Furnace Oxidation_LEAD 장비일지

기자재관리번호 : -
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2016-08-05 9시 18시 Dry Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 6,750,000원
2 2016-08-10 9시 18시 Wet Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 5,050,000원
3 2016-08-23 18시 5시 SiC Gate Oxidation LG 전자 ICS 팀 황의진 520,000원
4 2016-08-23 9시 14시 6인치 Si에 1000A oxide 성장 (50매) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 630,000원
5 2016-08-29 13시 18시 나노융합 전문인력양성 교육 프로그램_Diffusion 대구대학교 중앙기기원 차정호 4,500,000원
6 2016-09-06 9시 18시 1150℃의 고온열처리
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 4,950,000원
7 2016-09-10 9시 18시 Wet Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 최선영 4,950,000원
8 2016-09-19 14시 18시 실리콘 산화막 성장 부산대학교 유기소재시스템공학과 조정형 1,260,000원
9 2016-09-20 9시 13시 Wet Oxidation 3000Å 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 315,000원
10 2016-09-28 17시 22시 Wet Oxidation 5000Å 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 315,000원
11 2016-10-06 10시 17시 미래부 나노융합기술교육_Diffusion 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 3,400,000원
12 2016-10-07 9시 13시 Thinning Oxidatin 110nm 성장 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 315,000원
13 2016-10-10 9시 18시 Wet Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 5,050,000원
14 2016-10-12 14시 18시 Dry Oxidatin 10분 LG 전자 ICS 팀 황의진 360,000원
15 2016-10-12 9시 14시 Sacrificial Oxidation LG 전자 ICS 팀 황의진 440,000원
16 2016-10-24 14시 18시 p-type
4inch 6ea
3000A oxidation
포항공과대학교 ITCE 정새벽 315,000원
17 2016-10-27 17시 22시 SiO2 6000A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 315,000원
18 2016-10-28 13시 14시 wet ox 5 nm 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
19 2016-11-01 14시 15시 ox 5nm
800도 5분
포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
20 2016-11-03 9시 18시 나노융합 전문인력양성 교육_Diffusion 계명대학교 화학공학과 서숭혁 4,500,000원
21 2016-11-06 9시 18시 1150℃의 고온열처리
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 5,300,000원
22 2016-11-08 10시 14시 ox 5nm
800도 5분
포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
23 2016-11-09 9시 14시 ox 5nm 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
24 2016-11-10 16시 21시 3-2-1 ILD Depo
SiC 1050 3시간 진행
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 385,000원
25 2016-11-16 16시 24시 wet ox_ 50 A target ( 850도 1m 30s) 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 630,000원
26 2016-11-18 18시 24시 SiC 6인치 공정 진행
8.Sac Oxidation
한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 450,000원
27 2016-11-30 18시 18시 Wet Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 5,050,000원
28 2016-12-05 9시 18시 Dry Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 6,750,000원
29 2016-12-10 9시 18시 Wet Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 5,050,000원
30 2016-12-13 10시 18시 SiC 기술사업화 장비사용 (주)예스파워테크닉스 연구소 강예환 5,000,000원
31 2016-12-19 18시 22시 ox 5nm 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
32 2016-12-20 11시 15시 ox 5nm 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
33 2016-12-29 10시 16시 Wet oxidation
Thermal oxide 5nm taret
포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 315,000원
34 2017-01-03 13시 17시 Si wafer에 SiO2 산화막 5000 A(옹스트롱) 성장 경북대학교 정밀기계공학과 김동억 450,000원
35 2017-01-05 13시 13시 1150℃의 고온열처리
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술2팀 남대호 12,050,000원
36 2017-01-06 9시 15시 Wet Oxidation 1um 성장
(6인치 Si Test wafer 10장 + Si DSP 1장)

라멜라 그레이팅 bonding test 용
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 980,000원
37 2017-01-10 10시 14시 나노소자공정실습교육_Diffusion 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 900,000원
38 2017-01-10 16시 23시 3-2-1 ILD Depo
Thermal oxide 1050 3hr
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 385,000원
39 2017-01-10 9시 18시 Wet Oxidation
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 국재근 5,050,000원
40 2017-01-12 1시 9시 SiO2 6000A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 315,000원
41 2017-01-17 9시 18시 SiC 기술사업화_Diffusion (주)예스파워테크닉스 연구소 강예환 3,900,000원
42 2017-01-23 16시 23시 0-1-2 Oxidation
1um Oxidation (2회로 청구)
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 630,000원
43 2017-01-31 17시 18시 wet ox 5nm 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 315,000원
44 2017-02-01 18시 20시 Thermal oxide 20nm 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 315,000원
45 2017-02-02 9시 18시 SiC 기술사업화_Diffusion (주)예스파워테크닉스 연구소 강예환 6,500,000원
46 2017-02-07 13시 18시 나노융합기술 전문인력양성프로그램_Diffusion 대구대학교 중앙기기원 차정호 1,350,000원
47 2017-02-08 15시 18시 Thermal Ox 5nm 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 315,000원
48 2017-02-09 15시 4시 SiC gate Oxidation LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 520,000원
49 2017-02-17 10시 13시 5 nm Thermal oxide 성장 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 315,000원
50 2017-02-20 9시 17시 0-1-1 Oxide Depo
1100도 320분
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 465,000원
51 2017-02-21 9시 21시 0-1-1 Oxidation
1100도 600분
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 665,000원
52 2017-02-27 10시 15시 thermal oxidation 300nm 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 315,000원
53 2017-02-28 11시 17시 1-4-1 Thermal 3000A (주)니나노 기업부설연구소 박준영 0원
54 2017-03-02 18시 6시 SiC 과제 진행
Gate Oxidation
한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 650,000원
55 2017-03-02 9시 16시 SiC 과제 진행
Sac Oxidation
한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 550,000원
56 2017-03-09 17시 23시 3-2-1 ILD Depo Thermal Oxide 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 550,000원
57 2017-03-13 10시 14시 thermal Ox 1000A 25매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 315,000원
58 2017-03-13 17시 23시 SiO2 6000A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 365,000원
59 2017-03-14 19시 24시 공정작업 끝난 후 신청입니다.

- 포스텍 물리학과 하창우, 권기원
포항공과대학교 물리학과 하창우 315,000원
60 2017-03-14 9시 15시 0-1-1 Oxide depo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 415,000원
61 2017-03-16 17시 20시 Oxidation 1000Å 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 315,000원
62 2017-03-16 17시 18시 ox 5nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 315,000원
63 2017-03-20 16시 22시 300um Si SDP wafer : Oxidation 1um 성장 (추가 진행 건) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 615,000원
64 2017-04-02 10시 10시 thickness 1um KEC 반도체기술 연구소 송인혁 1,100,000원
65 2017-04-04 17시 24시 Sac Oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 450,000원
66 2017-04-07 14시 15시 ox 90nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
67 2017-04-11 14시 18시 Wet Oxidation 100nm (6인치 Si 23장) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 337,500원
68 2017-04-12 14시 18시 wet ox 10nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
69 2017-04-13 14시 20시 3-2-1 ILD depo pyro oxidation
1050℃ 180분
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 337,500원
70 2017-04-18 15시 20시 Wet oxidation 20 nm 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 337,500원
71 2017-04-20 10시 16시 Wet Oxidation 1um 증착 (220분) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 437,500원
72 2017-04-24 9시 13시 support waferr Oxidation 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 337,500원
73 2017-04-26 9시 20시 SiC Dry Oxidation test (할인율 협의) LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 770,000원
74 2017-04-27 9시 24시 SiC Dry/Wet Oxidation test (할인율 협의) LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 910,000원
75 2017-05-08 11시 16시 ox 90nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
76 2017-05-11 9시 13시 Pyro Oxidation 5nm 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 337,500원
77 2017-05-15 17시 24시 7.sac oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 450,000원
78 2017-05-16 17시 24시 3-2-1. SiC Oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 412,500원
79 2017-05-17 12시 17시 Wet ox 90 nm (SOI 1장, Si 1장) (주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 450,000원
80 2017-05-29 18시 24시 SiC Dry/wet oxidation LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 552,500원
81 2017-05-29 9시 17시 SiC Dry oxidation LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 467,500원
82 2017-06-01 17시 18시 oxidation (주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 450,000원
83 2017-06-08 17시 24시 BioFET Gate dielectric
SiO2 5 nm Growth
포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 337,500원
84 2017-06-14 16시 20시 Wet Oxidation 1200A 성장 10장 삼성디스플레이 연구소 최재혁 450,000원
85 2017-06-14 9시 14시 wet ox 5nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
86 2017-06-15 10시 11시 oxidation 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
87 2017-06-15 9시 15시 0-2-1 initial Oxidation
(주) 이너센서 이너센서 강문식 550,000원
88 2017-06-21 1시 9시 SiO2 6000A 성장 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 337,500원
89 2017-06-21 18시 19시 ox ~90nm (주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 450,000원
90 2017-06-26 10시 11시 5000A oxidation 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 457,500원
91 2017-06-27 17시 24시 oxidation (주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 450,000원
92 2017-06-29 17시 23시 8. sac oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 450,000원
93 2017-06-30 10시 18시 나노융합기술 전문인력양성 교육_Diffusion 대구대학교 중앙기기원 차정호 4,500,000원
94 2017-07-03 16시 21시 Wet Oxidation 5000A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 537,500원
95 2017-07-07 10시 14시 Oxide 1000A 성장 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 337,500원
96 2017-07-07 17시 21시 Wet oxidation 50A growth 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 337,500원
97 2017-07-10 17시 24시 ox 5nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
98 2017-07-13 17시 23시 8. sac Oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 550,000원
99 2017-07-19 13시 18시 ox 5nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
100 2017-07-26 17시 7시 Thermal Oxide 3000A (주)니나노 기업부설연구소 박준영 570,000원
101 2017-08-02 9시 14시 2-1-1 Sac Oxidation 3000A (주)네오나노텍 연구개발 김성훈 450,000원
102 2017-08-08 16시 22시 3-2-1 thermal Oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 412,500원
103 2017-08-17 10시 14시 5nm Oxidation 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
104 2017-08-22 16시 22시 Oxidation 6000A
1000℃ 160분 진행
포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 387,500원
105 2017-08-23 10시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Thinfilm 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,700,000원
106 2017-08-29 9시 19시 1200 ANNEAL KEC 기술2G 김범수 650,000원
107 2017-09-06 10시 13시 SiC Diode 공정계약_공정완료 잔금_Diffusion 테크닉스(주) 연구개발 강예환 2,600,000원
108 2017-09-07 13시 22시 고온 어닐 공정 진행
1. 900도 30분
2. 1100도 30분
위덕대학교 정보통신공학부 이재성 765,000원
109 2017-09-11 8시 13시 1. Oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 690,000원
110 2017-09-12 8시 18시 1050도 200분 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 550,000원
111 2017-09-18 17시 23시 3-2-1 Thermal oxidation
1050도 200분
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 412,500원
112 2017-09-26 19시 2시 8.Sac Oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 550,000원
113 2017-09-28 17시 22시 6000A Oxidation 성장 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 337,500원
114 2017-10-13 16시 22시 SiC Oxidation LG 이노텍 소자개발팀 정지철 550,000원
115 2017-10-16 18시 24시 8. Sac Oxidation ETRI RF/전력부품연구그룹 문재경 550,000원
116 2017-10-27 9시 13시 Wety Oxidation 500nm 포항공과대학교 IBB 정민규 382,500원
117 2017-11-01 9시 18시 바이오센서용 산화막성장 : 4.0014275.01-2-2-4 (시험분석료) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 1,900,000원
118 2017-11-02 13시 18시 나노 SC 인력양성 교육_Diffusion 포항공과대학교 교육사업부 백성기 2,000,000원
119 2017-11-02 9시 14시 0-3-3 thinning oxidation 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 450,000원
120 2017-11-03 16시 23시 8. Sac Oxidation 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 550,000원
121 2017-11-08 9시 14시 wet oxidation 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 337,500원
122 2017-11-13 13시 18시 Wet Oxidation 850C
Thermal Oxidation 5 nm
포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 337,500원
123 2017-11-17 9시 17시 1175도 2시간 LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 467,500원
124 2017-11-27 21시 3시 Sac Oxidation LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 632,500원
125 2017-12-01 10시 16시 5 nm Oxidation 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
126 2017-12-01 16시 21시 oxide 5 nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
127 2017-12-04 9시 18시 650V50A 저저항 Superjunction 파워 MOSFET 개발 및 상용화 [4.0015349.01]_Diffusion 단위공정 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 900,000원
128 2017-12-05 9시 13시 1200V급 Trench형 SiC MOSFET 소자 개발 [4.0015452.01]_Diffusion 단위공정 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 900,000원
129 2017-12-07 16시 22시 SiC Oxidation LG 이노텍 소자개발팀 정지철 550,000원
130 2017-12-08 10시 15시 110 nm Oxidation 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
131 2017-12-11 17시 22시 SiO2 110nm 성장 Test 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
132 2017-12-18 9시 19시 바이오센서용 Oxidation 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 1,350,000원
133 2017-12-21 16시 21시 Pyro Oxidation 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
134 2018-01-09 9시 15시 Oxidtion 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 0원
135 2018-01-15 15시 20시 thermal Oxidation 성장 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 675,000원
136 2018-01-17 1시 10시 OX 100NM 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 337,500원
137 2018-01-23 12시 16시 Ox 500nm 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 450,000원
138 2018-01-26 10시 16시 oxidation 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
139 2018-01-29 16시 22시 cleaning 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
140 2018-02-13 15시 21시 ETRI SiC 6인치 Wafer 과제 수행
8. Sac Oxidation
한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 0원
141 2018-02-14 9시 15시 SiO2 90 nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
142 2018-02-21 14시 20시 ox 5 nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
143 2018-02-28 11시 18시 문정현 박사님이 요청하신 조건으로 SiC wafer 2장 희생산화 공정 서비스 의뢰 드립니다.
오전10시에 도착해서 wafer SPM + native oxide remove 후 약 오전11시 정도 산화공정 시작할 예정 입니다.
한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 495,000원
144 2018-03-05 13시 20시 1150도 Dry 3시간 후 Wet 2시간 oxidation 공정 의뢰 드립니다.
오전에 클리닝 공정한 후, 13시에 샘플 전달 드리겠습니다.
한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 585,000원
145 2018-03-13 16시 21시 Oxide 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 675,000원
146 2018-03-20 13시 14시 Oxide 1um 증착(기존 8인치 레시피 존재) 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 675,000원
147 2018-03-22 16시 22시 APD 1050도 180분 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 412,500원
148 2018-03-26 18시 24시 SiC 과제 관련
8. Sac Oxidation
한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 0원
149 2018-03-26 9시 18시 - Furnace 열처리를 통하여 SiO2 layer 5,000 A 증착 의뢰합니다.

