Optical Microscopes - Photo 장비일지

 기자재관리번호 : -
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2012-03-27 14시 16시 SE Etch Microscope Inspection 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 20,000원
2 2012-03-28 10시 11시 1st Etching Microscope Inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
3 2012-07-16 17시 18시 1-1-6 1st PH_Microscope (H02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 50,000원
4 2012-07-19 16시 18시 2-1-6 PH_Inspection (H02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
5 2012-07-26 10시 12시 3-2-3 Poly Etch_OM (H02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
6 2012-08-02 11시 13시 4-3-3 TE etch_SL inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
7 2012-09-24 09시 11시 0-2-3 Inspection (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
8 2012-09-24 15시 17시 1-2-3 1st Etch O/M (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
9 2012-09-25 15시 17시 2-2-3 2nd ET_O/M (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
10 2012-09-25 17시 19시 2-3-4 2nd ET_O/M (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
11 2012-09-26 12시 14시 3-1-6 3rd Photo_O/M (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
12 2012-09-26 15시 17시 3-2-3 3rd Etch_O/M (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
13 2012-09-26 17시 19시 3-3-4 3rd Etch_O/M (G02) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
14 2012-09-27 11시 13시 4-1-6 4th Photo_O/M 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
15 2012-09-27 18시 20시 4-3-4 4th Etch_O/M 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
16 2012-09-28 14시 16시 6-1-5 O/M inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 20,000원
17 2012-10-15 11시 12시 0-2-3 Inspection (GK03_NH3) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
18 2012-10-15 14시 15시 1-1-6 1st Photo_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
19 2012-10-15 17시 18시 1-2-3 1st Etch_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
20 2012-10-16 10시 11시 1-3-4 PR Strip_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
21 2012-10-16 15시 16시 2-1-6 2nd Photo_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
22 2012-10-16 16시 17시 2-2-3 2nd Etch_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
23 2012-10-16 17시 18시 2-3-4 PR strip_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
24 2012-10-17 11시 12시 3-1-6 3rd Photo_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
25 2012-10-17 14시 15시 3-2-2 3rd Etch_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
26 2012-10-17 17시 18시 3-3-4 PR Strip_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
27 2012-10-22 11시 12시 4-1-6 4th Photo_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
28 2012-10-22 14시 15시 4-2-3 4th Etch_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
29 2012-10-22 17시 18시 4-3-4 PR remove_inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
30 2012-10-24 10시 11시 6-1-5 inspection 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 10,000원
31 2013-01-22 13시 14시 7-4-4. MET2 Depo
M inspection		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 20,000원
32 2013-02-04 17시 18시 1-1-6 Akey Photo_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
33 2013-02-05 10시 12시 1-2-3 Akey etch_inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 20,000원
34 2013-02-05 14시 16시 1-3-4 PR Strip_inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 20,000원
35 2013-02-06 13시 15시 2-1-6 ISO Photo_AA Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 20,000원
36 2013-02-06 17시 19시 2-3-4 PR Strip_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 20,000원
37 2013-02-12 17시 18시 4-1-6 Gate Photo_AA Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
38 2013-02-13 16시 17시 4-2-5 Gate Etch_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
39 2013-02-14 13시 14시 4-3-4 Gate PR Remove_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
40 2013-02-15 13시 14시 5-1-6 M1OP Photo_AA Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
41 2013-02-15 14시 15시 5-1-7 M1OP Photo_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
42 2013-02-15 17시 18시 5-2-3 M1OP Dry Etch_inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
43 2013-02-18 11시 12시 5-3-5 M1OP PR Remove_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
44 2013-02-18 18시 19시 5-4-5 MET1 Depo_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
45 2013-02-19 13시 14시 6-1-7 MET1 Photo_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
46 2013-02-20 13시 14시 6-2-3 MET1 Etch_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
47 2013-02-20 15시 16시 6-3-3 MET1 PR Remove_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
48 2013-02-25 10시 11시 6-4-3 MET1 anneal_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
49 2013-02-25 17시 18시 7-1-6 M2OP Photo_AA Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
50 2013-02-25 18시 19시 7-2-3 M2OP Etch_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
51 2013-02-27 11시 12시 8-1-6 MET2 Photo_AA Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
52 2013-02-27 15시 16시 8-2-3 MET2 Etch_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
53 2013-02-27 16시 17시 LT03 1st IMD Thermal Damage Test (1-5-3) MET1 Anneal M Inspect 5매 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 50,000원
54 2013-02-28 11시 12시 8-3-4 MET2 PR remove_M inspection LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 10,000원
55 2014-02-04 18시 20시 2-2-3 M Inspection 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
56 2014-08-18 14시 15시 SC33_ P+ Etching 후 Inspection 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 9,800원
57 2014-09-29 15시 16시 6-2-2 Cont Thick Meas 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 14,000원
58 2015-07-31 15시 16시 Rcess photo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 7,000원
59 2016-10-18 10시 15시 1-1-4 Inspection (주)엔디디 기술연구 최은아 100,000원
60 2017-07-04 14시 15시 optical microscope 사용희망합니다. 포항공과대학교 환경공학부 이충섭 17,000원
61 2019-07-26 17시 18시 3-3-9 PG M Inspect 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 15,000원
62 2019-10-10 17시 18시 4-6-6 PC PR Remove (M Inspect) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 7,500원
63 2019-10-22 14시 15시 3-3-6 PG PR Remove (M Inspect) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 15,000원
64 2019-10-23 14시 15시 11-2-5 GC PR Remove (M Inspect) 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 7,500원
65 2020-07-06 14시 15시 Top electrode 면적 측정 (가로세로 길이) 포스텍 대학원 신소재공학 김형우 18,000원
66 2023-02-09 13시 14시 Microscope 삼성디스플레이 SDC硏 LED LAB 원치훈 120,000원
67 2023-03-06 11시 13시 M Inspect 삼성전자 생산기술연구소 구자명 340,000원
68 2023-06-01 13시 14시 ADI WF#1, WF#4 2ea. 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 16,000원
69 2023-06-07 11시 12시 ADI 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 9,000원
70 2023-06-07 11시 12시 ADI 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 권민규 8,000원
71 2023-06-08 10시 11시 2-2-5 M Inspect LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
72 2023-06-13 11시 12시 2-2-5 ADI LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
73 2023-06-13 13시 14시 9-1-6 ADI 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 16,000원
74 2023-06-13 14시 15시 1-2-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 8,000원
75 2023-06-13 15시 16시 9-1-6 OM Inspection 삼성종합기술원 기반기술랩 김준용 40,000원
76 2023-06-14 10시 11시 3-2-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
77 2023-06-14 13시 14시 1-2-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 8,000원
78 2023-06-19 9시 10시 1-2-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학부 이찬빈 8,000원
79 2023-06-20 14시 15시 1-1-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 8,000원
80 2023-06-22 15시 16시 2-2-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 8,000원
81 2023-06-23 13시 15시 9-1-5 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
82 2023-06-28 13시 14시 4-2-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 8,000원
83 2023-07-06 11시 12시 1-2-5 OM Inspection 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 8,000원
84 2023-07-06 11시 12시 2-1-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
85 2023-07-20 13시 14시 om 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 14,400원
86 2023-07-21 15시 16시 2-2-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
87 2023-07-24 10시 11시 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
88 2023-07-24 11시 12시 Si, GaN on Si M2 ISO V3 (GXR 사용) inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
89 2023-07-26 19시 20시 1-2-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 30,000원
90 2023-07-27 13시 14시 LGE_Module M2 ISO V3 (YPP Coat) 1매

