I-Line Stepper - 3 장비일지

 기자재관리번호 : B0000055-062005-A0000
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2012-10-09 14시 15시 1-1-3 1st PH_expose (GK03) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 500,000원
2 2012-10-10 10시 11시 L14M 1-1-3 Akey photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
3 2012-10-15 09시 10시 L13 1-1-3 Akey Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
4 2012-10-15 13시 14시 1-1-3 1st Photo_expose 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 220,000원
5 2012-10-16 13시 14시 2-1-3 2nd Photo_expose 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 220,000원
6 2012-10-17 10시 11시 L14M -2-1-3 ISO Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
7 2012-10-17 11시 12시 3-1-3 3rd Photo_expose 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 220,000원
8 2012-10-17 13시 14시 L13 2-1-3 ISO Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
9 2012-10-22 10시 11시 L14M 3-1-3 M1OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
10 2012-10-22 10시 11시 4-1-3 4th Photo_expose 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 220,000원
11 2012-10-24 13시 14시 L13 3-1-3 RCSS Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
12 2012-10-30 09시 10시 LE03 1-1-3 Gate Photo (align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
13 2012-10-31 09시 10시 L14M 4-1-3 MET1 Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
14 2012-10-31 13시 14시 LD01 1-1-3 RCSS Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
15 2012-11-05 09시 10시 L13 4-1-3 Gate Photo (align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
16 2012-11-12 09시 15시 Photo expose Test 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 500,000원
17 2012-11-14 09시 10시 L13 5-1-3 M1OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
18 2012-11-14 12시 13시 L14M-2 4-1-3 MET1 Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
19 2012-11-14 13시 14시 SC02 1-1-2 PWEL Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 580,000원
20 2012-11-15 09시 10시 L15M 2-1-3 ISO Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
21 2012-11-26 09시 10시 L13 8-1-3 MET2 Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
22 2012-11-26 13시 15시 특성화고 교육 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,300,000원
23 2012-11-26 15시 17시 Photo (NCNT 사용료) 포항공과대학교 IT융합공학과 김진영 1,000,000원
24 2012-11-27 10시 11시 특성화고 교육 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 500,000원
25 2012-11-28 10시 12시 Photo (NCNT 사용료) 포항공과대학교 기계학과 최인호 1,000,000원
26 2012-12-04 11시 12시 Photo_포항TP 지원 심화교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 400,000원
27 2012-12-05 10시 11시 L15M 4-1-3 MET1 Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
28 2012-12-12 11시 12시 SiC_Photo_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 580,000원
29 2012-12-18 10시 11시 1-1 Akey Photo Expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
30 2012-12-27 14시 15시 IMH02 4-1-3 MET Photo (Align/Expo) (주)아이엠헬스케어 이인제 300,000원
31 2012-12-27 15시 16시 IMH01 Pas Photo (Align/expo) (주)아이엠헬스케어 이인제 140,000원
32 2013-01-01 10시 11시 ISO photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
33 2013-01-02 10시 11시 3-1 RCSS photo Align/Expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
34 2013-01-02 11시 12시 IMH02 5-1-2 METR Photo (Align/Expo) (주)아이엠헬스케어 이인제 300,000원
35 2013-01-03 11시 12시 Gate Photo Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 220,000원
36 2013-01-07 10시 11시 1-1 NW ph align/expo (주)아이엠헬스케어 이인제 300,000원
37 2013-01-07 11시 14시 0.5um Photo_coating_expose_develop 한국표준과학연구원 진공기술센터 윤주영 1,700,000원
38 2013-01-07 14시 15시 1-1-1 PWEL PH_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 380,000원
39 2013-01-08 10시 12시 PH_expose 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 500,000원
40 2013-01-09 09시 10시 1-1 Akey Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
41 2013-01-09 10시 11시 5-1 M1OP Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
42 2013-01-14 10시 11시 L17M 2-1-3 ISO Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
43 2013-01-15 09시 10시 L16 6-1-3 MET1 Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 220,000원
44 2013-01-15 14시 15시 L17M 3-1-3 M1OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
45 2013-01-16 13시 17시 PH_coating_expose_develop 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 600,000원
46 2013-01-21 09시 10시 L16 7-1-3 M2OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 220,000원
47 2013-01-22 09시 10시 L16 8-1-3 M2OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 220,000원
48 2013-01-22 13시 14시 L17 4-1-3 MET1 Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
49 2013-01-29 09시 10시 L18 1-1-3 Akey Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
50 2013-01-29 13시 14시 1-1-2 MET1 PH_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 500,000원
51 2013-01-30 09시 10시 L19M 1-1-3 Akey Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
52 2013-02-01 10시 11시 2-1 ISO PHOTO Align /Expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
53 2013-02-04 17시 18시 1-1-3 Akey Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
54 2013-02-06 10시 11시 3-1 RECESS PHOTO Align/Expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
55 2013-02-06 11시 12시 1-1-2 Cont PH_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 260,000원
56 2013-02-06 11시 12시 2-1-3 ISO Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
57 2013-02-07 10시 11시 2-1 ISO PHOTO Align/Expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
58 2013-02-07 11시 12시 3-1-3 Recess Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
59 2013-02-12 13시 15시 SiC_Gate PEP 선행 테스트 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 500,000원
60 2013-02-12 15시 16시 4-1-3 Gate Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
61 2013-02-14 10시 11시 MET1 PH align/expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 300,000원
62 2013-02-14 10시 11시 3-1 M1OP Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
63 2013-02-15 10시 11시 MET1 Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
64 2013-02-15 11시 12시 5-1-3 M1OP Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
65 2013-02-19 10시 11시 1-1 RCSS Photo align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
66 2013-02-19 11시 12시 6-1-3 MET1 Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
67 2013-02-25 16시 17시 7-1-3 M2OP Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
68 2013-02-27 10시 11시 8-1-3 MET2 Photo_expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
69 2013-03-01 10시 11시 4-1 Gate Photo Align/Expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 200,000원
70 2013-03-01 9시 10시 1-1 Gate Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 160,000원
71 2013-03-04 9시 10시 5-1 M1OP Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 200,000원
72 2013-03-05 9시 15시 광소자 제작 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 2,280,000원
73 2013-03-07 10시 11시 4-1 MET1 Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 280,000원
74 2013-03-07 12시 13시 1-1 AKEY Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 160,000원
75 2013-03-08 12시 13시 2-1 ISO Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 160,000원
76 2013-03-08 9시 10시 6-1 METAL1 Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 80,000원
77 2013-03-11 9시 10시 3-1 RCSS Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 160,000원
78 2013-03-13 12시 13시 1-1 Akey Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 240,000원
79 2013-03-13 9시 10시 1-1 Akey Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 240,000원
80 2013-03-18 13시 14시 7-1 M1OP PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 40,000원
81 2013-03-18 9시 12시 Pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 2,320,000원
82 2013-03-19 12시 13시 2-1 ISO PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 240,000원
83 2013-03-19 9시 10시 2-1 ISO PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 240,000원
84 2013-03-20 11시 12시 Gate Recess Etch Photo expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 40,000원
85 2013-03-20 14시 15시 8-1 MET2 Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 40,000원
86 2013-03-20 9시 10시 PE-ox M1OP Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 80,000원
87 2013-03-25 9시 10시 4-1 M1OP Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 240,000원
88 2013-03-26 9시 10시 4-1 GATE Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 160,000원
89 2013-04-02 12시 14시 Q\'z PHOTO 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,600,000원
90 2013-04-02 9시 10시 5-1 M1OP PHOTO align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
91 2013-04-03 12시 13시 RCSS Photo Align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
92 2013-04-09 12시 13시 1-1 AKEY PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
93 2013-04-09 9시 10시 3-1 RCSS PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
94 2013-04-10 10시 11시 2-1 ISO PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
95 2013-04-11 10시 11시 Etch test PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
96 2013-04-15 9시 10시 6-1 MET1 PHOTO align/exposure LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
97 2013-04-16 9시 10시 7-1 M2OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 140,000원
98 2013-04-16 9시 10시 3-1 M1OP PHOTO align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
99 2013-04-17 9시 10시 4-1 Gate PHOTO Align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
100 2013-04-23 9시 10시 4-1 MET1 PHOTO align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
101 2013-04-24 10시 13시 Q\'z wafer splitter Photo 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,200,000원
102 2013-04-25 9시 10시 1-1 Akey PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 580,000원
103 2013-05-01 9시 10시 2-1 ISO PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 580,000원
104 2013-05-03 12시 13시 16 channel Photo (rework) 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 440,000원
105 2013-05-03 9시 10시 16/8 channel Photo 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,680,000원
106 2013-05-06 12시 13시 3-1 RECESS PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
107 2013-05-06 14시 15시 4-1 M1OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
108 2013-05-06 9시 10시 5-1 M1OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
109 2013-05-08 9시 10시 6-1 MET1 PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
110 2013-05-09 10시 11시 L25 4-1 Gate Photo(Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
111 2013-05-09 18시 19시 L22 7-1 M2OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
112 2013-05-10 10시 11시 L24M 5-1 MET1 Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
113 2013-05-13 13시 18시 Photo (NCNT 사용료) 포항공과대학교 기계학과 최인호 1,000,000원
114 2013-05-14 9시 10시 5-1 M1OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
115 2013-05-15 10시 11시 8-1 MET2 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
116 2013-05-16 9시 13시 32 channel PHOTO 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,400,000원
117 2013-05-20 14시 15시 32 channel photo 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 880,000원
118 2013-05-20 9시 10시 6-1 MET1 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
119 2013-05-21 9시 10시 7-1 M2OP PHOTO Align/expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
120 2013-05-22 9시 10시 Akey & jIG test PHOTO Expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 220,000원
121 2013-05-23 10시 11시 Grating PR Pattern (Expose) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 164,000원
122 2013-05-23 12시 13시 8-1 MET2 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
123 2013-05-24 9시 10시 1-1 AKEY Photo Align/Expose LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,060,000원
124 2013-05-27 9시 15시 Q'z wafer photo 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,520,000원
125 2013-05-29 9시 11시 Q\'z wafer PHOTO (8channel) 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,560,000원
126 2013-05-30 9시 10시 2-1 ISO PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 1,060,000원
127 2013-06-03 9시 10시 Q\'z wafer Photo 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 480,000원
128 2013-06-04 9시 10시 4-1 Gate PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
129 2013-06-05 10시 11시 L26 3-1 RCSS Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
130 2013-06-07 10시 11시 L25-1 5-1 M1OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
131 2013-06-07 14시 15시 L27 4-1 M1OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
132 2013-06-13 11시 12시 5-1 MET1 Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
133 2013-06-13 9시 10시 6-1 MET1 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
134 2013-06-14 9시 10시 LOR5A Lift Off Test Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