- 4 inch Si wafer 50장 (25장 * 2팩)
포항공과대학교 기계공학과 박철민 765,000원
150 2018-04-04 16시 20시 thinning Oxidation 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 450,000원
151 2018-04-12 9시 14시 Poly Si위에 thermal Oxidation 3000A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 337,500원
152 2018-04-19 18시 24시 SiC 과제 관련 POA 진행 (NO 열처리)
1200도 4시간
현대모비스 전력반도체팀 이정윤 712,500원
153 2018-04-19 9시 16시 SiC 과제 관련 Gate Oxidsation Test 진행 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 487,500원
154 2018-04-24 15시 20시 스펙은 동봉된 A4용지에 기입하였습니다.
요약하면, 4인치 silicon wafer 21장, 1um oxidation
포항공과대학교 기계공학과 안홍민 765,000원
155 2018-04-25 9시 17시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 관련 Oxide 성장 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 675,000원
156 2018-04-26 14시 20시 새 SOI wafer입니다. 구매한 지는 1년이 넘었습니다.
드린 wafer 통에 모든 wafer를 클리닝해주시고
그 중 4장만 Oxidation 5000옹스트롬 두께로 부탁드립니다.
포항공과대학교 기계공학과 김민정 382,500원
157 2018-05-02 16시 4시 SiC NO 열처리 240분 (SiC 과제 관련) KEC 반도체기술 연구소 송인혁 0원
158 2018-05-09 9시 15시 NO anneal 1200도 100분 (SiC 과제 관련 공정 진행) 한국전자통신연구원 IT융합부품연구실 원종일 0원
159 2018-05-11 9시 16시 3-2-2 Field Oxide 1.3um 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 675,000원
160 2018-05-14 13시 18시 1000c 15min Wet Ox 150nm Target 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 337,500원
161 2018-05-14 9시 13시 300nm Oxidation 포항공과대학교 입학사정관실 박슬기 382,500원
162 2018-05-16 9시 13시 SiC_Trench Test 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 2,925,000원
163 2018-05-23 15시 20시 4-1-2 Gate Thermal Ox 1100c Dry 02 130min 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 337,500원
164 2018-06-01 15시 21시 3-2-1 Contact ILD Depo. Thermal oxide 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 412,500원
165 2018-06-01 9시 14시 4-7-1 P well diffusion 1100c Low O2 180min Tox 230+_ 50 A 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 755,000원
166 2018-06-04 17시 18시 thermal oxidation 300 nm 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 337,500원
167 2018-06-04 9시 10시 Thermal Oxidation 3,000Å (주)라디안큐바이오 바이오 R&D 센터 라디안큐바이오 225,000원
168 2018-06-05 9시 14시 5/16 Ox 진행건 분할청구 포항공과대학교 전자전기공학과 박슬기 382,500원
169 2018-06-21 12시 18시 Dry Ox 한국전기연구원 전력반도체연구센터 석오균 495,000원
170 2018-06-22 10시 16시 No anneal KEC 반도체기술 연구소 송인혁 0원
171 2018-07-09 9시 14시 물품 지원 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
172 2018-07-10 13시 18시 Thermal Oxidation 3000A 2회 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D 센터 라디안큐바이오 720,000원
173 2018-07-20 9시 14시 Wet Ox 3000A (주)베프스 기획팀 BEFS 450,000원
174 2018-07-23 9시 15시 Wet Ox 6000A (주)베프스 기획팀 BEFS 500,000원
175 2018-08-20 9시 14시 Dry ox 1150c 2hour 한국전기연구원 전력반도체연구센터 석오균 495,000원
176 2018-08-21 15시 16시 5 nm SiO2 growth 포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
177 2018-08-23 13시 24시 8인치 Si wafer 2매
1,100 'C 6시간 총 2회씩
포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 1,350,000원
178 2018-08-27 15시 19시 Nanowire patterning된 Si 3cm * 3cm 조각 샘플

공정 내용 : 40 nm dry oxidation
포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 337,500원
179 2018-08-28 18시 1시 8. Sac Oxidation 트리노테크놀로지 연구소 정진영 550,000원
180 2018-09-03 17시 24시 Oxide 700 nm 증착
Temp split test 진행
포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 537,500원
181 2018-09-03 9시 14시 1175도 120분 진행 LG전자 ICS팀 김기민 467,500원
182 2018-09-05 10시 15시 SiO2 50 nm 성장 부탁드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 337,500원
183 2018-09-06 13시 18시 Bio FET Gate Oxide 형성, 850 'C, Oxide, 50 Angstrom 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 337,500원
184 2018-09-07 9시 13시 DENSIFY 900도 30분
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
185 2018-09-10 15시 19시 DENSIFY 900도 30분
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
186 2018-09-12 10시 11시 8-inch Wafer
N2 Ambient
1,100'C, 6hour*2 총 12 hour
Annealing
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 1,350,000원
187 2018-09-14 13시 14시 SiO2 10 nm Oxidation
Wet oxidation
800 도, 17 min
포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
188 2018-09-18 9시 15시 1200도 NO anneal 트리노테크놀로지 연구소 정진영 1,050,000원
189 2018-09-19 12시 21시 SiC trench 과제관련 gate oxidation split 진행
Oxidation시간 변경
현대모비스 전력반도체팀 이정윤 975,000원
190 2018-09-20 11시 17시 SiO2 50 nm growth 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 337,500원
191 2018-10-02 9시 12시 950도 30분 reflow LG전자 ICS팀 김기민 382,500원
192 2018-10-03 9시 18시 NO Anneal 120min_ETRI_0222 [과제번호:4.0016318.01] 파워마스터반도체 주식회사 공정 기술팀 이원범 1,100,000원
193 2018-10-04 12시 16시 5 nm oxidation target

Wet oxidation
800도 5분
포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
194 2018-10-04 16시 21시 Thermal Oxidation 500A 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
195 2018-10-09 1시 5시 ox 10nm 포항공과대학교 전기전자공학과 김성지 337,500원
196 2018-10-12 9시 18시 NO Anneal 240min_KEC_0502 [과제번호:4.0016318.01] 파워마스터반도체 주식회사 공정 기술팀 이원범 1,350,000원
197 2018-10-16 11시 12시 5 nm targe toxide growth

