2016-10-13 16시 17시 al sputtering 포항공과대학교 기계공학과 노지훈 336,000원
772 2016-10-14 10시 11시 Ni 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
773 2016-10-17 13시 15시 2-1-1 Back Metal Ti 200 + Al 10000 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 539,000원
774 2016-10-20 13시 14시 3-1-1 Front Al Depo
Ti/Al - 50/2000Å		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 182,000원
775 2016-10-21 1시 10시 Ni 증착 50nm 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
776 2016-10-21 10시 13시 Ni 증착 진행 (Ge Wafer) 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 1,050,000원
777 2016-10-26 13시 16시 Al_500nm 증착 (두께 관련 협의 필요) 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 490,000원
778 2016-10-28 14시 15시 3-1-1 Front Al depo
Ti/Al = 50/2000Å		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
779 2016-10-28 9시 11시 Ni Cr 선행 Test
Sputter time 300초,500초		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 168,000원
780 2016-10-31 14시 16시 2-1-1 Air hole Metal Front side Al dep 10000A 2ea 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 980,000원
781 2016-11-01 13시 16시 Al 1um 증착 (6\'\' 더미 한 장 + 조각 샘플 3개) 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 490,000원
782 2016-11-01 16시 19시 2-1-1 Back Side Metal Ti 200+Al 10000 (A) 2ea 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,078,000원
783 2016-11-01 9시 12시 Ni Cr Depo
3. Ti 100A(1회)+ NiCr 300s 1회
4. Ti 500A(1회)+ NiCr 300s 1회
5. NiCr 800s 2회
6. NiCr 1100s 2회
7. Ti500A(1회)+ NiCr 1100s 2회
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 737,000원
784 2016-11-02 18시 19시 NI Cr 증착(300sec) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 252,000원
785 2016-11-03 16시 17시 Ti sputtering 10nm, 40nm, 100nm, 200nm 포항공과대학교 화학공학과 편임옥 392,000원
786 2016-11-08 10시 16시 나노융합 전문인력양성 교육_Diffusion 계명대학교 화학공학과 서숭혁 1,400,000원
787 2016-11-09 10시 11시 Al 1um deposition. 포항공과대학교 전자과 백상원 490,000원
788 2016-11-09 12시 13시 Ti/Al 증착 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
789 2016-11-14 14시 15시 Ti 100Å 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 49,000원
790 2016-11-14 9시 10시 Ni 100nm 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 140,000원
791 2016-11-17 10시 11시 Ti/Al = 50/2000Å 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
792 2016-11-22 14시 15시 76-MgYKNPAC
al sputtering 10nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
793 2016-11-23 14시 16시 특허분쟁시료 Al 증착
 나노융합기술원 기술지원팀 백경흠 140,000원
794 2016-11-30 13시 14시 17uPFD RF layer Metal Deposition(Ti 1000A) (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 200,000원
795 2016-12-01 14시 15시 NI 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
796 2016-12-06 13시 15시 Ti sputtering 포항공과대학교 화학공학과 임채성 343,000원
797 2016-12-08 14시 15시 Al 1um deposition 포항공과대학교 전자과 백상원 490,000원
798 2016-12-15 14시 15시 Ti/NiCr 증착(RIST) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 126,000원
799 2016-12-16 9시 10시 17uPFD SL metal deposition (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 200,000원
800 2016-12-20 13시 14시 Ni 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
801 2016-12-22 10시 11시 Ti / Au = 100A / 150A (주)엔디디 기술연구 최은아 1,500,000원
802 2016-12-22 16시 17시 Ni coating 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
803 2016-12-29 14시 16시 연구개발 포항공과대학교 화학공학과 임채성 98,000원
804 2016-12-29 16시 17시 Electrode 용 TiN 증착 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 112,000원
805 2016-12-29 17시 18시 17uPFD-RF(2nd) Ti 1000A deposition (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 150,000원
806 2017-01-04 15시 16시 잘 부탁 합니다 포항공과대학교 화학공학과 임채성 49,000원
807 2017-01-05 14시 16시 Ti/NiCr 증착
- RIST sample
- 6인치 Si wafer 2장 진행		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 378,000원
808 2017-01-06 23시 24시 Ti 1000A 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 이호준 70,000원
809 2017-01-09 11시 12시 Ni 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 70,000원
810 2017-01-09 9시 10시 Ti 300A 증착 (Si wafer + DSP 양면 증착)
라멜라 그레이팅 Bonding test 용		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
811 2017-01-11 10시 11시 잘 부탁 드립니다
Ti 10nm 증착		 포항공과대학교 화학공학과 임채성 49,000원
812 2017-01-17 14시 15시 잘 부탁 합니다. 포항공과대학교 화학공학과 임채성 294,000원
813 2017-01-18 10시 12시 Deposition of TiO2 with 1 micron thickness. Please clean the FTO to remove native oxide in a mixture containing acetone+DI water+ethanol. Please keep 1cm area at all the corners of FTO undeposited to make electrical contact. 영남대학교 물리학과 황지영 700,000원
814 2017-01-18 17시 18시 17uPFD-SL metal deposition : Ti 300A (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 105,000원
815 2017-01-19 16시 17시 17uPFD-SE metal deposition
Ti 1000A		 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 105,000원
816 2017-01-20 9시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Diffusion 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,000,000원
817 2017-01-23 10시 11시 Ni/Ni-Cr 2장 증착
장당 3회 청구		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 252,000원
818 2017-01-24 10시 12시 1. Cr/NiCr 1장
2. Ni/NiCr 1장
3. Ti/NiCr 1장
장당 3회 신청
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 378,000원
819 2017-01-24 9시 10시 Cr.NiCr 증착 2장
장당 3회 신청		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 252,000원
820 2017-01-25 10시 11시 3-1-5 Metal depo
Ti/Al (300/5000Å)		 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 294,000원
821 2017-01-25 16시 17시 2-1-1 Back metal depo
Ti/Al 100/3000Å 2장		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 392,000원
822 2017-01-25 9시 10시 3-1-2 Metal depo
Ti 300A
4인치 테스트 웨이퍼 추가 		포항공과대학교 물리분석팀 김성규 128,000원
823 2017-02-02 14시 16시 2-1-1 Back Side Meatal depo
Ti/Al = 100/5000A		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 490,000원
824 2017-02-02 9시 10시 17uPFD-VW metal deposition - VW 30nm (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 126,000원
825 2017-02-03 10시 12시 LG 20-1 Support Wafer Ti 100 + Al3000 A Depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
826 2017-02-03 14시 16시 Ti 300 + Al 5000 Backside Depo 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 294,000원
827 2017-02-07 14시 18시 Back-side Al 1um 증착 포항공과대학교 정보전자융합공학부 박찬오 490,000원
828 2017-02-07 17시 18시 3-1-1 Front side al depo
Ti/Al = 50/3000A		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
829 2017-02-08 9시 12시 Ti 200 + Al 3000 Sputtering 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
830 2017-02-12 10시 12시 2-1-1 Back Side Back MET Eva. Back Al Depo Sputter Ti 100 + Al 3000 (2/12 재진행건)
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
831 2017-02-12 16시 19시 3-1-1 Lower Side Front Al Depo Al Depo Sputter Ti 50 + Al 2000

+ 재진행 총 2회 		포항공과대학교 대외협력팀 김인철 294,000원
832 2017-02-13 14시 16시 Ti 300 x3회 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 147,000원
833 2017-02-14 18시 19시 VW dep 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 150,000원
834 2017-02-20 10시 11시 0-2-1 bonding metal depo
Ti 300		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
835 2017-02-21 17시 19시 Ti 100 Al 3000 증착( 2/21 17:30~ ) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
836 2017-02-22 9시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,400,000원
837 2017-02-23 15시 16시 Slide glass에 부착된 PU 필름위에 Ti 50 nm 증착. 앞,뒤 각각 1회 총 2회 진행. 직접방문예정. 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 49,000원
838 2017-02-24 12시 14시 VW dep test.