135 2013-06-17 9시 10시 7-1 M2OP Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 180,000원
136 2013-06-17 9시 10시 Q\'z wafer PHOTO 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 360,000원
137 2013-06-18 9시 10시 5-1 M1OP Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
138 2013-06-19 14시 15시 8-1 MET2 PH & Akey Open PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
139 2013-06-21 9시 10시 L26 6-1 MET1 Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
140 2013-06-25 9시 10시 L26 7-1 M2OP Photo(Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
141 2013-06-27 9시 10시 Q\'z wafer pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 440,000원
142 2013-06-27 9시 10시 L26 8-1 MET2 Photo(Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
143 2013-07-03 14시 15시 L29 3-1 M1OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
144 2013-07-03 14시 18시 Photo(coating_expose_develop) 9ea 이코니 이코니 김준우 1,111,000원
145 2013-07-03 16시 17시 G06 1-1 Si etch Photo (Align/expo) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 324,000원
146 2013-07-03 9시 10시 L28 3-1 RCSS Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
147 2013-07-09 9시 10시 4-1 Gate Photo Expose/align LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
148 2013-07-10 11시 12시 Q\\\'z wafer PHOTO 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 640,000원
149 2013-07-10 9시 10시 4-1 MET1 Photo expose/align LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
150 2013-07-10 9시 10시 L28 5-1 M1OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
151 2013-07-11 9시 10시 6-1 MET1 PHOTO expose/align LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
152 2013-07-12 16시 18시 Qz wafer Pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,240,000원
153 2013-07-17 14시 17시 quartz wafer pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,240,000원
154 2013-07-17 9시 10시 L28 7-1 M2OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
155 2013-07-18 10시 11시 5-1 RECESS PHOTO ( Align/expo ) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
156 2013-07-19 9시 10시 8-1 MET2 Akey alignment open photo (align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
157 2013-07-23 9시 10시 8-1 MET1 Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
158 2013-07-24 9시 10시 6-1 Gate Lift off Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 260,000원
159 2013-07-31 9시 10시 1-1 AKEY Photo align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 460,000원
160 2013-08-02 13시 18시 FM solution 쿼츠 웨이퍼 37매 포토공정 의뢰 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,480,000원
161 2013-08-02 9시 10시 L02S 2-1 ISO Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 460,000원
162 2013-08-07 10시 11시 6-1 Gate Photo Expo/Align LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 220,000원
163 2013-08-12 9시 10시 7-1 M2OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 380,000원
164 2013-08-20 9시 10시 8-1 MET2 & Align Key Open PHOTO (align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 660,000원
165 2013-08-21 9시 13시 8ch expose 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,240,000원
166 2013-08-22 9시 10시 3-1 RCSS PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
167 2013-08-23 14시 17시 8ch pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 680,000원
168 2013-08-26 13시 14시 2nd Etch photo align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 164,000원
169 2013-08-26 9시 10시 1st Etch photo align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 164,000원
170 2013-08-27 10시 11시 3rd Etch photo align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 164,000원
171 2013-08-27 14시 15시 4th Etch photo align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 164,000원
172 2013-08-28 9시 10시 4-1 Gate Photo Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
173 2013-08-30 10시 11시 5-1 M1OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
174 2013-09-04 9시 10시 6-1 MET1 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
175 2013-09-09 14시 15시 L30 7-1 M2OP Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 420,000원
176 2013-09-09 9시 10시 SF6&NH3 1st Pattern align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 228,000원
177 2013-09-10 9시 10시 SF6&NH3 2nd Pattern align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 228,000원
178 2013-09-11 15시 16시 SF6&NH3 4th Pattern align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 228,000원
179 2013-09-11 9시 10시 SF6&NH3 3rd Pattern align/expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 228,000원
180 2013-09-12 13시 14시 8-1 MET2 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
181 2013-09-12 9시 10시 Akey Etch 용 Pattern align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
182 2013-09-13 9시 10시 Q'z wafer Expose 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,600,000원
183 2013-09-17 9시 10시 Q'z wafer expose 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,760,000원
184 2013-10-07 9시 12시 Photo 공정교육 및 실습 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 450,000원
185 2013-10-21 10시 11시 1-1 Akey Photo expo/align LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
186 2013-10-23 17시 18시 Q\'z wafer pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,720,000원
187 2013-10-24 10시 11시 2-1 Iso Photo expo/align LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
188 2013-10-25 12시 13시 Q\'z wafer pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 920,000원
189 2013-11-01 9시 10시 3-1 RCSS PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
190 2013-11-05 10시 11시 2um dot pattern align/expo SSADT 광학설계 이태종 180,000원
191 2013-11-06 9시 10시 4-1 GATE PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
192 2013-11-11 9시 10시 5-1 M1OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
193 2013-11-13 10시 11시 6-1 MET1 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
194 2013-11-18 9시 10시 9-1 MET2 PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
195 2013-11-18 9시 10시 7-1 M2OP PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
196 2013-11-19 9시 10시 1-1 Akey PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
197 2013-11-20 9시 10시 8-1 MET2 Akey OPEN PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
198 2013-11-21 9시 10시 2-1 ISO PHOTO align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
199 2013-11-25 14시 15시 Q'z PHOTO pattern expose 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 200,000원
200 2013-11-25 9시 10시 3-1 RCSS PHOTO Align/expo LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 300,000원
201 2013-12-01 13시 14시 4-1 Gate Photo (Align/Expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
202 2013-12-02 13시 14시 5-1 M1OP Photo (Align/expo) LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 340,000원
203 2013-12-06 9시 10시 Q'z wafer pattern 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,000,000원
204 2014-01-07 14시 18시 Q\'z wafer pattern 45매 진행 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 1,800,000원
205 2014-01-10 10시 14시 SC12 1-1 Gate photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 420,000원
206 2014-01-16 9시 18시 Photo Process (NINT 팹사용료) 포항공과대학교 기계공학과 제엽 1,100,000원
207 2014-01-17 10시 14시 SC12 2-1 Cont photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 260,000원
208 2014-01-20 9시 18시 Photo Process (NINT 팹사용료) 포항공과대학교 기계과 김준호 1,100,000원
209 2014-01-21 9시 12시 SC12 3-1 Silicide photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 228,000원
210 2014-01-24 10시 12시 SC13 1-1 Gate Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 228,000원
211 2014-01-24 10시 12시 SC12 4-1 MET1 photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 164,000원
212 2014-01-28 10시 11시 SC13 2-1 Silicide Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 164,000원
213 2014-02-01 12시 13시 L32 7-1 M2OP Photo (Align/expo) - 13년 12월 사용건 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
214 2014-02-01 15시 16시 L32 8-1 MET2 Photo (Align/expo) - 13년 12월 사용건 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
215 2014-02-01 9시 10시 L32 6-1 MET1 Photo (Align/expo) - 13년 12월 사용건 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
216 2014-02-03 15시 16시 1-1-3 Akey Photo_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 292,000원
217 2014-02-04 14시 15시 2-1-3 PWEL Photo_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 292,000원
218 2014-02-07 10시 11시 3-1-3 P+ Photo_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 292,000원
219 2014-02-11 10시 11시 4-1-3 N+ Photo_expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 292,000원
220 2014-04-14 11시 12시 2um Dot pattern_expose SSADT 광학설계 이태종 220,000원
221 2014-05-12 9시 18시 Photo Process(NINT 팹사용료 2차) 포항공과대학교 기계공학과 윤재웅 1,000,000원
222 2014-05-13 9시 18시 Photo Process (NINT 팹사용료 2차) 포항공과대학교 기계공학과 서창호 1,000,000원
223 2014-05-14 9시 18시 Photo Process (NINT 팹사용료 2차) 부경대학교 기계설계공학과 유동인 2,000,000원
224 2014-05-26 10시 11시 SC32 3-1 P+ Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
225 2014-05-30 9시 16시 KERI Photo 공정 사용료 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 2,000,000원
226 2014-06-23 13시 18시 Photo Process_NO 한국전기연구원 전력반도체연구센터 문정현 460,000원
227 2014-08-06 10시 11시 G08 메탄 1st Pattern 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
228 2014-08-08 10시 11시 G08 메탄 2 Layer 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
229 2014-08-12 10시 11시 G08 메탄 3 Layer 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
230 2014-08-13 10시 11시 SC32 6-1 Cont Photo (Align/expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
231 2014-08-18 10시 11시 SC33 3-1 P+ Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
232 2014-08-20 10시 11시 SC33 4-1 N+ Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
233 2014-08-27 10시 11시 SC33 5-1 Gate Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
234 2014-08-28 10시 11시 SC33 6-1 Cont Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
235 2014-08-28 15시 16시 SC33 7-1 Silicide Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
236 2014-08-28 16시 17시 Nanowire (Expose) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 128,000원
237 2014-08-29 10시 11시 SC33 9-1 MET1 Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
238 2014-09-03 14시 15시 Nano Wire Pattern 구현 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 128,000원
239 2014-09-10 10시 11시 G08 메탄 4 Layer 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 128,000원
240 2014-09-10 11시 12시 G08 메탄 4 Layer developer 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 128,000원
241 2014-09-15 10시 11시 SC32 10-1 MET1 Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
242 2014-09-17 10시 11시 SC41 1-1 AKEY Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
243 2014-09-19 10시 11시 SC41 2-1 PWEL Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
244 2014-09-22 14시 15시 SC41 3-1 P+ Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
245 2014-09-23 15시 16시 SC41 4-1 N+ Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
246 2014-09-26 10시 11시 SC41 5-1 Gate Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
247 2014-09-29 10시 11시 SC41 6-1 CONT Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
248 2014-09-29 16시 17시 SC41 7-1 Silicide Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
249 2014-09-30 14시 15시 SC41 10-1 MET1 Photo (Align/Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
250 2014-10-06 10시 11시 SC42 1-1 Akey Photo (Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
251 2014-10-08 10시 12시 AR-N PR I-Line Photo 평가 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 184,000원
252 2014-10-10 15시 16시 SC42 2-1 PWEL Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
253 2014-10-15 11시 12시 G07 1st Photo_Expose (과제번호 4.0011309.01) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 380,000원
254 2014-10-20 10시 11시 2nd Photo_expose (과제번호 4.0011309.01) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 380,000원
255 2014-10-20 13시 14시 SC42 3-1 P+ Photo (Align/expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
256 2014-10-21 10시 11시 3rd Photo_expose (과제번호 4.0011309.01) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 380,000원
257 2014-10-21 13시 14시 SC42 4-1 N+ Photo (Align/Expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
258 2014-10-22 10시 11시 4th Photo Process_Expose (과제번호 4.0011309.01) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 380,000원
259 2014-10-23 13시 14시 벌집 Pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 156,000원
260 2014-10-28 10시 14시 BioSensor_Stepper Reticle Test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 520,000원
261 2014-11-03 13시 15시 Organic CMOS_Photo Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 권지민 960,000원
262 2014-11-24 14시 15시 박판 경량 HS 제작용 Photo 공정_expose (과제번호:2.0006799.07) 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 240,000원
263 2014-11-25 12시 13시 GaN_G 1-1 M1OP Photo (Align/Expose)