Wet oxidation
800도
5 min
포항공과대학교 전자전기공학과 최원영 337,500원
198 2018-10-16 16시 23시 wet Ox 1.5um 성장 선행 Test 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
199 2018-10-17 16시 23시 Wet Ox 1.5um 5장 본장 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
200 2018-10-19 14시 18시 Oxidation 파워마스터반도체 주식회사 제품개발팀 김홍기 2,475,000원
201 2018-11-19 9시 17시 1175C, Dry 2hr, 2매 LG전자 ICS팀 김기민 467,500원
202 2018-11-20 9시 17시 1175 C, Dry+wet 2매 LG전자 ICS팀 김기민 552,500원
203 2018-11-21 14시 15시 720nm Oxide 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 675,000원
204 2018-11-21 9시 13시 1175C, 2hr dry 7매 LG전자 ICS팀 김기민 467,500원
205 2018-11-27 9시 17시 1175C 2hr LG전자 ICS팀 김기민 467,500원
206 2018-12-04 9시 18시 1175 C, 2 hr LG전자 ICS팀 김기민 467,500원
207 2018-12-05 9시 13시 Oxidation 2000A (주)니나노 기업부설연구소 박준영 450,000원
208 2018-12-06 10시 18시 1175 C, 120 min LG전자 ICS팀 김기민 467,500원
209 2018-12-13 10시 13시 900도 90분 Densify 진행 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
210 2018-12-26 9시 16시 wet oxidation 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 675,000원
211 2019-01-23 9시 24시 1175도 30분 LG전자 ICS팀 김기민 935,000원
212 2019-01-30 14시 18시 Si wafer 5장 위 SiO2 5 nm thermal growth 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 337,500원
213 2019-02-12 9시 13시 500A GOx 성장 (single & double 30장) 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
214 2019-02-15 9시 18시 1050 C 1 h 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 412,500원
215 2019-02-21 9시 12시 Reflow 공정 진행 LG전자 ICS팀 김기민 382,500원
216 2019-02-22 11시 12시 Thermal oxidation (SiO2)
Wet oxidation
Target : 920 A
조건 : 1000 ºC 9 min
(주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 450,000원
217 2019-03-02 9시 12시 0-2-1 therml oxidation 탑런 연구소 신사업팀 주별진 0원
218 2019-03-19 15시 18시 950 C 30 min LG전자 ICS팀 김기민 427,500원
219 2019-04-05 10시 18시 SiC dry oxidation 1150도 3시간 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 522,500원
220 2019-04-10 11시 20시 1회 (주)네오나노텍 연구개발 김성훈 450,000원
221 2019-04-17 14시 16시 720 nm Thermal Oxide 증착 (Wet, 1,000 C / 220 s) 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 382,500원
222 2019-04-19 9시 14시 Densify 900도 30분 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
223 2019-04-22 10시 17시 Wet Oxidation 5000A 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
224 2019-04-25 8시 17시 1000 C dry 57 min
500V 20A DMOSFET
나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
225 2019-05-02 9시 17시 Oxidation 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
226 2019-05-07 9시 12시 Oxidation 1um(8인치 25매) 전북대학교 전자공학부 김기현 940,000원
227 2019-05-14 10시 18시 Oxidation 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
228 2019-05-14 18시 24시 Oxidation 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
229 2019-05-14 4시 10시 Oxidation 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 382,500원
230 2019-05-15 10시 18시 Oxidation 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 382,500원
231 2019-05-31 9시 13시 2000A 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
232 2019-06-06 10시 17시 MEMS Bio-Sensor 제작 (주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
233 2019-06-11 15시 16시 Wet oxide 50 A 성장 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 382,500원
234 2019-06-13 9시 17시 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
235 2019-06-26 9시 15시 SiC gate Oxidation 파워마스터반도체 주식회사 제품개발팀 김홍기 585,000원
236 2019-06-27 9시 17시 gate oxide 나노융합기술원 포스텍-프라운호퍼 IISB 실용화연구센터 성민재 552,500원
237 2019-06-28 16시 16시 No Anneal 2회 진행 파워마스터반도체 주식회사 제품개발팀 김홍기 1,590,000원
238 2019-06-28 9시 13시 SiC Oxidation 나노융합기술원 포스텍-프라운호퍼 IISB 실용화연구센터 성민재 467,500원
239 2019-07-05 9시 10시 차세대 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
240 2019-07-10 9시 18시 NO anneal 1200도 180분
2회 진행 (10% NO, 100% NO)
나노융합기술원 포스텍-프라운호퍼 IISB 실용화연구센터 성민재 935,000원
241 2019-07-11 7시 17시 Wet Oxide 3000 A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 405,000원
242 2019-07-15 11시 17시 reflow 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
243 2019-07-22 14시 18시 Oxidation

wafer는 2매입니다.(3매 아님)
한국전기연구원 전력반도체연구센터 석오균 522,500원
244 2019-07-23 9시 10시 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
245 2019-07-25 13시 16시 나노선 열전소자 제작(VNP Passi_Oxidation) 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 0원
246 2019-07-29 9시 18시 wet oxi 1000 C LG전자 센서솔루션연구소 이성단 855,000원
247 2019-08-06 9시 14시 NO 열처리 3시간 [과제번호:4.0018159.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 2,135,000원
248 2019-08-07 9시 18시 NO 열처리 [과제번호:4.0018159.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 3,202,500원
249 2019-08-15 9시 10시 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
250 2019-08-26 13시 14시 Wafer 2장 thermal oxidation
Target 50 A
(주)아이엠헬스케어 바이오센서팀 유재우 450,000원
251 2019-09-06 11시 24시 SiC 파워마스터반도체 주식회사 제품개발팀 김홍기 405,000원
252 2019-09-16 9시 19시 Densify 100장 진행
50장 씩 2회 진행
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
253 2019-09-17 9시 18시 SiC 공정 Oxidation 진행 (과제 번호 4.0018159.01) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 2,762,500원
254 2019-09-20 11시 18시 SiO2(90nm) 성장
포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 382,500원
255 2019-09-24 13시 18시 전문인력양성사업-나노융합기술교육-확산 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 1,350,000원
256 2019-09-25 9시 14시 SiC oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 467,500원
257 2019-09-27 9시 15시 Sac Oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 495,000원
258 2019-10-15 16시 17시 SiC 공정 NO anneal (과제번호 4.0018159.01) (주)유우일렉트로닉스 (주)유우일렉트로닉스 박일몽 2,237,500원
259 2019-10-17 17시 18시 SiC 공정 Thermal Oxide (과제번호 4.0018159.01) (주)유우일렉트로닉스 (주)유우일렉트로닉스 박일몽 2,762,500원
260 2019-10-23 9시 24시 thermal Oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 382,500원
261 2019-11-01 9시 24시 -SiO2 Dry Oxidation 10nm 증착
-가능한 신속한 진행
-필요시 공정 진행 전 상담
ETRI ICT창의연구소 김종배 450,000원
262 2019-11-07 9시 17시 1000 C 57 min 3매 500 A target 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
263 2019-11-11 9시 18시 N 5, 10 파워마스터반도체 주식회사 제품개발팀 김홍기 990,000원
264 2019-11-12 9시 11시 열전소자 시험분석_VNP Passivation : 100A 주식회사 싸이츠 기업부설연구소 백창기 450,000원
265 2019-11-15 10시 15시 1100 C, dry 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
266 2019-11-15 16시 22시 Dry 1000 C 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
267 2019-11-19 10시 14시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 7,530,000원
268 2019-11-20 9시 24시 pyro 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
269 2019-11-21 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,900,000원
270 2019-11-27 10시 16시 APD 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 467,500원
271 2019-11-27 9시 10시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]

230nm target

공정비용 : 90만원
(주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
272 2019-12-19 10시 14시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 7,530,000원
273 2019-12-19 2시 24시 900 C 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 382,500원
274 2019-12-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,900,000원
275 2020-01-02 13시 14시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업]

전자과 최원영 (010-5436-2518) 입니다.

8 in Si wafer 2장을
1500 A target 으로 thermal oxidation을 진행하려고 합니다.
(주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
276 2020-01-07 14시 15시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업]

전자과 최원영 (010-5436-2518) 입니다.

8 in Si wafer 3장
Target은 2,300 A 입니다.

감사합니다.
(주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
277 2020-01-08 11시 12시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업]

전자과 최원영 (010-5436-2518) 입니다.

8 in SOI wafer 3장, Si wafer 3장 해서 총 6장이구요,
Target은 2,300 A 입니다.

감사합니다.
(주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
278 2020-01-17 10시 14시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 7,530,000원
279 2020-01-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,900,000원
280 2020-02-03 9시 18시 한국나노마이스터고 교육 1차, 2차, 3차_Diffusion 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 2,250,000원
281 2020-02-06 10시 11시 Dry Oxidation, 1000 ℃, 6 시간
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 382,500원
282 2020-02-10 10시 16시 6-0-2 NO(0.2) furnace Thermal oxidation 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 585,000원
283 2020-02-11 13시 18시 wafer 양면에 산화막 식각패턴이 있고 Ion implantation(Boron) 진행되어 있습니다.
1100도에서 200분 Annealing 요청드립니다.
부산대학교 기계공학부 탁형준 550,000원
284 2020-02-17 10시 14시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 7,530,000원
285 2020-02-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,900,000원
286 2020-02-20 11시 11시 -SiO2 Dry Oxidation 10nm 증착
-가능한 신속한 진행
-필요시 공정 진행 전 상담
ETRI ICT창의연구소 김종배 450,000원
287 2020-02-27 10시 19시 SiC-T-1.5 / 6-2-1 / GATE OXIDE / NO ANNEAL 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 585,000원
288 2020-02-28 9시 15시 SiC T 1.5 6-2-1 NO furnace 1175℃ 2hr 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 585,000원
289 2020-03-05 10시 16시 SiC NO anneal 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
290 2020-03-17 10시 14시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 7,530,000원
291 2020-03-18 11시 18시 3장의 c-Si SOI wafer 및 1장의 LPCVD 증착 undoped poly-Si wafer 에 대한 thermal oxidation 의뢰드립니다.

