Furnace High Temp anneal_SiC 장비일지 |
기자재관리번호 : 000000 |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2014-05-29 9시 | 14시 | 1700도 30분 SiC Activation anneal 진행 | 한국전기연구원 | 전력반도체연구센터 | 문정현 | 1,350,000원 |
| 2 | 2014-06-02 10시 | 18시 | SC 31 Activation 진행 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 3 | 2014-07-02 10시 | 15시 | Si Anneal 진행 - 1150도 60분 진행 |
서강대학교 | 기계공학과 | 김주현 | 1,800,000원 |
| 4 | 2014-07-16 10시 | 14시 | SiC 32 Post Anneal 진행 4-6-3 Activation Anneal |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 5 | 2014-07-23 9시 | 14시 | 1200 도 Si Anneal 진행 | 서강대학교 | 기계공학과 | 김주현 | 1,800,000원 |
| 6 | 2014-08-21 10시 | 20시 | SC33_ Activation | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 7 | 2014-09-23 13시 | 18시 | 2-1-2 Activation Anneal 1750도 30분 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 8 | 2014-09-23 9시 | 13시 | 2-1-1 Activation Anneal 1700도 30분 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 9 | 2014-09-24 17시 | 21시 | 4-6-3 activation anneal hta | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 10 | 2014-10-23 9시 | 13시 | 4-6-3 Activation Anneal 1700℃ 30분 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 11 | 2014-11-24 9시 | 13시 | 4-6-3 Activation Anneal | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 12 | 2014-12-04 11시 | 15시 | SiC Activation Anneal | LG전자 | System IC연구소 | 김웅선 | 1,200,000원 |
| 13 | 2014-12-11 14시 | 16시 | 4-6-3 Activation anneal HTA 1700C 30min |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 14 | 2014-12-24 9시 | 13시 | 4-6-3 Activation Anneal 1700도 30분 |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 15 | 2015-02-02 10시 | 12시 | SC40 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 16 | 2015-02-17 9시 | 14시 | sc-40 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 17 | 2015-02-25 11시 | 15시 | Activation Anneal (1700C 30min) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 최원석 | 1,440,000원 |
| 18 | 2015-04-10 10시 | 14시 | activation 1700도 60min |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 19 | 2015-04-28 10시 | 15시 | 고온 열처리 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 20 | 2015-07-08 9시 | 14시 | SiC 조각 wafer 고온 어닐 및 PR burning 조각 sample 3ea |
한국전자통신연구원(서강대학교) | IT융합부품연구실(전자공학과) | 조두형 | 1,500,000원 |
| 21 | 2015-07-14 10시 | 15시 | 1700도 60분 진행-7/14일 진행 건 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 22 | 2015-07-17 13시 | 18시 | 1700도 60분 진행-7/17일 진행건 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 23 | 2015-07-23 10시 | 14시 | SiC 6인치 Activation Anneal | 한국전자통신연구원(서강대학교) | IT융합부품연구실(전자공학과) | 조두형 | 1,500,000원 |
| 24 | 2015-08-28 10시 | 16시 | Activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 25 | 2015-09-09 10시 | 15시 | SiC Activation annealing 1700도 1시간 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 26 | 2015-09-22 11시 | 16시 | activation anneal 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 27 | 2015-09-23 9시 | 14시 | 1700도 60분 진행(9/11일 전기연구원 나문경씨) | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 28 | 2015-09-24 13시 | 18시 | 특허 과제(2.0007176.01) 관련 SiC 시편 전처리 Activation 1700도 30분 진행 |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 1,050,000원 |
| 29 | 2015-09-24 9시 | 24시 | 고온 anneal split 진행 | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 6,500,000원 |
| 30 | 2015-10-12 10시 | 14시 | Activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 31 | 2015-10-13 10시 | 24시 | 1. Anneal Temp Split 2. Sac Oxidation And Strip |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 4,800,000원 |
| 32 | 2015-10-15 10시 | 15시 | activation annealing 1700도 30분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 33 | 2015-10-20 10시 | 15시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 34 | 2015-10-21 10시 | 15시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 35 | 2015-11-26 10시 | 18시 | SiC Anneal 진행(1700도 10분) 2회 및 Sac Dry Oxidaion 1회 진행 FE-SEM 확인 |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 2,660,000원 |
| 36 | 2015-11-27 10시 | 15시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 37 | 2015-12-10 11시 | 15시 | Activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 38 | 2015-12-14 9시 | 16시 | SiC 6인치 Activation Anneal 1. Anneal 전 Clean 2,. PR Capping 3. Activation Annea 4. Capping Layer 제거 5. Oxidation 6. Oxidation Strip |
한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 2,830,000원 |
| 39 | 2015-12-17 13시 | 18시 | 1. 1700도 10분 2. Sac Oxidation 3. FE-SEM 확인 |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,610,000원 |