 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 0원
839 2017-02-27 10시 11시 Akey 형성 (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
840 2017-02-27 10시 11시 Front metal depo Ti/Al 100/3000Å 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
841 2017-02-27 13시 14시 메일로 회신 100nm TiN 증착 홍익대학교 산학협력단 한상우 140,000원
842 2017-03-02 14시 15시 Ni-Cr 증착 2장 진행 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 168,000원
843 2017-03-02 9시 10시 Ni 증착 포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 280,000원
844 2017-03-03 15시 16시 Ti 10nm 6장, 40nm 6장 sputtering 부탁드립니다 포항공과대학교 화학공학과 임채성 98,000원
845 2017-03-07 13시 14시 Ni 증착

포항공과대학교 첨단재료과학부 김우람 560,000원
846 2017-03-09 11시 12시 Titanium 50 nm 증착 (세부사항 : Slide glass 위에 부착된 Polyurethan film들 위에 Titanium 50 nm 증착, 샘플들 6인치 더미웨이퍼 위에 직접 부착하겠음. 1회 증착후 뒤집어서 다시 부착하고 1회 더 증착.) 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 56,000원
847 2017-03-13 10시 11시 0-2-1 Bonding metal Ti 300A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
848 2017-03-16 15시 16시 metal 증착 Ti/Al = 100/1000Å 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 98,000원
849 2017-03-17 14시 15시 1. Ti 300Å
2. Ti/Al 100/2000Å		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
850 2017-03-20 10시 11시 Ti/Al = 100/3000Å 2장 (장당 4회)
과제번호 4.0013825		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 392,000원
851 2017-03-20 11시 12시 TI/Al 100/3000Å 1장 (장당 4회) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 196,000원
852 2017-03-21 15시 17시 Metal Al 3000A 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 300,000원
853 2017-03-21 20시 21시 3-1-1 Front Al depo
Ti/Al = 50/2000Å
(4.0013825)		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
854 2017-03-22 9시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,000,000원
855 2017-03-23 10시 11시 0-2-1 Bonding metal
Ti 300A		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 49,000원
856 2017-03-24 14시 15시 Backside Metal Depo
Ti/Al 100/2000A
(과제번호 4.0013825)		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 147,000원
857 2017-03-24 16시 17시 PMMA E-BEAM 패턴된 기판에 TiO2 30나노 증착.
(TiO2 100A 1회로 청구)		 포스텍 신소재공학과 진강태 147,000원
858 2017-03-28 12시 13시 2-6-1 Ti Deposition
300A
(과제 번호 4.0013825)		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 49,000원
859 2017-04-03 10시 13시 4-1-1 Lower Side Front Al Depo Metal Depo Sputter Ti /Al = 50/ 2,000 Å
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 157,500원
860 2017-04-10 9시 10시 Ti 30nm (Ti Bonding용) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 52,500원
861 2017-04-13 11시 12시 Ti 10nm 6장, 40nm 6장 sputtering 부탁합니다 포항공과대학교 화학공학과 임채성 119,000원
862 2017-04-13 9시 10시 Al 2000A (주)네오나노텍 연구개발 김성훈 200,000원
863 2017-04-24 10시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
864 2017-04-24 18시 19시 4-1-1 Front Al depo
Ti/Al = 50/2000A (과제 번호 : 4.0013825)		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 157,500원
865 2017-04-25 14시 15시 3-1-1 Front Al depo
Ti/Al = 100/4000		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 262,500원
866 2017-04-25 9시 10시 support wafer Ti depo
Ti 300A		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 70,000원
867 2017-04-27 16시 17시 4-1-1 Front Al depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 315,000원
868 2017-04-27 9시 10시 Ti 2000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
869 2017-04-28 9시 10시 Ti/Al = 100/3000 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 210,000원
870 2017-05-02 11시 12시 4-1-1 metal depo
Ti/Al 50/5000A		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 262,500원
871 2017-05-02 13시 14시 Ti/NiCr 증착 100/1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 135,000원
872 2017-05-02 9시 11시 Ti/Al 50/5000A
2장 진행		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 525,000원
873 2017-05-10 10시 11시 SiC 센서 소자 제작 관련
2. Ta metal depo		 경남대학교 전자공학과 김성진 70,000원
874 2017-05-10 13시 14시 SiC 센서 소자 제작 관련
4. Ni sputter		 경남대학교 전자공학과 김성진 200,000원
875 2017-05-12 13시 14시 2-1-1 Front Metal depo
Al 5000A		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 262,500원
876 2017-05-19 14시 15시 2-1-1. Front Metal depo (Ti/Al) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 315,000원
877 2017-05-19 15시 16시 1-1-1. Front Metal depo
(과제 번호 4.0013825)		 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 157,500원
878 2017-05-23 9시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,200,000원
879 2017-06-15 15시 16시 조각 specimen이며 Shadow mask를 사용하여 Al deposition을 할 것입니다.
Al은 1200 Å으로 Dep 부탁드립니다.

Si 위에 MDD를 이용하여 Graphene-Oxide가 올려져있습니다. 		서울시립대학교 전자전기컴퓨터공학과 최현석 126,000원
880 2017-06-22 10시 15시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
881 2017-06-30 19시 20시 Ti/Au=100A/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 3,200,000원
882 2017-07-03 15시 16시 TiN 증착 (30nm) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 157,500원
883 2017-07-07 15시 16시 TiN300A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 157,500원
884 2017-07-13 16시 17시 전면 : Au, PZT ceramic, PT가 패턴되어 있습니다.

전면을 DNR L300 PR을 이용하여 passivation한 후, 후면에 Deep RIE 공정을 진행하려고 합니다.

DEEP RIE에 필요한 aluminium hard mask를 증착하려고 합니다.

AL 증착 이후, DEEP RIE를 위하여 패터닝 후 식각할 예정입니다.


Deep RIE 는 350um 정도 하는 것이라 Al은 5000A면 충분할 것이라고 전화로 설명들었습니다.

직접 방문하여 공정을 진행하고자 하니, 그 때 현장에서 다시 한 번 더 확인차 문의드리겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 진재혁 297,500원
885 2017-07-13 3시 4시 증착 물질: TiN (Metallic)

증착 두께: 100 nm

bottom electrode로 사용 예정, 증착 이후 PR (Photoresist) coating 부탁 (비용지불, 산화방지)		 포항공과대학교 신소재공학과 오승열 435,000원
886 2017-07-18 9시 14시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 3,500,000원
887 2017-07-20 16시 17시 reactive sputtering
8mTorr
400sec		 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
888 2017-07-21 15시 16시 reactive sputter (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 180,000원
889 2017-07-24 16시 17시 TiN 10nm Depo 포항공과대학교 전자과 백상원 52,500원
890 2017-07-26 10시 11시 reactive sputtering (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 240,000원
891 2017-07-27 16시 17시 0-1-3 Sputter Metal Depo Al 2000A (주)네오나노텍 연구개발 김성훈 350,000원
892 2017-08-02 11시 14시 Cr,Al,Ti 각 2회 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
893 2017-08-21 14시 15시 Ti 50nm 증착 포항공과대학교 융합생명공학부 김민서 59,500원
894 2017-08-22 10시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 3,500,000원
895 2017-08-29 19시 20시 100/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 3,000,000원
896 2017-08-29 9시 13시 Ti 증착 test
공정 압력 변화하여 test 진행 (할인율 50% 협의하여 진행)		 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 1,430,000원
897 2017-08-31 15시 16시 Ti 150A 포스코 성능연구그룹 정현주 0원
898 2017-09-01 11시 12시 Ti 150A 포스코 성능연구그룹 정현주 59,500원
899 2017-09-06 16시 17시 Cr sputtering 150A, 200A 포스코 성능연구그룹 정현주 119,000원
900 2017-09-07 13시 14시 Oxide/Si subs.

Ta, TaN, TaOx 선행 Test를 위하여 W/F 3장을 배송하였습니다.

메일 참고 부탁 드립니다.		 (주) 동부하이텍 특화공정개발파트 이주현 210,000원
901 2017-09-11 13시 15시 Cr 10nm, Cr 13nm, Ti 10nm, Ti 13nm 포스코 성능연구그룹 정현주 238,000원
902 2017-09-13 10시 11시 Cr 13 포스코 성능연구그룹 정현주 59,500원
903 2017-09-19 10시 13시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
904 2017-09-26 13시 16시 9/26일 진행
1. Ta 10장
2. TaN : Gas 조건별 split 3장		 (주) 동부하이텍 특화공정개발파트 이주현 910,000원
905 2017-09-28 9시 18시 83~88-St
Cr/Ti/Al deposition		 포스코 성능연구그룹 정현주 1,666,000원
906 2017-10-10 8시 15시 Ta/TaN Dep. 공정의뢰 부탁 드립니다.
의뢰 정보는 메일 참고 부탁 드립니다.		 (주) 동부하이텍 특화공정개발파트 이주현 700,000원
907 2017-10-13 12시 18시 +. 공정 이력 정보
-. W VIA (Oxide) / Metal (TiN/Ti/AlCu/TiN/Ti) / Oxide / Si subs.