OM Inspection		 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
91 2023-07-28 14시 15시 1-2-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
92 2023-08-02 10시 11시 1-1-6 OM Inspection 삼성전자 DS 김태훈 0원
93 2023-08-02 11시 12시 3-1-5 OM Inspection 나노콘 나노콘 연구소 나노콘 9,000원
94 2023-08-03 9시 12시 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 120,000원
95 2023-08-04 11시 12시 2-1-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
96 2023-08-07 10시 11시 6-1-5 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
97 2023-08-07 11시 12시 1-1-6 OM Inspection 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
98 2023-08-08 12시 13시 2-2-6 OM Inspection 삼성전자 DS 김태훈 0원
99 2023-08-08 13시 14시 2-2-6 OM Inspection 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 18,000원
100 2023-08-08 14시 15시 4-1-5 OM Inspection 나노콘 나노콘 연구소 나노콘 9,000원
101 2023-08-08 9시 11시 om 삼성디스플레이 Micro LED Lab. (Micro Display 팀) 정준석 40,000원
102 2023-08-10 11시 12시 1-1-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
103 2023-08-10 14시 15시 2-1-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
104 2023-08-14 17시 18시 om 삼성디스플레이 Micro LED Lab. (Micro Display 팀) 정준석 80,000원
105 2023-08-17 15시 16시 7-1-6 Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
106 2023-08-18 14시 15시 10-1-6 OM Inspection 나노융합기술원 기술지원팀 박민지 9,000원
107 2023-08-18 16시 17시 3-2-6 OM Inspection 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 18,000원
108 2023-08-18 16시 17시 9-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
109 2023-08-19 11시 12시 - 싸니코전자(주) 개발팀 최주헌 20,000원
110 2023-08-21 11시 12시 3-2-6 OM Inspection 삼성전자 DS 김태훈 0원
111 2023-08-21 12시 13시 1-1-5 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
112 2023-08-21 13시 14시 2-1-6 OM Inspetcion 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
113 2023-08-21 14시 15시 5-1-7 OM Inspetcion 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
114 2023-08-21 16시 17시 9-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
115 2023-08-24 13시 14시 1-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
116 2023-08-24 17시 18시 9-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
117 2023-08-25 15시 16시 2-1-6 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
118 2023-08-25 17시 18시 8-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
119 2023-08-28 11시 12시 9-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
120 2023-08-28 15시 16시 1-1-7 OM Inspection 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 18,000원
121 2023-08-28 17시 18시 1-1-5 OM Inspection

2023년 나노융합기반고도화 사업		 에스제이 영업 박상준 10,000원
122 2023-08-29 9시 11시 OM 삼성전자 VD 사업부 이기원 432,000원
123 2023-08-30 10시 11시 4-2-6 OM Inspection 삼성전자 DS 김태훈 0원
124 2023-08-30 12시 13시 4-2-6 OM Inspection 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 18,000원
125 2023-08-30 15시 16시 2-2-5 OM Inspection 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 158,000원
126 2023-08-31 11시 12시 8-5-6 OM Inspection 나노융합기술원 기술지원팀 박민지 9,000원
127 2023-08-31 13시 14시 12-1-6 OM Inspection / V1 Photo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
128 2023-08-31 9시 10시 1-1-5 OM Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
129 2023-09-04 10시 11시 5-1-7 OM Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
130 2023-09-04 14시 15시 3-1-7 GATE Photo OM Inspection 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 9,000원
131 2023-09-05 10시 12시 2-2-6 OM Inspection Fox 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
132 2023-09-05 10시 11시 OM Inspection 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 48,000원
133 2023-09-07 14시 15시 1-1-6 OM AKEY 삼성전자 DS 김태훈 0원
134 2023-09-08 10시 11시 1-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
135 2023-09-08 14시 15시 2-3-5 OM 2.0 PZT 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 9,000원
136 2023-09-08 16시 17시 5-2-6 OM Inspection 삼성전자 DS 김태훈 0원
137 2023-09-08 18시 19시 5-2-6 OM Inspection 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 18,000원
138 2023-09-08 9시 12시 SDC_C02 2차런 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 848,000원
139 2023-09-11 10시 11시 6-1-6 OM / M0 Photo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
140 2023-09-12 11시 12시 2-2-5 OM / M1-METAL LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
141 2023-09-12 13시 14시 1-1-6 Akey+iso OM
2023 나노융합고도화 사업		 주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 10,000원
142 2023-09-12 16시 17시 1-1-5 OM / Line Photo

2023년 나노융합기반고도화사업		 에스제이 영업 박상준 20,000원
143 2023-09-13 16시 17시 1-2-6 OM / Line Photo

2023년 나노융합기반고도화사업		 에스제이 영업 박상준 20,000원
144 2023-09-15 17시 18시 3-1-5 OM / Mask 3 Top Electrode 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 9,000원
145 2023-09-18 16시 17시 4-1-5 OM / Au Contact Photo 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 9,000원
146 2023-09-19 11시 12시 1-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
147 2023-09-19 12시 13시 1-1-5 OM / M2 ISO V3 Photo LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 30,000원
148 2023-09-19 19시 20시 5-1-5 OM 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 9,000원
149 2023-09-20 14시 15시 2-1-6 OM (Pwell) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 158,000원
150 2023-09-20 16시 17시 2-2-5 OM / 2ND MASK

2023년 나노융합기반고도화사업		 에스제이 영업 박상준 20,000원
151 2023-09-21 10시 12시 2-2-5 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 288,000원
152 2023-09-21 10시 11시 7-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
153 2023-09-21 14시 15시 1-1-6 OM AKEY 삼성전자 DS 김태훈 0원
154 2023-09-21 14시 15시 2-2-6 OM OHM OPEN

2023 나노융합고도화사업 		주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 10,000원
155 2023-09-22 14시 15시 1-2-5 OM ESTOP 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
156 2023-09-25 12시 13시 2-1-6 OM (Pwell) 나머지 7매 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
157 2023-09-25 13시 15시 2-1-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 30,000원
158 2023-09-25 15시 16시 WF#33, 34 M3 GaN V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
159 2023-09-25 16시 18시 8-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
160 2023-09-26 14시 15시 7-2-6 OM FOX 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 18,000원
161 2023-09-26 16시 17시 7-2-6 OM FOX 삼성전자 DS 김태훈 0원
162 2023-10-04 14시 15시 12-1-6 OM / V1 Photo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
163 2023-10-04 15시 16시 OM / M4 ISO Photo 진행 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 16,000원
164 2023-10-05 10시 11시 OM / M3 GAN ver3. WF 30 32 40 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
165 2023-10-05 15시 16시 LGE_42 M4 SiO2 V3-2 (Split test) WF33,34
OM		 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
166 2023-10-05 16시 17시 2-1-6 OM / PWELL Mask Photo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
167 2023-10-06 14시 15시 2-1-6 OM (TA Reticle) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 296,000원
168 2023-10-06 16시 17시 6-2-5 M3 PVX1 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 196,000원
169 2023-10-06 17시 18시 2-1-6 OM (TA Reticle) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
170 2023-10-09 11시 12시 2-2-5 M1 GaN OM
2-2-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 740,000원
171 2023-10-10 10시 11시 6-2-5 M3 PVX1 OM (1.5T) 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 156,000원
172 2023-10-10 11시 12시 2-3-5 M1 GaN OM
2-3-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 188,000원
173 2023-10-10 14시 15시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
174 2023-10-10 17시 18시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
175 2023-10-10 18시 19시 2-2-5 MLA 평가 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 288,000원
176 2023-10-11 11시 12시 1-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
177 2023-10-11 11시 12시 1-1-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
178 2023-10-11 13시 14시 3-1-5 Ohmic Layer OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
179 2023-10-11 15시 16시 2-2-4 M1 GaN Photo OM