과제- 접합반도체소자의 결함분석을 위한 비파괴 검사 연구 (4.0011276.02)		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 128,000원
264 2014-12-02 16시 17시 5-1-3 GATE Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
265 2014-12-03 16시 17시 6-1-3 CONT Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
266 2014-12-08 16시 17시 7-1-3 Silicide Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
267 2014-12-10 16시 17시 10-1-3 MET1 Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
268 2014-12-12 9시 10시 SC44 1-1 Akey photo (Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
269 2014-12-15 10시 11시 5-1-3 GATE Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
270 2014-12-16 14시 15시 6-1-3 CONT Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
271 2014-12-17 10시 11시 2-1-3 PWEL Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
272 2014-12-17 14시 15시 7-1-3 Silicide Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
273 2014-12-19 10시 11시 10-1-3 MET1 Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
274 2014-12-19 13시 14시 3-1-3 P+ Photo (align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
275 2014-12-22 14시 15시 4-1-3 N+ Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
276 2014-12-26 14시 15시 5-1-3 GATE Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
277 2014-12-29 15시 16시 6-1-3 CONT Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
278 2014-12-30 15시 16시 7-1-3 Silicide Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
279 2014-12-31 15시 16시 10-1-3 MET1 Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
280 2015-01-12 15시 16시 4-1-3 N+ Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
281 2015-01-13 10시 18시 UE MEMS Sensor 2차 Run_Photo (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 1,000,000원
282 2015-01-26 11시 12시 SC35_NO Anneal Test_Photo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 380,000원
283 2015-01-28 11시 12시 SC35_NO Anneal Test_Photo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 268,000원
284 2015-02-04 13시 15시 UE MEMS Sensor 3차 Run_Photo (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 1,000,000원
285 2015-03-03 10시 12시 Split Gate 진행 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 184,000원
286 2015-03-11 15시 17시 Split Gate 진행 2nd Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 184,000원
287 2015-03-16 10시 11시 Split gate 3rd Expose 진행 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 184,000원
288 2015-05-20 16시 17시 6인치 (AZ4620) Scum 관련 재진행 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 260,000원
289 2015-07-08 13시 14시 6인치 기반 GaN 전력반도체 제작
Akey Photo Stepper		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
290 2015-07-14 14시 15시 6인치기반 GaN 전력반도체 제작
ISO Expose		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
291 2015-07-22 14시 15시 6인치 기반 GaN 전력반도체 제작
RCSS Expose		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
292 2015-08-06 11시 12시 500nm 급 Expose (주)니나노 기업부설연구소 박준영 0원
293 2015-08-07 14시 15시 1um PR Profile 평가 1차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 260,000원
294 2015-08-12 11시 12시 1um PR Profile 평가 2차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 260,000원
295 2015-08-13 13시 14시 1um PR Profile 평가 3차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 260,000원
296 2015-08-13 15시 16시 4-1-3 Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
297 2015-08-18 15시 16시 1um PR Profile 평가 4차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
298 2015-08-19 14시 16시 1um PR Profile 평가 5차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
299 2015-08-20 11시 12시 5-1-3 CNT Photo Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
300 2015-08-20 12시 13시 1um PR Profile 평가 6차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
301 2015-08-24 15시 16시 1-1-3 Akey Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
302 2015-08-25 15시 16시 1um PR Profile 평가 7차 (Stepper) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
303 2015-08-26 10시 11시 1um PR Profile 평가 8차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
304 2015-08-26 17시 18시 6-1-3 MET1 Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
305 2015-08-27 16시 18시 7-1-3 VIA Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
306 2015-08-28 15시 17시 8-1-3 MET2 Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
307 2015-08-31 14시 16시 9-1-3 PAD Photo (Align/expo) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
308 2015-08-31 14시 15시 6-1-3 MET1 Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
309 2015-08-31 18시 19시 1um PR Profile 평가 8차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 140,000원
310 2015-09-01 11시 12시 1um PR Profile 개선 10차 (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 260,000원
311 2015-09-07 10시 11시 2-1-3 ISO Photo (Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
312 2015-09-08 11시 12시 7-1-3 Photo (Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
313 2015-09-09 14시 15시 1um PR Profile 평가 Expose (11차) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
314 2015-09-22 14시 15시 5-1-3 Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
315 2015-09-23 10시 13시 전문인력양성사업 나노융합기술교육_Photo 1조 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 1,200,000원
316 2015-10-05 15시 16시 1-1-3 A-Key Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 212,000원
317 2015-10-05 17시 18시 1-1-3 B.Gate Photo Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 0원
318 2015-10-12 11시 12시 8-1-3 MET2 Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
319 2015-10-12 15시 16시 3-1-3 RCSS Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
320 2015-10-12 17시 18시 2-2-2 M Gate Photo Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 156,000원
321 2015-10-13 17시 18시 Photo Pattern Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
322 2015-10-15 11시 12시 3-1-2 Contact Photo (Expose) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 156,000원
323 2015-10-16 12시 13시 4-1-3 Gate Photo (Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 212,000원
324 2015-10-19 15시 16시 4-1-2 Via Photo (Expose) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 156,000원
325 2015-10-19 17시 18시 5-1-3 CNT Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
326 2015-10-21 15시 16시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
327 2015-10-22 11시 12시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 200,000원
328 2015-10-22 15시 16시 6-1-3 MET1 Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
329 2015-10-23 12시 13시 5-1-2 Metal Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
330 2015-11-05 10시 11시 7-1-3 R1 CNT Gate PAD Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
331 2015-11-05 13시 14시 PSS Photo_Expose SSADT 경영지원 지이권 900,000원
332 2015-11-05 19시 20시 8-1-3 R1 CNT Gate PAD Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
333 2015-11-10 12시 13시 9-1-3 VIA Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
334 2015-11-17 10시 11시 10-1-3 MET2 Depo Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
335 2015-11-20 10시 11시 SiC 6inch Wafer Loading Test (주)케이이씨 공정기술G 박선운 140,000원
336 2015-11-20 14시 15시 3220 MEMS IR Sensor_2015/11 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 900,000원
337 2015-11-23 13시 14시 PSS Photo_expose SSADT 경영지원 지이권 500,000원
338 2015-11-25 10시 18시 PSS_Photo Stepper Tuning SSADT 경영지원 지이권 1,300,000원
339 2015-11-25 11시 12시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
340 2015-11-26 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
341 2015-11-27 11시 12시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
342 2015-11-30 11시 12시 Mask 검증 test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
343 2015-12-02 15시 16시 3220 MEMS IR Sensor_2015/12 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 500,000원
344 2015-12-07 11시 12시 3220 MEMS IR Sensor_2015/12 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 500,000원
345 2015-12-09 13시 14시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
346 2015-12-15 10시 11시 분석용_Photo_expose 현대자동차 환경에너지연구팀 정영균 500,000원
347 2015-12-17 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
348 2015-12-18 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
349 2015-12-21 14시 16시 미래부 전문인력양성_소자공정 실습 (Photo) 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 900,000원
350 2016-01-06 15시 16시 Mask 검증 Expose LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
351 2016-01-07 12시 13시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
352 2016-01-12 15시 16시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 260,000원
353 2016-01-20 15시 16시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 300,000원
354 2016-02-23 11시 12시 1-1-2 Photo Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
355 2016-02-23 15시 16시 1-1-3 Photo Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
356 2016-02-24 10시 11시 마스크 검증 (Exposure) LG전자 ICS팀 김기민 196,000원
357 2016-02-25 11시 12시 2-1-2 M.Gate photo (Exposure) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
358 2016-02-25 16시 17시 1-1-2 Gate photo (Exposure) _재작업 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 56,000원
359 2016-02-29 11시 12시 2-1-2 HOLE Expo 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
360 2016-02-29 14시 15시 3-1-2 CNT Expo 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
361 2016-03-02 14시 15시 3220 MEMS IR Sensor_2016/03_2회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 500,000원
362 2016-03-03 10시 11시 3-1-2 Metal Photo Expo 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
363 2016-03-03 12시 13시 3-1-2 VIA Photo Expo 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
364 2016-03-03 13시 14시 Mask 검증 Photo Expose LG 전자 ICS 팀 황의진 132,000원
365 2016-03-04 16시 17시 5-1-2 SD_Metal Photo Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 128,000원
366 2016-03-07 13시 15시 3220 MEMS IR Sensor_2016/03_2회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 500,000원
367 2016-03-14 14시 15시 Mask 검증 test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
368 2016-03-15 11시 12시 Mask 검증 test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
369 2016-03-24 15시 16시 SIC Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 300,000원
370 2016-03-25 11시 12시 Mask 검증Test LG전자 ICS팀 김기민 300,000원
371 2016-04-01 10시 11시 1-1-3 Hard Mask Photo (Expose) (주)니나노 기업부설연구소 박준영 0원