+. 의뢰 공정
-. Ta 400 A , 600 A 각 1장		 (주) 동부하이텍 특화공정개발파트 이주현 140,000원
908 2017-10-17 10시 12시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 3,500,000원
909 2017-10-18 13시 14시 Ti adhesive layer (10%) + 해서 Ni film 50 nm 부탁드립니다. 포항공과대학교 화학공학과 김상국 85,000원
910 2017-10-19 16시 17시 Cr 15nm 포스코 성능연구그룹 정현주 59,500원
911 2017-10-20 14시 16시 Metal 증착 Ti/Al 1000/5000A 3장 진행 (4인치 Test wafer 1장 포함) LG 이노텍 소자개발팀 정지철 1,010,000원
912 2017-10-23 10시 13시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 3,000,000원
913 2017-10-24 14시 16시 Cr 10nm 13nm 15nm Depo 포스코 성능연구그룹 정현주 178,500원
914 2017-10-25 19시 20시 Ti/Au:100/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
915 2017-10-27 14시 15시 Cr sputtering 포스코 성능연구그룹 정현주 119,000원
916 2017-10-31 12시 13시 cr 13nm, ti 13nm sputtering 포스코 성능연구그룹 정현주 119,000원
917 2017-10-31 13시 14시 직접방문
Cr 3000A - Cr 1000A/회 적용		 경북대학교 전자공학 손동혁 210,000원
918 2017-11-08 11시 15시 +. W/F inform.
1. Ta 400 Å 6장,600 Å 6장 --> 12장
2. Ta/TaN 100 Å/500 Å 12장 --> 12장


*. TaN 의 Dep. condition
-> Ar/N2 = 20/5 sccm

상세는 메일 참조 부탁 드립니다.		 (주) 동부하이텍 특화공정개발파트 이주현 1,680,000원
919 2017-11-10 10시 18시 저저항 Superjunction 파워 MOSFET 개발 및 상용화 [4.0015349.01]_Metal 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 700,000원
920 2017-11-14 16시 17시 97차&98차 실험
Cr deposition		 포스코 성능연구그룹 정현주 178,500원
921 2017-11-15 10시 24시 MEMS 기술사업화계약- Diffusion 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,200,000원
922 2017-11-23 19시 20시 Ti/Au (주)엔디디 기술연구 최은아 4,100,000원
923 2017-11-24 17시 19시 Ni 200nm 증착
--> 50nm 당 1회 청구		 연세대학교 신소재공학 백상윤 550,000원
924 2017-11-28 9시 12시 LG_20_1 1-1-2 Sputter Cr 3000A Depo (2매) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 315,000원
925 2017-12-12 14시 15시 Back side Ni metal 100nm
 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 400,000원
926 2017-12-12 16시 18시 Ni/Al = 150/450nm LG 이노텍 소자개발팀 정지철 1,300,000원
927 2017-12-14 9시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,050,000원
928 2018-01-03 19시 20시 Ti/Au (주)엔디디 기술연구 최은아 1,100,000원
929 2018-01-10 10시 11시 Cr 12nm
Al 5nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 119,000원
930 2018-01-11 13시 14시 Ni 50nm를 올리되, adhesion layer로 Ti를 10프로 깔고 올려주시길 바라겠습니다. 포항공과대학교 화학공학과 김상국 340,000원
931 2018-01-15 10시 11시 Al 200 nm *1 seq // 66 nm * 3 seq // 40 nm * 5 seq// 포항공과대학교 화학공학과 김민규 525,000원
932 2018-01-18 13시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,000,000원
933 2018-01-18 9시 11시 Tin 100nm 포항공과대학교 전자전기공학과 윤길상 105,000원
934 2018-01-24 10시 18시 WISET 사업 교육_Diffusion 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 2,000,000원
935 2018-01-29 14시 17시 Ti 13nm, Cr 13nm
Cr10nm, Cr 13nm
Ti10nm, Ti 13nm
 포스코 성능연구그룹 정현주 357,000원
936 2018-01-30 12시 16시 Ti 7nm, 10nm
Cr 10nm, 7nm, 7nm
Cr 7nm, 10nm,13nm
Ti 10nm		 포스코 성능연구그룹 정현주 535,500원
937 2018-02-02 19시 20시 Ti/Au (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
938 2018-02-05 9시 10시 Al 증착 1seq마다 o2접촉(공기) 포항공과대학교 화학공학과 김민규 315,000원
939 2018-02-06 10시 11시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,400,000원
940 2018-02-20 10시 18시 실리콘 기반 센서 제작_Metal (과제번호:4.0015206.01) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 800,000원
941 2018-02-23 12시 14시 0-1-3 Hard Mask Metal Depo Sputter Al 200nm 포항공과대학교 환경공학부 김종수 149,000원
942 2018-02-23 19시 20시 Ti/Au 100/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
943 2018-03-05 9시 10시 TaOx 100nm, Ti 100nm 증착부탁드립니다. 포항공과대학교 신소재공학과 박재성 105,000원
944 2018-03-15 9시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 800,000원
945 2018-03-22 10시 14시 Cr 300nm Depo 2회 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 145,000원
946 2018-03-26 19시 20시 Ti/Au (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
947 2018-04-02 15시 16시 Bare 조각 silicon metal 증착 의뢰

1번 더미 : Ta 10nm 증착
2번 더미 : TiN 10nm 증착		 포항공과대학교 전자과 백상원 98,000원
948 2018-04-02 16시 17시 ALD 3nm TiN이 증착된 실리콘 조각 샘플에 7nm Ti sputter 의뢰 포항공과대학교 전자과 백상원 49,000원
949 2018-04-10 10시 11시 프라운호퍼 과제 관련 Ni 200nm 증착 파워마스터반도체 주식회사 제품개발팀 김홍기 0원
950 2018-04-12 14시 15시 native oxide 제거 후 진행

1~5nm사이 두께로 3장		 울산과학기술원 화학과 홍석모 289,000원
951 2018-04-12 14시 15시 Cr 300nm 증착 (주)베프스 기획팀 BEFS 180,000원
952 2018-04-13 11시 12시 bare silicon wafer에 10 nm Ti metal deposition 포항공과대학교 전자과 백상원 52,500원
953 2018-04-16 9시 22시 차세대 실리콘 파워반도체 기술사업화 계약-박막 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
954 2018-04-17 9시 23시 MEMS 기술사업화 계약-thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 800,000원
955 2018-04-20 9시 11시 Cr 10nm 포스코 성능연구그룹 정현주 59,500원
956 2018-04-25 19시 20시 Ti/Au 100A/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
957 2018-05-02 10시 13시 Al 800nm x4회 LG전자 ICS팀 김기민 518,000원
958 2018-05-04 15시 16시 Nickel silicide 샘플 위

1) Adhesion layer로 Ti 증착
2) Ni 300nm 증착

 포항공과대학교 전자과 백상원 210,000원
959 2018-05-04 9시 10시 Ti 를 10% adhesive layer로 깔고
Ni 50nm 증착 부탁합니다.		 포항공과대학교 화학공학과 김상국 170,000원
960 2018-05-23 9시 24시 차세대 실리콘 파워반도체 기술사업화 계약-Thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
961 2018-06-04 14시 17시 TiN 300nm 증착 LG전자 센서솔루션연구소 홍정엽 219,000원
962 2018-06-05 10시 12시 adhesion layer: Cr
Ti 500nm 증착 부탁드립니다.

완료 후 연락 부탁드립니다.
(메일 또는 전화)		 포항공과대학교 시스템생명공학부 김보람 319,000원
963 2018-06-14 13시 14시 9개의 샘플 중 1~4번은 PR이 Coating 되어 있고, 나머지 샘플은 PR이 없고 SiO2 표면인 샘플입니다.
9개의 샘플 모두 Al 450nm 증착 부탁드립니다.
일단은 Sputter 1로 신청 하였지만, Sputter 1,2,3 중에서 2 micron^2의 area x 400nm의 height의 hole을 가장 잘 filling 할 수 있는 것으로 증착 부탁드립니다.
한양대학교 신소재공학부 채명균 120,000원
964 2018-06-19 12시 15시 0-1-3 HM Back side Cr Depo Cr 3000A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 0원
965 2018-06-20 9시 22시 차세대 실리콘 반도체 기술사업화 계약_thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
966 2018-06-28 12시 14시 Ni 100nm 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 85,000원
967 2018-06-28 19시 20시 Ti/Au 100A/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
968 2018-06-28 9시 12시 PR / GaN on Si
TiN 1000Å 증착		 LG전자 센서솔루션연구소_광소자센서Task 홍은주 85,000원
969 2018-07-03 15시 16시 TiN 100nm증착 (홍은주선임 유선으로 통화완료 건) LG전자 센서솔루션연구소 임정순 69,500원
970 2018-07-10 9시 10시 Ti/TiN 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 135,000원
971 2018-07-11 19시 20시 Cr Depo (주)아이브이웍스 측정분석팀 박세린 1,000,000원
972 2018-07-20 14시 15시 Al 100 nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 이시영 52,500원
973 2018-07-23 14시 18시 3-2-1 Metal Depo TiN 1000A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 330,000원
974 2018-07-25 9시 18시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_Thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
975 2018-07-27 14시 17시 5-4-1 MET1 Ti/Al/Ti/TiN (100/1000/200/300) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 672,000원
976 2018-08-01 12시 13시 TiN 100nm LG전자 센서솔루션연구소 홍정엽 69,500원
977 2018-08-01 9시 12시 3-2-1 Gate TiN Depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 264,000원
978 2018-08-03 15시 18시 5-4-1 Met1 depo
Ti/Al/At/TiN		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 672,000원
979 2018-08-07 16시 19시 4-2-1 Gate TiN depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 528,000원
980 2018-08-08 10시 12시 7-4-1 Metal depo
 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 356,000원
981 2018-08-09 14시 15시 기존 TiN 증착조건에서 Ar flow rate만 아래와 같이 변경하여 3런 진행 부탁드립니다.