CDSEM 확인 1매		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
180 2023-10-12 13시 14시 4-2-5 M2 ESTOP OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 48,000원
181 2023-10-12 15시 16시 7-1-5 M4 ITO Photo OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
182 2023-10-12 9시 10시 1-1-5 M5 MEAL V3 Photo OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
183 2023-10-13 13시 14시 8-1-5 AOPEN OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
184 2023-10-13 13시 14시 5-2-5 M3 PVX1 OM
5-2-6 M3 PVX1 CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 388,000원
185 2023-10-13 14시 15시 6-1-7 RCSS OM 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 9,000원
186 2023-10-13 15시 16시 9-1-7 PO OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
187 2023-10-16 10시 11시 9-1-5 PAD OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
188 2023-10-16 13시 14시 2-2-5 M1 GaN OM
2-2-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 244,000원
189 2023-10-16 17시 18시 1-2-5 OM M5 Metal V3 WF 30,32,40 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
190 2023-10-17 10시 11시 2-3-5 M1 GaN OM
2-3-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 388,000원
191 2023-10-17 14시 15시 7-1-5 M4 Common ITO OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 16,000원
192 2023-10-17 18시 19시 3-1-5 OM
2023년 나노융합기반고도화사업		 에스제이 영업 박상준 10,000원
193 2023-10-18 10시 11시 4-2-5 M2 ETSOP OM
5-0-2 CDSEM (3매)
5-0-5 CDSEM (1매)		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 432,000원
194 2023-10-18 13시 14시 1-1-6 OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
195 2023-10-18 16시 17시 9-1-5 OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
196 2023-10-18 17시 18시 1-1-6 OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
197 2023-10-19 10시 11시 2-1-5 M6 ISO V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
198 2023-10-19 13시 14시 4-2-5 M2 ESTOP OM 1매
4-2-6 M2 ESTOP CDSEM 1매		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
199 2023-10-19 16시 17시 4-2-5 OM M3 PVX1 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 296,000원
200 2023-10-19 9시 10시 8-1-5 M5 AOPEN OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
201 2023-10-20 10시 11시 5-1-5 M3 PVX1 OM
5-1-6 M3 PVX1 CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 444,000원
202 2023-10-20 10시 11시 Metal 포토 이전, KEY OPEN Step OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
203 2023-10-20 11시 12시 6-2-5 M3 PVX1 OM 1매
6-2-6 M3 PVX1 CDSEM 1매		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
204 2023-10-20 13시 14시 6-2-5 M3 PVX1 OM
6-2-6 M3 PVX1 CDSEM
 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 580,000원
205 2023-10-20 14시 15시 4-2-6 Metal OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
206 2023-10-23 13시 14시 2-2-5 M1 GaN OM
2-2-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 380,000원
207 2023-10-23 14시 15시 L4 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
208 2023-10-24 13시 14시 4-2-5 M2 ESTOP OM 1매 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 8,000원
209 2023-10-24 14시 15시 4-2-5 M2 ESTOP OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 72,000원
210 2023-10-25 15시 16시 5-1-5 M3 PVX1 OM
5-1-6 M3 PVX1 CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 196,000원
211 2023-10-26 10시 11시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 296,000원
212 2023-10-26 13시 14시 5-1-5 PAS2 M3 PVX1 OM
5-1-6 PAS2 M3 PVX1 CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 796,000원
213 2023-10-26 14시 15시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
214 2023-10-26 16시 17시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
215 2023-10-26 17시 18시 5-1-5 M3 PVX1 OM
5-1-6 M3 PVX1 CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 740,000원
216 2023-10-27 13시 14시 8-5-6 Layer7 OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
217 2023-10-27 15시 16시 8-5-6 Layer7 OM 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 18,000원
218 2023-10-29 15시 16시 10-1-6 OM L8 Ohmic 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
219 2023-10-29 17시 18시 10-1-6 OM L8 Ohmic 삼성전자 DS 김태훈 0원
220 2023-10-30 13시 15시 9-1-7 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
221 2023-10-31 13시 14시 1-2-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
222 2023-10-31 14시 15시 7-1-5 M4 Common ITO OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 8,000원
223 2023-11-02 10시 11시 1-2-5 Mesa OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 9,000원
224 2023-11-02 17시 18시 8-1-6 OM M4 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 9,000원
225 2023-11-03 13시 14시 3-2-6 OHM METAL OM

2023년 나노융합고도화사업		 주식회사 에이프로세미콘 기술연구소 조영우 10,000원
226 2023-11-06 10시 11시 1-1-5 OM 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 8,000원
227 2023-11-06 11시 12시 11-1-6 Via Gate OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
228 2023-11-06 11시 12시 11-1-4 Via Gate OM 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
229 2023-11-06 15시 16시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
230 2023-11-07 10시 11시 12-2-6 KEY OPEN OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
231 2023-11-07 11시 12시 12-2-6 KEY OPEN OM 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
232 2023-11-07 15시 16시 2-1-6 OM Si wafer 4매 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
233 2023-11-07 17시 18시 2-1-6 OM SiC wafer 1매 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
234 2023-11-08 13시 14시 9-1-7 Pad Open OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
235 2023-11-08 14시 15시 2-1-3 Align/Expo SiC wafer 4매 Ta 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
236 2023-11-08 16시 17시 9-1-6 OM M5 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 9,000원
237 2023-11-13 14시 15시 13-1-6 OM Metal 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
238 2023-11-13 16시 17시 13-1-6 OM Metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 0원
239 2023-11-14 14시 15시 2-2-7 OM JFET 삼성전자 DS 김태훈 0원
240 2023-11-15 10시 11시 1-2-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
241 2023-11-15 11시 12시 1-2-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
242 2023-11-15 11시 12시 2-2-7 OMJFET 삼성전자 DS 김태훈 0원
243 2023-11-17 15시 16시 11-1-6 L9 Via Gate OM 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
244 2023-11-21 10시 11시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
245 2023-11-21 10시 11시 2-2-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
246 2023-11-21 11시 12시 9-1-7 PO OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
247 2023-11-21 15시 17시 SL009,10,11 Rework Ta Reticle 1st 포토
OM		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 296,000원
248 2023-11-21 17시 18시 1-1-5 OM (Stepper)

1-1-5 OM (Aligner)		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 18,000원
249 2023-11-22 14시 15시 3-2-5 M4 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
250 2023-11-22 15시 16시 L5 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
251 2023-11-22 15시 16시 1-2-5 M3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
252 2023-11-22 16시 17시 1-1-5 OM 고려대학교 제어계측공학과 김진혁 10,000원
253 2023-11-23 14시 15시 9-1-6 PO OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
254 2023-11-23 17시 18시 12-2-6 OM (key open) 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
255 2023-11-24 14시 15시 1-1-5 Line OM

2023년 나노융합기반고도화사업		 에스제이 영업 박상준 10,000원
256 2023-11-24 16시 17시 1-1-6 AKEY OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
257 2023-11-27 10시 11시 13-1-6 L10_Metal OM 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 9,000원
258 2023-11-27 11시 12시 2-2-7 M02_JFET OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
259 2023-11-27 11시 12시 4-2-5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
260 2023-11-27 14시 16시 1-2-5 M2 ISO V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
261 2023-11-27 15시 17시 2-2-6 JFET OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
262 2023-11-27 9시 10시 1-1-5 OM 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 8,000원
263 2023-11-29 11시 12시 5-2-6 Passivation OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
264 2023-11-29 14시 15시 WF 1,2 Passivation OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
265 2023-11-29 14시 18시 SDC_U10, U11 OM 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 120,000원
266 2023-11-29 9시 10시 2-2-5 inspect LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
267 2023-12-01 14시 15시 9-1-7 inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 24,000원
268 2023-12-04 13시 14시 L0 Layer OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
269 2023-12-04 14시 15시 WF 3,4,5 PSPI Passi OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
270 2023-12-04 16시 17시 L6 Layer OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
271 2023-12-07 14시 15시 13-1-6 L10 Metal OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 24,000원
272 2023-12-07 9시 10시 WF43 45 M4 SiO2 V3-2 inspect LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
273 2023-12-08 14시 15시 3-2-7 Pwell Inspection 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
274 2023-12-09 12시 13시 6-2-7 OM
6-2-8 CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
275 2023-12-09 14시 15시 6-2-7 OM
6-2-8 CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
276 2023-12-11 15시 16시 4-2-6 Nplus Inspection YPP-1700 TEST 진행 (Rework 포함 총 4회, 기본료 개별 청구)

+ CDSEM image 저장		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 592,000원
277 2023-12-12 16시 17시 6-2-7 JTE OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
278 2023-12-12 17시 18시 4-2-5 M5-Metal-V3 Inspect (WF#43,45) LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 20,000원
279 2023-12-12 18시 19시 6-2-7 OM JTE 삼성전자 DS 김태훈 0원
280 2023-12-14 9시 10시 OM
CDSEM