| 40 | 2015-12-21 11시 | 16시 | activation aneal 1700도 60분 4장 진행 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 41 | 2015-12-22 12시 | 16시 | activation anneal 1700도 60분 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 42 | 2016-01-07 9시 | 15시 | 1. 1700도 10분 2. 1700도 30분 3. Sac Oxidation |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 2,580,000원 |
| 43 | 2016-01-14 10시 | 15시 | SiC wafer 2장 1175도 10분 진행 (10%추가할인 적용) | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 44 | 2016-01-19 18시 | 22시 | SiC 웨이퍼 1700도 30분 (야간 긴급 진행) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,200,000원 |
| 45 | 2016-02-12 10시 | 15시 | Activation anneal 1700도 60분 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 46 | 2016-03-03 13시 | 16시 | 1700도 10분 진행 | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 47 | 2016-03-14 13시 | 17시 | 1700도 10분 4인치 SiC 5장 진행 | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 48 | 2016-03-21 11시 | 16시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 49 | 2016-03-24 13시 | 17시 | 1700도 10분 진행 | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 50 | 2016-04-14 13시 | 24시 | 1700도 10분,6분,3분 진행 | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 3,150,000원 |
| 51 | 2016-04-27 9시 | 17시 | 고온 anneal 진행 1650도 10분 1600도 10분 진행 |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 2,100,000원 |
| 52 | 2016-05-09 11시 | 15시 | 1700도 10분 6장 진행 | LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 53 | 2016-05-13 10시 | 16시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 54 | 2016-05-19 14시 | 18시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 55 | 2016-05-24 13시 | 18시 | SiC 6인치 1700도 90분 | (주)케이이씨 | 연구소 | 송재진 | 1,800,000원 |
| 56 | 2016-06-10 9시 | 14시 | 1700도 30분 진행 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 57 | 2016-06-15 10시 | 15시 | activation annealing | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,500,000원 |
| 58 | 2016-06-23 9시 | 14시 | SiC 6인치 3장 진행 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 59 | 2016-06-30 12시 | 16시 | 1700도 10분 진행 (할인율 협의) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 60 | 2016-07-08 10시 | 15시 | activation annealing | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 61 | 2016-07-11 14시 | 18시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 62 | 2016-07-14 11시 | 15시 | 1700도 10분 (할인율 협의) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 63 | 2016-07-22 11시 | 15시 | activation annealing 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 64 | 2016-07-25 11시 | 15시 | activation anneal 1700도 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 65 | 2016-08-06 9시 | 18시 | 1150℃의 고온열처리 |
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 | 생산기술팀 | 김동협 | 5,300,000원 |
| 66 | 2016-08-06 9시 | 18시 | 1150℃의 고온열처리 |
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 | 생산기술팀 | 김동협 | 0원 |
| 67 | 2016-08-16 10시 | 20시 | activation annealing (SiC 기술 사업화 계약건) 1700도 60분 2회 진행 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 3,600,000원 |
| 68 | 2016-08-22 11시 | 15시 | 고온 어닐 공정 1700도 30분 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 69 | 2016-08-22 16시 | 21시 | activation annealing (SiC 기술 사업화 계약건) 1700도 60분 1회 진행 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 70 | 2016-08-23 12시 | 21시 | Temp Split Test 1000,1200,1400℃ 10분씩 진행 (할인율 협의) |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 3,150,000원 |
| 71 | 2016-08-30 11시 | 16시 | activation anneling 1700℃ 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 72 | 2016-09-09 11시 | 15시 | 1700도 10분 진행 (할인율 협의 완료) |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 73 | 2016-09-20 10시 | 18시 | activation annealing 1700℃ 60분 2회 진행 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 3,600,000원 |
| 74 | 2016-09-22 9시 | 13시 | SiC 6인치 웨이퍼 고온 어닐 진행 1700℃ 30분 진행 |
한국전자통신연구원 | GaN전력소자연구실 | 박준보 | 1,500,000원 |
| 75 | 2016-09-23 14시 | 18시 | activation annealing 1700℃ 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 76 | 2016-09-29 10시 | 15시 | activation annealing 1700℃ 60분 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 1,800,000원 |
| 77 | 2016-10-05 14시 | 17시 | 1700도 30분 진행 (할인율 협의 완료) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 78 | 2016-10-05 9시 | 18시 | 1150℃의 고온열처리 |
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 | 생산기술2팀 | 남대호 | 12,050,000원 |
| 79 | 2016-10-10 12시 | 15시 | 1700℃ 10분 (할인율 협의) |
LG 전자 | ICS 팀 | 황의진 | 1,050,000원 |
| 80 | 2016-11-03 13시 | 16시 | 1700℃ 10분 (할인율 협의 완료) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 81 | 2016-11-11 11시 | 15시 | activation annealing 1700℃ 60분 (SiC 기술사업화 계약 장비) |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 82 | 2016-11-18 12시 | 16시 | SiC 6인치 공정 진행 3. 고온 열처리 |