372 2016-04-04 11시 12시 1-2-3 Hard Mask Photo Expose 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 164,000원
373 2016-04-04 14시 15시 Mask 검증 Test Expose LG전자 ICS팀 김기민 300,000원
374 2016-04-05 11시 12시 Mask 검증 Test Expose LG전자 ICS팀 김기민 300,000원
375 2016-04-05 13시 16시 3220 MEMS IR Sensor_2016/03_2회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 2,000,000원
376 2016-04-21 13시 14시 Mask 검증 Test Expose LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 260,000원
377 2016-04-27 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 ICS팀 김기민 300,000원
378 2016-04-28 10시 11시 exposure LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
379 2016-05-02 11시 12시 Bottom Gate/Middle Gate/Contact/Via _Exposure 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 2,760,000원
380 2016-05-09 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 ICS팀 김기민 164,000원
381 2016-05-16 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
382 2016-05-17 11시 12시 Mask 검증 test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
383 2016-05-19 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC센터 ICS팀 김수진 260,000원
384 2016-05-23 13시 18시 나노융합 전문인력양성 교육 프로그램_Photo 계명대학교 화학공학과 서숭혁 2,000,000원
385 2016-05-30 13시 14시 Ge photo 고려대학교 전기전자공학부 장환준 380,000원
386 2016-05-31 14시 15시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 SIC연구소 이호중 260,000원
387 2016-06-07 11시 12시 Split Photo (Expose) 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 260,000원
388 2016-06-07 13시 14시 3220 MEMS IR Sensor_2016/06_계약 3-1회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 900,000원
389 2016-06-09 14시 15시 Nikon 장비간 Loading Position Teaching LG 전자 ICS 팀 황의진 400,000원
390 2016-06-10 11시 12시 Mask 검증 Test(Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
391 2016-06-14 15시 16시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 ICS팀 김기민 164,000원
392 2016-06-16 10시 18시 PSS Pattern_Expose 250매 (주)에스에스에이디티 연구기획팀 오은하 10,000,000원
393 2016-06-21 14시 15시 나노융합 전문인력양성 교육 프로그램_Photo 위덕대학교 정보통신공학부 이재성 2,100,000원
394 2016-06-23 11시 12시 SS사 Dot Pattern (Expose) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
395 2016-06-30 16시 17시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 ICS팀 김기민 196,000원
396 2016-07-01 11시 12시 Mask 검증 Test (Expose) LG전자 ICS팀 김기민 228,000원
397 2016-07-11 16시 17시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
398 2016-07-12 16시 17시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 300,000원
399 2016-07-18 11시 12시 Mask 검증 Test (Expose) LG 전자 ICS 팀 황의진 164,000원
400 2016-07-25 10시 11시 3220 MEMS IR Sensor_2016/07_계약 3-2회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 900,000원
401 2016-07-27 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
402 2016-08-08 10시 11시 0.5um 급 Waveguide 제작 포항공과대학교 물리학과 하창우 228,000원
403 2016-08-09 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 300,000원
404 2016-08-19 14시 15시 Waveguide Photo진행 포항공과대학교 물리학과 하창우 164,000원
405 2016-08-23 15시 16시 Mask 검증Test LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
406 2016-08-23 9시 10시 Photo (주)니나노 기업부설연구소 박준영 500,000원
407 2016-08-24 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
408 2016-08-24 14시 15시 Cr ,Al Photo 진행 주)에프엠솔루션 연구개발 김근호 340,000원
409 2016-08-29 13시 17시 3220 MEMS IR Sensor_2016/08_계약 3-3회 (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 1,300,000원
410 2016-08-30 13시 18시 나노융합 전문인력양성 교육 프로그램_Photo 대구대학교 중앙기기원 차정호 1,300,000원
411 2016-09-07 12시 13시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
412 2016-09-20 15시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 228,000원
413 2016-09-21 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 228,000원
414 2016-09-26 13시 14시 Cap Process_9매(16/08) (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 1,000,000원
415 2016-10-04 10시 18시 미래부 나노융합기술교육_PH 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 800,000원
416 2016-10-05 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 164,000원
417 2016-10-06 10시 11시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
418 2016-10-12 10시 11시 VW photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 180,000원
419 2016-10-26 13시 14시 PH hole photo (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 180,000원
420 2016-10-27 10시 11시 PH photo (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 180,000원
421 2016-10-27 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 516,000원
422 2016-11-01 10시 11시 17uPFD ROIC layer Exposure (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 260,000원
423 2016-11-02 9시 10시 1-1-3 Si Etch PH 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
424 2016-11-03 13시 14시 17um Exposure (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 220,000원
425 2016-11-04 11시 12시 2-1-3 Expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
426 2016-11-04 9시 10시 17uPFD Exposure (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 220,000원
427 2016-11-09 10시 11시 3-1-3 Expo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
428 2016-11-10 10시 11시 4-1-3 Expose 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 156,000원
429 2016-11-14 10시 11시 Cap Process 19ea_Photo (16/11) 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 1,700,000원
430 2016-11-15 11시 12시 2um Dot Pattern 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 212,000원
431 2016-11-22 9시 10시 17uPFD Exposure (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 220,000원
432 2016-11-28 13시 14시 Mask 검증 Test LG전자 SIC연구소 이호중 300,000원
433 2016-11-29 20시 21시 17uPFD PO1 layer Exposure (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 260,000원
434 2016-12-08 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 516,000원
435 2016-12-27 13시 14시 Mask 검증Test LG전자 ICS팀 김기민 356,000원
436 2017-01-03 10시 13시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
437 2017-01-05 12시 13시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 260,000원
438 2017-01-18 14시 15시 Dat Pattern 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 156,000원
439 2017-01-19 16시 17시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 356,000원
440 2017-01-20 16시 17시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 356,000원
441 2017-02-01 15시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 356,000원
442 2017-02-03 10시 18시 SiC 기술사업화_Photo (주)예스파워테크닉스 연구소 강예환 3,300,000원
443 2017-02-07 13시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
444 2017-02-20 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 324,000원
445 2017-02-21 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 324,000원
446 2017-02-21 14시 16시 Exposure 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 260,000원
447 2017-02-22 10시 12시 exposure 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 260,000원
448 2017-03-07 9시 10시 exposure 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 260,000원
449 2017-03-08 9시 10시 Exposure 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 260,000원
450 2017-03-09 9시 10시 Exposure 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 260,000원
451 2017-03-14 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 324,000원
452 2017-03-15 11시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 356,000원
453 2017-03-15 14시 15시 Key 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 220,000원
454 2017-03-16 14시 15시 Poly Pattern 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 180,000원
455 2017-03-21 10시 11시 Poly photo test 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 180,000원
456 2017-03-22 11시 12시 Poly photo 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 180,000원
457 2017-03-23 14시 15시 Poly photo2 한국전기연구원 전력반도체연구단 차세대반도체연구센터 문정현 300,000원
458 2017-03-27 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 484,000원
459 2017-04-04 13시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
460 2017-04-07 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
461 2017-04-07 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
462 2017-04-10 14시 15시 Alignment LG전자 ICS팀 김기민 134,000원
463 2017-04-19 11시 12시 Mask 검증Test 한국전기연구원 전력반도체연구센터 석오균 280,000원
464 2017-04-25 13시 14시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 474,000원
465 2017-04-25 16시 17시 해상도 Test 한국전기연구원 전력반도체연구센터 석오균 316,000원
466 2017-05-08 13시 14시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
467 2017-05-11 15시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 406,000원
468 2017-05-12 10시 14시 Photo 공정 한국전기연구원 전력반도체연구센터 석오균 352,000원
469 2017-05-12 9시 10시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 202,000원
470 2017-05-25 14시 15시 2-1-2 Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 168,000원
471 2017-05-25 17시 18시 1-1-2 Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 236,000원
472 2017-05-26 16시 17시 2-1-2 Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 202,000원
473 2017-05-29 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
474 2017-05-30 11시 12시 1.0 추가 진행 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 134,000원
475 2017-06-09 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
476 2017-06-26 11시 13시 SiC Diode 공정계약 50%_Photo 테크닉스(주) 연구개발 강예환 900,000원
477 2017-06-27 15시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
478 2017-07-04 13시 17시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
479 2017-07-05 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
480 2017-07-05 12시 13시 2차 DRIE Test_Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 120,000원
481 2017-07-07 10시 11시 Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 120,000원
482 2017-07-11 12시 14시 Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 220,000원
483 2017-07-12 10시 12시 Metal , DRIE 2layer Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 336,000원
484 2017-07-18 14시 15시 Epi Split Test LG 이노텍 소자개발팀 정지철 380,000원
485 2017-07-24 16시 17시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
486 2017-08-01 10시 11시 Back면 진행 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 140,000원
487 2017-08-03 11시 13시 Exposure_1st Layer2매, 2nd Layer 3매 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 270,000원
488 2017-08-07 13시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
489 2017-08-09 16시 17시 * 샘플제작 (1차)