N2 : 15sccm, Ar : 40sccm (100nm, Reference-기존조건 )
N2 : 15sccm, Ar : 20sccm
N2 : 15sccm, Ar : 10sccm 		LG전자 센서솔루션연구소 임정순 208,500원
982 2018-08-10 9시 17시 차세대 실리콘 파워반도체 기술사업화 계약_Thin film 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
983 2018-08-13 15시 16시 TiN Test 6 DOE 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 294,000원
984 2018-08-14 12시 18시 4-2-1 Gate TiN depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 528,000원
985 2018-08-20 13시 14시 Ti Thick Si Wafer
Al Thick Si Wafer
TiN Thick Si Wafer		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 147,000원
986 2018-08-20 14시 15시 Ti/TiN/Al Pattern Etching Test 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 147,000원
987 2018-08-20 15시 15시 Ti/Al/Ti/TiN Metal Etch Test용 Pattern
Ti/Al/TiN 각 1회 2매씩		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 294,000원
988 2018-08-20 19시 20시 Cr Depo (주)아이브이웍스 측정분석팀 박세린 500,000원
989 2018-08-22 15시 18시 5-4-1 Metal depo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 672,000원
990 2018-08-22 19시 20시 Ti/Au = 100A/150A (주)엔디디 기술연구 최은아 700,000원
991 2018-08-23 14시 16시 Aluminum 포항공과대학교 화학공학과 이시영 52,500원
992 2018-08-23 9시 12시 TiN metal 증착 100nm 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 236,000원
993 2018-08-27 15시 16시 bare silicon에 Ni, Ti, Co 각각 1 lot씩 증착 (10nm)

lot 1 : Ni 10 nm
lot 2 : Ti 10 nm
lot 3 : Co 10 nm		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 150,000원
994 2018-08-27 9시 12시 Al : 1700 A LG전자 센서솔루션연구소 이성단 69,500원
995 2018-08-28 13시 17시 Ti/Al/TiN = 300/1600/300 A 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 712,000원
996 2018-09-03 10시 11시 Ni 증착 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 300,000원
997 2018-09-07 9시 14시 SS06 : TiN 1000A (6 ea) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 672,000원
998 2018-09-10 9시 10시 Ti/Al/Ti/TiN 100/1000/200/300 A (WF: 01 ~02) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 336,000원
999 2018-09-12 14시 15시 Sputter TiN 물성 평가
TiN 1000,100A		 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 432,000원
1000 2018-09-17 9시 18시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_Thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
1001 2018-09-19 19시 20시 Ti / Au = 100A / 150A (주)엔디디 기술연구 최은아 1,000,000원
1002 2018-09-28 13시 14시 Ni 400 A 2매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 150,000원
1003 2018-10-08 16시 18시 Al 200nm 스퍼터. 포항공과대학교 화학공학과 이시영 62,500원
1004 2018-10-10 15시 16시 PI필름에
adhesion layer Cr
Ti 100um 높이로 부탁드립니다.
 포항공과대학교 시스템생명공학부 김보람 357,000원
1005 2018-10-17 11시 12시 Ti 5 nm / TiN 5 nm 증착
(lift-off용 레시피 있으면 부탁드리겠습니다.)		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 52,500원
1006 2018-10-22 9시 20시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_Thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
1007 2018-10-29 13시 13시 TI 50 / TiN 50 A 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 105,000원
1008 2018-11-08 9시 10시 샘플 : bare Si wafer
조건 : Ni 10 nm 증착 의뢰
 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 175,000원
1009 2018-11-15 11시 12시 SiO2 패터닝된 샘플

Ti 5nm / TiN 5nm 증착		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 122,500원
1010 2018-11-21 10시 12시 300nm wafer 위에 Gr transfer 해놓은 상태. 그 위에 TiO2 5nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 임형섭 122,500원
1011 2018-11-21 12시 24시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_Thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
1012 2018-11-22 10시 12시 wafer / Gr 위에 TiO2 5nm 증착 포항공과대학교 화학공학과 임형섭 122,500원
1013 2018-11-22 12시 13시 Ta 물질을 O2 gas flow 별로 reactive sputtering 400초씩 부탁드립니다. - 샘플 6개 증착 두께가 중요한건 아니라서 dep time으로 기재했습니다.

(이전에 전화 상담 드렸었는데, 내일 다시 전화드리도록 하겠습니다. 감사합니다.)		 포항공과대학교 신소재공학과 최우석 227,500원
1014 2018-12-04 9시 12시 TiN 100nm 증착 LG전자 센서연구소 현구 69,500원
1015 2018-12-05 9시 12시 Ta 100, 500 , 1000 A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 167,500원
1016 2018-12-13 14시 15시 3D 프로파일러 측정을위한 Cr or Al 100nm증착

샘플은 준비되어있으며, 요청시 직접전달드리겠습니다(타실험으로 NINT에 있음)
박동규 010 6345 7577		 신라대학교 스마트전기전자공학부 최우창 80,000원
1017 2018-12-13 9시 10시 Ni 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 105,000원
1018 2018-12-24 9시 16시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_Thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 1,200,000원
1019 2018-12-26 9시 11시 Ni 1000A 3장 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 315,000원
1020 2018-12-27 9시 11시 Ta 증착 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 292,500원
1021 2019-01-04 10시 12시 cr/cu dep이된 웨이퍼에 az9260 패더닝되 샘플이며,

cr30nm sputter 의뢰하고자 합니다.		 신라대학교 스마트전기전자공학부 최우창 70,000원
1022 2019-01-10 9시 13시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_T/F 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1023 2019-01-17 11시 14시 Cr 1000A sputterning 의뢰 부탁드립니다.
샘플 전달방법 알려주시면 감사하겠습니다.		 신라대학교 스마트전기전자공학부 최우창 70,000원
1024 2019-01-17 16시 18시 Cr 3000 A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 72,500원
1025 2019-01-17 9시 10시 Cr 1000 , Cr 2000 A 경상대학교 신소재공학과 설재복 115,000원
1026 2019-01-25 11시 12시 Ti 5 nm 증착 -> TiN 5 nm 증착

 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 105,000원
1027 2019-01-29 10시 11시 Ti 10 nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 52,500원
1028 2019-02-06 9시 11시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_thinfilm 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1029 2019-02-08 14시 17시 Cr 3000 A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 72,500원
1030 2019-02-15 9시 10시 10나노급 차세대 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 760,000원
1031 2019-02-20 13시 18시 Ti 500 A 포항공과대학교 신소재공학과 이상민 105,000원
1032 2019-02-21 16시 17시 Ti 5 nm / TiN 5 nm (capping layer) 증착
 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 52,500원
1033 2019-03-05 9시 10시 Ni 1000A 2장 LG전자 ICS팀 김기민 250,000원
1034 2019-03-14 10시 11시 Ti 5 nm / TiN 5 nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 56,000원
1035 2019-03-18 9시 12시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_thin 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1036 2019-03-29 15시 16시 Ti 5 nm / TiN 5 nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 56,000원
1037 2019-04-12 9시 10시 Cr/Ni/Cr/Ni 에이프로 반도체사업부 남대호 500,000원
1038 2019-04-16 9시 11시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_diff 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1039 2019-04-19 14시 18시 TiN 1000 x 3매 포항공과대학교 신소재공학과 이상민 252,000원
1040 2019-04-22 14시 15시 Wafer는 Si/SiO2(100nm)인 구조로 클리닝까지 진행한 상태입니다.

TiN 30nm 증착 부탁드립니다.		 포항공과대학교 신소재공학과 안용회 126,000원
1041 2019-04-26 09시 10시 Cr/Ni/Cr/Ni 에이프로 반도체사업부 남대호 400,000원
1042 2019-04-29 13시 14시 Cr/Ni/Cr/Ni 에이프로 반도체사업부 남대호 1,400,000원
1043 2019-05-03 15시 17시 Ti/TiN/Al 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 2,600,000원
1044 2019-05-16 13시 15시 Cr 3000 A 포항공과대학교 IBS CALDES 이진환 83,000원
1045 2019-05-16 15시 16시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약_Thin film 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1046 2019-05-16 17시 18시 SiGe/p-Si 물질 stack의 기판입니다.

본 기판 위에 모두 Ni 60nm 증착 부탁드리겠습니다.

또한, Ni 증착 전에 HF cleaning이나 native oxide 제거 cleaning 부탁드리겠습니다.