한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 83 | 2016-11-23 10시 | 16시 | 1700C 1h Activation Anneal 4매 SiC 기술사업화 계약 1,800,000원 |
(주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 84 | 2016-11-30 11시 | 16시 | activation annealing | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 85 | 2016-12-06 9시 | 18시 | 1150℃의 고온열처리 |
메이플세미컨덕터(주) 포항지점 | 생산기술팀 | 김동협 | 5,300,000원 |
| 86 | 2016-12-06 9시 | 18시 | SiC 기술사업화 장비사용 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 5,000,000원 |
| 87 | 2016-12-09 10시 | 14시 | 고온어닐공정 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 88 | 2016-12-13 13시 | 17시 | Roundng anneal | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,260,000원 |
| 89 | 2016-12-14 9시 | 13시 | Activation anneal 1600도 60분 |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,260,000원 |
| 90 | 2016-12-15 13시 | 18시 | SiC 기술사업화 장비사용 (7장 진행) | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 91 | 2016-12-19 10시 | 13시 | Activation anneal | 서강대학교 | 전자공학과 | 배동우 | 1,500,000원 |
| 92 | 2017-01-11 13시 | 18시 | activation annealing, sic 기술사업화 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 0원 |
| 93 | 2017-01-23 10시 | 11시 | SiC 기술사업화_Diffusion | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 15,000,000원 |
| 94 | 2017-01-24 13시 | 16시 | rounding anneal 9장 (할인율 협의) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 95 | 2017-02-07 13시 | 16시 | 1500도 10분 진행 (할인율 협의) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 96 | 2017-02-08 9시 | 18시 | SiC 기술사업화_Diffusion | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 4,500,000원 |
| 97 | 2017-02-23 9시 | 14시 | 고온 어닐 공정 진행 1500,1700℃ 10분 (할인율 협의) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 2,100,000원 |
| 98 | 2017-02-27 13시 | 17시 | SiC 과제 관련 1700℃ 60분 4장 진행 | 한국전기연구원 | 전력반도체연구센터 | 문정현 | 1,800,000원 |
| 99 | 2017-03-15 12시 | 15시 | SiC Anneal 1700℃ 30분 | 서강대학교 | 전자공학과 | 배동우 | 1,500,000원 |
| 100 | 2017-04-04 10시 | 14시 | 고온어닐 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 101 | 2017-04-10 13시 | 16시 | 1500℃10분 6장 (할인율 협의) |
LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 102 | 2017-04-27 14시 | 18시 | 1500도 10분 10장 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 103 | 2017-05-15 11시 | 15시 | 3. 고온어닐공정 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 104 | 2017-06-14 9시 | 13시 | 1500도 10분 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 105 | 2017-06-15 10시 | 14시 | 1700도 30분 activation (할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 106 | 2017-06-27 10시 | 11시 | SiC Diode 공정계약 50%_Diffusion | 테크닉스(주) | 연구개발 | 강예환 | 3,000,000원 |
| 107 | 2017-06-28 11시 | 14시 | 1700도 30분 진행(30% 할인 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 108 | 2017-06-29 11시 | 15시 | 3. 고온어닐 공정 1600도 30분 진행 |
한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 109 | 2017-07-10 10시 | 13시 | 1500도 10분 (할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 110 | 2017-07-13 11시 | 15시 | 3. 고온어닐 공정 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 111 | 2017-07-27 12시 | 16시 | * 샘플제작 (1차) 이전진행 내역 : PR Coating 진행할 공정 : Activation |
테크닉스(주) | 연구개발 | 강예환 | 0원 |
| 112 | 2017-08-02 12시 | 16시 | * 샘플제작 (2차) 이전공정내역 : BOE + SPM + APM 진행요청공정 : Activation |
테크닉스(주) | 연구개발 | 강예환 | 0원 |
| 113 | 2017-08-23 9시 | 16시 | anneal 2회 진행(할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 2,100,000원 |
| 114 | 2017-09-26 10시 | 14시 | 1700도 30분 (할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 115 | 2017-09-26 14시 | 18시 | 3. 고온어닐 공정 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 116 | 2017-10-16 10시 | 14시 | 3. HTA | ETRI | RF/전력부품연구그룹 | 문재경 | 1,500,000원 |
| 117 | 2017-10-23 10시 | 15시 | 열처리 공정 진행 | (주)피앤테크 | 기술연구소 | 고진섭 | 1,800,000원 |
| 118 | 2017-11-03 9시 | 13시 | 3. 고온어닐 공정 | 한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 1,500,000원 |
| 119 | 2017-11-08 13시 | 18시 | 1700도 30분 (할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 120 | 2017-11-08 9시 | 13시 | 1500도 10분 10매 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 121 | 2017-11-22 10시 | 14시 | 1500도 10분(할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 122 | 2017-11-27 10시 | 14시 | 1700도 30분 Activation | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 123 | 2017-11-27 18시 | 21시 | 1500도 10분 (할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,500,000원 |
| 124 | 2017-11-28 9시 | 13시 | 1200V급 Trench형 SiC MOSFET 소자 개발 [4.0015452.01] | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 이정윤 | 4,500,000원 |