이전공정내역 : PR Coating

진행요청공정 : Exposure		 테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
490 2017-08-10 10시 11시 DRIE Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 140,000원
491 2017-08-17 10시 11시 * 샘플제작 (2차)

이전공정내역 : Coating

진행요청공정 : Exposure 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
492 2017-08-17 11시 12시 * 설비 Test (Al Depo Test)

이전공정내역 : PR coating

진행요청공정 : Exposure		 테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
493 2017-08-17 15시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
494 2017-08-18 10시 11시 * 샘플제작 (2차)

이전공정내역 : PR Coating

진행요청공정 : Exposure 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
495 2017-08-18 15시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
496 2017-08-18 9시 10시 * 설비 Test (Al Depo Test)

이전공정내역 : PR Coating

진행요청공정 : Exposure		 테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
497 2017-08-21 10시 11시 * 샘플제작 (2차)

이전공정내역 : PR Coating

진행요청공정 : Exposure 		테크닉스(주) 연구개발 강예환 0원
498 2017-08-23 12시 13시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 236,000원
499 2017-09-05 10시 11시 SiC Diode 공정계약_공정완료 잔금_Photo 테크닉스(주) 연구개발 강예환 900,000원
500 2017-09-05 11시 12시 2 Layer Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 370,000원
501 2017-09-05 14시 18시 MEMS 기술사업화 계약_Photo 나노융합기술원 기술지원팀 황현주 2,100,000원
502 2017-09-05 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
503 2017-09-06 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
504 2017-09-11 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
505 2017-09-12 13시 14시 Oxide LG 이노텍 소자개발팀 정지철 220,000원
506 2017-09-12 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
507 2017-09-13 13시 14시 Metal LG 이노텍 소자개발팀 정지철 220,000원
508 2017-09-18 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
509 2017-09-21 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 610,000원
510 2017-09-22 11시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 610,000원
511 2017-09-23 11시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
512 2017-09-25 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 610,000원
513 2017-09-26 15시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 610,000원
514 2017-09-29 9시 10시 Exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 180,000원
515 2017-10-12 14시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
516 2017-10-13 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 406,000원
517 2017-10-16 16시 17시 저저항 Super Junction 파워 MOSFET 공정 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 500,000원
518 2017-10-19 14시 15시 1st 진행 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 220,000원
519 2017-10-23 15시 16시 2nd 진행 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 220,000원
520 2017-10-25 15시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
521 2017-10-26 11시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 406,000원
522 2017-11-02 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
523 2017-11-02 9시 13시 열전소자용 Photo(Coating+Develop) : 4.0014275.01-2-2-4 (시험분석료) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 700,000원
524 2017-11-03 11시 13시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
525 2017-11-08 14시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
526 2017-11-09 11시 12시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
527 2017-11-14 12시 14시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
528 2017-11-28 14시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
529 2017-11-29 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
530 2017-12-04 14시 16시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
531 2017-12-05 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
532 2017-12-07 13시 14시 exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 236,000원
533 2017-12-07 16시 17시 exposure LG전자 센서솔루션연구소 이성단 160,000원
534 2017-12-08 10시 11시 1st 진행 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 180,000원
535 2017-12-12 10시 12시 1200V급 Trench형 SiC MOSFET 소자 개발 [4.0015452.01]_Photo 단위공정 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 500,000원
536 2017-12-13 11시 12시 2nd 진행 LG 이노텍 소자개발팀 정지철 180,000원
537 2017-12-13 14시 15시 Exposure YPP 1.7um LG전자 센서솔루션연구소 이성단 140,000원
538 2017-12-14 11시 12시 Exposure YPP 1.7um LG전자 센서솔루션연구소 이성단 168,000원
539 2017-12-19 13시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
540 2017-12-20 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 440,000원
541 2018-01-02 12시 14시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
542 2018-01-03 11시 13시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
543 2018-01-08 13시 18시 전문인력양성교육_소자공정_Photo 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 900,000원
544 2018-01-11 13시 15시 Mask 검증 Test LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
545 2018-01-12 11시 13시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
546 2018-01-16 14시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
547 2018-01-17 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
548 2018-02-02 9시 12시 2 Layer : Al, DRIE LG전자 센서솔루션연구소 이성단 336,000원
549 2018-03-05 11시 12시 7-1-3 Expose 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 220,000원
550 2018-03-07 13시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
551 2018-03-08 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
552 2018-03-13 13시 15시 유량 센서 및 후면 배선 연결 공정[과제번호:4.0015206.01]_Photo 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 400,000원
553 2018-03-21 14시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
554 2018-03-22 10시 11시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
555 2018-04-03 14시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
556 2018-04-04 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
557 2018-04-10 13시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
558 2018-04-11 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
559 2018-04-11 13시 14시 1 매 사용 입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 180,000원
560 2018-04-19 10시 12시 Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 470,000원
561 2018-04-26 9시 12시 10나노급 차세대 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
562 2018-04-27 10시 14시 Stepper 장비 1st test 사용 신청합니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 180,000원
563 2018-05-02 12시 14시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
564 2018-05-03 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 270,000원
565 2018-05-14 13시 16시 나노융합기술 장비관련 실습 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 4,400,000원
566 2018-05-24 14시 15시 8인치 Si 2매 Exposure 진행 신청입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 180,000원
567 2018-05-28 11시 12시 Exposure 진행 요청 입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 220,000원
568 2018-05-31 13시 15시 10nm 급 차세대 실리콘 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
569 2018-06-01 10시 11시 poly test W/F particle test 용
노광 1매 진행입니다.		 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 140,000원
570 2018-06-07 10시 11시 8" Si Wafer Exposure 1매 공정 의뢰입니다. (Poly Test) powertechnix powertechnix 파워테크닉스 140,000원
571 2018-06-12 14시 15시 1-2-3 Expose 고려대학교 반도체시스템공학과 김승근 140,000원
572 2018-06-12 16시 17시 Poly Particle Test 1매 Exoposure 진행 입니다. (8" Si) powertechnix powertechnix 파워테크닉스 140,000원
573 2018-06-14 14시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
574 2018-06-15 10시 11시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 338,000원
575 2018-06-18 10시 11시 HM050N120A0 (4") 3매
Exposure 진행입니다.		 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 220,000원
576 2018-06-18 15시 16시 1매 exposure 진행요청 입니다 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 40,000원
577 2018-06-19 13시 14시 4인치 4매 Exposure 신청 입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 260,000원
578 2018-06-20 11시 12시 4인치 4매
Exposure 신청입니다.		 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 260,000원
579 2018-06-21 10시 11시 4인치 4매 Exposure 진행 요청입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 260,000원
580 2018-06-22 9시 22시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
581 2018-06-25 15시 17시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 372,000원
582 2018-07-02 13시 14시 Exposure 2매 사용 신청입니다.
4인치 wafer 		powertechnix powertechnix 파워테크닉스 180,000원
583 2018-07-03 9시 18시 HM050N120A1 및 RT020065V1 총 8매
Exposure 사용 신청입니다.		 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 420,000원
