Rinse and Dryer 장비일지

 기자재관리번호 : ----
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2011-03-17 13시 16시 Patterned 웨이퍼 세정 메이플세미컨덕터 정은식 600,000원
2 2011-04-05 09시 12시 8인치 patterned wafer APM cleaning 크린콜비지니스 신명환 600,000원
3 2011-05-05 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF cleaning 메이플세미컨덕터 정은식 600,000원
4 2011-05-11 13시 16시 8" patterned wafer APM+DHF cleaning (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 600,000원
5 2011-05-20 13시 16시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning 엔씨케이(주) 신상순 600,000원
6 2011-05-25 09시 12시 2011-05-25 12:00 제위드 대표자 조상호 600,000원
7 2011-05-30 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning (주)에이팸 조미옥 600,000원
8 2011-06-03 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning (주)에이팸 조미옥 600,000원
9 2011-06-10 13시 16시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning 제위드 대표자 조상호 600,000원
10 2011-06-18 13시 16시 8인치 patterned wafer APM+DHF Cleaning 지엠티 박은화 600,000원
11 2011-06-23 13시 16시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning 엔씨케이(주) 신상순 600,000원
12 2011-09-08 13시 18시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning (주)좋은램프 최근철 600,000원
13 2011-09-14 09시 13시 Wet Station에서 세정과 Rinse 공정이 진행된 Wafer를 DI Water로 추가 Rinse 후 고속 회전으로 Wafer를 건조. 팩토이엔씨 김영수 600,000원
14 2011-09-19 13시 17시 8인치 patterned wafer APM+DHF Cleaning 제이케이이엔씨 김종규 600,000원
15 2011-09-21 13시 18시 8" patterned wafer (APM+DHF Cleaning) 제이케이이엔씨 김종규 600,000원
16 2011-09-24 09시 13시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning 팩토이엔씨 김영수 600,000원
17 2011-10-08 09시 12시 8인치 patterned wafer APM+DHF Cleaning (주)좋은램프 최근철 600,000원
18 2011-10-12 09시 12시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning 팩토이엔씨 김영수 600,000원
19 2011-10-19 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning 제이케이이엔씨 김종규 600,000원
20 2011-10-21 09시 12시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning 제이케이이엔씨 김종규 600,000원
21 2011-10-27 09시 12시 8인치 patterned wafer PSG 형성 (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 600,000원
22 2011-11-04 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning (주)브라이트일렉트로닉스 백승찬 600,000원
23 2011-11-18 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning 저스트코퍼레이션 이병설 600,000원
24 2011-11-25 09시 12시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning 저스트코퍼레이션 이병설 600,000원
25 2011-12-07 09시 12시 8inch patterned wafer 웨이퍼 세정 (주)셈크로 전태주 300,000원
26 2011-12-24 09시 12시 8" patterned wafer APM+DHF Cleaning 티엠에스 정명일 600,000원
27 2012-01-10 09시 12시 8inch patterned wafer APM+DHF Cleaning (주)유시스텍 최승훈 600,000원
28 2012-09-11 12시 14시 APM + DHF cleaning (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 600,000원
29 2012-09-14 09시 11시 APM + DHF Cleaning (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 600,000원
30 2012-09-16 13시 16시 APM + DHF Cleaning (주)예스파워테크닉스 R&D 양창헌 1,500,000원
31 2013-04-03 10시 11시 0-2-1 Fab-in cleaning_DHF (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
32 2013-04-03 9시 10시 0-2-1 Fab-in cleaning_SPM (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
33 2013-04-10 10시 11시 0-2-2 Fab-in Cleaning_DHF (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
34 2013-04-10 9시 10시 0-2-1 Fab-in cleaning_SPM (주)엔디디 경영총괄 권현화 120,000원
35 2014-04-14 10시 11시 0-2-1 Pre cleaning
- SPM : 황산+과수(4:1), 120도, 3분
- DHF : DI+불산(100:1), 상온, 1분		 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 300,000원
36 2014-05-21 10시 11시 0-2-1 Pre cleaning - SPM : 황산+과수(4:1), 120도, 3분 - DHF : DI+불산(100:1), 상온, 1분 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 240,000원
37 2014-06-05 9시 10시 0-2-1 Pre Cleaning
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SPM : 120도, 3min
DHF : 상온, 100:1, 1min		 SSADT 경영지원 지이권 240,000원
38 2014-06-26 9시 10시 0-2-1 Pre Cleaning
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SPM : 120도, 3min DHF : 상온, 100:1, 1min		 SSADT 경영지원 지이권 150,000원
39 2014-10-16 9시 10시 Wafer Cleaning
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SPM (황산+과산화수소) : 120도, 180초
100:1 DHF (DI+HF) : 상온, 60초
QDR : DI water+Bubble 		SSADT 경영지원 지이권 150,000원
40 2014-10-21 9시 10시 Wafer Cleaning
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SPM (황산+과산화수소) : 120도, 30초
100:1 DHF (DI+HF) : 상온, 30초
QDR : DI water+Bubble		 SSADT 경영지원 지이권 450,000원
41 2014-12-02 10시 11시 전기적 특성 검토를 위한 Sample 제작 (주)피코셈 관리 김용국 300,000원