| 125 | 2017-12-13 9시 | 13시 | 1200V급 Trench형 SiC MOSFET 소자 개발 [4.0015452.01]_Oxidation 단위공정 | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 이정윤 | 4,500,000원 |
| 126 | 2017-12-27 10시 | 14시 | 1500도 10분 15장 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 127 | 2018-01-11 10시 | 14시 | 1700도 60분 진행 | 한국전기연구원 | 전력반도체연구센터 | 문정현 | 1,650,000원 |
| 128 | 2018-02-12 12시 | 16시 | ETRI SiC 6인치 Wafer 과제 수행 3. 고온어닐 공정 |
한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 0원 |
| 129 | 2018-03-14 1시 | 16시 | 1500도 10분 (할인율 30%협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 2,100,000원 |
| 130 | 2018-03-26 11시 | 15시 | SiC 과제 관련 3. Anneal |
한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 0원 |
| 131 | 2018-03-29 10시 | 14시 | 1750도 30분 | 부산테크노파크 | 파워반도체상용화센터 | 전헌수 | 0원 |
| 132 | 2018-04-03 9시 | 15시 | SiO2 Strip, BOE --> PR Coating(Burning) --> Activation Anneal, 1700℃, 1hr --> Ashing |
광전자주식회사 | SF개발1부 | 조민재 | 1,800,000원 |
| 133 | 2018-04-09 13시 | 18시 | I32301D (2매), I32302D (2매) Anneal 사용 신청합니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 134 | 2018-04-09 6시 | 10시 | 1500도 10분 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 135 | 2018-04-11 9시 | 13시 | 6인치 SiC wafer anneal 진행 (과제 수행) | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 이정윤 | 0원 |
| 136 | 2018-04-12 9시 | 14시 | 프라운 호퍼 과제 관련 SiC 고온 어닐 1750도 30분 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제품개발팀 | 김홍기 | 0원 |
| 137 | 2018-04-13 11시 | 15시 | 1500도 10분 6장 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 138 | 2018-04-19 9시 | 13시 | 1700도 30분 12장 (SiC 과제 관련) | KEC | 반도체기술 연구소 | 송인혁 | 0원 |
| 139 | 2018-04-20 9시 | 24시 | SiC 과제 관련 6인치 2장 일괄 공정 진행 (Pre clean, PR coating, HTA, Ashing, Sac Oxidstion, Strip) |
한국전자통신연구원 | IT융합부품연구실 | 원종일 | 0원 |
| 140 | 2018-04-25 11시 | 16시 | TEST Wafer 1매 (SiC 기술 사업화 계약) 1700도 / 1시간 |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 141 | 2018-05-08 9시 | 10시 | 1700 ℃ 60분 진행 의뢰 합니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 142 | 2018-05-10 15시 | 17시 | 1700c 30min Annealing 조각 7매 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 143 | 2018-05-10 9시 | 14시 | 1500c 10min Annealing 4매 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 144 | 2018-05-11 10시 | 14시 | 1700도 30분 (할인율 협의) | LG전자 | SIC센터 ICS팀 | 김수진 | 1,050,000원 |
| 145 | 2018-05-28 9시 | 14시 | HM050N120A0 (4매) 1700도, 60분 진행요청 입니다.(기술사업화 계약) |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 146 | 2018-06-04 15시 | 16시 | 1700C 60분 2매 진행요청입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 147 | 2018-06-11 9시 | 13시 | 1700C 1h / 1750 C 30min Annealing | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,125,000원 |
| 148 | 2018-06-18 13시 | 19시 | SiO2 Strip, BOE --> PR Coating(Burning) --> Activation Anneal, 1700℃, 1hr --> Ashing | 광전자주식회사 | SF개발1부 | 조민재 | 1,800,000원 |
| 149 | 2018-06-20 9시 | 15시 | HTA Process | KEC | 반도체기술 연구소 | 송인혁 | 0원 |
| 150 | 2018-06-28 9시 | 14시 | 1500C 10min 4 6매 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 151 | 2018-07-17 9시 | 10시 | RT020065V1 (4매) 1700C,60m 진행 요청입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 152 | 2018-07-19 11시 | 14시 | 1500C 10min 4 10매 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 153 | 2018-08-20 9시 | 14시 | 1700C 1h / 1750 C 30min Annealing | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,125,000원 |
| 154 | 2018-08-24 9시 | 15시 | PD030120E1 5매 1700℃ 60min 진행입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 155 | 2018-08-28 11시 | 15시 | 3. 고온어닐공정 | 트리노테크놀로지 | 연구소 | 정진영 | 1,500,000원 |
| 156 | 2018-09-03 9시 | 12시 | 1500도 10분 (할인율 협의) | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 157 | 2018-09-06 9시 | 14시 | HM050120A1 1700도 60분 5매 |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 158 | 2018-09-19 9시 | 12시 | SiC trench 과제 과련 고온 어닐 진행 | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 이정윤 | 1,125,000원 |
| 159 | 2018-10-02 9시 | 18시 | High Temp Anneal(Cap 처리 및 Strip)_ETRI_0219 [과제번호:4.0016318.01] |
파워마스터반도체 주식회사 | 공정 기술팀 | 이원범 | 2,900,000원 |
| 160 | 2018-10-04 9시 | 14시 | 1700도 60분 | 광전자주식회사 | SF개발1부 | 조민재 | 1,800,000원 |
| 161 | 2018-10-05 9시 | 18시 | High Temp Anneal(Cap 처리 및 Strip)_ETRI_0327 [과제번호:4.0016318.01] | 파워마스터반도체 주식회사 | 공정 기술팀 | 이원범 | 2,900,000원 |
| 162 | 2018-10-08 9시 | 18시 | High Temp Anneal(Cap 처리 및 Strip)_KEC_0410 [과제번호:4.0016318.01] | 파워마스터반도체 주식회사 | 공정 기술팀 | 이원범 | 1,500,000원 |
| 163 | 2018-10-09 9시 | 18시 | High Temp Anneal(Cap 처리 및 Strip)_KEC_0418 [과제번호:4.0016318.01] | 파워마스터반도체 주식회사 | 공정 기술팀 | 이원범 | 1,800,000원 |
| 164 | 2018-10-11 10시 | 18시 | High Temp Anneal(Cap 처리 및 Strip)_ETRI_0420 [과제번호:4.0016318.01] | 파워마스터반도체 주식회사 | 공정 기술팀 | 이원범 | 2,900,000원 |