궁금한 점이 있으시면 010-5678-4672 한규현 으로 연락 부탁드리겠습니다.		 고려대학교 전기전자공학과 한규현 110,000원
1047 2019-05-28 14시 18시 TiN 100nm 증착 (shadow mask) 포항공과대학교 화학공학과 송홍선 73,000원
1048 2019-06-07 13시 14시 Si wafer 2 장 RCA cleaning 후 TiN 30nm 증착 부탁드리겠습니다. Si wafer는 기술원 wafer 2장 구매하도록 하겠습니다. 포항공과대학교 신소재공학과 안용회 196,000원
1049 2019-06-18 14시 15시 현재 bare Si 위에 TiN 30nm(metal), HZO 10nm(non-metal) 정도 증착이 되어 있는 상태입니다. 추가적인 클리닝 공정 없이 바로 TiN 30nm 증착 부탁드립니다.
 포항공과대학교 신소재공학과 안용회 63,000원
1050 2019-06-18 9시 13시 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
1051 2019-06-20 9시 11시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1052 2019-06-26 15시 17시 Ti/TiN/Al 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 2,000,000원
1053 2019-07-05 15시 16시 Ti 5nm / TiN 5nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 112,000원
1054 2019-07-12 10시 11시 PR 패턴 되어 있는 웨이퍼 3장 Ni 스퍼터 부탁드립니다.

MBR 6 --> Ni 50nm
MBR 7 --> Ni 100nm
레이저 마킹 없는 웨이퍼 --> Ni 50nm

 포항공과대학교 기계공학과 김준수 300,000원
1055 2019-07-15 15시 16시 MBR 1, 2, 3, 4, 5, 8 --> Ni 100nm 증착
MBR 7 --> Ni 50nm 증착		 포항공과대학교 기계공학과 김준수 810,000원
1056 2019-07-16 10시 11시 차세대 실리톤 파워반도체 기술사업화 계약 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1057 2019-07-18 12시 17시 Al 1000 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 63,000원
1058 2019-07-22 12시 16시 TiN 50 nm 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 56,000원
1059 2019-07-22 16시 17시 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
1060 2019-07-22 9시 12시 최찬호선생님께

4인치 웨이퍼 2장, 패턴없는 쪽 Al 2000A sputter 증착 요청드립니다.
말씀드렸던 반대편(패턴쪽) 2um는 진행해주지 마시기 바랍니다.
추후에 다시 요청드릴 예정입니다.

종료되면 연락주시면, 바로 찾으러 가겠습니다.
팹 안에 두셔도 괜찮습니다.
감사합니다.

감사합니다.
안홍민
010-3433-3413
 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 452,000원
1061 2019-07-25 16시 17시 Ti 5 nm / TiN 5 nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 112,000원
1062 2019-07-30 9시 10시 Ti 5nm / TiN 5 nm 증착 (웨이퍼 2장)

Native oxide 제거 후 진공포장하여 스퍼터 1호기 책상에 올려두었습니다.
 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 112,000원
1063 2019-08-05 9시 11시 Humidity 1차_Sputter 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 600,000원
1064 2019-08-16 17시 18시 Si wafer 위 TiN 100 nm 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 66,000원
1065 2019-08-19 10시 11시 Silicon Oxide, Silicon Nitride가 증착되어 있는 웨이퍼입니다.

Lift-off를 이용해서 패터닝할 계획이며, PR작업은 제가 직접 해서 공정 전 보관함에 놓도록 하겠습니다.

총 3장이며, 3장 모두 Ni 50nm를 해주시면 감사하겠습니다.

혹시 가능하다면, Sputter 전에 플라즈마 처리(O2 plasma)를 살짝 해주시고, 증착을 진행해주시면 감사하겠습니다.

감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 김준수 270,000원
1066 2019-08-20 9시 11시 Thermopile 2차
Metal depo (Ti/AiN/Al = 200A/200A/10000A)		 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 600,000원
1067 2019-08-22 9시 12시 Thermopile 3차
Metal Depo (Ti/TiN/Al = 200A/200A/5000A)		 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 1,250,000원
1068 2019-08-26 9시 10시 차세대 실리콘 파워반도체 기술사업화 계약 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 710,000원
1069 2019-08-27 10시 11시 6인치 웨이퍼 3장, PR 패터닝 되어 있는 부분

Ti 100nm (1000A) 스퍼터 증착 부탁드립니다.

스퍼터 증착 이후에 가능하면 바로 E-beam evaporator 증착 부탁드립니다.

감사합니다.
 포항공과대학교 기계공학과 김준수 219,000원
1070 2019-09-03 16시 18시 Ti 500 / Al 1 um
 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 226,500원
1071 2019-09-04 13시 14시 3-1-1 Ta depo. 경남대학교 전자공학과 김성진 140,000원
1072 2019-09-05 10시 11시 현재 Si 기판 위에 HfZrO2/TiN가 증착 되어있습니다.(HZO/TiN/Si) 그 위에 쌓는 것을 부탁드리고 싶습니다. 포항공과대학교 신소재공학과 안용회 63,000원
1073 2019-09-10 14시 15시 TI 5nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 56,000원
1074 2019-09-18 15시 16시 Ti 5nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 56,000원
1075 2019-09-19 9시 10시 SiC 공정 metal 증착 (과제번호 4.0018159.01) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,275,000원
1076 2019-09-30 15시 17시 Ti 500 / Al 1.2 um LG전자 센서솔루션연구소 이성단 246,500원
1077 2019-10-14 14시 17시 Ti/TiN 50/1000 A 포항공과대학교 전자전기공학과 윤주영 116,000원
1078 2019-10-22 13시 15시 Ni 500nm 증착 에스앤에스텍 연구소 EUV Blankmask 팀 정대성 360,000원
1079 2019-10-30 10시 12시 TiN 박막 180nm 부탁드립니다. 부산대학교 재료공학부 이우재 90,000원
1080 2019-11-04 13시 14시 SiC_Gas sensor
3-1-1 Ta dep.		 경남대학교 전자공학과 김성진 210,000원
1081 2019-11-11 14시 15시 4 inch Si wafer 위 TiN 50 nm 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 전기전자공학부 고형민 63,000원
1082 2019-11-11 16시 18시 Ta 100 A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 59,500원
1083 2019-11-12 13시 18시 지난번 요청드린 시편과 동일합니다. mask/Hf-ZnO/TiN 을 전달드렸으며, TiN 180nm 두께로 증착 부탁드리겠습니다. 부산대학교 재료공학부 이우재 100,000원
1084 2019-11-14 13시 14시 Ti 5 nm 증착

(후속 공정으로 ALD TiN 5nm 증착 일정이 있습니다, oxide 형성되지 않게
Sputter 공정 이후 바로 진행하려고 합니다.)		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 112,000원
1085 2019-11-25 9시 13시 Ni/Al 500 A 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 90,000원
1086 2019-12-04 9시 10시 Ti 5nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 56,000원
1087 2019-12-05 10시 13시 NPTM 표준 공정 평가용 샘플 제작_Metal 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 700,000원
1088 2019-12-06 13시 14시 유리판 위에 올린 700um 및 900 um 의 diameter를 가진 stainless rod mirror 를 Al 로 500 nm 가량 코팅하고싶습니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학부 김재우 103,000원
1089 2019-12-10 10시 12시 Si wafer 위 TiN 50 nm 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 56,000원
1090 2019-12-10 14시 17시 Cr = 3000 A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 79,500원
1091 2019-12-11 13시 15시 TiO2 50 100 300 A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 198,500원
1092 2019-12-17 10시 11시 Si 웨이퍼 위에 증착된 HZO/TiN 위에 TiN 50 nm 증착 부탁드립니다.
샘플은 2 cm x 2 cm 크기로 12개입니다.		 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 56,000원
1093 2019-12-19 10시 14시 Ti/TiN = 200/220 A 1 매 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 70,000원
1094 2019-12-30 2시 21시 Ti/TaO 100/100 A x 20매 (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,380,000원
1095 2020-01-02 9시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
1096 2020-01-14 14시 16시 Ti = 200 A 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 70,000원
1097 2020-01-20 10시 12시 1. 2.5 x 2.5cm piece Sample

a. Sample정보 : GaN on Si 위에 Top GaN
b. 수량 : 4ea
c. 증착 물질 : TiN
d. 증착 두께 : 40nm sample은 직접 hand carry 후 전달드리겠습니다.
황과수 3분 수세 3분 처리한 뒤 블로잉 해서 로딩 부탁드립니다. 감사합니다.
 엘지전자 센서솔루션연구소 최원희 220,000원
1098 2020-02-04 9시 18시 한국나노마이스터고 교육 1차, 2차, 3차_Thinfilm 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 2,000,000원
1099 2020-02-05 9시 10시 나노인프라 활용 나노기술 응용제품 제작 지원사업 이코루미 연구소 김석근 0원
1100 2020-02-06 9시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원 사업 글로비 글로비 글로비 0원
1101 2020-02-07 9시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원 사업 글로비 글로비 글로비 0원
1102 2020-02-11 14시 15시 TiN 50 nm 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 56,000원
1103 2020-02-11 9시 13시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
1104 2020-02-12 11시 15시 공정 프로세스 : Ti 200nm 증착→ TiN 20nm 증착 LG전자 센서솔루션연구소 홍정엽 110,000원
1105 2020-02-17 9시 15시 Cr 1000 x 5매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 330,000원
1106 2020-02-18 10시 16시 유리판 위에 올린 2mm 의 stainless 소재 rod mirror 5개 에 Aluminum으로 500 nm 가량 코팅하고 싶습니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학부 김재우 103,000원
1107 2020-02-19 9시 17시 Ti/Al/Ti = 500/1000/500 A x 9매
(1매당 15만원 ) x 20프로 할인 = 108 만원		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 1,080,000원
1108 2020-02-27 12시 16시 Ti/Al/Ti = 500/1000/500