현재 SiO2 기판위에 c-Si 혹은 poly-Si 가 55nm 증착이 된 상태인데 표면에 50nm 의 SiO2 를 산화시켜 SiO2 (50nm)/ Si(~33nm) 의 기판을 형성하고자 합니다.
포항공과대학교 신소재공학과 이종원 405,000원
292 2020-03-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,900,000원
293 2020-03-23 10시 17시 wafer 산화막 성장 50매 파워마스터반도체 주식회사 PMS 박재호 0원
294 2020-04-01 15시 18시 0-3-1 thermal Oxidation 2000A 아모센스 개발팀 박종원 450,000원
295 2020-04-01 9시 18시 Oxidation 1,000Å 을 해주시기 바랍니다. 파워마스터 반도체 주식회사 제조 & 공정기술팀 조성제 810,000원
296 2020-04-03 15시 18시 2-3-5 Anneal 950C / 30min 아모센스 개발팀 박종원 450,000원
297 2020-04-03 9시 12시 1-3-2 Anneal 950C / 30min 아모센스 개발팀 박종원 450,000원
298 2020-04-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,000,000원
299 2020-05-07 17시 18시 Wet Oxide 50 A 성장 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
300 2020-05-14 9시 18시 950℃ 30분 O2 X 2회
950℃ 60분 O2 X 2회
포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,980,000원
301 2020-05-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
302 2020-05-25 14시 22시 Poly Si Oxidation 35nm SiC 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 495,000원
303 2020-05-26 15시 22시 7-1-2 densification 900C 30분 annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 495,000원
304 2020-05-29 15시 19시 1-2-1_oxidation 100A test 포항공과대학교 나노융합기술원 노한솔 495,000원
305 2020-06-02 10시 18시 SiC SiO2진행 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 495,000원
306 2020-06-03 9시 18시 SiC SiO2 100A 및 Dry Oxidetion 포항공과대학교 나노융합기술원 노한솔 1,980,000원
307 2020-06-08 10시 17시 Lithography 공정 및 ICP etching 공정으로 depth 500nm 정도 되는 패턴의 Si 기판 위 SiO2 300nm 증착하고 싶습니다.
2인치 웨이퍼 5장입니다
NINT에서 사용하는 공정 조건으로 진행하고 싶습니다(공정 조건(온도, 시간 등)을 알고 싶습니다.)
포항공과대학교 신소재공학과 김지예 405,000원
308 2020-06-10 10시 18시 SiO2 5000A진행 (주)이너센서 R&D 전찬종 405,000원
309 2020-06-18 13시 19시 RIST 과제 처리

800ºC, 5min

targer 5nm
포항공과대학교 전자전기공학부 신성환 382,500원
310 2020-06-19 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
311 2020-06-24 14시 18시 Oxidation 3000A 한국기계연구원 인쇄전자연구실 우규희 608,000원
312 2020-07-15 10시 18시 1000℃ time split, H2/O2 6:4비 포항공과대학교 나노융합기술원 노한솔 1,980,000원
313 2020-07-20 9시 16시 Thermal oxidation 900A 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 405,000원
314 2020-07-21 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
315 2020-07-22 10시 18시 SiC 공정 NO 처리 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 2,210,000원
316 2020-07-28 9시 17시 Si wafer 20 장, SiO2 산화막 300 nm 형성 부탁드립니다.
Si wafer 20 장 시편보관함에 보관해두었습니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 성수원 382,500원
317 2020-07-31 15시 21시 8-inch Si Wafer
Wet Oxide 5nm 성장 의뢰 드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
318 2020-08-10 13시 19시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]

wafer 정보
수량 : 3매
#1, 2 Bare wafer
#3 Porous Si wafer

공정
-Temp. : 600도
-Time : 30 분
더숨 연구소 허진석 450,000원
319 2020-08-11 9시 16시 Oxide Densify 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 225,000원
320 2020-08-12 14시 21시 APS_23차 3-2-1 1050℃ 180min O2 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 467,500원
321 2020-08-19 9시 18시 SiC Gate Oxide 평가_NO 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,402,500원
322 2020-08-20 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
323 2020-08-21 10시 17시 1000℃ 1hr N2 anneal 에스앤에스텍 신기술팀 박철균 225,000원
324 2020-08-24 9시 18시 SiC Gate Oxide 평가 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,657,500원
325 2020-08-25 9시 10시 wet oxidation (wet6 : dry4) 공정시간 split 7건 진행 포항공과대학교 나노융합기술원 노한솔 4,095,000원
326 2020-09-08 9시 15시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
확산 교육
나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 900,000원
327 2020-09-14 13시 16시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
확산 교육
나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 900,000원
328 2020-09-21 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
329 2020-09-23 10시 18시 1. 샘플 정보
- 4 inch Silicon Wafer, 525um
- 300nm (Dry Oxidation) SiO2 Pattern on Silicon

2.의뢰 공정
- 전처리 : SPM (H2SO4 + H2O2)
Wafer에 SiO2 Pattern이 형성되어 있으므로 HF 처리 금지
- Dry 방식 Thermal Oxidation, 10nm SiO2
LG전자 CTO 부문 센서(연)선행센서기반기술TP 박형조 450,000원
330 2020-09-24 13시 22시 1150oC 3hr, dry oxidation 한국전기연구원 전력반도체연구센터 나문경 550,000원
331 2020-10-05 12시 18시 4-5-1 Sacrificial Oxidation 1200C, 200A Target (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 550,000원
332 2020-10-06 9시 14시 SiC Trench MOSFET 단위공정평가 용 Oxidation 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,105,000원
333 2020-10-07 14시 20시 4-5-1 Sacrificial Oxidation 1200C, 200A Target
나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 495,000원
334 2020-10-08 14시 14시 1000℃ 180min wet
1000℃ 60min wet
1000℃ 50min wet
1000℃ 40min wet
포항공과대학교 나노융합기술원 노한솔 2,340,000원
335 2020-10-14 18시 24시 3-2-1 oxidation 1050℃ 3h 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 467,500원
336 2020-10-14 9시 18시 SiC 1000℃ 60min wet oxidation 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 585,000원
337 2020-10-15 10시 18시 SiC wafer NO10%(N2 1.8 : NO 0.2)1200℃ 240min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
338 2020-10-15 10시 18시 SiC annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
339 2020-10-16 13시 18시 1-2-4 oxidation 2000A wet (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 405,000원
340 2020-10-19 10시 17시 유선상으로 말씀드린대로 이전 증착조건(300 nm)과 동일하게 oxidation 하고자 합니다.
포항공과대학교 신소재공학과 김지예 405,000원
341 2020-10-20 10시 11시 Dry Oxidation, Temperature: 1,000 'C, 10 min
Oxide 10 nm 성장 의뢰 드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
342 2020-10-21 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
343 2020-10-30 8시 20시 SIO2 5500 calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 450,000원
344 2020-11-19 18시 10시 1-1-1 Oxidation (주) 이너센서 이너센서 강문식 555,000원
345 2020-11-20 9시 18시 Wet Oxide 5 nm 성장 의뢰 드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
346 2020-11-25 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
347 2020-12-01 10시 18시 NO annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,752,500원
348 2020-12-02 10시 18시 Dry Oxidation, 1000 \'C 조건
Oxide 800 A (80 nm), 120 분 공정 의뢰 드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
349 2020-12-10 13시 15시 trench Si 기판 wet oxidation

wet oxidation조건 : 1000℃ 54분 입니다.
참고사항 : 54분 리얼 공정시간 이외 이전 스텝에서 약간의 pre oxi(only O2 gas)를 진행하고, 이후 oxi1에서(O2/H2 약간의 gas)넣어
분위기를 만들어주고 이후 oxi2 54분((O2/H2 set gas)분위기에서 진행후 cool down됩니다.

이전에 이조건으로 SiO2 약 300nm 증착하였습니다.
같은 조건으로 진행하고 싶습니다.
포항공과대학교 신소재공학과 김지예 405,000원
350 2020-12-15 9시 18시 SiC annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,147,500원
351 2020-12-18 9시 18시 dry oxidation 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
352 2020-12-23 9시 16시 Wet Oxidation, Oxide 5 nm 성장 의뢰 드립니다. (00도 4~5 분 5nm 성장 조건)
시편은 8인치 SOI Wafer 3장, p-type Si Wafer 1 장으로 총 4장 입니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
353 2020-12-24 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
354 2021-01-20 9시 18시 전문인력양성교육 - 심화실습교육
4조 - 담당자 : 노한솔 연구원

SiC wafer oxidation 110A 진행 건
나노융합기술원 사업지원팀 전문인력4조 0원
355 2021-01-21 9시 18시 전문인력양성교육 - 심화실습교육
4조 - 담당자 : 노한솔 연구원

SiC wafer oxidation 100A 진행 건
나노융합기술원 사업지원팀 전문인력4조 0원
356 2021-01-22 10시 11시 SOI Wafer 2장
Thermal Dry Oxidation, 1000 \'C, 5시간 30분 공정 의뢰 드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 405,000원
357 2021-01-25 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
358 2021-01-28 12시 19시 6-0-2 Thermal oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 467,500원
359 2021-01-29 9시 19시 -SiO2 건식 박막 증착
-1500A oxidation
ETRI ICT창의연구소 김종배 450,000원
360 2021-02-03 9시 16시 SiO2 100A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 382,500원
361 2021-02-04 9시 12시 전문인력양성 실습교육_확산 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 2,700,000원
362 2021-02-05 9시 13시 대구가톨릭대학교 LINC사업단 반도체 공정 실습_확산 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 450,000원
363 2021-02-08 9시 18시 6-2-2 NO furnace_2hr 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,067,500원
364 2021-02-09 1시 1시 6-2-1 NO furnace_1hr 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 767,500원
365 2021-02-10 11시 11시 8. Oxidation 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 382,500원
366 2021-02-15 10시 16시 전문인력양성 나노소자공정 실습교육_확산 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 2,700,000원
367 2021-02-18 16시 10시 2. Oxidation 550nm target calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 500,000원
368 2021-02-25 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
369 2021-03-04 9시 15시 N2 annealing 주식회사 아르케 제조개발센터 사공성환 450,000원
370 2021-03-05 9시 18시 6-4-1 oxidation 1 매 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
371 2021-03-05 9시 18시 NO annealing KEC 1200C 240min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,640,000원
372 2021-03-09 15시 15시 0-1-3 Thermal oxidation 1um 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 675,000원
373 2021-03-17 1시 1시 7-0-1 WF03,04 Target 1500A Oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
374 2021-03-17 9시 13시 N2 low temp. annealing 주식회사 아르케 제조개발센터 사공성환 450,000원
375 2021-03-25 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 14,086,000원
376 2021-03-25 17시 17시 7-0-1 1500A Oxidation WF05 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
377 2021-03-31 14시 18시 SiO2 산화막 300nm 요청 드립니다.

