Alpha-Step (ME) 장비일지 |
기자재관리번호 : . |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2013-01-16 14시 | 16시 | Sample 분석 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 정화평 | 32,000원 |
| 2 | 2013-02-25 15시 | 19시 | 샘플 분석 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 0원 |
| 3 | 2013-02-26 13시 | 18시 | 샘플 분석 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 0원 |
| 4 | 2013-02-27 15시 | 17시 | 샘플 분석 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 0원 |
| 5 | 2013-03-05 19시 | 23시 | 증발실험 | 부경대학교 | 기계설계공학과 | 유동인 | 0원 |
| 6 | 2013-03-07 23시 | 1시 | PR 높이 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 0원 |
| 7 | 2013-03-13 22시 | 24시 | PR 높이 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 0원 |
| 8 | 2013-03-27 22시 | 23시 | PR 높이 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 0원 |
| 9 | 2013-03-29 14시 | 15시 | alphastep | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 석세영 | 0원 |
| 10 | 2013-04-22 13시 | 14시 | 연구개발 | (주)예스파워테크닉스 | 연구소 | 강예환 | 18,000원 |
| 11 | 2013-04-30 13시 | 16시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 12 | 2013-05-02 16시 | 17시 | PR 공정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 허준성 | 0원 |
| 13 | 2013-05-27 20시 | 23시 | pr patterning | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 14 | 2013-06-03 15시 | 18시 | pr patterning | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 15 | 2013-06-05 11시 | 13시 | profile 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 16 | 2013-06-05 14시 | 16시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김중길 | 0원 |
| 17 | 2013-06-20 15시 | 18시 | profile 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 18 | 2013-08-21 14시 | 15시 | 유리 시편 요철 측정 | 한국원자력연구원 | 선진핵주기기술개발부 | 소병진 | 24,000원 |
| 19 | 2013-09-02 13시 | 17시 | 금속 박막 두께 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김중길 | 0원 |
| 20 | 2013-09-02 20시 | 21시 | 두께 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김중길 | 0원 |
| 21 | 2013-09-12 16시 | 19시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 22 | 2013-10-14 14시 | 16시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김중길 | 0원 |
| 23 | 2013-11-19 14시 | 16시 | profile 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 24 | 2013-11-19 16시 | 18시 | Negative Pr patterning | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 0원 |
| 25 | 2014-01-13 14시 | 17시 | PR patterning | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 26 | 2014-01-17 13시 | 15시 | 원통형 시편(10phi x 60mm)표면 profile 측정 (roughness, height of structure, surface profile) |
포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 27 | 2014-01-21 19시 | 23시 | Profile 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 28 | 2014-02-06 21시 | 23시 | PR 노광 분석 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 0원 |
| 29 | 2014-04-03 22시 | 24시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 30 | 2014-04-17 20시 | 22시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 31 | 2014-05-09 9시 | 10시 | 2-2-2 PWEL Etch Alpha Step | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 32 | 2014-06-03 21시 | 24시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 33 | 2014-06-04 13시 | 17시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 34 | 2014-06-04 17시 | 18시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 35 | 2014-06-30 14시 | 17시 | Sample profile Check | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 36 | 2014-07-02 10시 | 12시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 37 | 2014-07-14 16시 | 17시 | film 두께 측정을 위한 장비 교육 및 사용 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 유호정 | 24,000원 |
| 38 | 2014-08-18 12시 | 13시 | P+ Etching 후 확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 21,000원 |
| 39 | 2014-08-18 15시 | 16시 | tmah wafer 깊이 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 원동준 | 0원 |
| 40 | 2014-08-20 11시 | 12시 | N+ Etching 확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 21,000원 |
| 41 | 2014-09-22 19시 | 20시 | 3-3-8 P+ 단차확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 21,000원 |
| 42 | 2014-09-23 17시 | 18시 | 4-2-2 N+ Etching 확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 21,000원 |
| 43 | 2014-10-08 16시 | 18시 | replica molding 마스터 몰드 제작 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김호진 | 0원 |
| 44 | 2014-10-20 12시 | 13시 | 2-3-7 PWEL 단차확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 45 | 2014-10-20 15시 | 16시 | 3-3-7 P+ 단차확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 46 | 2014-10-20 16시 | 19시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 47 | 2014-10-21 11시 | 12시 | 4-2-2 N+ Etch 단차확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 48 | 2014-11-04 10시 | 11시 | 표면 분석 | 그린사이언스 | 기업부설연구소 | 장현석 | 18,000원 |