| 165 | 2018-10-11 9시 | 10시 | Test Wafer 1700도 60분 진행 요청입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 166 | 2018-10-19 9시 | 18시 | WF: 10매 1300,1400,1500,1600,1700 각각 2매 |
파워마스터반도체 주식회사 | 제품개발팀 | 김홍기 | 5,625,000원 |
| 167 | 2018-10-29 12시 | 13시 | 파워테크닉스 4매 어닐퍼니스 진행요청입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 168 | 2018-10-29 13시 | 19시 | 1700 C, 60 min, 5매 | 광전자주식회사 | SF개발1부 | 조민재 | 1,800,000원 |
| 169 | 2018-11-01 9시 | 15시 | PD020065E0 5매 , PD013065E0 5매 1700℃ 60min 진행입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 170 | 2018-11-05 9시 | 14시 | 1700℃ 60min 20매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 171 | 2018-11-08 13시 | 18시 | 1매 1700도 60분 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 172 | 2018-11-12 9시 | 14시 | 1700 C, 30 min, 7매 | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 173 | 2018-11-13 9시 | 10시 | 1700도 60분 진행요청입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 174 | 2018-11-20 10시 | 17시 | 1500C, 10 min, 7매 | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,350,000원 |
| 175 | 2018-11-21 10시 | 18시 | 1700 ℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 176 | 2018-11-27 11시 | 17시 | 1500C, 10 min, 조각 | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 177 | 2018-11-29 14시 | 19시 | 1700도 60분 | 광전자주식회사 | SF개발1부 | 조민재 | 1,800,000원 |
| 178 | 2018-12-04 9시 | 18시 | 1500 C, 10 min | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 1,050,000원 |
| 179 | 2018-12-05 8시 | 18시 | 1700 C 30 min, 1500 C 10 min 2회 진행 | LG전자 | ICS팀 | 김기민 | 2,100,000원 |
| 180 | 2018-12-17 9시 | 14시 | 1700℃ 60min 8매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 181 | 2018-12-18 9시 | 14시 | 1700℃ 60min 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 182 | 2018-12-19 9시 | 14시 | 1700℃ 60min 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 183 | 2018-12-20 9시 | 14시 | 1700℃ 60min 10 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 184 | 2019-02-13 10시 | 15시 | 30A 650v 10매 1700℃ 60min 입니다. |
powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 185 | 2019-02-14 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 부탁드립니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 186 | 2019-02-15 10시 | 18시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 187 | 2019-02-28 11시 | 15시 | 1700℃ 60min 입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 188 | 2019-03-11 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 189 | 2019-03-14 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 190 | 2019-03-15 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 191 | 2019-03-18 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 10매 진행 바랍니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 192 | 2019-03-19 9시 | 15시 | 1700도 60min 9매 진행입니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 193 | 2019-03-20 9시 | 11시 | 10매 진행 부탁드립니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 194 | 2019-03-29 9시 | 12시 | 1700도 60min 10매 진행입니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 195 | 2019-04-01 9시 | 12시 | 1700도 60min 9매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 196 | 2019-04-02 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 197 | 2019-04-03 9시 | 15시 | 1700°C 60min입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 198 | 2019-04-08 9시 | 12시 | 1700°C 60min 10매입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 199 | 2019-04-09 9시 | 12시 | 1700°C 60min 10매입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 200 | 2019-04-10 9시 | 12시 | 1700°C 60min 10매입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 201 | 2019-04-11 9시 | 12시 | 1700°C 60min 10매입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 202 | 2019-04-12 9시 | 12시 | 1700°C 60min 10매입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 203 | 2019-04-24 13시 | 18시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 204 | 2019-04-29 19시 | 22시 | 10장입니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 205 | 2019-04-29 9시 | 12시 | 고온 어닐 1700도 30분 | 서강대학교 | 전자공학과 | 김태홍 | 1,500,000원 |
| 206 | 2019-04-30 15시 | 18시 | 부탁드립니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 207 | 2019-04-30 9시 | 15시 | 1700 C 30 min | 파워마스터반도체 주식회사 | 제품개발팀 | 김홍기 | 1,350,000원 |