공정이 완료되면, 바로 E-Beam Evaporator-1으로 전달해주시면 감사하겠습니다.
포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김희수 405,000원
378 2021-03-31 9시 13시 8-0-2 N2 anneal 900C, 30min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
379 2021-04-02 17시 17시 0-1-3 wet thermal oxidation 1um 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 675,000원
380 2021-04-06 9시 20시 \"8인치 적외선 MEMS Sensor 제작공정\" 계약
(주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 3,100,000원
381 2021-04-15 9시 18시 Oxidation 3000Å 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 360,000원
382 2021-04-26 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
383 2021-04-27 16시 12시 Wet oxidation 6:4 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
384 2021-05-11 17시 22시 2-5-2 N2 분위기 900C, 30min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
385 2021-05-14 9시 16시 WET Oxidation 3000A 리노공업 리노공업 곽영대 450,000원
386 2021-05-14 9시 17시 나노융합기반고도화사업

WET Oxidation 1um 25매씩 4회 진행
(주) 이너센서 이너센서 강문식 3,600,000원
387 2021-05-20 9시 17시 1200℃ 240min NO 10% annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,640,000원
388 2021-05-21 9시 17시 SiC NO gate oxidation 1175℃ 60min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 740,000원
389 2021-05-26 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
390 2021-06-07 10시 10시 oxidation 2um (주) 이너센서 이너센서 강문식 1,620,000원
391 2021-06-11 13시 20시 25ea 1um oxidation (주) 이너센서 이너센서 강문식 810,000원
392 2021-06-14 11시 18시 25ea 1000A oxidation 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 360,000원
393 2021-06-15 17시 10시 2-1-1 Gate polyplug dry oxidation 1500A Target (주)유우일렉트로닉스 (주)유우일렉트로닉스 박일몽 440,000원
394 2021-06-21 10시 12시 Lot ID: NDC21Y24W #1~#10
목적: CA공정 SiO2 산화막성장 2000Å 총 10장(계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
395 2021-06-21 12시 13시 Lot ID: NDC21Y24W #11~#20
목적: CA공정 SiO2 산화막성장 2000Å 총 10장(계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
396 2021-06-21 17시 22시 0-6-1 N2 anneal 400C 30min (wf01,03,05) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 315,000원
397 2021-06-25 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
398 2021-06-28 9시 14시 N2 annealing 950C 30min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 360,000원
399 2021-06-29 9시 24시 6\" 1um Oxidation (25매씩 2회) (주)이너센서 경영, 연구소 강문식 1,620,000원
400 2021-07-14 13시 23시 1um Wet oxidation (주) 이너센서 이너센서 강문식 810,000원
401 2021-07-15 12시 9시 SOI WET Oxi 5000A 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 405,000원
402 2021-07-16 15시 20시 2-13-2 Densify 900C, 30min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
403 2021-07-21 10시 12시 Lot ID: NDC21Y29W
목적: CA Oxi 공정 SiO2 3000Å Wet방식 성장 총 23장(계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
404 2021-07-23 9시 18시 oxidation 1um (주) 이너센서 이너센서 강문식 810,000원
405 2021-07-26 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
406 2021-08-09 9시 10시 SBD02 Run_Diffusion_NO_Anneal [4.0021851.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,040,000원
407 2021-08-12 11시 18시 SiC 조각 1000C, 100min Wet oxidation (6:4) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
408 2021-08-18 9시 18시 NO annealing 1200C 240min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,640,000원
409 2021-08-19 9시 16시 4인치 Si 5장, SiO2 4nm oxidation 부탁드립니다.
-전자과 전길수(010-5287-9314)
-정윤영 교수님 공정 수업 영상 촬영하려합니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 성수원 405,000원
410 2021-08-26 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
411 2021-08-31 9시 15시 [나노융합기반고도화사업]

Wet Oxidation 3000A 5매
주식회사 엔포마레 사업총괄 성재석 695,000원
412 2021-09-08 9시 10시 나노융합고도화사업 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 2,700,000원
413 2021-09-09 9시 18시 3-5-2 1000C Wet Oxi 80A Target 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
414 2021-09-10 16시 20시 4-1-5 ACT AREA Oxid densify 900C 30min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
415 2021-09-13 9시 18시 NO annealing 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,640,000원
416 2021-09-17 13시 18시 5-1-4 1000C 100min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
417 2021-09-21 9시 9시 SiC Trench Test 1.5(TT1.5) Lot_NO, Anneal 공정 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,560,000원
418 2021-09-23 9시 18시 5-1-6 1175C 1hr NO(5%) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
419 2021-09-24 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
420 2021-10-08 9시 14시 0-1-4 Oxidation thermal SiO2 100A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 405,000원
421 2021-10-12 9시 12시 SiC_TT02_Diffusion [4.0021875.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 2,080,000원
422 2021-10-13 13시 19시 Gate oxide 1000C 60min 6:4조건 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
423 2021-10-19 17시 23시 6\" 24매 Wafer Wet oxidation 1um 울산과학기술원 기계공학과, 신흥주교수님 연구실 곽종현 900,000원
424 2021-10-20 11시 16시 6-1-3 Densify 900C, 30min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 440,000원
425 2021-10-21 11시 11시 Oxide 5000A depo 2회 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 900,000원
426 2021-10-25 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
427 2021-10-27 9시 18시 EYEQ_02 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 2,700,000원
428 2021-11-10 18시 15시 선도연구시설 고도화 지원사업_Diffusion [4.0021961.01] 나노융합기술원 대외협력팀 한동희 1,000,000원
429 2021-11-17 11시 12시 Dry Oxidation, 1000도, 5시간 50분 공정 진행 의뢰 드립니다.
OXIDATION SPLIT 4조건 진행
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 1,530,000원
430 2021-11-17 9시 18시 NO annealing 1200C 240분 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,640,000원
431 2021-11-23 10시 11시 LOT ID: NDC21Y46W #01~#20 (CAP Wafer)
목적: CA Hardmask 증착 SiO2 2000 A (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 0원
432 2021-11-23 10시 15시 EYEQ_03 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 3,600,000원
433 2021-11-25 10시 16시 SiO2 산화막 650 nm 요청 드립니다. 포항공과대학교 시스템생명공학부 유진희 505,000원
434 2021-11-25 9시 15시 Thermal Oxide 5,000Å
나노콘 나노콘연구소 조윤빈 810,000원
435 2021-11-26 9시 13시 Thermal Oxide 5,000Å
나노콘 나노콘연구소 조윤빈 810,000원
436 2021-11-26 9시 10시 wet oxide 5 nm 성장 의뢰 드립니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 382,500원
437 2021-11-29 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 18,000,000원
438 2021-12-09 1시 2시 8\" 웨이퍼 6 Lot에 대해 SiO2 300 nm 성장 부탁드립니다. 충남대학교 전자공학과 송기우 8,700,000원
439 2021-12-10 10시 17시 0-1-4 initial oxidation thermal 900C, 20min 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 405,000원
440 2021-12-13 10시 16시 차세대 실리콘 파워반도체 소자 기술사업화 계약
파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 9,075,645원
441 2021-12-16 9시 18시 NO 10% POA 1200C 240분 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,640,000원
442 2021-12-21 9시 18시 Thermal Oxidation 5000A 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 810,000원
443 2021-12-22 9시 18시 Thermal Oxidation 5000A 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 810,000원
444 2022-01-04 9시 16시 Lot ID: NDC21Y51W
목적: SiO2 oxidaion Wet방식 2000Å 총 17장(계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 서준영 0원
445 2022-01-10 14시 18시 [21년도 전문인력양성 고급실습교육]
- 6인치 웨이퍼 2000A 2장
나노융합기술원 사업지원팀 21년도 전문인력 5조 0원
446 2022-01-19 15시 20시 2-1-3 Oxidation 1000C, 60min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
447 2022-01-24 10시 15시 나노융합 소자공정 및 측정분석 실습교육과정(4.0021910.01) 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,700,000원
448 2022-01-24 15시 17시 LOT ID: module
목적: test wafer Oxidation
(총 25장)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 405,000원
449 2022-02-15 14시 20시 2-2-1 3 Piece (wf02, wf4-1, wf5-1) NO gas anneal 1hr 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 820,000원
450 2022-02-16 9시 18시 2-2-2 5% NO gas anneal 2hr (wf4-2, wf5-2) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,120,000원
451 2022-02-21 10시 16시 전문인력양성사업 나노 소자공정 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,800,000원
452 2022-03-07 10시 16시 Oxidation 1000C, 3000A 12장 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
453 2022-03-08 16시 21시 1200C, 15,000A (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
454 2022-03-09 10시 16시 Pad oxide 1000C 500A (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
455 2022-03-10 12시 16시 JFET Drive in (1150C, 120min) (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
456 2022-03-10 18시 22시 TEL Gate Oxide 850C, 800A (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
457 2022-03-14 13시 18시 Body Drive-in (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
458 2022-03-15 13시 18시 NDR 850C 40min M2 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
459 2022-03-17 9시 16시 Oxidation 1000C, 3000A 6장 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
460 2022-03-18 13시 19시 Ring Drive - in 1200C, 300min (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
461 2022-03-21 09시 14시 Pad Oxide 1000C, 58min (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
462 2022-03-21 11시 17시 6\" Oxidation 1000A 과제비 청구 (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 590,000원
463 2022-03-22 9시 18시 JFET Drive-in (split 1 - 120min / split 2 - 240min) (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
464 2022-03-23 16시 21시 BODY Drive-in (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
465 2022-03-23 9시 14시 TEL - Gate oxidation (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
466 2022-03-24 11시 16시 NDR (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
467 2022-03-27 9시 18시 아이큐랩 \"Si 650V 파워반도체 제작 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 5,400,000원
468 2022-04-04 12시 18시 LOT ID: NDC22Y12W
목적: Thermal Oxidation - Wet 방식
총 20장(계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
469 2022-04-07 14시 17시 1000도씨 Dry thermal oxidation, 3h (180m) 요청드립니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 382,500원
470 2022-05-11 14시 14시 아이큐랩 \\\"Si 650V 파워반도체 제작 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 4,500,000원
471 2022-05-18 10시 16시 LOT ID: NDC22Y19W
목적: Thermal Oxidation - Wet 방식
총 20장(계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
472 2022-05-25 13시 20시 1. 1150도 2시간 anneal 공정 요청합니다.
2. wafer 이전 공정 내역
- Thermal oxide
- LPCVD nitride
- Implantation
- Cleaning(SPM)
(주)엘엠텍 연구 임승만 450,000원
473 2022-06-02 14시 19시 1-4-2 1000C,100min Oxidation 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 552,500원
474 2022-06-07 9시 18시 SiC MOSFET 웨이퍼 NO POA 열처리
1200도 240분, NO(10%, 0.2SLM) + N2(90%, 1.8SLM)
나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,720,000원
475 2022-06-08 15시 18시 LOT ID: NDC22Y22W
목적: CA공정 Hard mask Thermal Oxidation - wet 방식
총 21장(계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
476 2022-06-20 10시 16시 국가나노인프라를 활용한 나노소자공정실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 3,300,000원
477 2022-06-21 10시 17시 Wet Oxidation 2000A (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 3,600,000원
478 2022-06-23 9시 16시 Initial Oxidation 3000A target 리노공업 리노공업 곽영대 450,000원
479 2022-07-04 10시 18시 Wet Oxidation (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 7,200,000원
480 2022-07-12 7시 17시 Wet oxidation (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 4,500,000원
481 2022-07-13 18시 19시 LOT ID: Module
목적: Oxidation
총 25장
[나노융합기반 고도화사업]
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 450,000원
482 2022-07-14 9시 17시 0-2-1 Thermal Oxidation 3000A (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 800,000원
483 2022-07-18 10시 17시 대구대학교 나노 반도체공정 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 3,600,000원
484 2022-07-26 16시 22시 LOT ID: NDC22Y27W
목적: CA 공정 Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
485 2022-08-03 13시 14시 LOT ID: NDC22Y30W
목적: CA Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
486 2022-08-08 10시 15시 전북대학교 반도체 소자 제작교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,400,000원
487 2022-08-09 10시 18시 SiC_VD_02 2-1-2 Densification: 900도, 30분, N2분위기 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 440,000원
488 2022-08-10 10시 24시 wet oxidation (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 1,800,000원
489 2022-08-16 10시 18시 thermal oxide
lpcvd nitride
5매 N2 anneal
(주)엘엠텍 연구 임승만 450,000원
490 2022-08-16 13시 18시 4H-SiC 표면에 열산화공정을 통한 산화막 형성 1200℃ 4hr
포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 1,170,000원
491 2022-08-19 10시 18시 [나노융합기반 고도화사업], 전자과 성수원 (010.6786.0469)
Si wafer 25 장, 300 nm oxidation 요청드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 382,500원
492 2022-08-22 18시 1시 3-1-2 900℃ 30min densify 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 440,000원
493 2022-08-29 16시 23시 1-1-1 Thermal Oxidation 1000A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 권민규 382,500원
494 2022-09-06 13시 19시 4-1-2 Densify N2 Anneal 900C, 30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 440,000원
495 2022-09-07 16시 22시 1. wafer는 공정 지연이 없으면, 8/30일 대전에서 택배 발송 계획입니다.