| 49 | 2014-11-20 14시 | 15시 | 3-3-7 P+ PR Remove Thick Meas | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 50 | 2014-11-21 12시 | 13시 | 4-2-2 N+ Etch Alpha Step | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 51 | 2014-11-25 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 52 | 2014-12-15 20시 | 24시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 53 | 2014-12-17 17시 | 18시 | 2-3-7 PWEL 단차확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 54 | 2014-12-19 17시 | 18시 | 3-3-7 P+ 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 55 | 2014-12-22 14시 | 15시 | 4-2-2 N+ Etching 확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 42,000원 |
| 56 | 2014-12-24 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 57 | 2014-12-29 16시 | 17시 | 테플론 단차 측정 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강주원 | 14,000원 |
| 58 | 2015-01-30 14시 | 18시 | Step Profile Check | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 59 | 2015-03-17 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 60 | 2015-03-19 20시 | 23시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 61 | 2015-03-24 14시 | 15시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 62 | 2015-03-24 15시 | 18시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 63 | 2015-03-31 20시 | 22시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 64 | 2015-04-01 17시 | 20시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 65 | 2015-04-02 14시 | 18시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 66 | 2015-05-18 14시 | 17시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 67 | 2015-06-03 20시 | 23시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 68 | 2015-06-08 16시 | 17시 | alpha step 교육 희망 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 21,000원 |
| 69 | 2015-06-25 13시 | 15시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 70 | 2015-07-14 15시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 71 | 2015-07-21 15시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 72 | 2015-07-22 19시 | 22시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 73 | 2015-08-13 14시 | 17시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 74 | 2015-08-18 13시 | 15시 | 표면 분석 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 이상희 | 0원 |
| 75 | 2015-09-18 17시 | 18시 | 시편촬영 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 76 | 2015-09-25 13시 | 14시 | 표면 조도 측정 : 장비 사용 교육 실시 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이기철 | 0원 |
| 77 | 2015-09-30 18시 | 19시 | 표면분석 | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 이상희 | 16,000원 |
| 78 | 2015-10-05 14시 | 20시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 79 | 2015-10-05 21시 | 23시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 80 | 2015-10-22 20시 | 23시 | PR 패터닝 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 81 | 2015-11-23 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 82 | 2015-11-25 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 83 | 2015-12-08 13시 | 14시 | Polyimide Etch Depth 측정 | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 21,000원 |
| 84 | 2015-12-08 16시 | 17시 | Polyimide Etch Depth 측정 : ASher 용 | 전북대학교 | 전자공학부 | 김기현 | 21,000원 |
| 85 | 2015-12-18 15시 | 15시 | glass 위 pr두꼐측정 | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학부 | 김재우 | 0원 |
| 86 | 2015-12-28 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 87 | 2015-12-28 17시 | 19시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 88 | 2015-12-28 19시 | 23시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 원동준 | 0원 |
| 89 | 2016-01-08 14시 | 17시 | pr | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 송지현 | 0원 |
| 90 | 2016-01-13 17시 | 19시 | tantalum 가공시편 surface roughness 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 서창호 | 0원 |
| 91 | 2016-01-15 14시 | 15시 | 알파스텝 장비 교육 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 24,000원 |
| 92 | 2016-01-18 13시 | 14시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 93 | 2016-01-19 14시 | 15시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 94 | 2016-01-19 17시 | 18시 | 단차측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 95 | 2016-01-19 20시 | 21시 | 단차측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 96 | 2016-01-19 9시 | 11시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 97 | 2016-01-20 9시 | 10시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 98 | 2016-01-21 16시 | 17시 | 박막 단차측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김인기 | 0원 |
| 99 | 2016-01-22 17시 | 18시 | 박막 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 김인기 | 0원 |