| 208 | 2019-05-02 9시 | 14시 | 1700c 60min 3매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 209 | 2019-05-07 9시 | 14시 | 진행하겟습니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 210 | 2019-05-08 9시 | 15시 | 진행부탁드리겟습니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 211 | 2019-05-09 9시 | 16시 | 부탁드립니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 212 | 2019-05-10 9시 | 16시 | 10매입니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 213 | 2019-05-13 10시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 214 | 2019-05-14 10시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 215 | 2019-05-15 10시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 216 | 2019-05-16 10시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 217 | 2019-05-17 9시 | 12시 | 1700도 60min 2매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 218 | 2019-05-20 9시 | 15시 | 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 219 | 2019-05-21 9시 | 14시 | 8매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 220 | 2019-05-22 9시 | 15시 | 1700도 60min 10매 진행합니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 221 | 2019-05-23 9시 | 15시 | 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 222 | 2019-06-04 10시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 223 | 2019-06-05 14시 | 18시 | 1700℃ 60min 10매 진행입니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 224 | 2019-06-10 9시 | 16시 | 1700℃ 60min 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 225 | 2019-06-11 10시 | 15시 | 9매 입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 226 | 2019-06-12 9시 | 15시 | 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 227 | 2019-06-13 9시 | 16시 | 1700℃ 60min 10매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 228 | 2019-06-14 10시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 229 | 2019-06-17 9시 | 17시 | 부탁드립니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 230 | 2019-06-21 2시 | 5시 | 1700c 60min 7매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 231 | 2019-06-21 6시 | 12시 | 7매 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 232 | 2019-06-24 9시 | 15시 | 1700℃ 60min 진행입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 233 | 2019-06-25 21시 | 2시 | 10매 진행 입니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 234 | 2019-06-28 16시 | 19시 | 1700도 60분 3매 진행합니다. | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 235 | 2019-07-03 13시 | 15시 | 1700℃ 30min | 연세대학교 의료원 | 방사선종양학과 | 권나혜 | 1,500,000원 |
| 236 | 2019-07-08 10시 | 18시 | 고온 열처리_1750도 [과제번호:4.0018159.01] | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 2,550,000원 |
| 237 | 2019-07-16 10시 | 17시 | 1600 C, 20 min | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,350,000원 |
| 238 | 2019-07-22 10시 | 16시 | 진행하겟습니다 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 239 | 2019-07-23 9시 | 18시 | 고온 열처리_1750도 [과제번호:4.0018159.01] | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 2,550,000원 |
| 240 | 2019-08-02 9시 | 13시 | 나노선 열전소자 제작(Anneal 1000도, 90분) | 주식회사 싸이츠 | 기업부설연구소 | 백창기 | 0원 |
| 241 | 2019-08-14 10시 | 17시 | 1700 C, 30 min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,350,000원 |
| 242 | 2019-10-30 9시 | 16시 | Trench 형 SiC MOSFET 소자 확산 공정 | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 2,550,000원 |
| 243 | 2019-11-25 9시 | 24시 | activation | 서강대학교 | 전자공학과 | 김태홍 | 1,500,000원 |
| 244 | 2020-01-20 10시 | 11시 | 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 245 | 2020-01-20 13시 | 14시 | 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 | 글로비 | 글로비 | 글로비 | 0원 |
| 246 | 2020-02-03 13시 | 17시 | 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 247 | 2020-02-07 9시 | 15시 | 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 | powertechnix | powertechnix | 파워테크닉스 | 0원 |
| 248 | 2020-06-03 10시 | 18시 | SiC MOSFET 평가용 고온열처리 공정 진행 | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 2,550,000원 |
| 249 | 2020-06-29 10시 | 17시 | SiC MOSFET 평가용 annealing 공정 진행 | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,275,000원 |
| 250 | 2020-07-13 10시 | 17시 | 1650℃ 30분 | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,275,000원 |
| 251 | 2020-10-02 12시 | 18시 | 4-4-1 Activation Anneal Ar, 1600C, 30min | (주)칩스케이 | 연구개발팀 | 임진홍 | 1,500,000원 |
| 252 | 2020-10-05 14시 | 18시 | 4-4-1 Activation Anneal Ar, 1600C, 30min |
나노융합기술원 | 프라운호퍼 실용화연구센터 | 김상조 | 1,350,000원 |
| 253 | 2020-10-15 9시 | 17시 | SiC Trench MOSFET 단위공정평가 용 Annealing | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,275,000원 |
| 254 | 2020-11-02 10시 | 17시 | 4-0-2 HT anneal | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 255 | 2020-12-01 9시 | 16시 | P+ IMP 후 High Temperature Annealing | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 256 | 2021-03-29 9시 | 18시 | 1700C 40min | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,200,000원 |
| 257 | 2021-04-21 9시 | 16시 | 1700℃ 30min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,200,000원 |