2. Anneal 공정 의뢰 (wafer 공정 이력은 기존과 동일)
- 공정 조건 : 1150도 (2시간)

3. 2 type wafer 전달(총 6장)
- #1 ~ #5(5장) : SOI wafer(두께 : 400um)
- #15(1장) : SSP wafer(두께 : 725um)

4. 공정 완료 후, 아래 주소로 택배 발송 부탁 드립니다.
- 주소 : (34141) 대전광역시 유성구 대학로 291 나노종합기술원
- 받는사람 : 송종현 선임(010-4254-4960)
(주)엘엠텍 연구 임승만 900,000원
496 2022-09-13 17시 23시 SiC 1매 500A Oxidation (1175C/80min) 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 김동균 1,300,000원
497 2022-09-19 15시 21시 5-1-2 Densification 900C/30min, N2분위기 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 550,000원
498 2022-09-20 11시 17시 K-Sensor 과제

Si wafer 4inch 25매(1LOT) 5000A 진행
포항공과대학교 대외협력팀 김인철 405,000원
499 2022-09-22 14시 20시 0-1-4 initial oxidation thermal 900C, 20min 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 382,500원
500 2022-09-27 14시 20시 1-1-1 Thermal Oxidation SiO2 1000A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 382,500원
501 2022-09-28 9시 10시 LOT ID: Module
목적: Si substrate에 SiO2 산화막 성장(3000A)
총 25장 (NINT 구매)
[나노융합기반 고도화사업]
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 2,075,000원
502 2022-09-29 9시 1시 전북대학교 반도체 소자 제작교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,800,000원
503 2022-10-04 17시 23시 6-5-2 Thermal Oxidation 1000C, (Wet/Dry = 60/40) 100min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 650,000원
504 2022-10-05 17시 23시 LOT ID: NDC22Y39W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
505 2022-10-06 10시 17시 7-1-5 Densification 900C/30min N2 분위기 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 550,000원
506 2022-10-12 15시 21시 8-1-4 Thermal Oxidation (Wet/Dry = 60/40) (WF01, 02, 03) 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 650,000원
507 2022-10-13 10시 22시 8-1-4 Thermal Oxidation Target=550A (Wet/Dry = 60/40) (WF04, 05) 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 650,000원
508 2022-10-19 10시 17시 8-1-5 5% NO Furnace 1175C/1hr 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 950,000원
509 2022-10-20 10시 17시 3-1-2 Thermal Oxidation 1000C/100min (Wet/Dry=60:40) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 520,000원
510 2022-10-21 15시 22시 3-2-2 Interface Oxidation 1200C/60min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,040,000원
511 2022-10-31 10시 17시 3-2-4 Interface Oxidation 1200C/(Wet/Dry=60/40) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,040,000원
512 2022-11-01 10시 17시 3-2-5 NO 5% 1175C/1hr 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,340,000원
513 2022-11-28 10시 10시 한국나노마이스터고 반도체 공정 실무 교원 연수 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 2,400,000원
514 2022-11-28 9시 16시 3000A Oxidation 리노공업 리노공업 곽영대 450,000원
515 2022-12-09 15시 24시 SiC NO Furnace 1175ºC/240min (주)케이이씨 DIS 개발팀 전석환 2,300,000원
516 2022-12-11 16시 22시 8-6-9 Furnace 850ºC/5min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 650,000원
517 2022-12-12 1시 17시 Wet Oxide 12,000A 주식회사 아이큐랩 공정기술팀 김동현 900,000원
518 2022-12-12 9시 15시 8-6-9 Furnace 850ºC/5min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 650,000원
519 2022-12-13 9시 10시 LOT ID: NDC22Y47W
목적: Hard Mask Oxidation
총 10장 (계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
520 2022-12-14 15시 21시 9-1-3 Densification 900ºC/30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 550,000원
521 2022-12-14 17시 15시 1. NO : N2 = 2:8, 950C, 20min
2. NO : N2 = 2:8, 950C, 60min
3. NO : N2 = 2:8, 1000C, 20min
4. NO : N2 = 2:8, 1000C, 60min
각 1매씩 진행 요청드립니다.
LG전자 센서솔루션연구소_광소자센서Task 홍은주 3,000,000원
522 2022-12-14 9시 18시 2022년 나노융합기반 고도화 사업 (주)엔디디 기업부설연구소 이승헌 1,800,000원
523 2022-12-14 9시 15시 9-1-3 Densification 900C/30min, N2분위기 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 550,000원
524 2022-12-19 11시 17시 LOT ID: NDC22Y47W
목적: Hard Mask Oxidation
총 10장 (계약건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
525 2022-12-26 9시 10시 SiO Depo.
(1.5um)
동우화인캠(주) 반도체소재2팀 윤수빈 1,925,000원
526 2023-01-03 1시 24시 theraml Oxidation, wet, 50매 증착 (주)이너센서 경영, 연구소 강문식 1,620,000원
527 2023-01-04 13시 19시 1,150℃ 240min N2/LO2 Drive-in 진행
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
528 2023-01-05 12시 16시 전문인력양성사업 나노소자공정 & 측정 일자리연계 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,200,000원
529 2023-01-09 12시 16시 Wet Oxidation (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 2,700,000원
530 2023-01-11 10시 19시 SiC NO Furnace 1175℃/240min (주)케이이씨 개발팀 우제욱 2,300,000원
531 2023-01-16 15시 21시 LOT ID: NDC23Y02W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
532 2023-01-18 10시 19시 나노기술 전문인력 양성과정 나노융합기술원 확산 송종호 0원
533 2023-01-19 9시 16시 6-5-2 1000ºC/70min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 550,000원
534 2023-01-20 10시 18시 나노기술 전문인력 양성과정 나노융합기술원 확산 송종호 0원
535 2023-01-25 10시 20시 나노기술 전문인력 양성과정 나노융합기술원 확산 송종호 0원
536 2023-01-26 16시 22시 LOT ID: NDC23Y03W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
537 2023-01-26 9시 16시 나노기술 전문인력 양성과정 나노융합기술원 확산 송종호 0원
538 2023-02-06 15시 21시 LOT ID: NDC23Y04W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
539 2023-02-13 11시 17시 LOT ID: NDC23Y06W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
540 2023-02-14 15시 24시 Wet Oxide 12,000A
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
541 2023-02-20 10시 12시 Wet Oxidation 3000A (주)유우일렉트로닉스 FAB팀 최준석 2,700,000원
542 2023-02-20 12시 18시 LOT ID: NDC23Y07W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
543 2023-03-07 9시 15시 900C, 9min, Wet Oxide 300A 조건 입니다. 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 450,000원
544 2023-03-09 13시 20시 조건 1.150°C 240min N2/LO2 입니다 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
545 2023-03-17 14시 20시 1-1-1 SiO2 50A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 400,000원
546 2023-03-21 15시 21시 900C, 9min, Wet Oxide 300A 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 450,000원
547 2023-03-28 13시 18시 조건 1150ºC , 240min , N2/LO2 입니다. 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
548 2023-03-29 14시 21시 2-1-2 SiO2 1000A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 권민규 400,000원
549 2023-04-05 16시 24시 1,150℃,120\\\\\\\' N2 LowO2 입니다. 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
550 2023-04-13 16시 23시 Steam Oxidation / 1000ºC / 2000A / 수량은 12ea 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 450,000원
551 2023-04-19 14시 2시 Wet oxide 12,000A 입니다 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
552 2023-04-24 14시 24시 (Recipe #90) 1180ºC 300Min N2/LO2 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
553 2023-04-25 9시 15시 LOT ID: Module
목적: Si substrate에 SiO2 산화막 성장_3000A(wet 방식)
총 25장
[나노융합기반 고도화사업]
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 500,000원
554 2023-04-26 16시 22시 Thermal Oxide 200A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 790,000원
555 2023-05-03 10시 20시 Wet Oxidation / 1,050ºC / 12000A 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
556 2023-05-08 9시 16시 SiO2 50A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 920,000원
557 2023-05-15 10시 16시 8인치 실리콘 웨이퍼 2장
Wet oxide 5 nm 성장 공정 의뢰
포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 450,000원
558 2023-05-15 17시 18시 9장 HF 처리 후
DRY 1000℃ 공정 진행.
1000Å(100nm) - 3장
500Å (50nm) - 3장
200Å (20nm) - 3장
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 전재현 1,200,000원
559 2023-05-15 9시 13시 Furnace Oxidation 삼성디스플레이 - 여소영 2,610,000원
560 2023-05-22 14시 24시 1150C / 240min / N2/LO2 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
561 2023-05-23 10시 19시 어제 26장 신청 후 선 진행한 12장, 나머지 14장 입니다
1150C / 240min / N2 / LO2
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
562 2023-05-24 10시 19시 1150C / 120min / N2 / LO2 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
563 2023-06-12 14시 19시 1-1-1 SiO2 1000A 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 530,000원
564 2023-06-15 17시 23시 850\\\'C 40min N2
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 450,000원
565 2023-06-20 15시 21시 전자과 박성민 (010-2094-9607)