584 2018-07-04 10시 12시 HM050N120A1
Exposure 진행		 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 140,000원
585 2018-07-11 13시 15시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
586 2018-07-12 10시 12시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 304,000원
587 2018-07-23 9시 18시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
588 2018-08-14 9시 20시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
589 2018-08-22 10시 11시 1-1-4 DRIE Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 134,000원
590 2018-08-22 12시 13시 1-1-3 DRIE Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 168,000원
591 2018-08-22 15시 16시 1-1-3 Metal Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 168,000원
592 2018-08-23 15시 16시 1-3-3 Metal Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 168,000원
593 2018-08-28 14시 16시 장비사용 신청입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 300,000원
594 2018-09-03 14시 15시 1-1-3 Trench Expose 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 160,000원
595 2018-09-17 9시 18시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
596 2018-09-18 15시 16시 노광 9매 진행입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 460,000원
597 2018-10-11 14시 15시 1-1-3 Trench Expose 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 160,000원
598 2018-10-19 9시 18시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
599 2018-11-27 15시 16시 Mask 검증 LG전자 ICS팀 김기민 202,000원
600 2018-11-28 9시 12시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
601 2018-12-03 13시 14시 Exposure 경북대 전자전기 컴퓨터 최영찬 180,000원
602 2018-12-03 14시 15시 Exposure 경북대 전자전기 컴퓨터 최영찬 180,000원
603 2018-12-24 9시 16시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
604 2019-02-15 9시 10시 10나노급 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 1,000,000원
605 2019-05-14 11시 12시 Lift-Off Expose 엘지디스플레이 LED 연구팀 박성경 163,000원
606 2019-05-14 14시 15시 Pattern 검증 Expose LG전자 ML Task 조병권 201,700원
607 2019-05-30 15시 16시 Stepper patterning (MR-CTLM) test
 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 154,400원
608 2019-06-10 15시 16시 PR patterning test
DNR L300-30
rpm 3000		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 154,400원
609 2019-06-10 16시 17시 NPIL(1) Align/Expo 파워마스터반도체 주식회사 제조 공정기술팀장 손춘배 0원
610 2019-06-17 17시 18시 1-1-3 Expose 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 266,200원
611 2019-06-18 14시 16시 부산테크노 동우 PR Expose 현대모비스 전력반도체팀 이정윤 960,650원
612 2019-06-28 16시 17시 2-1-3 Expose 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 266,200원
613 2019-07-02 15시 16시 PR PATTERNING 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 154,400원
614 2019-07-08 17시 18시 Mask 검증 Expose 포항공과대학교 전자과 서태원 188,800원
615 2019-07-16 12시 13시 Mask 평가_3 Expose 포항공과대학교 전자과 서태원 154,400원
616 2019-07-19 11시 12시 1-1-3 Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 158,700원
617 2019-07-24 15시 16시 PR patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 188,800원
618 2019-07-25 11시 12시 Mask평가_2 Expose 포항공과대학교 전자과 서태원 154,400원
619 2019-07-26 13시 14시 1-1-3 Expose 1_4 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 201,700원
620 2019-07-26 14시 15시 1-1-3 Expsoe 4_4 분면 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 201,700원
621 2019-07-26 15시 16시 2-2-3 Expose 4330 LG전자 센서솔루션연구소 이성단 201,700원
622 2019-07-30 11시 12시 2-1-3 Expose LG전자 센서솔루션연구소 이성단 201,700원
623 2019-08-05 10시 11시 3차 Photo_expose (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 193,100원
624 2019-08-16 11시 12시 Expose 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 206,000원
625 2019-08-19 10시 11시 2-1-3 Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유호천 158,700원
626 2019-08-20 16시 17시 1-1-3 Expose (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 193,100원
627 2019-08-20 16시 17시 1-1-3 Expose (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 302,750원
628 2019-08-28 10시 11시 Expose 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 206,000원
629 2019-08-28 10시 11시 1.0 Expose 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 335,000원
630 2019-08-28 11시 12시 2.0 Expose 알앤에스랩 센서팀 알앤에스랩 335,000원
631 2019-09-10 10시 11시 1-1-3 Expose (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 229,650원
632 2019-09-17 13시 14시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 154,400원
633 2019-09-26 15시 16시 SiC Photo Test Expose 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 229,650원
634 2019-09-27 9시 11시 SiC 공정 Expose 진행 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,764,750원
635 2019-09-30 15시 17시 전문인력양성사업 교육 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 2,750,000원
636 2019-10-10 10시 11시 0.6 um, 0.7 um 의 Open pattern 구현이 잘 되야하며, 이 부분을 중점적으로 Inspection 할 예정임 / 나노인프라 일괄 공정 사업 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
637 2019-10-11 11시 12시 0.6um 공정 Setup Expose / 나노인프라 일괄 공정 사업 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
638 2019-10-31 17시 18시 1-1-3 Expose 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 197,400원
639 2019-12-02 10시 11시 NPTM 표준 공정 평가용 샘플 제작_Expose/Align 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 600,000원
640 2019-12-06 14시 15시 4-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 197,400원
641 2019-12-06 17시 18시 1-2-3 Exposure 고려대학교 전기전자공학과 한규현 335,000원
642 2019-12-18 15시 16시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]
19.12.17 박일몽연구원과 논의 사항		 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
643 2020-01-02 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
644 2020-01-03 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
645 2020-01-06 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
646 2020-01-07 11시 12시 4-3-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 274,800원
647 2020-01-07 11시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
648 2020-01-07 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
649 2020-01-08 17시 18시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
650 2020-01-08 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
651 2020-01-08 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
652 2020-01-09 10시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
653 2020-01-09 10시 11시 6-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 158,700원
654 2020-01-09 17시 18시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
655 2020-01-10 17시 18시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
656 2020-01-10 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
657 2020-01-13 10시 11시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
658 2020-01-13 17시 18시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
659 2020-01-13 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
660 2020-01-14 16시 17시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
661 2020-01-14 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
662 2020-01-15 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
663 2020-01-17 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
664 2020-01-22 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
665 2020-01-29 8시 9시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
666 2020-01-31 8시 9시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
667 2020-02-03 13시 15시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
668 2020-02-05 9시 12시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
669 2020-02-07 9시 12시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
670 2020-02-11 9시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
671 2020-02-12 9시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
672 2020-02-13 9시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
673 2020-02-14 9시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
674 2020-02-17 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
675 2020-02-18 9시 10시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 글로비 글로비 글로비 0원
676 2020-02-25 9시 10시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업]
20.02.18 박일몽연구원 메일, 전화 조율 사항
(주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
677 2020-04-01 10시 11시 1-1-3 Align/Expo 아모센스 개발팀 박종원 292,000원
678 2020-04-02 10시 11시 2-2-3 Align/Expo 아모센스 개발팀 박종원 292,000원
679 2020-04-03 10시 11시 3-2-3 Align/Expo 아모센스 개발팀 박종원 292,000원
680 2020-04-06 10시 11시 4-1-3 Align/Expo 아모센스 개발팀 박종원 292,000원
681 2020-04-13 11시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업