SDC Hot Run 청구		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 16,848,000원
281 2023-12-15 14시 15시 1-1-5 inspection 코닝정밀소재주식회사 S&C 송창원 10,000원
282 2023-12-18 10시 11시 3-2-7 OM (Pwell) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 8,000원
283 2023-12-18 10시 11시 3-2-7 OM (P well) 삼성전자 DS 김태훈 0원
284 2023-12-18 14시 15시 3-2-7 OM (P well) 삼성전자 DS 김태훈 0원
285 2023-12-18 16시 17시 SL021 Pwell 포토 PECVD Ox 적용 2매 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 156,000원
286 2023-12-20 11시 12시 2-1-6 TA Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
287 2023-12-20 14시 15시 2-1-6 TA Inspect (CDSEM 1ea) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
288 2023-12-20 16시 17시 2-1-6 TA Inspect (CDSEM 1ea) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
289 2023-12-21 11시 12시 2-1-5 M1 Metal V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 20,000원
290 2023-12-21 15시 16시 1-1-5 AKEY OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
291 2023-12-22 13시 14시 1-1-5 inspection

2023년 나노융합기반고도화사업		 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 10,000원
292 2023-12-22 17시 18시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
293 2023-12-27 13시 14시 2-1-6 ISO OM

2023년 나노융합기반 고도화 사업		 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 10,000원
294 2023-12-27 14시 15시 2-1-6 RX OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
295 2023-12-28 13시 14시 M1 OM (주)엔디디 연구소 최영환 0원
296 2024-01-02 11시 12시 1-2-5 inspect LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
297 2024-01-02 13시 14시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
298 2024-01-02 14시 15시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
299 2024-01-03 14시 15시 3-2-7 Pwell OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
300 2024-01-03 16시 17시 3-2-7 Pwell OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
301 2024-01-04 14시 15시 5-1-7 MC OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
302 2024-01-04 16시 17시 L6, L2, L4 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 27,000원
303 2024-01-05 14시 15시 5-2-5 OM M6 ISO V3 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
304 2024-01-08 10시 11시 4-1-7 PG OM

2023년 나노융합기반고도화사업		 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
305 2024-01-08 11시 12시 3-2-5 M5 Metal V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
306 2024-01-08 13시 14시 1-1-5 TLM MESA OM AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 10,000원
307 2024-01-09 13시 14시 6-1-6 M0 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
308 2024-01-11 16시 17시 1-1-5 AKEY OM (rework) AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 10,000원
309 2024-01-11 17시 18시 M3 Active ITZO OM
2023년 나노융합기반고도화사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 0원
310 2024-01-11 17시 18시 1-1-5 AKEY OM AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 10,000원
311 2024-01-12 11시 12시 1-1-5 TEST Reticle OM 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 권민규 8,000원
312 2024-01-12 13시 14시 3-2-5 M2 ISO V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
313 2024-01-12 14시 15시 6-1-5 M7 GAN V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
314 2024-01-15 10시 11시 4-1-5 M3 GAN V3 Inspect LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
315 2024-01-15 10시 11시 5-2-7 P+ OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
316 2024-01-15 13시 14시 5-2-7 P+ OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
317 2024-01-16 13시 14시 1-1-5 M2 HHJ OM 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 8,000원
318 2024-01-17 13시 14시 2-1-5 TLM METAL OM AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 20,000원
319 2024-01-17 14시 15시 7-1-6 V0 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
320 2024-01-17 15시 16시 L0, L1, L6 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 27,000원
321 2024-01-18 13시 14시 2-2-7 JFET OM
2-2-7 JFET CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
322 2024-01-18 14시 15시 2-2-7 JFET OM
2-2-8 JFET CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
323 2024-01-18 15시 16시 5-2-5 M8 SiO2 V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
324 2024-01-18 17시 18시 2-2-7 JFET OM
2-2-8 JFET CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
325 2024-01-22 13시 14시 2-1-5 TLM OM AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 40,000원
326 2024-01-22 16시 17시 L5 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
327 2024-01-22 9시 10시 7-1-5 Inspect

2023년 나노융합기반고도화사업		 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
328 2024-01-23 10시 11시 5-2-5 M4 SiO2 V3-2 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
329 2024-01-24 15시 17시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 444,000원
330 2024-01-24 9시 10시 SL021 Revision N+ 포토 테스트 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
331 2024-01-26 10시 11시 1-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 24,000원
332 2024-01-29 11시 12시 M4 S/D OM
2023 나노융합기반 고도화 사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 0원
333 2024-01-29 14시 15시 8-3-7 Active 포토 OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
334 2024-01-29 16시 17시 8-3-7 Active 포토 OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
335 2024-01-31 9시 10시 1-1-5 OM 싸니코전자(주) 개발팀 최주헌 10,000원
336 2024-02-01 10시 11시 SL021 N+ Revision mask (1.8um) 패턴 확인
OM		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 444,000원
337 2024-02-01 10시 11시 1-1-5 1st layer OM
1-1-6 1st layer CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 256,000원
338 2024-02-01 14시 15시 3-2-7 Pwell OM
3-2-8 Pwell CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
339 2024-02-01 16시 17시 2-1-5 CTLM METAL OM (Rework) AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 10,000원
340 2024-02-02 11시 12시 6-2-3 M5 Metal V3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
341 2024-02-05 14시 15시 M5 Top Metal OM
2023년 나노융합기반 고도화사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 0원
342 2024-02-05 16시 17시 2-1-6 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 148,000원
343 2024-02-06 10시 11시 1-2-5 M1 GaN OM
1-2-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
344 2024-02-06 11시 12시 M6 insulator OM
2023 나노융합기반 고도화사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 0원
345 2024-02-06 14시 15시 L2 1st 포토 (SiO2 Wafer) 9매 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
346 2024-02-06 16시 17시 L4 포토 (TiN & SiO2 Wafer) 2매 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
347 2024-02-06 17시 18시 L2 포토 (TiN & SiO2 Wafer) 9매 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
348 2024-02-06 18시 19시 3-2-5 M2 ISO OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
349 2024-02-07 13시 14시 1-1-5 OM 코닝정밀소재주식회사 S&C 송창원 10,000원
350 2024-02-07 14시 15시 1-2-5 M1 GaN OM (선행)
1-2-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
351 2024-02-07 15시 16시 1-3-5 M1 GaN OM
1-3-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 8,000원
352 2024-02-07 16시 17시 3-2-7 Pwell OM
3-2-8 Pwell CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
353 2024-02-07 17시 18시 SGT_23,24 OM 삼성전자 VD 사업부 이기원 720,000원
354 2024-02-07 18시 19시 3-2-7 Pwell OM
3-2-8 Pwell CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
355 2024-02-13 10시 11시 9-1-5 PO OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 24,000원
356 2024-02-13 11시 12시 4-1-5 M3 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
357 2024-02-13 14시 15시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 DS 김태훈 27,000원
358 2024-02-13 16시 17시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 DS 김태훈 27,000원
359 2024-02-14 11시 12시 2-2-7 JFET OM
2-2-8 JFET CDSEM
 삼성전자 DS 김태훈 0원
360 2024-02-14 13시 14시 2-1-5 M1 GaN OM (선행)
2-1-6 M1 GaN CDSEM (선행)		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
361 2024-02-14 14시 15시 2-2-5 M1 GaN OM
2-2-6 M1 GaN CDSEM		 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 8,000원
362 2024-02-15 14시 15시 4-2-7 OM/CD-SEM N+ 삼성전자 DS 김태훈 0원
363 2024-02-15 17시 18시 4-2-7 OM/CD-SEM N+ 삼성전자 DS 김태훈 0원
364 2024-02-16 11시 12시 5-2-5 M4 SiO2 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
365 2024-02-16 15시 16시 8-1-7 OM M1 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
366 2024-02-19 10시 11시 4-3-5 M5 OM LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 20,000원
367 2024-02-19 9시 10시 8-1-6 OM Inspect (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 0원
368 2024-02-20 16시 17시 12-1-6 V1 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 16,000원
369 2024-02-20 9시 10시 5-2-5 M4 OM Rework LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
370 2024-02-21 10시 11시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
371 2024-02-21 14시 15시 2-1-6 TA OM 삼성전자 DS 김태훈 149,000원
372 2024-02-21 16시 17시 L1 OM