장당 15만 x 3만 = 45만 x 20% 할인 = 36만원		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 360,000원
1109 2020-03-03 15시 18시 Ti/Al/Ti = 500/1000/500 A x 5매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 610,000원
1110 2020-03-09 10시 12시 4-1-1 metal dep Ti/Al/Ti = 500/1000/500

장당 15만 x 5매 = 75만 x 20% 할인 = 60만원

 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 600,000원
1111 2020-03-09 9시 10시 TiN 60nm 증착

 포항공과대학교 화학공학과 고명철 63,000원
1112 2020-03-10 14시 15시 Al 500nm 증착 부탁드립니다.
*Wafer 섞임 주의
*패턴 있는 것만 부탁드립니다.		 한국과학기술원 전기 및 전자공학과 김명수 110,000원
1113 2020-03-11 16시 17시 NiAl 500nm dep 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 90,000원
1114 2020-03-19 10시 11시 유리판 위에 세워놓은 직경 700 um의 stainless 소재 rod mirror 11개에
Aluminum으로 500 nm가량 코팅 하고싶습니다.
*코팅전 플라즈마 클리닝이 가능하다면 클리닝을 한번 부탁드리고싶습니다.



 포항공과대학교 창의IT융합공학부 김재우 103,000원
1115 2020-03-24 11시 12시 Ti 5 nm 증착

이후 ALD TiN 5 nm 증착 일정이 있습니다.

(native oxide 및 산화 방지를 위해 Sputter -> ALD 증착이 이어서 이루어져야해서
가능하신 시간 대에 찾아뵙겠습니다.)		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 59,500원
1116 2020-03-27 13시 15시 SiC Gas Sensor Ta dep 157sec 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 178,500원
1117 2020-04-07 9시 10시 3-3-4 Metal depo 아모센스 개발팀 박종원 500,000원
1118 2020-04-17 15시 17시 Al2O3 테스트 증착 포항공과대학교 기계공학과 이태준 63,000원
1119 2020-04-17 16시 18시 Ti 100Å Al 1000Å 앞/뒤 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 126,000원
1120 2020-05-06 10시 11시 SiO2 3000A 기판 위에 TiN 150 nm 증착 부탁드립니다. 포항공과대학교 화학공학과 고명철 83,000원
1121 2020-05-06 11시 12시 TiN 증착 150 nm 진행을 부탁드립니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 이다솔 83,000원
1122 2020-05-08 15시 16시 TiN 50 nm 증착 부탁드립니다~! 포항공과대학교 화학공학과 고명철 63,000원
1123 2020-05-21 17시 18시 3-2-1 Gate GOX TiO depo x 3매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 178,500원
1124 2020-07-07 9시 13시 4-1-1 Metal Depo : Ti/Al=200A/1um 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,295,000원
1125 2020-07-21 10시 11시 Sample 3 Ni 1000a 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 117,000원
1126 2020-07-21 11시 12시 Sample 4 Ti 1000a 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 70,000원
1127 2020-07-21 12시 14시 Sample 5 Ti/NI=75/25
Sample 6 Ti/NI=25/75		 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 342,000원
1128 2020-07-21 14시 16시 Sample 7 NI/Ti=75/25
Sample 8 NI/Ti=25/75		 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 342,000원
1129 2020-07-21 9시 10시 Sample 1 NI 750a 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 117,000원
1130 2020-07-23 9시 11시 Sample 2 NiAl 750a 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 117,000원
1131 2020-08-24 9시 13시 SiC Ohmic Metal Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 950,000원
1132 2020-09-11 9시 12시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
확산 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 700,000원
1133 2020-09-16 10시 12시 안녕하세요 선생님
6Inch si 기판 위에
TiO2 50nm Al 100 nm TiO2 50nm 순으로 증착하여

multilayer를 증착하고 싶습니다. 감사드립니다		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 189,000원
1134 2020-09-16 16시 18시 4-2-1 Gate Metal Depo
Ti-Al-Ti		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 325,000원
1135 2020-09-17 13시 18시 저희가 보내드린 필름은 PET 이며, Al을 각 10/20/30/50/100nm의 두께로 증착하여 주시길바랍니다.
각 조건마다 2 회씩 총 10장의 셈플을 제작하여 주시면 됩니다.		 연세대학교 패키징학과 이우석 700,000원
1136 2020-09-22 9시 19시 Ti / TaO2 depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,520,000원
1137 2020-09-23 14시 15시 TiN 200Ådepo 국가핵융합연구소 국가핵융합연구소/전류구동연구팀 이현영 70,000원
1138 2020-10-08 16시 18시 6-3-6 Backside Ohminc Metal Depo Ni/Al 2000A
 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 180,000원
1139 2020-10-09 16시 18시 6-3-6 Backside Ohminc Metal Depo Ni/Al 2000A
 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 240,000원
1140 2020-10-09 9시 11시 6-3-6 Backside Ohminc Metal Depo Ni/Al 2000A (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 390,000원
1141 2020-10-15 10시 11시 Ti 200Å dep 국가핵융합연구소 국가핵융합연구소/전류구동연구팀 이현영 70,000원
1142 2020-10-20 9시 13시 Ti 100, TaO 100 5ea (주) 이너센서 이너센서 강문식 1,134,000원
1143 2020-10-22 16시 18시 TiO2 증착 의뢰드렸습니다. 포항공과대학교 신소재공학과 허성재 126,000원
1144 2020-10-27 13시 14시 Sapphire 기판 위에 얇게 2 nm 정도의 Ta sputtering을 하고 싶습니다.
기판은 내일 오전에 전달할 수 있도록 하겠습니다.

감사합니다.

포항공과대학교 신소재공학과 이창수 63,000원
1145 2020-10-28 9시 10시 Cr 3000A 증착 의뢰드립니다.
웨이퍼는 장비 앞 테이블에 두었으며, 레이저 마킹으로 PMM08 이라고 적혀있는 면에 증착 의뢰드립니다.
해당면에는 PR이 코팅되어있습니다.
 포항공과대학교 기계공학과 이훈택 83,000원
1146 2020-10-29 9시 10시 6inch wafer NI 1000A depo 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 120,000원
1147 2020-10-30 9시 12시 NI 500A
NI 750A
NI 1000A
NIAL 500A
NIAL 750A
NIAL 1000A		 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 660,000원
1148 2020-11-04 10시 11시 VOx reative sputtering 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 300,000원
1149 2020-11-05 14시 16시 VW depo 진행 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 240,000원
1150 2020-11-09 10시 11시 NI 1000A 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 360,000원
1151 2020-11-26 10시 11시 TiO2 10A depo 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 70,000원
1152 2020-12-07 9시 12시 Ti 100, TaO 100 5ea 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 1,050,000원
1153 2020-12-14 10시 15시 VW_01 VWO박막 Test 2-1-1 VW depo
#4-1-2-3번 자재 순착적으로 split VW두께 진행		 삼성종합기술원 Imaging Device Lab 김동균 224,000원
1154 2020-12-14 9시 12시 [레이저 어닐링 기술을 활용한 EV PCU용 저비용 고효율 SiC 파워반도체 개발]Annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 300,000원
1155 2020-12-17 10시 12시 VWO박막 Test관련 VW dep 진행 삼성종합기술원 Imaging Device Lab 김동균 105,000원
1156 2020-12-22 10시 11시 Ti 1500A depositiomn 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 270,000원
1157 2020-12-23 17시 17시 TiO2 split (33sec / 10sec) 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 119,000원
1158 2021-01-06 14시 15시 VOx deposition
working pressure 2mTorr
Deposition time 200sec		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 180,000원
1159 2021-01-08 10시 10시 Backside Ni 1000A metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 240,000원
1160 2021-01-14 17시 17시 Backside Ni 1000A metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 120,000원
1161 2021-01-21 13시 15시 한국나노마이스터고등학교 반도체 공정 교육- Diffusion 실습 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 250,000원
1162 2021-01-26 11시 14시 Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 1,701,000원
1163 2021-02-02 13시 18시 전문인력양성 실습교육_확산 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 560,000원
1164 2021-02-03 9시 13시 대구가톨릭대학교 LINC사업단 반도체 공정 실습_확산 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 500,000원
1165 2021-02-05 9시 13시 대구가톨릭대학교 LINC사업단 반도체 공정 실습_확산 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 500,000원
1166 2021-02-08 16시 17시 Mo depo 2500A 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1167 2021-02-10 11시 11시 Mo depo 2500A 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1168 2021-02-10 16시 18시 4-1-2 Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1169 2021-02-15 9시 11시 4-1-2 Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1170 2021-02-16 9시 10시 TiN 50nm (500A) 증착 의뢰입니다. 포항공과대학교 화학공학과 고명철 126,000원
1171 2021-02-22 10시 10시 6-1-1 Mo depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1172 2021-02-22 14시 14시 4-1-2 [REWORK] Mo Metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1173 2021-02-25 13시 15시 6-1-1 S/D Metal Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1174 2021-02-25 15시 17시 8-1-1 Top Metal Mo 3000A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 450,000원
1175 2021-03-04 11시 11시 8-1-1 Mo 3000A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 450,000원
1176 2021-03-04 11시 11시 TiN 50nm (500A) 증착 의뢰