20.04.07 공정요청서 박일몽 연구원 조율사항

1-1-3 Expose		 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 206,000원
682 2020-05-07 14시 15시 6-4-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 274,800원
683 2020-05-20 15시 16시 6-6-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 274,800원
684 2020-05-27 10시 11시 김동현 연구원님과 통화하였습니다.(포스텍 전자과 윤주영) 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 197,400원
685 2020-05-28 15시 16시 8-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 274,800원
686 2020-06-02 15시 16시 조건 Test Expose 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 236,100원
687 2020-06-05 15시 16시 8-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 236,100원
688 2020-06-12 14시 15시 9-1-3 Gate contact Expose 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 274,800원
689 2020-06-17 11시 12시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 197,400원
690 2020-06-19 14시 15시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 158,700원
691 2020-06-24 11시 12시 10-2-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 236,100원
692 2020-07-14 14시 15시 9-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 158,700원
693 2020-07-23 14시 15시 10-2-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 158,700원
694 2020-07-29 15시 16시 11-1-3 Expose 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 274,800원
695 2020-07-29 17시 18시 Patterning test 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 156,550원
696 2020-08-04 14시 15시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 197,400원
697 2020-08-05 17시 18시 Expose 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 229,650원
698 2020-08-10 17시 18시 1-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 302,750원
699 2020-08-13 10시 11시 Photosensitive PI split test 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 249,000원
700 2020-08-21 10시 12시 8월 19일 2매 - 이은별 연구원 진행
8월 20일 2매 - 김동현 책임님 진행
8월 21일 2매 - 직접 사용		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 378,000원
701 2020-08-25 14시 15시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 236,100원
702 2020-09-01 9시 12시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
Photo 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 550,000원
703 2020-09-02 10시 11시 1-3-1 A key Exposure 5ea (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 249,000원
704 2020-09-02 11시 12시 1-3-1 A Key Exposure 2ea 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 197,400원
705 2020-09-03 15시 18시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
Photo 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 550,000원
706 2020-09-03 16시 17시 1-3-1 A Key Exposure (Rework, Option Mask) 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 158,700원
707 2020-09-04 11시 12시 1-3-1 A Key Exposure (Rework, Option Mask) (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 206,000원
708 2020-09-07 9시 12시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
Photo 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 550,000원
709 2020-09-08 13시 14시 1-4-1 IMP Pattern Exposure (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 206,000원
710 2020-09-09 14시 15시 1-4-1 IMP Pattern Exposure(Rework 3회 진행)
 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 274,800원
711 2020-09-10 9시 12시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
Photo 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 550,000원
712 2020-09-11 13시 14시 2-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 302,750원
713 2020-09-16 11시 12시 2-1-3 Expose 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 302,750원
714 2020-09-16 13시 14시 2-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 302,750원
715 2020-09-17 14시 17시 4차 산업 연계형 나노기술인력양성
Photo 교육		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 550,000원
716 2020-10-05 9시 12시 SiC Trench MOSFET 단위공정 Exposure 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 851,000원
717 2020-10-06 13시 14시 2-6-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 266,200원
718 2020-10-08 10시 11시 alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 206,000원
719 2020-10-12 14시 15시 alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 206,000원
720 2020-10-13 10시 11시 alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 163,000원
721 2020-10-13 11시 12시 7-1-1 Contact Photo Exposure (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 249,000원
722 2020-10-13 13시 16시 SiC Trench MOSFET 단위공정 Exposure 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 595,150원
723 2020-10-14 10시 11시 alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 249,000원
724 2020-10-14 11시 12시 7-1-1 Contact Photo Exposure
 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 197,400원
725 2020-10-15 15시 18시 SiC 파워반도체 개발용 Exposure 나노융합기술원 프라운호퍼 실용화연구센터 김상조 266,200원
726 2020-10-21 9시 10시 8-2-1 Schottky Metal Photo Exposure (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 163,000원
727 2020-10-27 15시 16시 3-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 302,750원
728 2020-11-04 11시 12시 alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 249,000원
729 2020-11-05 11시 12시 Exposure calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 2,270,000원
730 2020-11-06 11시 12시 3.0 Trench Photo
4.0 P+ Photo
(TEST 포함)
 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 558,600원
731 2020-11-23 11시 12시 Si Trench Photo (Exposure) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 193,100원
732 2020-11-26 11시 12시 Si Poly-Plug2 Photo (Align/Expo) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 156,550원
733 2020-12-21 14시 15시 Exposure 한국과학기술원 기계공학과 김태영 249,000원
734 2020-12-22 14시 15시 Alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 292,000원
735 2020-12-23 10시 11시 positive PR 공정 부탁드립니다.
010-2768-0418(윤주영)		 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 236,100원
736 2020-12-24 10시 11시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 158,700원
737 2020-12-28 16시 17시 Positive PR 공정입니다
윤주영(010-2768-0418)		 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 197,400원
738 2021-01-05 11시 12시 Alignment & exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 249,000원
739 2021-01-05 14시 15시 Positive PR 사용하겠습니다.
전자과 윤주영(010-2768-0418)		 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 236,100원
740 2021-01-08 17시 18시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
741 2021-01-11 14시 15시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 222,600원
742 2021-01-12 16시 17시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
743 2021-01-14 10시 11시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
744 2021-01-15 11시 12시 유선상으로 연락드렸습니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 158,700원
745 2021-01-19 12시 13시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
746 2021-01-22 15시 16시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
747 2021-01-26 13시 16시 전문인력양성 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 3,482,000원
748 2021-01-26 13시 15시 Pattern Test 부산대학교 부산대학교 광메카트로닉스공학과 홍석원 249,000원
749 2021-01-26 15시 16시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
750 2021-01-28 11시 12시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
751 2021-01-29 16시 17시 Trench Photo_Exposure 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 193,100원
752 2021-01-29 19시 20시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
753 2021-02-10 11시 12시 SiC_T02 선행 Test (Si) - Poly Si Photo_Exposure 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 156,550원
754 2021-02-15 11시 12시 SiC_T02 선행 Test (Si) - Poly Si Photo_Exposure 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 156,550원
755 2021-02-16 14시 16시 sample: Si 6\" wf. (Ti/TiO2/n-Si test) + Si 6\" wf. (Ti/n-Si test)
내용: contact reticle 1번 patterning		 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 193,100원
756 2021-02-17 19시 20시 Patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 184,600원
757 2021-02-18 14시 15시 Stepper 공정 의뢰입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 158,700원
758 2021-02-18 19시 20시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
759 2021-02-19 15시 16시 PR patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 184,600원
760 2021-02-23 13시 15시 Isolation Photo_Expose calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 2,270,000원
761 2021-03-02 20시 21시 UV expose 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 180,800원
762 2021-03-03 16시 17시 박혁 01098797930 포항공과대학교 전자전기공학과 송용훈 154,200원
763 2021-03-04 16시 17시 기존 진행했던 stepper 공정 계속 진행하고자 합니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 236,100원
764 2021-03-05 13시 14시 6-4-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
765 2021-03-05 14시 15시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 180,800원
766 2021-03-19 11시 12시 Stepper job 생성 및r job set up 및 교육 진행. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 154,400원
767 2021-03-23 14시 15시 6-4-3 Si 선행 Test_Expose 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 154,400원
768 2021-03-23 15시 17시 Align/Expo calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 1,797,000원
769 2021-03-26 14시 15시 7-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
770 2021-03-29 15시 16시 stepper patterning (2매) 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 180,800원
771 2021-03-30 10시 11시 i-line stepper 4\" wafer 4매 patterning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 241,600원
772 2021-03-30 20시 21시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 150,400원
773 2021-03-31 10시 11시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 150,400원
774 2021-03-31 16시 17시 4\" si wafer patterning 4ea 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 241,600원
775 2021-04-01 10시 12시 공정 TEST 진행 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 193,100원
776 2021-04-05 14시 15시 리프트 오프용 n-PR 패턴 형성공정 (완료) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 156,550원
777 2021-04-08 13시 14시 1-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 257,600원
778 2021-04-12 11시 12시 9-1-3 Align/Expo (1매 Rework) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 188,800원
779 2021-04-13 14시 15시 2-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 257,600원
780 2021-04-13 15시 16시 #1 / #3 (실리콘 위 Si3N4 / SIN) 에 390 / -2.7 조건으로 부탁드립니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 193,100원
781 2021-04-15 11시 12시 9-1-3 Align/Expo (1매 Rework) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 188,800원
782 2021-04-20 19시 20시 pr patterning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 150,400원
783 2021-04-22 14시 15시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 180,800원
784 2021-04-23 16시 18시 Dry etching 용 Positive PR Litho. 및 디벨롭 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 193,100원
785 2021-04-26 11시 12시 PR patterning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 150,400원
786 2021-04-27 20시 21시 patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 150,400원
787 2021-04-29 10시 11시 alignment and exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
788 2021-05-03 11시 12시 1-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
789 2021-05-03 13시 15시 1.0 Align key layer Expose LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 378,000원
790 2021-05-07 11시 12시 2.0 Hardmask layer Expose LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 335,000원
791 2021-05-07 11시 12시 2-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
792 2021-05-07 11시 12시 9-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
793 2021-05-11 14시 15시 4.0 Passi. Etch Expose LG 전자 소재/생산기술원 소재기술원 ML Task 조영제 206,000원
794 2021-05-14 11시 12시 2-6-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
795 2021-05-14 9시 10시 2-6-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
796 2021-05-24 10시 12시 Coating / Expose 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 193,100원
797 2021-05-25 21시 22시 PR Patterning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 158,000원
798 2021-05-26 10시 12시 스텝퍼 1차 히터패턴 및 2차 패시베이션막
2매 Coating, Expose		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 266,200원
799 2021-05-31 15시 16시 pr patterning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 158,000원
800 2021-06-01 10시 12시 2차 마스크를 이용한 스텝퍼 패시베이션 공정
Photo Step x 2매		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 339,300원
801 2021-06-02 10시 11시 스탭퍼 장비를 이용한 히터패턴 패시베이션막 제작
Photo Step x 1매		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 229,650원
802 2021-06-02 14시 16시 Align/Expo calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 1,152,000원
803 2021-06-02 16시 17시 제작된 stepper mask 활용 stepper job 파일 수정 및 테스트 진행 (유선상으로 연락드렸습니다). 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 158,700원
804 2021-06-03 11시 12시 10-0-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
805 2021-06-04 18시 19시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
806 2021-06-10 14시 15시 PR patterning 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 150,400원
807 2021-06-14 10시 11시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
808 2021-06-14 13시 14시 6\" si wafer
PR patterning		 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이동훈 150,400원
809 2021-06-18 17시 18시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
810 2021-06-21 11시 12시 11-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 223,200원
811 2021-06-28 11시 12시 2-10-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
812 2021-06-28 11시 12시 - 포항공과대학교 신소재공학과 김재림 158,700원
813 2021-06-29 15시 16시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
814 2021-07-01 18시 19시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
815 2021-07-08 16시 17시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
816 2021-07-13 13시 14시 SD21Y07M-elec 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
817 2021-07-14 10시 11시 11-1-3 Power Metal Align/Expo (Module Test) 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 188,800원
818 2021-07-14 18시 19시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
819 2021-07-15 15시 16시 SD21Y07M-MI
photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
820 2021-07-16 10시 18시 전북대학교 나노소자공정 실습교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,000,000원
821 2021-07-16 18시 19시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
822 2021-07-20 15시 16시 SD21Y07M-PHOLE 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
823 2021-07-22 17시 18시 직접 사용 입니다 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
824 2021-07-22 9시 10시 SD21Y07M-NHOLE 3매

IDP320179-NH 3매		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 348,000원
825 2021-07-27 17시 18시 SD21Y07M-LEG 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
826 2021-07-28 15시 16시 2-14-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
827 2021-07-29 13시 14시 21Y08M-ELEC

Photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 348,000원
828 2021-07-30 10시 11시 SD21Y08M-ELEC

Photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
829 2021-08-02 9시 18시 SBD02 Run_Photo_coating_Expose_Develop[4.0021851.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,152,000원
830 2021-08-04 15시 16시 SD21Y07M-SEED

Photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
831 2021-08-11 14시 16시 대구가톨릭대학교 반도체 공정실습 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,000,000원
832 2021-08-11 9시 10시 SD21Y07M-CONT 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
833 2021-08-17 13시 14시 SD21Y08M-MI

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 310,000원
834 2021-08-18 15시 16시 SD21Y08M-PHOLE

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
835 2021-08-20 15시 16시 SD21Y08M-NHOLE

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
836 2021-08-24 10시 11시 SD21Y08M-NHOLE

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
837 2021-08-26 11시 12시 Bond Pad - Align/Expo calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 1,152,000원
838 2021-09-02 14시 16시 4\\\" Ge wafer 2매
PR patterning

나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업, 전자과 이동훈(010.6763.7749)		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 196,000원
839 2021-09-06 10시 18시 SiC Trench Test 1.5(TT1.5) Lot_Photo 공정 All 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 2,000,000원
840 2021-09-14 15시 16시 SD21Y08M-LEG