CASE 1
M3 KEY 사용 Align		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
373 2024-02-21 18시 19시 L1 OM

CASE 2
M0 KEY 사용 Align		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 9,000원
374 2024-02-23 14시 15시 2-2-7 JFET OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
375 2024-02-26 13시 14시 3-2-5 M2 OM (선행) 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,000원
376 2024-02-26 15시 16시 3-2-4 M2 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 8,000원
377 2024-02-27 15시 16시 6-2-5 Inspection LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
378 2024-02-28 12시 13시 LGE_54-1 M5 Metal V3 Hot run 추가비용
OM		 LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 10,000원
379 2024-02-28 13시 15시 2023년 나노융합기반 고도화 사업
1-1-5 OM
5um Defect split		 (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 0원
380 2024-02-28 14시 15시 M1 Mesa OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 박정현 9,000원
381 2024-02-29 9시 10시 5-4 OM 에스케이스페셜티(주) 연구개발실 이지훈 10,000원
382 2024-03-04 10시 11시 2-1-5 OM 2nd middle 포토 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 9,000원
383 2024-03-04 14시 15시 3-2-5 M2 OM (선행) + CDSEM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 148,500원
384 2024-03-04 15시 16시 3-2-5 M2 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 8,500원
385 2024-03-05 13시 14시 1-2-5 OM

2023년 나노융합기반 고도화 사업		 (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 0원
386 2024-03-05 14시 15시 1-1-5 OM

2023년 나노융합기반 고도화 사업		 (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 0원
387 2024-03-11 13시 14시 1-1-5 OM (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 10,000원
388 2024-03-11 14시 15시 Inspect 조선대학교 기계공학과 강양준 10,000원
389 2024-03-11 16시 17시 1-1-6 AKEY OM 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
390 2024-03-11 18시 19시 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 8,000원
391 2024-03-12 10시 11시 1-2-5 50um Defect OM (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 10,000원
392 2024-03-12 14시 15시 1-1-5 OM 코닝정밀소재주식회사 S&C 송창원 10,000원
393 2024-03-13 11시 12시 5-2-7 P+ OM
5-2-8 P+ CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
394 2024-03-13 15시 16시 1-2-5 OM 선행 1매 M1 GaN 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 151,000원
395 2024-03-13 15시 16시 5-2-7 P+ OM
5-2-8 P+ CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
396 2024-03-13 16시 17시 1-3-5 OM M1 GaN 나머지 3매 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 8,500원
397 2024-03-14 15시 16시 2-2-6 Pwell OM 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
398 2024-03-18 10시 11시 1-1-5 OM (Backside 진행) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 8,000원
399 2024-03-18 14시 15시 2-1-6 Pwell OM 삼성전자 DS 김태훈 160,000원
400 2024-03-19 14시 15시 2-1-6 TA Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
401 2024-03-20 10시 11시 2-1-6 TA Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
402 2024-03-20 11시 12시 5um defect split 추가 4매
OM		 (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 20,000원
403 2024-03-20 13시 14시 1-2-6 OM 선행 1매 M1 GaN 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 159,500원
404 2024-03-20 14시 15시 2-1-6 Pwell Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
405 2024-03-26 11시 12시 1-2-5 M1 Bottom Gate OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
406 2024-03-26 14시 15시 2-3-5 2nd Middle OM 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 18,000원
407 2024-03-27 11시 12시 6-2-7 JTE OM
6-2-8 JTE CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
408 2024-03-27 13시 14시 3-2-5 PVX1 OM (선행) 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 17,000원
409 2024-03-27 14시 15시 3-2-5 PVX1 OM 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 159,500원
410 2024-03-28 14시 15시 4-2-7 OM N+
 삼성전자 DS 김태훈 0원
411 2024-03-29 10시 11시 4-2-7 Nplus Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
412 2024-03-29 14시 15시 4-2-7 Nplus Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
413 2024-04-02 10시 11시 3-1-5 Inspect 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 18,000원
414 2024-04-02 16시 17시 2-2-5 M3 Active OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
415 2024-04-02 19시 20시 1-1-7 OM AKEY 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
416 2024-04-03 11시 12시 4-1-5 Au Contact OM 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 18,000원
417 2024-04-03 14시 15시 3-2-6 Nplus OM 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
418 2024-04-03 15시 16시 추가 1매 OM (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 20,000원
419 2024-04-04 14시 15시 3-2-5 SD OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
420 2024-04-04 16시 17시 5-1-5 OM Back DRIE 포토 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 18,000원
421 2024-04-05 15시 16시 5-2-7 Pplus OM
5-2-8 Pplus CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
422 2024-04-05 19시 20시 1-1-5 OM AKEY 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
423 2024-04-08 10시 11시 25um pattern 추가 4매 AZ4330 OM (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 20,000원
424 2024-04-08 13시 14시 50um defect 추가 3매 OM (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 20,000원
425 2024-04-08 14시 15시 3-1-7 Gate OM 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
426 2024-04-09 11시 12시 4-3-5 Gate OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
427 2024-04-09 13시 14시 2-1-6 Pwell OM 삼성전자 Power device팀 박종원 320,000원
428 2024-04-09 14시 15시 1-1-6 OM 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
429 2024-04-09 8시 9시 2-1-5 RX OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
430 2024-04-11 14시 15시 1-1-5 OM 코닝정밀소재주식회사 S&C 송창원 20,000원
431 2024-04-11 19시 20시 5-1-5 M6 OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
432 2024-04-12 16시 17시 8-3-7 OM Active 삼성전자 DS 김태훈 0원
433 2024-04-12 19시 20시 2-1-6 OM 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
434 2024-04-15 10시 11시 8-3-7 M7 Active Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
435 2024-04-16 14시 15시 6-1-7 M3 OMR OM 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
436 2024-04-17 10시 11시 2-2-6 Pwell Insepct 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
437 2024-04-17 14시 15시 240416 L1 패턴 6매 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
438 2024-04-17 16시 17시 4-2-6 Pplus OM 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
439 2024-04-19 10시 11시 3-1-6 L10 METAL OM 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
440 2024-04-19 11시 12시 9-4-6 Gate Poly Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
441 2024-04-19 14시 15시 8-1-6 M4 OHM OM 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
442 2024-04-20 11시 12시 11-1-6 OM S.CONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
443 2024-04-22 10시 11시 L2 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
444 2024-04-22 14시 15시 5-2-7 Pplus Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
445 2024-04-22 16시 17시 5-2-7 Pplus Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
446 2024-04-22 19시 20시 1-2-5 OM Heater
ICT 제품화 지원사업		 마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 20,000원
447 2024-04-22 21시 22시 4-1-5 OM L11 M2 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
448 2024-04-23 14시 15시 5-1-6 MC OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
449 2024-04-23 15시 16시 12-1-6 Gate Contact Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
450 2024-04-24 14시 15시 14-1-6 Key Open OM 파워마스터반도체 주식회사 생산 김태훈 0원
451 2024-04-24 9시 10시 1-1-6 AKEY OM 삼성전자 Power device팀 박종원 20,000원
452 2024-04-25 11시 12시 9-1-6 M5 Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
453 2024-04-25 14시 15시 L3 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
454 2024-04-25 15시 16시 9-4-6 GPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
455 2024-04-25 16시 17시 2-1-5 NINT Line&Space Mask Inspect 연세대학교 화공생명공학과 이승효 20,000원
456 2024-04-25 18시 19시 9-4-6 GPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
457 2024-04-25 9시 10시 15-1-6 Metal inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
458 2024-04-26 20시 21시 5-2-6 OM JFET 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
459 2024-04-30 10시 11시 1-1-5 AKEY OM AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 20,000원
460 2024-05-02 10시 11시 5-1-8 L11 Passi OM 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
461 2024-05-02 14시 15시 9-4-6 Gpoly Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
462 2024-05-02 16시 17시 9-4-6 Gpoly Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
463 2024-05-02 21시 22시 L4 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
464 2024-05-03 15시 16시 Inspect 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 16,000원
465 2024-05-03 17시 18시 Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 16,000원
466 2024-05-07 10시 11시 1-2-5 NINT Cap Inspect 포항공과대학교 전자전기공학과 류용우 16,000원
467 2024-05-07 18시 19시 1-1-7 CTLM OM 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 16,000원
468 2024-05-09 10시 11시 11-1-6 M10_CONTGPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
469 2024-05-09 16시 17시 2-1-6 TA OM/CDSEM 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
470 2024-05-09 8시 9시 M10_CONTGPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
471 2024-05-10 13시 14시 13-1-6 KEY Open OM 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
472 2024-05-10 14시 15시 13-1-6 KEY Open OM 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
473 2024-05-13 13시 14시 2-2-5 Backside photo Inspect