| 258 | 2021-07-19 9시 | 18시 | 1650C 35분 | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,200,000원 |
| 259 | 2021-08-10 14시 | 17시 | 조각 3매 1700C 30min annealing | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,200,000원 |
| 260 | 2021-08-19 9시 | 18시 | 1650C 40min | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,200,000원 |
| 261 | 2021-09-07 10시 | 17시 | SiC VD 01 3-3-1 HTA | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,200,000원 |
| 262 | 2021-09-15 14시 | 16시 | 1-5-1 1600C, 20min (4\" Half 1ea) | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,200,000원 |
| 263 | 2021-10-06 9시 | 18시 | 1650C 40min | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,200,000원 |
| 264 | 2021-10-07 14시 | 18시 | 1600C, 20min (4\\\" Half 1ea) (*21/9/15과 동일) |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,200,000원 |
| 265 | 2022-05-26 13시 | 13시 | SiC NTD Schottky contacts annealing 1-2-1 1200C 30min 1800C 30min |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 2,550,000원 |
| 266 | 2022-08-22 12시 | 18시 | 1-2-1 Anneal 1800C, 30min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 267 | 2022-08-23 15시 | 21시 | 1-2-3 Anneal 1800C, 90min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 268 | 2022-08-23 9시 | 15시 | 1-2-2 Anneal 1800C, 60min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 269 | 2022-08-24 9시 | 15시 | 1-2-4 Anneal 1700C, 90min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 270 | 2022-09-15 10시 | 23시 | 1-1-1 1750 ℃, 20 min, Ar ambient (조각 16매, 3회로 나누어 진행) | 주식회사 엘엑스세미콘 | 소자팀 | 황준하 | 4,500,000원 |
| 271 | 2022-10-04 8시 | 14시 | 6-3-1 HTA 1700C/30min | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 1,500,000원 |
| 272 | 2022-10-05 10시 | 22시 | 1-2-1 HTA 1800C/120min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 2,550,000원 |
| 273 | 2022-10-13 10시 | 16시 | 1-2-1 HTA 1800C/1hr | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,275,000원 |
| 274 | 2022-10-17 10시 | 16시 | 2-3-1 HTA 1700C/30min | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,200,000원 |
| 275 | 2022-11-21 14시 | 20시 | 1-1-1 1175C/20min Ar ambient | 주식회사 엘엑스세미콘 | 소자팀 | 황준하 | 1,500,000원 |
| 276 | 2023-01-17 15시 | 21시 | 6-3-1 HTA 1700ºC/30min | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 1,500,000원 |
| 277 | 2023-01-18 10시 | 22시 | 1-2-1 1800ºC/30min 2회 진행 |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 0원 |
| 278 | 2023-03-09 15시 | 21시 | 장전 PR Coationg 후 Activation 진행 14매 | (주)예스파워테크니스 | 공정기술팀 | 이정훈 | 1,900,000원 |
| 279 | 2023-06-21 11시 | 17시 | 1-3-1 HTA 1400ºC/30min | 한국원자력연구원 | 입자빔이용연구부 | 김동석 | 2,000,000원 |
| 280 | 2023-07-04 16시 | 20시 | HTA 1800ºC/30min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,700,000원 |
| 281 | 2023-08-01 13시 | 18시 | HTA 1800ºC/30min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,700,000원 |
| 282 | 2023-09-15 14시 | 18시 | 6-3-1 HTA 1700ºC/30min | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 박범성 | 1,800,000원 |
| 283 | 2023-09-15 9시 | 13시 | 6-3-1 HTA 1700ºC/30min | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 284 | 2023-10-11 10시 | 15시 | 1800ºC/30min | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,700,000원 |
| 285 | 2023-10-25 13시 | 15시 | - Ion-implantation 진행이력. SiO2 증착 및 제거이력 - 공정온도 1700도, 30분 - Activation annealing전 단계로 capping 공정의뢰하였음. |
한국에너지공과대학교 | 에너지신소재연구소 | 최병휘 | 2,000,000원 |
| 286 | 2024-01-17 15시 | 19시 | 임플란트 된 SiC 조각 4개 입니다. 2개는 N, 2개는 Al 임플란트 되어 있습니다. carbon-cap은 증착되어 있지 않습니다. 1700℃, Ar, 30 min 진행해주시면 됩니다. |
포항공과대학교 대학원 | 전자전기공학과 | 최재용 | 1,800,000원 |
| 287 | 2024-01-23 15시 | 21시 | 7-2-3 HTA 1700℃/30min | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 288 | 2024-01-23 9시 | 15시 | 7-2-3 HTA 1700℃/30min | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 289 | 2024-02-01 10시 | 16시 | 3.0 HTA(1700℃, 30min, Ar) | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 한성웅 | 1,800,000원 |
| 290 | 2024-02-22 16시 | 21시 | 7-2-5 HTA 1500℃/15min | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 1,800,000원 |
| 291 | 2024-02-22 9시 | 15시 | 7-2-3 HTA 1700℃/15min | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 1,800,000원 |
| 292 | 2024-03-27 9시 | 14시 | 7-2-3 HTA(1700℃, 30min, Ar) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 293 | 2024-03-28 9시 | 14시 | 1-2-2 (조각#02) HTA (1400℃, 5min, Ar) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 2,000,000원 |