※ RPM 0 / Ar 80 : N2 20 (sccm)		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 63,000원
1177 2021-03-19 11시 12시 4-1-2 Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1178 2021-04-01 16시 18시 4-1-3 Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 390,000원
1179 2021-04-05 10시 15시 Ta 200A TaO 50A depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 1,400,000원
1180 2021-04-05 15시 22시 \"8인치 적외선 MEMS Sensor 제작공정\" 계약 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 1,400,000원
1181 2021-04-06 14시 15시 Al, Ni 10nm 두께 증착 12종 연세대학교 패키징학과 이우석 1,020,000원
1182 2021-04-07 9시 10시 6-1-1 Ti 100A - Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 272,500원
1183 2021-04-08 9시 15시 TaN 1000A 증착 증착전 질소를 표면 세정요함 (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 80,000원
1184 2021-04-12 16시 16시 8-1-1 Ti 100A / Mo 2500A 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 272,500원
1185 2021-04-14 14시 16시 4-1-3 Ti 100A / Mo 2500A 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 545,000원
1186 2021-04-15 10시 10시 LOT ID: PHTEST04 #1
목적: CD 측정을위한 Ti증착		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 0원
1187 2021-04-19 9시 18시 Ta 200A - TaO2 50A (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,800,000원
1188 2021-04-21 10시 18시 U.E 공정계약 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 1,100,000원
1189 2021-04-22 18시 22시 6-1-1 Ti 100A / Mo 2500A depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 545,000원
1190 2021-04-22 9시 18시 CVD SiC 기판에 TiCrN 코팅 진행하려고 합니다.
상세 내역은 유선상 말씀드렸으며,
시편 준비 등으로 방문하려고 합니다.		 한국원자력연구원 첨단3D프린팅기술개발부 이현근 3,360,000원
1191 2021-05-07 9시 15시 나노융합기반고도화사업
Metal Depo Test		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 390,000원
1192 2021-05-08 14시 16시 조각시편 NiAl metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 110,000원
1193 2021-05-12 13시 16시 9-3-2 NiAl 500A metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 320,000원
1194 2021-05-13 10시 12시 TiO2 reactive sputtering 부탁드립니다.
1번은 5nm, 2번은 10nm, 3번은 15nm, 4번과 5번은 같이 20nm 증착 부탁드립니다.
TiO2 증착 완료 후 pure Al 100nm 증착까지 부탁드립니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 신소재공학과 허성재 252,000원
1195 2021-05-14 12시 17시 9-4-5 NiAl 500A metal depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 320,000원
1196 2021-05-17 15시 15시 나노융합기반고도화사업

Sputter-1 Metal depo [Ti 300A - Ta 150A - TaO2 100A] 25매		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 5,250,000원
1197 2021-05-17 9시 18시 나노융합기반고도화사업

Sputter-1 Metal depo [Ti 300A - Ta 150A - TaO2 100A] 25매		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 5,250,000원
1198 2021-05-21 11시 18시 나노융합기반고도화사업

Sputter-1 Metal depo Ta 150A - TaO2 100A 10매 / Ti 100A - TaO2 100A 15매

긴급 진행건 (+30%)		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 4,550,000원
1199 2021-05-26 17시 18시 2-2-1 Metal Depo TiO 50A 포항공과대학교 신소재공학과 이동욱 63,000원
1200 2021-05-31 9시 18시 나노융합기반고도화사업

Glass wafer Al 1000A metal depo.		 (주)에스제이컴퍼니 기술영업부 손호창 700,000원
1201 2021-06-01 10시 11시 {나노융합기반 고도화 사업}
Lot ID:Module
목적; Ti 박막 증착 500Å Test용 총 1장 		(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 50,000원
1202 2021-06-01 11시 12시 Lot ID:SKD0691A #1 #7
목적; Ti 박막 증착 500Å 총 2장 (계약 건) 		(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1203 2021-06-03 16시 17시 Lot ID: SKD0691A #3#5#9
목적: SL공정 Ti 증착 총 3장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1204 2021-06-07 13시 14시 Lot ID: SKD0691B #2#6#8#10#12
목적: SL공정 Ti 500Å 증착 총 5장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1205 2021-06-07 9시 16시 Ti 100 - TaO 100 metal depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 3,780,000원
1206 2021-06-09 14시 15시 Lot ID: SKD0691B #6#8
목적: SL공정 Ti 증착 500Å 총 2장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1207 2021-06-10 14시 16시 1-1-1 Backside Mo 1000A metal depo
1-1-2 Frontside Ti 500A - Mo 2500A metal depo		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 945,000원
1208 2021-06-18 15시 17시 Lot ID: SKD0691A #3#5#7#9
목적: SE공정 Ti 1500Å증착 총 4장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1209 2021-06-21 15시 17시 Lot ID: SKD0691B #2#6#8#10#12
목적: SE 공정 Ti depo 1500Å 증착 총 5장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1210 2021-06-23 10시 17시 Ti 100 - TaO 100 (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,520,000원
1211 2021-06-24 1시 2시 PET 필름 기판에 Ni을 10nm 두께로 증착 바랍니다. 연세대학교 패키징학과 이우석 1,000,000원
1212 2021-06-24 9시 12시 1-1-1 Backside Mo 1000A metal depo
1-1-2 Frontside Ti 500A / Mo 2500A metal depo		 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 945,000원
1213 2021-06-28 11시 12시 Cr 5000A dep 포스텍 물리학과 박해룡 103,000원
1214 2021-06-29 15시 17시 3-1-1 Front Ti 500 / Mo 2500A metal depo 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 652,500원
1215 2021-06-30 14시 16시 Ti 100A / TaO 100A (주) 이너센서 이너센서 강문식 630,000원
1216 2021-06-30 14시 15시 {나노융합기반 고도화사업}
Lot ID: Module
목적: VW 공정 VW 박막 증착 200A Test용 총 1장

 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 60,000원
1217 2021-07-01 10시 11시 {나노융합기반 고도화사업}
Lot ID: Module
목적: VW공정 VW 증착 2000A Test용 1장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 240,000원
1218 2021-07-02 10시 11시 {나노융합기반 고도화사업}
Lot ID: Module
목적: VW 증착 Test용 총 2장 (60SEC / 65SEC)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 120,000원
1219 2021-07-02 14시 16시 Lot ID: SKD0691 #2#3#5#6#7#8#9#10#12
목적: VW공정 VW증착 각 웨이퍼당 200A 총 9장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1220 2021-07-07 15시 16시 Cr 5000A metal depo 포스텍 물리학과 박해룡 103,000원
1221 2021-07-16 14시 15시 2-2-1 TiO 50A depo 충남대학교 전자공학과 송형섭 70,000원
1222 2021-07-26 17시 17시 Front) Ti 2000A - Back) Ti 2000A / Al 1um - Front) Al 1um

Ti 2000A 100,000원 x2회
Al 1um 담당자 협의 금액 300,000원 x2회		 코닝정밀소재주식회사 CTCK-C&D-Thin film 윤중훈 800,000원
1223 2021-07-27 14시 15시 4-1-3 Gate metal (Ti 500 Mo 2500) depo 2매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 435,000원
1224 2021-07-28 9시 16시 Ti 100A / TaO 100A

20매		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,520,000원
1225 2021-08-05 13시 15시 SD21Y07M-SEED

Ti 1500A		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 180,000원
1226 2021-08-09 10시 12시 나노융합기반고도화사업
TiO2 420A depo / 1매 진행했으나, TiO2 low d/r 이유로 3매청구		 (주)에스제이컴퍼니 기술영업부 손호창 210,000원
1227 2021-08-12 11시 15시 A) Ti 4000A

B) Ti 4000A - Al 2um

A) Al 2um

금액 협의 완료		 코닝정밀소재주식회사 CTCK-C&D-Thin film 윤중훈 1,000,000원
1228 2021-08-18 14시 18시 4-1-3 Ti 500A - Mo 2500A Gate Metal depo (3매) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 652,500원
1229 2021-08-19 9시 14시 SiC_Module_Thinfilm_Metal Depo [4.0021875.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,000,000원
1230 2021-08-24 11시 12시 Lot ID: SKD0691#15#24
목적: SL공정 Ti depo 500Å 총 2장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1231 2021-08-24 16시 18시 6-1-1 S/D Metal depo Ti 500 - Mo 2500 3매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 652,500원
1232 2021-08-25 12시 14시 안녕하세요 선생님

Si wafer위에 TiN 150nm - SiO2 60 nm - TiN 50 nm
이렇게 세층을 쌓고 싶습니다.
전화상에는 60 nm라고 했었는데, 50 nm로 바꾸어 진행부탁드립니다!
SiO2는 이정익 선생님께서 증착해주시기로 하였습니다.