| 100 | 2016-01-26 11시 | 12시 | si 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 101 | 2016-01-26 14시 | 15시 | 박막두께측정 (기계과) | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 윤관호 | 0원 |
| 102 | 2016-01-27 11시 | 12시 | 박막두께측정(기계과) | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 윤관호 | 0원 |
| 103 | 2016-01-27 13시 | 14시 | Si 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 104 | 2016-01-29 19시 | 20시 | 시편 표면조도 측정 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 105 | 2016-02-04 14시 | 15시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이다솔 | 0원 |
| 106 | 2016-02-18 14시 | 18시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 107 | 2016-02-19 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 108 | 2016-02-22 12시 | 13시 | 시편 표면 조도 촬영 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 109 | 2016-02-23 15시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 110 | 2016-03-03 20시 | 21시 | 표면조도 분석 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이기철 | 0원 |
| 111 | 2016-03-04 14시 | 16시 | tantalum 가공면 단차 및 roughness 측정 : 장비 사용 교육 병행 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 서창호 | 48,000원 |
| 112 | 2016-03-09 10시 | 11시 | 샘플 특성 분석(실험용) | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 박경배 | 24,000원 |
| 113 | 2016-03-10 22시 | 23시 | 시편 표면 조도 측정 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 16,000원 |
| 114 | 2016-03-14 16시 | 18시 | Pattern analysis | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이중호 | 0원 |
| 115 | 2016-03-15 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 116 | 2016-03-23 16시 | 17시 | 1-3-5 2nd Oxide 단차확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 105,000원 |
| 117 | 2016-04-13 15시 | 16시 | 시편 촬영 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 118 | 2016-04-18 15시 | 18시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 119 | 2016-04-20 20시 | 22시 | . | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 강준수 | 0원 |
| 120 | 2016-04-22 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 121 | 2016-04-29 14시 | 15시 | PDMS/SBS/Au | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 박경배 | 16,000원 |
| 122 | 2016-05-02 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 123 | 2016-05-10 14시 | 15시 | PDMS/Au nanosheets | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 박경배 | 16,000원 |
| 124 | 2016-05-11 10시 | 11시 | si 기판 위 단차 측정 | 포항공과대학교 | 전자전기공학과 | 김동훈 | 14,000원 |
| 125 | 2016-05-11 11시 | 12시 | 시편 촬영 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 126 | 2016-05-23 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 127 | 2016-05-26 18시 | 19시 | 필름 러프니스 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 박경배 | 16,000원 |
| 128 | 2016-05-26 19시 | 20시 | 금속 고분자 컴퍼짓 박막 러프니스 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 박경배 | 16,000원 |
| 129 | 2016-05-27 11시 | 12시 | 시편 표면 단차 촬영 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 16,000원 |
| 130 | 2016-06-01 14시 | 17시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 131 | 2016-06-09 15시 | 16시 | 단차 측정 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이기철 | 0원 |
| 132 | 2016-06-16 10시 | 11시 | 2-3-5 Oxide Etch 단차 확인 | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 63,000원 |
| 133 | 2016-06-21 10시 | 11시 | film 두께 측정 샘플 3개 |
포항공과대학교 | 신소재공학과 | 김동욱 | 48,000원 |
| 134 | 2016-06-21 13시 | 16시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 135 | 2016-06-23 15시 | 17시 | PR코팅 | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 136 | 2016-07-04 10시 | 11시 | polymer film 두께 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 김동욱 | 14,000원 |
| 137 | 2016-07-04 11시 | 13시 | polymer film 두께 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 김동욱 | 28,000원 |
| 138 | 2016-07-04 15시 | 16시 | 금일 전화로 간단히 설명 드렸습니다. (PTFE 소재 시편을 plasma etching 처리하여 처리 전/후 단차 비교) 시편은 2개 입니다. | 포항공과대학교 | 기계공학과 BBRC | 김기웅 | 0원 |
| 139 | 2016-07-04 16시 | 18시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이상현 | 0원 |
| 140 | 2016-07-04 18시 | 19시 | Film 두께 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 김동욱 | 14,000원 |
| 141 | 2016-07-04 19시 | 23시 | PR | 포항공과대학교 | 기계공학과 | 이원형 | 0원 |
| 142 | 2016-07-06 14시 | 16시 | FET 특성 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 김동욱 | 28,000원 |
| 143 | 2016-07-06 16시 | 17시 | film 두께 측정 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 김동욱 | 14,000원 |
| 144 | 2016-07-18 13시 | 14시 | Borosilicate 표면 위에 코팅된 PTFE 두께 측정 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 한태양 | 24,000원 |
| 145 | 2016-07-20 11시 | 12시 | 시편 단차 측정 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 146 | 2016-08-01 15시 | 16시 | 시편촬영 | 포항공과대학교 | 첨단원자력공학부 | 강준영 | 0원 |
| 147 | 2016-08-05 14시 | 16시 | 무기물 두께 측정 및 a-step 사용법 교육 | 포항공과대학교 | 신소재공학과 | 황보희 | 30,000원 |