Optical Microscopes-Diffusion 장비일지 |
기자재관리번호 : - |
| No | 장비이용내역 | 이용내역 | 사용자 | 장비이용료 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 시작일 | 종료일 | 세부내용 | 기관명 | 부서(학과명) | 성명 | 확정금액 | |
| 1 | 2012-12-04 18시 | 19시 | 3-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 30,000원 |
| 2 | 2012-12-14 17시 | 18시 | 4-2-4 MET Inspection | (주)아이엠헬스케어 | 이인제 | 10,000원 | |
| 3 | 2013-01-29 12시 | 13시 | 5-4-2 METR RTA 2매 Inspect | (주)아이엠헬스케어 | 이인제 | 20,000원 | |
| 4 | 2013-01-29 15시 | 16시 | 4-4-3 MET1 RTA Inspect(WF01,03,04,05,06) | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 50,000원 |
| 5 | 2013-02-25 21시 | 22시 | 3-4-4 M1OP MET1 Depo. Inspect 2매 | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 20,000원 |
| 6 | 2013-03-06 7시 | 8시 | 5-4-5 M1OP Microscope Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 20,000원 |
| 7 | 2013-03-14 11시 | 12시 | 6-4-3 MET1 Anneal Microscope Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 8 | 2013-03-19 22시 | 23시 | 7-4-4 MET2 Depo. Microscope Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 9 | 2013-03-22 15시 | 16시 | 2-2-2 ISO Ar Implant Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 10 | 2013-03-22 16시 | 17시 | 2-2-2 ISO Ar Implant Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 11 | 2013-04-01 10시 | 11시 | 4-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 12 | 2013-04-12 17시 | 18시 | 5-4-5 MET1 Depo. Microscope Inspection | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 13 | 2013-04-19 1시 | 2시 | 7-4 M2OP MET2 Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 14 | 2013-04-22 13시 | 14시 | 3-4-5 M1OP Microscope Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 90,000원 |
| 15 | 2013-04-25 13시 | 14시 | 4-4-3 MET1 Anneal inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 70,000원 |
| 16 | 2013-05-07 18시 | 19시 | 5-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 17 | 2013-05-08 18시 | 19시 | 4-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 18 | 2013-05-09 14시 | 15시 | 6-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 19 | 2013-05-10 20시 | 21시 | 7-4-5 M2OP MET2 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 20 | 2013-05-14 18시 | 19시 | 5-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 21 | 2013-05-16 17시 | 18시 | 5-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 22 | 2013-05-20 17시 | 18시 | 6-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 23 | 2013-05-23 10시 | 11시 | 7-4-5 M2OP MET2 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 70,000원 |
| 24 | 2013-06-11 19시 | 20시 | 5-4-5 MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 25 | 2013-06-12 11시 | 12시 | 4-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 26 | 2013-06-14 13시 | 14시 | 6-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 27 | 2013-06-14 15시 | 16시 | 5-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 70,000원 |
| 28 | 2013-06-18 17시 | 18시 | 7-4-5 M2OP MET2 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 29 | 2013-06-20 15시 | 16시 | 5-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 30 | 2013-06-24 11시 | 12시 | 6-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 31 | 2013-06-26 14시 | 14시 | 7-4-5 M2OP MET2 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 32 | 2013-07-05 18시 | 19시 | 3-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 33 | 2013-07-10 23시 | 24시 | 5-4-5 M1OP MET1 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 34 | 2013-07-12 17시 | 18시 | 6-4-2 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 35 | 2013-07-15 12시 | 13시 | 4-4-3 MET1 Anneal Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 36 | 2013-07-18 17시 | 18시 | 7-4-5 MET2 Depo, Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 37 | 2013-08-19 9시 | 10시 | 7-4-5 M2OP MET2 Depo. Inspection | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 30,000원 |