6인치 웨이퍼이며 총 2장을 제작하고 싶습니다.

감사드립니다!		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 292,000원
1233 2021-08-25 14시 15시 Lot ID: SKD0691D #20
목적: SL 공정 Ti depo 500Å 총 1장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1234 2021-08-25 16시 16시 2-2-1 TiO depo (#1 70A / #2 100A) 충남대학교 전자공학과 송형섭 140,000원
1235 2021-08-25 9시 17시 Ti / TaO 각각 100A씩 Metal depo 6\" 50매 (주) 이너센서 이너센서 강문식 6,300,000원
1236 2021-08-25 9시 10시 Lot ID: SKD0691#16#23
목적: SL공정 Ti depo 500Å 총 2장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1237 2021-08-26 15시 16시 Lot ID: SKD0691#18#21
목적: SL공정 Ti depo 500Å 총 2장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1238 2021-08-31 13시 15시 8-1-1 TOP Metal depo (Ti 500 - Mo 2500) 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 652,500원
1239 2021-09-02 16시 16시 PET 폴리머 위에 Al 증착을 10nm두께로 증착 바랍니다. 연세대학교 패키징학과 이우석 700,000원
1240 2021-09-06 11시 12시 Backside Al 3000A depo (주)마이크로인피니티 (주)마이크로인피니티_ 소자개발팀 이성렬 90,000원
1241 2021-09-06 16시 17시 Lot ID: SKD0691D #22
목적: SL 공정 Ti depo 500Å 총 1장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1242 2021-09-07 10시 11시 TiN 50nm 증착 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 126,000원
1243 2021-09-09 10시 11시 TiO 500A Depo 2매 (주)에스제이컴퍼니 기술영업부 손호창 420,000원
1244 2021-09-14 11시 12시 SD21Y08M-LEG

Ti 300A		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 280,000원
1245 2021-09-14 16시 18시 Lot ID: SKD0691C #15#16#18
목적: SE공정 Ti 증착 1500Å 총 3장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1246 2021-09-15 10시 12시 Lot ID: SKD0691D #20#21#23#24
목적: SE공정 Ti depo 1500Å 총 4장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1247 2021-09-24 10시 11시 SD21Y08M-SEED

Ti 1500A		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 360,000원
1248 2021-09-29 9시 11시 TiN 100nm(metallic한 박막이 필요합니다)
지난 번 요청사항과 동일하게 (Ar 8 : N2 3 비율)로 100nm 증착 바랍니다.		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 황현준 219,000원
1249 2021-10-05 14시 17시 Ti 100A - TaO 100A

TEST LOT #01 10매
타업체 LOT 20매

total 30매		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 3,780,000원
1250 2021-10-07 10시 12시 {나노융합기반 고도화사업}
Lot ID: Module
목적: VW depo rate test용 총 3장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 220,000원
1251 2021-10-07 14시 15시 IDP32017-SEED

Ti 1500A		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 90,000원
1252 2021-10-08 10시 12시 {나노융합기반 고도화사업}
Lot ID: Module
목적: VW depo test용 총 2장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 120,000원
1253 2021-10-12 14시 16시 Lot ID: SKD0691 C/D
목적: VW depo 110A 총 6장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1254 2021-10-18 14시 16시 Lot ID: SKD0691 #14#25
목적: SL 공정 Ti depo 500Å 총 2장 (계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1255 2021-10-20 10시 12시 Lot ID: SKD0691
목적: SE 공정 Ti 증착 1500A 총 2장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1256 2021-10-21 10시 9시 Ti 100 - TaO 100 Metal depo 30매 (주) 이너센서 이너센서 강문식 3,780,000원
1257 2021-11-01 9시 10시 TiO 640A 1매 Depo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 210,000원
1258 2021-11-02 10시 17시 Ti - TaO 각각 100A depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 6,300,000원
1259 2021-11-04 1시 10시 metallic TiN 50nm를 SiO2(90nm)/Si(최대 600um) 웨이퍼 위에 증착하고 싶습니다.
2개씩 들어간다고하여 4장 신청 일단 드렸습니다.		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 252,000원
1260 2021-11-04 10시 11시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 이동훈(010.6763.7749)

Ti - TiN 50A 씩 depo		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 140,000원
1261 2021-11-05 10시 11시 Lot ID: SKD0691D #25
목적: VW depo 공정 총 1장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1262 2021-11-05 11시 12시 {나노융합기반 고도화사업}
목적: VW oxi test용 VW depo 총 3장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 180,000원
1263 2021-11-09 14시 15시 Lot ID: SKD0691D #25
목적: SE 공정 Ti depo 1500Å총 1장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1264 2021-11-09 14시 15시 TiO2 420A 1매 depo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 210,000원
1265 2021-11-10 10시 11시 7-3-2 CONT Metal depo Frontside NiAl 500A 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 320,000원
1266 2021-11-10 13시 14시 시편조각 4매 NiAl 500A depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 80,000원
1267 2021-11-10 14시 15시 Ge wafer 3매
Ti/TiN 증착 (Ti 5nm 증착 후 TiN 5nm 증착)

[나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 이동훈(010.6763.7749)
 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 420,000원
1268 2021-11-11 13시 14시 Cr 100nm sputter
sio2 70nm cvd

증착 부탁드리겠습니다!		 포항공과대학교 화학공학과 고명철 63,000원
1269 2021-11-12 11시 12시 7-4-5 Backside NiAl 500A depo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 320,000원
1270 2021-11-16 11시 12시 Lot ID: SKD0691D #22
목적: VW depo 공정 총 1장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1271 2021-11-18 15시 17시 2-2-1 TiOx metal depo [gas, thickness split] 충남대학교 전자공학과 송형섭 350,000원
1272 2021-11-24 9시 12시 EYEQ_03 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 1,000,000원
1273 2021-12-02 16시 17시 TiO2 420A 1매 depo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 210,000원
1274 2021-12-13 10시 20시 Oxidation - ONO 처리된 W/F 자재

Ti 100 - TaO 100 metal depo 20매		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 2,520,000원
1275 2021-12-13 11시 12시 SD21Y10M-LEG

Ti 300A
1매		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 70,000원
1276 2021-12-14 14시 16시 TiN 50nm 증착 부탁드립니다. 면저항 TEST 및 4\" w/f 1매 아주대학교 광전자재료연구실 김운정 140,000원
1277 2021-12-16 14시 15시 SD21Y10M-LEG

Ti 300A
3매		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 210,000원
1278 2021-12-16 15시 16시 Lot ID: KA16722
목적: SL 공정 Ti 500Å 증착 총 3장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1279 2021-12-17 15시 16시 Lot ID: KA16722
목적: SL 공정 Ti 500Å depo 총 3장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1280 2021-12-20 11시 12시 SD21Y10M-SEED

Ti 1500A 증착
3매		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 270,000원
1281 2021-12-23 13시 14시 Lot ID: Module
목적: VW depo 증착 test용 총 2장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 108,000원
1282 2021-12-23 14시 16시 Lot ID: KA16722
목적: SE 공정 Ti 1500Å depo 총 6장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1283 2021-12-28 10시 12시 Lot ID: KA16722
목적: VW depo공정 200A 증착 총6장(계약 건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
1284 2022-01-14 11시 12시 LOT ID: KA16722D
목적: SL공정 Ti 500A 증착
총 8장(계약건)		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
1285 2022-01-14 12시 13시 Lot ID: module
목적: Test용 Ti 증착(500A)
총 1장		 (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 63,000원
1286 2022-01-18 13시 14시 Ti 100 - TaO 100 depo (주) 이너센서 이너센서 강문식 3,780,000원