ICT 제품화 지원사업		 마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 20,000원
474 2024-05-13 16시 17시 7-2-6 Layer6_FOX Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
475 2024-05-13 18시 19시 14-1-3 Metal Inspect (CDSEM 포함) 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
476 2024-05-13 20시 21시 14-1-5 Metal Inspect (CDSEM 포함) 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
477 2024-05-14 14시 15시 1-2-5 NINT_Cap Inspect 포항공과대학교 전자전기공학과 류용우 16,000원
478 2024-05-14 17시 18시 6-2-7 JTE OM
6-2-8 JTE CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
479 2024-05-14 19시 20시 5-2-7 JTE OM
5-2-8 JTE CDSEM		 삼성전자 DS 김태훈 0원
480 2024-05-16 11시 12시 4-2-7 N+ Inspect 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
481 2024-05-16 14시 15시 1-2-5 M1 Bottom Gate OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
482 2024-05-16 16시 17시 2-1-5 No.2 Middle PZT OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
483 2024-05-16 18시 19시 1-1-6 No.1 Bottom Electrode OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
484 2024-05-16 9시 10시 2-2-7 JFET Inspect 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
485 2024-05-17 16시 17시 17-2-7 M12 PSPI OM 삼성전자 DS 김태훈 0원
486 2024-05-17 19시 20시 Inspect 포항공과대학교 화학공학과 정충환 7,000원
487 2024-05-20 14시 15시 지아이에스 추가청구 필요 (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 20,000원
488 2024-05-21 8시 9시 1-1-5 AKEY Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
489 2024-05-22 11시 12시 2-1-6 ISO Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
490 2024-05-22 12시 13시 9-4-6 M08_GPOLY Inspect (WF02, 05) 삼성전자 DS 김태훈 0원
491 2024-05-22 14시 15시 2-3-5 Mask No.2 Inspect 나노콘 연구소 주종호 18,000원
492 2024-05-22 17시 18시 2-2-5 M3 Active OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
493 2024-05-22 9시 10시 9-4-6 M08_GPOLY Inspect (WF05) 삼성전자 DS 김태훈 0원
494 2024-05-23 14시 15시 2-1-5 CTLM MASK Inspect AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 20,000원
495 2024-05-23 16시 17시 3-2-6 Nplus Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
496 2024-05-24 14시 15시 11-1-6 M09_CONT Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
497 2024-05-24 16시 17시 11-1-6 M09_CONT Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
498 2024-05-24 20시 21시 3-2-5 M4 OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
499 2024-05-27 17시 18시 2-3-5 Middle PZT OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
500 2024-05-27 9시 10시 1-2-5 OM 고려대학교 제어계측공학과 최길영 20,000원
501 2024-05-28 12시 13시 Rework Inspect 나노콘 연구소 주종호 18,000원
502 2024-05-28 15시 16시 8-5-6 Layer7_PolySi Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
503 2024-05-28 17시 18시 5-2-8 M05_PPLUS Inspect 삼성전자 Power device팀 박종원 470,000원
504 2024-05-28 19시 20시 2-1-3 Middle PZT OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
505 2024-05-29 11시 12시 12-1-6 M10_CONTGPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
506 2024-05-29 16시 17시 8-3-7 Active OM/CDSEM 삼성전자 DS 김태훈 0원
507 2024-05-29 9시 10시 12-1-6 M10_CONTGPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
508 2024-05-31 12시 13시 2-2-5 Inspect LG전자 차세대디스플레이연구소 장성규 20,000원
509 2024-05-31 17시 18시 4-3-5 M5 Top Gate OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
510 2024-05-31 20시 21시 4-2-6 L4 P+ OM 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
511 2024-05-31 8시 9시 3-1-7 CK06508_PG inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
512 2024-06-03 11시 12시 14-1-6 M01_ZERO Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
513 2024-06-03 13시 14시 14-1-6 M01_ZERO Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
514 2024-06-03 15시 16시 3-1-5 Top Electrode OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
515 2024-06-03 17시 18시 5-1-5 M6 Insulator OM

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
516 2024-06-03 19시 20시 15-1-6 OM Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
517 2024-06-03 20시 21시 15-1-6 OM Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
518 2024-06-03 9시 10시 10-1-6 FlatZone Open Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
519 2024-06-04 14시 15시 4-1-5 L4 Au Contact OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
520 2024-06-04 9시 10시 10-1-6 Layer_Ohm Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
521 2024-06-05 13시 14시 2-1-5 CTLM Inspect AP시스템(주) 디스플레이 장비사업본부 최동혁 20,000원
522 2024-06-07 9시 10시 4-1-6 Layer_OC OM 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
523 2024-06-10 11시 12시 11-1-6 Layer_ViaGate Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
524 2024-06-11 9시 10시 12-2-6 KEY Open Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
525 2024-06-12 15시 16시 2-1-6 TA Inspect 삼성전자 Power device팀 박종원 20,000원
526 2024-06-12 8시 9시 13-1-6 Power Metal Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
527 2024-06-12 9시 10시 1-1-5 5in_231218_NINT_KSJ Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 16,000원
528 2024-06-13 11시 12시 1-2-5 AT Teg-1 Inspect 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 16,000원
529 2024-06-13 14시 15시 1-1-6 CTLM Inspect 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 16,000원
530 2024-06-13 9시 10시 1-1-5 M depo Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 16,000원
531 2024-06-14 9시 10시 5-1-6 OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
532 2024-06-17 11시 12시 HOLD 1매 Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
533 2024-06-17 12시 13시 6-1-6 GFT Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
534 2024-06-17 13시 14시 1-1-6 CTLM OM 포항공과대학교 반도체기술융합센터 김준 16,000원
535 2024-06-17 9시 10시 2-3-5 Middle PZT Align/Expo 나노콘 연구소 주종호 18,000원
536 2024-06-18 11시 12시 1-2-5 OM inspection
ICT 제품화 지원사업		 마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 20,000원
537 2024-06-19 11시 12시 9-4-6 M08_GPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
538 2024-06-19 13시 14시 3-2-7 M03_PWELL Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
539 2024-06-19 9시 10시 2-1-6 PWELL Inspect 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
540 2024-06-20 10시 12시 2-2-5 OM
ICT 제품화 지원사업		 마이크로어낼리시스(주) 마이크로어낼리시스 (주) 안재훈 40,000원
541 2024-06-20 9시 10시 9-4-6 M08_GPOLY Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
542 2024-06-21 11시 12시 3-1-5 Top Electrode OM 나노콘 연구소 주종호 18,000원
543 2024-06-21 18시 19시 3-1-5 PSPI ADI 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
544 2024-06-21 8시 11시 전문인력양성사업 소자공정실습 Inspect 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 250,000원
545 2024-06-24 11시 12시 3-1-6 M11-A_METAL Inspect 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
546 2024-06-24 7시 9시 포스텍 차세대공유혁신대학 나노 반도체공정 실습교육 Inspect 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 62,500원
547 2024-06-24 9시 10시 3-1-8 M12-A PSPI Inspect 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
548 2024-07-02 13시 14시 7-1-6 GHD Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
549 2024-07-02 14시 15시 6-1-8 PSPI OM (선행) 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
550 2024-07-03 16시 17시 ICT 제품화 지원사업

담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)

8inch test wafer 3ea, DNR OM Inspect		 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 20,000원
551 2024-07-04 12시 13시 15-1-5 Layer11_M2 Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
552 2024-07-08 13시 14시 M2 E-beam Metal 평가용 1매 OM Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
553 2024-07-08 15시 16시 ICT 제품화 지원사업

담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)

8inch test wafer 3ea, OM Insepct		 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 20,000원
554 2024-07-09 13시 14시 M2 Furnace Metal 평가용 1매 OM Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
555 2024-07-10 14시 15시 1-1-5 AKEY Insect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
556 2024-07-10 15시 16시 M2 Metal test용 Bare SI 1매 포토 진행.