5~9 * 10^18 cm-3 정도로 도핑된 Si 웨이퍼에 3-4 nm 정도의 산화막을 형성 의뢰 드립니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 윤주영 400,000원
566 2023-06-26 13시 18시 1,150C , 120min , N2 , LO2 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 900,000원
567 2023-07-03 12시 12시 전문인력양성교육 나노 소자공정&일자리연계 교육(7월) 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,000,000원
568 2023-07-04 16시 20시 850°C 40min N2
고도화사업비
주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 500,000원
569 2023-07-05 11시 17시 LOT ID: NDC23Y26W
목적: Hard Mask Oxidation
총 20장 (계약 건)
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 0원
570 2023-07-17 10시 17시 (POSTECH 손종민) Oxidation
[나노융합기반 고도화사업]
포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 500,000원
571 2023-08-07 1시 17시 2-1-2 Densification 900ºC/30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 495,000원
572 2023-08-07 10시 1시 1-1-1 1100ºC/510min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,820,000원
573 2023-08-07 17시 24시 2-1-2 Densification 900ºC/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
574 2023-08-09 10시 18시 1-1-2 1100ºC/110min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,170,000원
575 2023-08-17 17시 24시 3-1-2 Densify 900ºC/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
576 2023-08-17 9시 17시 3-1-2 Densify 900ºC/30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 495,000원
577 2023-08-28 12시 18시 4-1-2 Densify 900ºC/30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 495,000원
578 2023-08-28 18시 24시 4-1-2 Densify 900ºC/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
579 2023-08-29 17시 24시 조현영(010-3572-9940) Oxide 3nm~5nm 포항공과대학교 전자전기공학과 윤주영 400,000원
580 2023-08-30 10시 17시 Oxidation 3000A 리노공업 리노공업 곽영대 500,000원
581 2023-08-30 18시 1시 LOT ID: Module
목적: Oxidation 3000A
총 25장
[나노융합기반 고도화사업]
(주)유우일렉트로닉스 FAB팀 조기수 500,000원
582 2023-08-31 9시 23시 1-1-2 Thermal Oxidation 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,040,000원
583 2023-09-01 17시 24시 2-1-3 Densify 900ºC/30min 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 400,000원
584 2023-09-01 9시 18시 1-1-3 5% NO Furnace 1175ºC/1hr 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,340,000원
585 2023-09-07 11시 18시 5-1-2 Densify 900ºC/30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 495,000원
586 2023-09-07 18시 24시 5-1-2 Densify 900ºC/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
587 2023-09-11 10시 19시 1-1-4 Thermal Oxide 100A 1000ºC/110min 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 585,000원
588 2023-09-12 14시 18시 Bare Si wafer(P type) 위에 700nm 두께의 Wet oxidation 공정을 요청드립니다. 웨이퍼 장 수는 총 25EA로 1 LOT 단위로 전달드리고자 합니다. 공정 후 진공 상태로 전달해주시면 감사하겠습니다.

신청자명 : 박상우
Mobile : 010-3042-7654
E-mail : hwawoo97@naver.com
배송지 주소 : 서울특별시 노원구 공릉로 232, 서울과학기술대학교 창조관 210호
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 박상우 500,000원
589 2023-09-14 10시 18시 Thermal Oxidation 5000A 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 450,000원
590 2023-09-18 10시 18시 4 in Si wafer 위에 700nm 두께의 Wet oxidation 공정을 의뢰드립니다. 25EA(1 Lot) 공정을 의뢰드리며, 공정 이후 진공 상태로 전달해주시면 감사하겠습니다.

신청자명 : 박상우
E-mail : hwawoo97@naver.com
Mobile : 010-3042-7654
배송지 주소 : 서울특별시 노원구 공릉로 232, 서울과학기술대학교 창조관 210호 (01811)
서울과학기술대학교 지능형반도체공학과 박상우 500,000원
591 2023-09-20 17시 24시 6-5-3 Thermal Oxidation 80A 삼성전자 DS 김태훈 0원
592 2023-09-20 9시 17시 6-5-3 Thermal Oxidation 80A 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 585,000원
593 2023-09-21 9시 18시 1-1-9 Oxi. 80A 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 885,000원
594 2023-09-22 10시 17시 7-1-5 Densify 900ºC/30min N2 분위기 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 495,000원
595 2023-09-22 17시 24시 7-1-5 Densify 900ºC/30min N2 분위기 삼성전자 DS 김태훈 0원
596 2023-09-25 16시 24시 TEOS E/R 평가용 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 450,000원
597 2023-10-06 17시 24시 2-1-2 Densify 900ºC/30min 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 840,000원
598 2023-10-13 14시 24시 NO Anneal 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 2,300,000원
599 2023-10-16 15시 22시 Wet 1000A 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 450,000원
600 2023-10-17 16시 24시 2. Oxidation 5000A 동서대학교 산학협력단 동서대학교 기계공학과 김호진 570,000원
601 2023-10-18 9시 23시 (선행) WF01 8-1-4 Gox 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 1,170,000원
602 2023-10-19 10시 19시 (선행) WF01 8-1-5 POA 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 1,537,000원
603 2023-10-20 20시 8시 8-1-4 Gox 삼성전자 DS 김태훈 0원
604 2023-10-20 8시 20시 8-1-4 Gox 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 1,170,000원
605 2023-10-21 20시 8시 8-1-5 POA 삼성전자 DS 김태훈 0원
606 2023-10-21 8시 20시 8-1-5 POA 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 1,537,000원
607 2023-10-23 9시 17시 Dry 1100ºC/20min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 900,000원
608 2023-10-24 17시 24시 2-3-2 Densify 900ºC/30min 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 400,000원
609 2023-10-24 9시 17시 Dry 1100ºC/20min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 990,000원
610 2023-10-27 18시 24시 8-6-6 PolySi Oxidation 850ºC/5min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 585,000원
611 2023-10-28 1시 6시 8-6-6 PolySi Oxidation 850ºC/5min 삼성전자 DS 김태훈 0원
612 2023-10-28 13시 19시 9-1-3 Densify 900ºC/30min 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 589,000원
613 2023-10-28 19시 1시 9-1-3 Densify 900ºC/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
614 2023-10-29 9시 15시 0-3-2 Densify 900ºC/30min 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 400,000원
615 2023-10-30 17시 24시 패터닝된 SOI 웨이퍼의 산화막을 만드려고 합니다.
대략 500 nm 두께로 만들어주시면 될 것 같습니다.
포항공과대학교 대학원 기계공학과 김영신 450,000원
616 2023-11-07 9시 18시 23-11-03 (금) wafer 전달드려 공정 부탁드립니다.

wafer #1 : Wet oxidation 5000 A
wafer #2 : Dry oxidation 1000 A
한국생산기술연구원 첨단메카트로닉스연구그룹 노은식 1,000,000원
617 2023-11-09 10시 18시 1100℃, 120min sic 조각2매 진행 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,170,000원
618 2023-11-17 11시 20시 1100℃/240min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
619 2023-11-20 10시 24시 1100℃/360min
포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
620 2023-11-27 15시 21시 2-4 Densify 900℃/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
621 2023-11-27 9시 15시 2-4 Densify 900℃/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
622 2023-12-01 13시 24시 Wet 1100℃/240min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
623 2023-12-07 15시 21시 3-1-3 Densify 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 400,000원
624 2023-12-08 12시 18시 6-1-2 Densify 900℃/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
625 2023-12-08 18시 24시 6-1-2 Densify 900℃/30min
삼성전자 DS 김태훈 0원
626 2023-12-11 15시 21시 6-1-2 Densify 900℃/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
627 2023-12-11 9시 15시 6-1-2 Densify 900℃/30min 삼성전자 DS 김태훈 0원
628 2023-12-12 13시 19시 Densify(900℃, 30min) 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 495,000원
629 2023-12-15 11시 24시 Wet 1100℃/360min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
630 2023-12-21 14시 21시 3~5 nm 산화막 형성 포항공과대학교 전자전기공학과 윤주영 400,000원
631 2024-01-02 1시 12시 1-1-1 Gate Oxi. 1100℃/360min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
632 2024-01-02 12시 24시 2-1-1 Wet Oxi. 1100℃/360min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
633 2024-01-03 9시 21시 2-2-1 Dry Oxi. 1100℃/180min 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,755,000원
634 2024-01-04 9시 21시 2.3 POA(1175℃, 60min) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,470,000원
635 2024-01-23 10시 12시 전문인력양성사업 교육생 장비 신청 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 0원
636 2024-01-24 17시 24시 7-3-2 1000℃/100min 삼성전자 DS 김태훈 0원
637 2024-01-24 9시 17시 7-3-2 1000℃/100min 삼성전자 DS 김태훈 0원
638 2024-01-25 16시 23시 8-1-1 Thermal Oxidation 삼성전자 DS 김태훈 0원
639 2024-01-25 9시 16시 8-1-1 Thermal Oxidation 삼성전자 DS 김태훈 0원
640 2024-01-29 18시 24시 8-2-3 Densify 삼성전자 DS 김태훈 0원
641 2024-01-29 9시 18시 박막 프로젝트 나노융합기술원 종합실무과정교육생 정유빈 0원
642 2024-01-30 1시 6시 8-2-3 Densify 삼성전자 DS 김태훈 0원
643 2024-01-30 17시 24시 9-1-4 Gate Oxidation 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
644 2024-01-30 9시 17시 9-1-4 Gate Oxidation 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
645 2024-02-02 11시 19시 Wet 1,000Å 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 450,000원
646 2024-02-05 13시 20시 Dry Oxi. 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 450,000원
647 2024-02-06 13시 20시 1-0-5 Densify 900℃/30min 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 562,000원
648 2024-02-14 15시 23시 10nm SiO2 성장
- 자연산화막 제거 이후 연속적으로 진행되었으면 좋겠습니다.
포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 조민수 450,000원
649 2024-02-15 14시 24시 1.0 Thermal Oxidation 100Å 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,170,000원
650 2024-02-16 17시 24시 2매(WF#01,02) - 9.1 Thermal Oxidation 100Å 삼성전자 DS 김태훈 1,170,000원
651 2024-02-16 9시 17시 WF#01,02(2매) - 9.1 Thermal Oxidation 100Å 삼성전자 DS 김태훈 1,170,000원
652 2024-03-05 12시 24시 1.0 Thermal Oxi. 550Å 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,560,000원
653 2024-03-06 12시 24시 1.0 POA 1hr 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,340,000원
654 2024-03-07 9시 21시 1.0 POA 2hr 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,640,000원
655 2024-03-11 15시 21시 Dry Oxidation 500A 증착. sample은 엘립소미터 장비 옆에 4인치케리어에 있음. 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 400,000원
656 2024-03-12 13시 23시 9-1-4 Thermal Oxidation 1100℃/30min 삼성전자 DS 김태훈 1,300,000원
657 2024-03-13 10시 19시 9-1-4 Thermal Oxidation 1100℃/25min 삼성전자 DS 김태훈 1,300,000원
658 2024-03-18 13시 21시 (SiC 조각 4개) 1000℃/85min 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 520,000원
659 2024-03-19 12시 22시 전자과 박성민 (010-2094-9607)

p type 웨이퍼 15장에 3-4 nm의 얇은 산화막 형성 의뢰합니다.
포항공과대학교 전자전기공학과 윤주영 400,000원
660 2024-03-28 16시 24시 8-2-4 Densify(900℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
661 2024-03-28 9시 16시 7-3-2 Sac Oxidation (1000℃, 100Å)
삼성전자 DS 김태훈 0원
662 2024-04-01 14시 24시 (SiC 조각 3개) Oxidation(1100℃, 120min) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,040,000원
663 2024-04-02 9시 21시 (SiC 조각 3개) POA(1150℃, 60min) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,340,000원
664 2024-04-03 13시 23시 Sac Oxi. (1000℃, 150min) 삼성전자 DS 김태훈 650,000원
665 2024-04-04 14시 22시 ICT 제품화 지원사업