| 38 | 2013-09-04 12시 | 13시 | 5-4-5 M1OP MET1 Depo. Inpect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 39 | 2013-09-06 15시 | 16시 | 6-4-2 MET1 Anneal | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 40 | 2013-09-11 15시 | 16시 | 7-4-4 M2OP MET2 Depo.Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 10,000원 |
| 41 | 2013-11-12 17시 | 18시 | 5-4-5 MET1 Depo. OM Inspet | LG이노텍 | 차세대소자개발 | 서덕원 | 20,000원 |
| 42 | 2013-11-14 18시 | 19시 | 6-4-3 MET1 Anneal Inspet | LG이노텍 | 차세대소자개발 | 서덕원 | 20,000원 |
| 43 | 2013-11-19 19시 | 20시 | 7-4-5 MET2 Depo, OM Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발 | 서덕원 | 20,000원 |
| 44 | 2013-12-05 16시 | 17시 | 5-4-5 M1OP MET1 Depo, Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발 | 서덕원 | 20,000원 |
| 45 | 2013-12-09 15시 | 16시 | 6-4-3 MET1 Anneal Inspect(WF04,06) | LG이노텍 | 차세대소자개발팀 | 서덕원 | 0원 |
| 46 | 2013-12-20 13시 | 14시 | 7-4-5 MET2 Depo. Inspect | LG이노텍 | 차세대소자개발 | 서덕원 | 0원 |
| 47 | 2014-01-27 17시 | 19시 | 1-4-6 Gate Ni Sputter Inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 8,000원 |
| 48 | 2014-01-28 18시 | 20시 | 2-4-1 Silicidation Inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 8,000원 |
| 49 | 2014-02-04 13시 | 14시 | 2-5-4 MET Sputter Inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 8,000원 |
| 50 | 2014-04-16 12시 | 13시 | 1-4-2 Metal Depo. | 포항공과대학교 | 화학공학과 | 박진주 | 8,000원 |
| 51 | 2014-06-13 11시 | 12시 | 6-5-6 Ni Sputter Inspection | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 14,000원 |
| 52 | 2014-06-16 17시 | 18시 | 8-5-4 Silicidation Inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 7,000원 |
| 53 | 2014-06-17 11시 | 12시 | 8-7-4 MET1 Sputter Inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 7,000원 |
| 54 | 2014-06-23 17시 | 18시 | 2-4-2 metal depo. inspection | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 7,000원 |
| 55 | 2014-08-22 13시 | 14시 | 8-1-3 ni sputter inspection 9-1-4 silicide inspection |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 14,000원 |
| 56 | 2014-08-25 11시 | 12시 | 9-3-4 cont met1 sputter inspection | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 7,000원 |
| 57 | 2014-09-02 11시 | 12시 | pr damage inspection | 포항공과대학교 | 창의IT융합공학과 | 임태욱 | 47,000원 |
| 58 | 2014-09-30 13시 | 14시 | 8-1-3 ni sputter inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 14,000원 |
| 59 | 2014-09-30 15시 | 16시 | 9-1-4 silicidation inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 7,000원 |
| 60 | 2014-09-30 18시 | 19시 | 9-3-4 met1 sputter inspect | 포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 7,000원 |
| 61 | 2014-11-28 16시 | 17시 | 8-1-3 Ni Sputter M inspection |
포항공과대학교 | 기술지원팀 | 최경근 | 7,000원 |
| 62 | 2018-12-05 10시 | 11시 | 1-3-3 akey pr remove m inspect | 삼성종합기술원 | 기반기술랩 | 황선규 | 16,000원 |
| 63 | 2019-10-01 16시 | 17시 | 6-4-2 m0 pe-oxide depo. | 삼성종합기술원 | 기반기술랩 | 황선규 | 0원 |
| 64 | 2023-07-19 13시 | 18시 | Optical Microscope | 삼성디스플레이 | 선행제품연구팀 | 김수철 | 448,000원 |
| 65 | 2024-04-04 13시 | 14시 | 1-1-3 OM Inspection | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 17,000원 |
| 66 | 2024-04-04 14시 | 15시 | 1-1-3 OM Inspection | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 17,000원 |
| 67 | 2024-04-04 15시 | 16시 | 0-1-11 OM Inspection | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 17,000원 |
| 68 | 2024-04-04 16시 | 17시 | 1-1-3 OM Inspection | 삼성디스플레이 | Micro LED Lab (Micro Display Team) | 유철종 | 17,000원 |
| 69 | 2024-05-28 8시 | 9시 | 10-3-3 Metal Depo Inspect | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 70 | 2024-05-28 9시 | 10시 | 10-4-3 Silicidation Inspect | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 71 | 2024-08-05 17시 | 20시 | 11-4-3 Inspection | 삼성전자 | DS | 김태훈 | 0원 |
| 72 | 2024-11-18 15시 | 17시 | 9.0 Silicide Inspection | 현대모비스 | 전력반도체팀 | 강민기 | 100,000원 |