OM Inspect		 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
557 2024-07-11 11시 12시 15-1-5 WF#2 M2 OM Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
558 2024-07-11 13시 14시 2-1-6 RX Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
559 2024-07-12 17시 18시 16-1-8 PI Inspect 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
560 2024-07-15 9시 10시 1-1-5 OM Inspect 한국생산기술연구원 극한공정제어그룹 윤성도 20,000원
561 2024-07-16 9시 10시 2-0-5 AT TEG-1 Layer1 OM Inspect 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 16,000원
562 2024-07-17 10시 11시 5-1-5 Back Inspect 나노콘 연구소 주종호 18,000원
563 2024-07-17 8시 9시 1-1-5 OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 그래핀스퀘어주식회사 기획관리팀 권회창 20,000원
564 2024-07-17 9시 10시 4-1-5 Au Contact OM Inspect 나노콘 연구소 주종호 18,000원
565 2024-07-18 14시 15시 5-1-3 No.5 Membrane OM Inspect 나노콘 연구소 주종호 18,000원
566 2024-07-19 9시 10시 1-1-6 CTLM Align/Expo OM Inspect 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 16,000원
567 2024-07-22 10시 11시 9-4-6 Gpoly OM + CDSEM Inspect (2매, WF2 / WF4) 삼성전자 DS 김태훈 0원
568 2024-07-23 14시 15시 1-1-6 TA OM Inspect
1-1-7 TA CDSEM Inspect (2ea)		 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
569 2024-07-23 9시 10시 2-1-6 TA OM Inspect
2-1-6 TA Cdsem Inspect		 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
570 2024-07-24 11시 12시 PSPI OM 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
571 2024-07-24 11시 12시 1-1-5 OM 코닝정밀소재주식회사 S&C 송창원 20,000원
572 2024-07-25 9시 10시 1-2-5 M1 Bottom Gate OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
573 2024-07-30 10시 11시 4-2-7 Nplus OM Inspect + CDSEM 삼성전자 DS 김태훈 0원
574 2024-07-30 9시 10시 1-1-7 AT TEG-1 Inspect 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 16,000원
575 2024-07-31 9시 10시 2-1-6 TA OM Inspect
2-1-7 TA CDSEM Inspect		 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
576 2024-08-01 14시 15시 1-1-5 M1 OM Inspect 포항공과대학교 물리학과 유민우 10,000원
577 2024-08-01 18시 19시 2-1-6 PWELL OM Inspect
2-1-7 PWELL CDSEM Inspect		 삼성전자 Power device팀 박종원 320,000원
578 2024-08-01 9시 10시 OM Inspect 전북대학교 전자정보공학부 박선영 20,000원
579 2024-08-02 9시 10시 2-1-5 M2 OM Inspect 포항공과대학교 물리학과 유민우 10,000원
580 2024-08-05 11시 12시 5-2-6 JFET OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
581 2024-08-05 15시 16시 12-1-6 G.CONT OM Inspect
12-1-7 G.CONT CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
582 2024-08-05 9시 10시 11-1-6 CONT OM Inspect
11-1-7 CONT CDSEM Inspect
 삼성전자 DS 김태훈 0원
583 2024-08-06 10시 11시 8-3-7 OM Active 삼성전자 DS 김태훈 0원
584 2024-08-06 15시 16시 12-1-6 CONT.G OM Inspect
12-1-7 CONT.G CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
585 2024-08-06 19시 20시 13-1-6 OM Key open 삼성전자 DS 김태훈 20,000원
586 2024-08-07 11시 12시 1-1-5 OM Inspect 코닝정밀소재주식회사 S&C 송창원 20,000원
587 2024-08-07 14시 15시 1-1-5 AKEY OM Inspect 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
588 2024-08-07 15시 16시 14-1-6 Key Open OM Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
589 2024-08-08 10시 11시 2-1-5 OM Inspect 연세대학교 화공생명공학과 이승효 20,000원
590 2024-08-08 18시 19시 15-1-6 OM Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
591 2024-08-08 19시 20시 1-1-5 OM AKEY
 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
592 2024-08-08 9시 10시 14-1-6 Metal OM Inspect 삼성전자 DS 김태훈 170,000원
593 2024-08-09 9시 10시 2-1-5 OM Inspect (주)지아이에스 지아이에스 부설연구소 이민재 20,000원
594 2024-08-12 9시 10시 5-1-7 MC OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
595 2024-08-13 10시 11시 2-1-6 OM RX 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
596 2024-08-13 9시 10시 1-2-6 OM Inspect
1-2-7 CDSEM Inspect		 한국과학기술원 기계공학과 김태영 320,000원
597 2024-08-16 10시 11시 9-4-6 Gpoly OM Inspect
9-4-7 Gpoly CDSEM Inspect 		삼성전자 DS 김태훈 0원
598 2024-08-16 14시 15시 9-4-6 Gpoly OM Inspect
9-4-7 Gpoly CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
599 2024-08-16 9시 10시 6-1-6 M0 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
600 2024-08-19 11시 12시 7-2-6 OM Fox 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
601 2024-08-20 14시 15시 L5 OM Inspect 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
602 2024-08-20 19시 20시 11-1-6 OM CONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
603 2024-08-20 21시 22시 11-1-6 OM CONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
604 2024-08-21 13시 14시 5-1-6 MC OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
605 2024-08-21 9시 10시 11-1-6 CONT OM Inspect
11-1-7 CONT CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
606 2024-08-22 10시 11시 2-1-6 TA OM Inspect
2-1-7 TA CDSEM Inspect		 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
607 2024-08-22 14시 15시 1-1-5 OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 그래핀스퀘어주식회사 기획관리팀 권회창 20,000원
608 2024-08-23 11시 12시 12-1-6 CONTG OM Inspect
12-1-7 CONTG CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
609 2024-08-23 17시 18시 12-1-6 OM GATECONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
610 2024-08-26 10시 11시 3-1-5 OM Inspect 포항공과대학교 대학원 반도체대학원 박휘승 16,000원
611 2024-08-26 10시 11시 6-1-6 M0 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
612 2024-08-26 14시 15시 OM Inspect 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
613 2024-08-26 14시 15시 15-1-7 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
614 2024-08-26 15시 16시 7-1-6 V0 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
615 2024-08-26 19시 20시 14-1-6 OM Key open 삼성전자 DS 김태훈 0원
616 2024-08-26 21시 22시 14-1-6 OM Key open 삼성전자 DS 김태훈 0원
617 2024-08-27 10시 11시 7-1-6 V0 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
618 2024-08-27 14시 15시 1-1-5 OM Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 16,000원
619 2024-08-27 21시 22시 8-1-7 OM 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
620 2024-08-27 8시 9시 DNR-L300 OM Inspect 포항공과대학교 대학원 IT융합공학과 김기영 16,000원
621 2024-08-28 11시 12시 15-1-6 Metal OM Inspect
15-1-7 Metal CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
622 2024-08-28 13시 14시 9-1-6 PO09B OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
623 2024-08-28 9시 10시 15-1-6 METAL OM Inspect
15-1-7 METAL CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
624 2024-08-29 10시 11시 1-2-5 Microscope 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
625 2024-08-29 14시 15시 8-1-7 M1 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
626 2024-08-29 15시 16시 12-1-6 V1 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
627 2024-09-02 9시 10시 2-2-5 Active OM Inspect 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
628 2024-09-03 15시 16시 5-2-7 Pplus OM Inspect
5-2-8 Pplus CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
629 2024-09-04 11시 12시 OM Inspect 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
630 2024-09-04 16시 17시 3-2-5 OM N Well 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
631 2024-09-04 9시 10시 14-1-6 KEY OPEN OM Inspect (2매) 삼성전자 DS 김태훈 0원
632 2024-09-05 11시 12시 8-5-6 L7_PolySI OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
633 2024-09-05 16시 17시 12-1-6 V1 OM Inspect 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 18,000원
634 2024-09-05 9시 10시 6-1-5 Poly Gate OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
635 2024-09-06 9시 10시 15-1-6 Metal OM Inspect (2매)
15-1-7 Metal CDSEM Inspect (2매)		 삼성전자 DS 김태훈 0원
636 2024-09-09 10시 11시 4-1-5 OM P Well 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
637 2024-09-11 17시 18시 2-3-6 OM, CD-SEM Pwell 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
638 2024-09-11 9시 10시 2-1-6,7 OM, CD-SEM 삼성전자 Power device팀 박종원 170,000원
639 2024-09-12 9시 10시 1-1-6 AKEY OM Inspect 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
640 2024-09-20 10시 11시 부경대 김도연 모듈 의뢰 (마이크로어낼리시스)

OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 마이크로어낼리시스(주) 기업부설연구소 조경호 20,000원
641 2024-09-20 14시 15시 6-1-5 M5 Poly-gate OM Inspect
6-1-6 M5 Poly-gate CDSEM Inspect		 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 160,000원
642 2024-09-20 16시 17시 3-1-5 Pplus OM Insepct 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
643 2024-09-20 9시 10시 6-1-5 M5 Poly-gate OM Inspect 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 0원
644 2024-09-23 11시 12시 10-1-6 Ohm OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
645 2024-09-24 16시 17시 6-2-7 JTE OM Inspect
6-2-8 JTE CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
646 2024-09-25 16시 17시 7-2-5 Nplus OM Inspect 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
647 2024-09-27 9시 10시 2-1-6 OM Inspect 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
648 2024-09-30 11시 12시 1-1-6 AKEY OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 20,000원
649 2024-09-30 14시 15시 8-1-4 Pplus Develop 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
650 2024-09-30 15시 16시 12-2-6 KEY Open OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
651 2024-10-02 11시 12시 13-1-6 OM METAL 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
652 2024-10-02 15시 16시 4-1-5 OM N+ 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
653 2024-10-02 21시 22시 1-2-5 OM DNR L300 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
654 2024-10-04 11시 12시 1-1-5 AKEY OM 2매 추가 진행

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 20,000원
655 2024-10-04 16시 17시 OM Inspect 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 박종서 16,000원
656 2024-10-07 16시 17시 5-1-5 OM Pwell 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
657 2024-10-08 15시 16시 1-1-5 AKEY OM Inspect 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
658 2024-10-08 16시 17시 2-2-6 PWELL OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 20,000원
659 2024-10-10 11시 12시 1-2-6 OM M2 ACTIVE 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
660 2024-10-10 15시 16시 6-1-5 Nwell OM Inspect 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
661 2024-10-11 15시 16시 14-1-8 Polyimide Passivation OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
662 2024-10-14 10시 11시 1-2-5,6 OM 및 CD-SEM N+ 현대모비스 전력반도체팀 강민기 170,000원
663 2024-10-14 14시 15시 2-1-5 FOX OM Inspect 현대모비스 전력반도체팀 강민기 20,000원
664 2024-10-14 14시 15시 10-0-5 CONT OM Inspect (1매 선행) 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
665 2024-10-14 16시 17시 17-2-7 Passi OM Inspect 삼성전자 DS 김태훈 0원
666 2024-10-15 19시 20시 11-1-0 M1 Metal OM Inspect (1매 선행) 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 10,000원
667 2024-10-16 20시 21시 18-1-6 PSPI OM Inpect (before Curing) 삼성전자 DS 김태훈 0원
668 2024-10-17 19시 20시 1-1-5 No.1 Tip OM Inspect (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 0원
669 2024-10-21 15시 16시 3-2-6 OM N+
ICT 제품화지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 20,000원
670 2024-10-21 17시 18시 8-3-7 Active OM Inspect
8-3-8 Active CDSEM Inspect		 삼성전자 DS 김태훈 0원
671 2024-10-23 20시 21시 1-1-6 AKEY OM inspection 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
672 2024-10-24 17시 18시 OM Inspection (주)울텍 기술연구소 박경아 20,000원
673 2024-10-29 20시 21시 9-4-6 Active OM Inspect 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
674 2024-10-30 19시 20시 3-1-6 M2 GaN OM Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
675 2024-10-30 21시 22시 3-2-5 M4 SD Metal OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
676 2024-10-31 21시 22시 1-1-5 OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 그래핀스퀘어주식회사 기획관리팀 권회창 20,000원
677 2024-11-01 16시 17시 2-2-5,6,7 OM/CD-SEM N+ 현대모비스 전력반도체팀 강민기 170,000원
678 2024-11-04 10시 11시 4-3-5 M5 OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
679 2024-11-05 10시 11시 5-1-5 M6 Insulator OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
680 2024-11-05 16시 17시 OM Inspection + CDSEM 재단법인 한국나노기술원 CS소자개발실 박명수 170,000원
681 2024-11-06 17시 18시 ICT 제품화 지원사업

OM Inspect		 마이크로어낼리시스(주) 기업부설연구소 조경호 20,000원
682 2024-11-06 9시 10시 1-1-5 OM Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
683 2024-11-07 19시 20시 6-1-7 OM M3 OMR 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
684 2024-11-08 11시 12시 L1 포토 6매 OM 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
685 2024-11-08 18시 19시 6-1-5,6,7 OM POLY GATE 현대모비스 전력반도체팀 강민기 20,000원
686 2024-11-08 21시 22시 2-2-6 OM CAP 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
687 2024-11-11 9시 10시 4-2-6 Pplus OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 20,000원
688 2024-11-12 11시 12시 8-1-7 M4-OHM OM Inspect 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 16,000원
689 2024-11-12 9시 10시 8\" GaN on Si 2매 OM Inspect 재단법인 한국나노기술원 CS소자개발실 박명수 20,000원
690 2024-11-13 10시 11시 2-2-5 Mask No.2 D.Poly OM Inspect (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 0원
691 2024-11-14 10시 11시 8-1-5 SCONT OM Inspect 현대모비스 전력반도체팀 강민기 20,000원
692 2024-11-16 10시 11시 3-3-5 FOX OM Inspect 현대모비스 전력반도체팀 강민기 50,000원
693 2024-11-19 10시 11시 10-1-7 Gate Cont OM Inspect 현대모비스 전력반도체팀 강민기 50,000원
694 2024-11-20 19시 20시 11-4-6 OM Gate WF2 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 16,000원
695 2024-11-21 14시 15시 11-2-6 KEY OPEN OM Inspect 현대모비스 전력반도체팀 강민기 50,000원
696 2024-11-21 16시 17시 11-4-6 Metal OM Inspect 현대모비스 전력반도체팀 강민기 50,000원
697 2024-11-26 10시 11시 2-2-5 M3 Active OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
698 2024-11-26 14시 15시 1-2-1 1st shot OM Inspect 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 16,000원
699 2024-11-27 15시 16시 L2 OM inspect 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 16,000원
700 2024-11-27 21시 22시 6-4-5,6,7 OM, CD-SEM Gate 현대모비스 전력반도체팀 강민기 200,000원
701 2024-11-28 15시 16시 3-2-5 M4 SD metal OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 (주)엔디디 연구소 최영환 20,000원
702 2024-11-29 15시 16시 5-2-6 JFET Align/Expo OM Inspect

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 20,000원
703 2024-11-30 11시 12시 8-1-5 SCNT OM Inspect
8-1-6 SCNT CDSEM Inspect		 현대모비스 전력반도체팀 강민기 200,000원