1-1-1 Oxidation 1,000Å
(주)엔디디 연구소 최영환 500,000원
666 2024-04-09 09시 19시 7-3-2 Sac Oxi. 1000℃/90min 삼성전자 DS 김태훈 0원
667 2024-04-10 9시 19시 3-1-4 Gate Oxide 삼성전자 DS 김태훈 650,000원
668 2024-04-11 14시 24시 8-1-4 Oxi. 100Å (High Qurlity) 삼성전자 DS 김태훈 0원
669 2024-04-12 10시 19시 8-2-3 Densify(900℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
670 2024-04-12 20시 10시 7-3-2 Sac Oxid, 삼성전자 DS 김태훈 0원
671 2024-04-13 10시 22시 8-1-4 Oxidation 100Å(High Quality) 삼성전자 DS 김태훈 0원
672 2024-04-14 11시 21시 8-2-3 Densify(900℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
673 2024-04-15 18시 8시 9-1-4 Gate Oxid.(1100℃/480min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
674 2024-04-16 8시 21시 9-1-5 POA(1150℃/2hr) 삼성전자 DS 김태훈 0원
675 2024-04-17 15시 24시 1-2-3 Sac Oxid. 삼성전자 DS 김태훈 650,000원
676 2024-04-19 14시 20시 9-2-2 (WF01, 03) - POA(1175℃, 2hr) 삼성전자 DS 김태훈 1,900,000원
677 2024-04-19 20시 3시 10-1-2 Densify(900℃, 30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
678 2024-04-19 8시 14시 9-2-2 (WF01, 03) - POA(1175℃, 2hr) 삼성전자 DS 김태훈 1,900,000원
679 2024-04-22 15시 24시 1-2-2 Anneal(950℃, 30min, N2) 삼성전자 Power device팀 박종원 590,000원
680 2024-05-07 13시 20시 800℃, 15min, O2 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 520,000원
681 2024-05-08 12시 16시 10-1-2 LPCVD Furnace : Densify(800℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
682 2024-05-08 16시 20시 10-1-2 LPCVD Furnace : Densify(800℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 550,000원
683 2024-05-08 20시 24시 10-1-2 LPCVD Furnace : Densify(800℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 550,000원
684 2024-05-08 4시 8시 1-2-2 Anneal(1100℃, 30min) 삼성전자 Power device팀 박종원 1,100,000원
685 2024-05-08 8시 12시 10-1-2 LPCVD Furnace : Densify(800℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
686 2024-05-09 14시 20시 5-2-0 Sac Oxi. 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 520,000원
687 2024-05-09 8시 14시 6-5-2 Sac Oxi. 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
688 2024-05-13 8시 15시 7-1-4 Densify(900℃/30min) 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
689 2024-05-20 11시 24시 8-1-3 Gate Oxi. 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
690 2024-05-22 18시 24시 7-3-2 Sac Oxi. 삼성전자 DS 김태훈 0원
691 2024-05-22 8시 18시 8-1-4 POA 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
692 2024-05-23 16시 24시 8-1-4 High Qual. Oxi. 100Å 삼성전자 DS 김태훈 0원
693 2024-05-24 9시 20시 SiO2 300 nm oxidation 공정 부탁드립니다. 울산과학기술원 전기전자공학과 최유림 500,000원
694 2024-05-27 10시 20시 8inch Si wafer oxidation 요청드립니다.
SiO2 layer 3000 A 성장을 요청드립니다.
포항공과대학교 기계공학과 우현수 400,000원
695 2024-05-29 16시 24시 8-6-6 Wet Oxidation 200Å (850℃/5min) 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
696 2024-05-29 8시 16시 8-2-3 Densify(900℃/30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
697 2024-06-11 9시 22시 9-2-2 NO 5% Anneal (1175℃/2hr) 삼성전자 DS 김태훈 1,900,000원
698 2024-06-13 15시 3시 1-2-2 Activation (1100℃, 30min) 삼성전자 Power device팀 박종원 1,100,000원
699 2024-06-17 10시 17시 1-1-1 Oxidation 5,000Å
ICT 제품화 지원사업
마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 580,000원
700 2024-06-28 9시 18시 Sac Oxi. 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
701 2024-07-04 9시 20시 1-1-4 Gox 삼성전자 Power device팀 박종원 1,950,000원
702 2024-07-18 17시 24시 Sac Oxi. (1000℃, 60min) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 520,000원
703 2024-07-19 9시 17시 7-3-2 Sac Oxi. 삼성전자 DS 김태훈 0원
704 2024-07-23 13시 22시 8-1-4 High Oxid. (1100℃/25min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
705 2024-07-29 13시 24시 3-1-1 Anneal(1100℃, 30min, N2) 삼성전자 Power device팀 박종원 1,100,000원
706 2024-07-30 14시 24시 1-2-1 1.2 Oxidation(1100℃, 60min) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,040,000원
707 2024-07-31 14시 24시 1-2-2 POA(1150℃, 60min) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 1,340,000원
708 2024-08-01 13시 22시 2-0-0 Oxidation 100Å 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 520,000원
709 2024-08-02 13시 22시 2-0-1 POA(1100Å/1hr) 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 1,340,000원
710 2024-08-05 8시 15시 8-2-3 Densify(900℃, 30min) 삼성전자 DS 김태훈 0원
711 2024-08-06 15시 24시 9-1-4 GOX 500Å 삼성전자 DS 김태훈 0원
712 2024-08-07 10시 22시 9-1-5 POA(1175℃, 2hr) 삼성전자 DS 김태훈 0원
713 2024-08-08 14시 24시 2-2-2 1개(4) - 2.0 Oxidation 450Å 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 1,040,000원
714 2024-08-14 8시 17시 6-5-2 Sac Oxid. 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 520,000원
715 2024-08-16 13시 19시 7-1-4 Densify(900℃, 30min)
나노융합기술원 기술지원팀 강민재 440,000원
716 2024-08-19 13시 23시 2-2-2 GOx 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 1,040,000원
717 2024-08-20 14시 24시 8-1-2 GOx Oxid. 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,040,000원
718 2024-08-21 19시 4시 2-2-3 POA(2hr)
포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 1,640,000원
719 2024-08-21 8시 19시 8-1-4 POA(1hr) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,340,000원
720 2024-08-29 13시 21시 2-1-2 Oxidation 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 280,000원
721 2024-09-02 13시 20시 2-1-5 Densify(900℃, 30min, N2) 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 280,000원
722 2024-09-02 19시 3시 2-3-1 Oxidation 4,000Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 250,000원
723 2024-09-03 19시 4시 3-1-2 Sac. Oxidation 100Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 250,000원
724 2024-09-03 8시 17시 5-1-2 GOX 200Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 0원
725 2024-09-09 14시 22시 8-6-6 PolySi Oxid. 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 520,000원
726 2024-09-11 15시 22시 2-1-2 Sac Oxi. 삼성전자 Power device팀 박종원 650,000원
727 2024-09-12 15시 24시 5-1-3 GOX 150Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 250,000원
728 2024-09-13 16시 24시 3-1-2 POA 2hr 삼성전자 Power device팀 박종원 1,900,000원
729 2024-09-13 8시 16시 3-1-1 Gate Oxid. 삼성전자 Power device팀 박종원 1,300,000원
730 2024-09-19 8시 17시 WF01 - 2-1-3 Densify 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 440,000원
731 2024-09-20 15시 23시 5-1-2 Oxid. 150Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 0원
732 2024-09-20 23시 10시 1-1-4 Oxid. 500Å 삼성전자 Power device팀 박종원 1,950,000원
733 2024-09-20 8시 15시 WF02 - 2-1-3 Densify 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 440,000원
734 2024-09-23 10시 22시 1-1-4 Oxid. 500Å 삼성전자 Power device팀 박종원 1,950,000원
735 2024-09-24 10시 16시 7-1-3 Thermal Oxidation 150Å 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 250,000원
736 2024-09-24 18시 24시 1-4-1 Thermal Oxidation 100Å 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 520,000원
737 2024-09-30 8시 20시 2-1-4 Dry Oxid. 현대모비스 전력반도체팀 강민기 1,300,000원
738 2024-10-04 14시 22시 2-1-4 Densify(900℃, 30min) 포항공과대학교 선행기술팀 한성웅 440,000원
739 2024-10-08 14시 22시 1-1-4 Dry Oxidation 50~100Å 현대모비스 전력반도체팀 강민기 1,300,000원
740 2024-10-15 14시 22시 0-1-2 Oxidation 5,000Å (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 0원
741 2024-10-16 11시 20시 7-3-2 Sac. Oxide 100Å 삼성전자 DS 김태훈 0원
742 2024-10-17 13시 24시 8-1-4 Oxidation 100Å 삼성전자 DS 김태훈 0원
743 2024-10-18 15시 24시 8-2-3 Densify 삼성전자 DS 김태훈 0원
744 2024-10-21 13시 24시 8-5-1 Thermal Oxidation 120A 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 1,040,000원
745 2024-10-22 13시 21시 9-1-6 (선행) Densify(900℃, 30min) 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 440,000원
746 2024-10-26 13시 22시 9-1-6 Densify(900℃, 30min) 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 440,000원
747 2024-10-30 8시 16시 2-2-1 Densify(900℃, 30min) 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 440,000원
748 2024-11-01 8시 15시 1.3 Densify (24.10.10) 현대모비스 전력반도체팀 강민기 550,000원
749 2024-11-06 10시 19시 2-1-3 Oxidation 3,000Å (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 0원
750 2024-11-07 8시 17시 Densify(900℃, 30min) 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 400,000원
751 2024-11-14 16시 24시 3-1-4 Dry Oxid. 현대모비스 전력반도체팀 강민기 1,300,000원
752 2024-11-15 11시 19시 3-2-4 Densify 현대모비스 전력반도체팀 강민기 1,375,000원
753 2024-11-19 18시 4시 POA(1150℃, 2hr) 현대모비스 전력반도체팀 강민기 3,850,000원
754 2024-11-20 16시 3시 1150\\\'C , 240분 , N2->1.8L , NO->0.2L 진행

G_ox 600A 필요
주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 2,080,000원
755 2024-11-28 10시 24시 1150℃ NO anneal 1hr 부산대학교 반도체공동연구소 윤효원 1,600,000원
756 2024-11-28 23시 9시 1150℃ NO anneal 90min 부산대학교 반도체공동연구소 윤효원 1,900,000원
757 2024-11-29 10시 24시 1150℃ NO anneal 2hr 부산대학교 반도체공동연구소 윤효원 1,900,000원
758 2024-12-18 9시 18시 ICT과제 참여 기업 청구 크리모 주식회사 경영지원팀 김기동 2,490,909원
759 2024-12-23 8시 22시 [ICT 제품화 제원사업]
4inch Dry Oxidation 150ea
알파그래핀 주식회사 알파그래핀 주식회사 이상경 7,500,000원