| 294 | 2024-04-08 13시 | 18시 | 7-2-3 HTA(1700℃/30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 295 | 2024-04-11 18시 | 23시 | 7-2-3 HTA(1700℃/30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 296 | 2024-04-16 13시 | 18시 | (WF03, 04) 1-2-2 HTA(1400℃, 5min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 2,000,000원 |
| 297 | 2024-04-17 8시 | 12시 | (WF01)1-2-1 HTA(1400℃/15min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 2,000,000원 |
| 298 | 2024-04-19 14시 | 20시 | 3-1-2 (#2) - HTA(1800℃, 30min, Ar) | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 한성웅 | 1,600,000원 |
| 299 | 2024-04-19 8시 | 14시 | 3-1-1 (#1) - HTA(1700℃, 30min, Ar) | 포항공과대학교 | 선행기술팀 | 한성웅 | 1,600,000원 |
| 300 | 2024-05-03 17시 | 21시 | 2-2-2 HTA(1400℃, 5min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 301 | 2024-05-09 8시 | 14시 | 6-3-1 HTA(1700℃/30min) | 트리노테크놀로지 | 경영지원팀 | 트리노테크놀로지 | 0원 |
| 302 | 2024-05-21 15시 | 22시 | 7-2-3 HTA(1700℃, 30min, Ar) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 303 | 2024-06-12 13시 | 18시 | 1-2-1 HTA(1800℃, 30min) | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 김성준 | 1,600,000원 |
| 304 | 2024-06-14 10시 | 15시 | 5-2-3 HTA(1700℃, 30min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 305 | 2024-06-18 9시 | 15시 | 신청자 : 최재용 / 연락처 : 010-2123-3062 / 이메일 : jychoieee@postech.ac.kr 1700℃, Ar, 30 min 조건으로 HTA 진행 의뢰드립니다. *ICT 제품화 지원사업*으로 정산 부탁드립니다. |
(주)아이제스트 | 연구개발팀 | 길연호 | 2,000,000원 |
| 306 | 2024-07-04 14시 | 19시 | 보론만 주입된 인공다이아몬드 시편 2개와 SiO2가 증착된 인공다이아몬드 시편 1개로 총 3개 어닐링 진행하고 싶습니다. 1300도에서 1시간 어닐링 진행하고 싶습니다. |
전북대학교 | 전자정보공학부 | 김인화 | 2,000,000원 |
| 307 | 2024-07-11 9시 | 14시 | 2-1-1 HTA(1300℃, 5min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 308 | 2024-07-12 9시 | 14시 | 2-1-2 HTA(1400℃, 5min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 309 | 2024-07-15 14시 | 20시 | 2-1-3 조각3 - HTA(1500℃, 5min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 310 | 2024-07-16 9시 | 14시 | 2-1-4 조각4 - HTA(1600℃, 5min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 311 | 2024-07-23 13시 | 18시 | Al IMP (KERI) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 4,281,250원 |
| 312 | 2024-07-23 8시 | 12시 | Al IMP (KERI) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 4,000,000원 |
| 313 | 2024-08-07 14시 | 19시 | 7-2-1 HTA(1650℃, 15min, Ar) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 314 | 2024-08-13 14시 | 19시 | 6-3-1 HTA(1700℃, 30min) | 나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,600,000원 |
| 315 | 2024-08-20 14시 | 18시 | 1-1-3 HTA(1600℃, 5min, Ar) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 316 | 2024-09-03 14시 | 19시 | Al2O3(20nm)/SiC, HfO2(20nm)/SiC, uncapped SiC 조각 HTA 의뢰입니다. 2,3,4 번 조각 HTA 진행해 주시면 됩니다. 샘플 번호는 샘플 캐리어에 표기해 두었습니다. 1700 ℃, 30 min, Ar 에서 진행해주시면됩니다. 담당연구원:최재용/010-2123-3062 |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 1,600,000원 |
| 317 | 2024-09-04 14시 | 20시 | 1-5-1 (조각4, 9) - 1.5 HTA(1200℃, 30min) | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 1,600,000원 |
| 318 | 2024-09-05 13시 | 17시 | 1-5-2 (조각5, 10) - 1.5 HTA(1400℃, 30min) | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 1,600,000원 |
| 319 | 2024-09-06 11시 | 16시 | 1-5-3 (조각06, 11) - HTA(1600℃, 30min) | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 1,600,000원 |
| 320 | 2024-09-10 14시 | 19시 | 1-1-1 HTA(1800℃, 30min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 321 | 2024-09-11 11시 | 16시 | 1-1-1 HTA(1700℃, 30min) | 삼성전자 | Power device팀 | 박종원 | 2,000,000원 |
| 322 | 2024-09-12 13시 | 20시 | 1450도로 1시간 어닐링 진행하고 싶습니다. | 전북대학교 | 전자정보공학부 | 김인화 | 2,000,000원 |
| 323 | 2024-09-20 13시 | 20시 | 1-2-1 HTA(1800℃, 30min, Ar) | 포항공과대학교 대학원 | 반도체대학원 | 박휘승 | 1,600,000원 |
| 324 | 2024-10-10 13시 | 21시 | Al-implanted SiC 조각 8개 (2x2 ㎠) Al-implanted SiC 조각 10개 (1x1 ㎠) 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062/jychoieee@postech.ac.kr |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 1,600,000원 |
| 325 | 2024-10-15 17시 | 24시 | 7-2-3 HTA(1700℃, 30min) | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 326 | 2024-10-15 9시 | 17시 | 조건 : 1700 ℃, Ar, 30 min 샘플 : 1*1㎠ 3개, 2.1*2.1㎠ 1개 PR로 capping 되어 있는 SiC 샘플입니다. 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 |
포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 이정수 | 1,600,000원 |
| 327 | 2024-10-18 16시 | 24시 | 8-3-1 HTA(1700℃, 30min, Ar) | 나노융합기술원 | 대외협력팀 | 박영재 | 1,600,000원 |
| 328 | 2024-10-31 13시 | 20시 | 3-1-1 HTA(1850℃, 30min) | 한국과학기술원 | 기계공학과 | 김태영 | 2,000,000원 |
| 329 | 2024-11-14 11시 | 16시 | 2-3-1 Activation(1700℃, 40min) | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 2,000,000원 |
| 330 | 2024-11-18 14시 | 20시 | [WBG 과제_SiC Silicide 평가] HTA(1700℃, 30min) |
나노융합기술원 | 기술지원팀 | 강민재 | 1,600,000원 |