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
841 2021-09-14 16시 17시 4-4-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
842 2021-09-15 15시 16시 4-4-3 Align/Expo Rework 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 223,200원
843 2021-09-16 13시 14시 SD21Y08M-SEED 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
844 2021-09-24 9시 18시 나노융합고도화사업
Align/Expo		 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 1,000,000원
845 2021-09-27 14시 15시 SD21Y08M-CONT 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
846 2021-09-28 17시 18시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
847 2021-10-05 13시 14시 8inch wafer- SEED 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
848 2021-10-14 10시 11시 SD21Y07M-SENS 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
849 2021-10-14 13시 14시 5-5-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
850 2021-10-18 9시 18시 SiC_TT02_Photo [4.0021875.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,152,000원
851 2021-10-19 15시 16시 SD21Y07M-SENS(wafer2,3)
(SiO2 10nm 올라가있음)

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
852 2021-10-25 16시 17시 7-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
853 2021-10-26 11시 12시 SD21Y08M-SENS

 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
854 2021-10-28 9시 18시 EYEQ_02 (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 1,000,000원
855 2021-10-29 11시 12시 SD21Y10M-ELEC
photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
856 2021-11-02 14시 15시 SD21Y10M-ELEC

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
857 2021-11-03 14시 17시 전문인력양성과정 MEMS 센서 소자제작교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,500,000원
858 2021-11-04 15시 16시 직접 사용입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 김익재 154,200원
859 2021-11-08 17시 18시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 이동훈(010.6763.7749) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 272,000원
860 2021-11-09 15시 16시 SD21Y10M-MI
photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
861 2021-11-09 15시 17시 Tracepssoxcut Photo - Align/Expo calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 1,152,000원
862 2021-11-10 10시 11시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 이동훈(010.6763.7749)
 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 234,000원
863 2021-11-15 10시 11시 8-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
864 2021-11-16 10시 11시 P-PR을 이용한 패턴 형성요청드립니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 229,650원
865 2021-11-17 14시 17시 전문인력양성과정 MEMS 센서 소자제작교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 1,500,000원
866 2021-11-18 10시 11시 SD21Y08M-SENS

photo(wafer2,3)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
867 2021-11-19 16시 18시 Flexcut Photo Align/Expo calient Technologies ,Inc MEMS Technology 장호연 1,152,000원
868 2021-11-23 15시 16시 SD21Y10M-PHOLE

3매 photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
869 2021-11-25 17시 18시 SD21Y08M-PA

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
870 2021-12-10 10시 11시 SD21Y10M-LEG

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
871 2021-12-10 15시 16시 9-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 257,600원
872 2021-12-14 11시 12시 SD21Y10M-leg

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
873 2021-12-16 10시 11시 SD21Y08M-PAD OPEN

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
874 2021-12-17 10시 11시 SD21Y10M-SEED
photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
875 2021-12-21 13시 14시 SD21Y10M-LEG

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
876 2021-12-23 10시 11시 SD21Y10M-LEG

photo		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
877 2022-01-25 9시 18시 PI patterning, PAD mask photo 공정 진행 충남대학교 재료공학과 황규환 872,400원
878 2022-02-15 14시 16시 Exposure 주식회사 보다 연구개발 김형원 804,000원
879 2022-02-16 11시 12시 (WM)Exposure 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,200원
880 2022-02-17 10시 11시 1-1-3 Align/Expo (주)엘란테크놀러지 기술 (주)엘란테크놀러지 249,000원
881 2022-02-22 9시 18시 장비 이상 여부 확인 충남대학교 재료공학과 황규환 975,000원
882 2022-03-07 9시 10시 stepper III 및 track 장비를 사용하여 SiO2/GaP/sapphire wafer 상에 photo 공정 진행 버티클 연구개발 버티클 206,000원
883 2022-03-31 9시 10시 SiO2 증착된 wafer 위에 photo 공정 진행 버티클 연구개발 버티클 206,000원
884 2022-04-04 16시 16시 MESA 1매 Align/Expo 버티클 연구개발 버티클 163,000원
885 2022-04-06 10시 18시 SiC Sub, Al 박막 충남대학교 재료공학과 황규환 564,600원
886 2022-04-13 17시 18시 Mesa Align/Expo 버티클 연구개발 버티클 163,000원
887 2022-04-19 15시 16시 1-2-3 Align/Expo 주식회사 이엔아이솔루션 공정 임태산북두 421,000원
888 2022-04-20 10시 13시 exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
889 2022-04-21 11시 12시 1-2-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 0원
890 2022-04-22 18시 19시 1-1-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 0원
891 2022-04-22 9시 18시 10월~1월 계약건 외 장비 사용 (주)파워테크닉스 　 김도하 5,652,000원
892 2022-04-26 14시 18시 6inch PI 진행 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 633,000원
893 2022-04-27 11시 12시 2-2-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 0원
894 2022-04-28 16시 17시 3-1-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 0원
895 2022-04-29 10시 11시 SD22Y04M-Exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
896 2022-05-02 19시 22시 6inch PI 진행 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 804,000원
897 2022-05-10 10시 11시 SD22Y04M_Exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
898 2022-05-11 9시 10시 2-2-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 249,000원
899 2022-05-16 16시 17시 3-1-3 Align/Expo, Expose Dose split 160msec 1매 (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 163,000원
900 2022-05-16 16시 17시 3-1-3 Align/Expo, Bare wafer Test 1매 (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 163,000원
901 2022-05-16 16시 17시 3-1-3 Align/Expo, Expose Dose split 150msec 1매 (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 163,000원
902 2022-05-16 16시 17시 3-1-3 Align/Expo, Expose Dose split 170msec 1매 (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 163,000원
903 2022-05-17 10시 11시 중기청 바우쳐(Z-22-147943) 실사용장비 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
904 2022-05-19 10시 11시 Exposure(중기청 바우쳐 Z-22-149265 실사용) 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
905 2022-05-24 11시 12시 Z-22-151533 실사용장비 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
906 2022-05-25 14시 15시 노광: Z-22-152312 실사용 장비 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
907 2022-06-02 17시 22시 6인치 PI 진행 (주)예스파워테크닉스 제조팀 윤혜란 598,800원
908 2022-06-07 11시 12시 Align/Expo 포항공과대학교 화학공학과 정충환 188,800원
909 2022-06-09 13시 14시 노광 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
910 2022-06-13 11시 12시 Align/Expo 포항공과대학교 화학공학과 정충환 188,800원
911 2022-06-14 17시 18시 Color PR(패턴)
바우처사용		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
912 2022-06-15 10시 12시 전일과 동일하게 신청 드립니다. 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 김동균 196,000원
913 2022-06-15 13시 15시 8inch wafer
WM_photo test
(바우처사용)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
914 2022-06-16 10시 11시 SD22Y05M- NHOLE Exposure
(바우처사용)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
915 2022-06-16 13시 14시 8inch
WM_photo split test 2EA
(바우처사용)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
916 2022-06-16 15시 16시 SD22Y05M - NHOLE Exposure
(바우처사용)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
917 2022-06-17 13시 14시 WM_CF test 8inch 노광
(바우처 사용)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
918 2022-06-20 8시 14시 6inch 15매 직접 진행 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 633,000원
919 2022-06-21 10시 10시 1-1-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 249,000원
920 2022-06-21 15시 18시 WM_photo split test
(바우처사용)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 0원
921 2022-06-22 17시 19시 6inch Exposure 진행으로 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 633,000원
922 2022-06-27 13시 15시 WM_Test
GXR601 노광 (8ea)
Color PR_RED 노광(2ea)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 500,000원
923 2022-06-27 16시 17시 2-2-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 206,000원
924 2022-06-28 14시 15시 펨토리 Waveguide Coating
(나노융합기반 고도화사업)		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
925 2022-06-29 13시 14시 노광
WM_R 5EA_8inch
펨토리 2EA_6inch
WM_CF Test 2EA_8inch
[나노융합기반 고도화산업]		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 462,000원
926 2022-06-30 9시 10시 펨토리 layer2 Exposure
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
927 2022-07-01 13시 16시 없음 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 462,000원
928 2022-07-04 16시 17시 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 163,000원
929 2022-07-05 10시 11시 1-2-3 Align/Expo 주식회사 이엔아이솔루션 공정 임태산북두 550,000원
930 2022-07-05 11시 12시 [나노융합기반 고도화산업]
boda 내부과제 6inch 노광 - 5ea		 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 310,000원
931 2022-07-05 15시 16시 LXS_M01 CD-SEM, FIB-SEM 평가 용 2매 (250msec, -1.4) Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 206,000원
932 2022-07-05 15시 16시 LXS_M02 Etch 평가 용 3매 (250msec, -1.4) Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 249,000원
933 2022-07-06 11시 12시 LXS_M02 Etch 평가 용 1매 추가 Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 163,000원
934 2022-07-06 11시 12시 LXS_03 SiC wf 3매 (250,-.1.4) Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 249,000원
935 2022-07-06 15시 15시 3.0 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 163,000원
936 2022-07-06 9시 10시 LXS_M01 Photo 조건 split 평가 용 2매 Focus -2.0, -0.8 Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 206,000원
937 2022-07-06 9시 10시 LXS_M02 Etch 평가 용 1매 추가Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 163,000원
938 2022-07-18 16시 20시 9매 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 427,800원
939 2022-07-18 9시 10시 SD22Y05M-01 NHOLE Exposure 3EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 234,000원
940 2022-07-19 11시 12시 1-1-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 550,000원
941 2022-07-19 13시 14시 2매 Etch 평가용 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 206,000원
942 2022-07-19 15시 15시 Photo split 평가용 8매 (HB온도, Focus split) 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 944,000원
943 2022-07-20 11시 12시 5매 Etch 평가 용Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 335,000원
944 2022-07-20 14시 15시 Photo split 평가용 DEV Time Split 4매Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 292,000원
945 2022-07-21 14시 15시 SD22Y05M-02 Exposure 6EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 348,000원
946 2022-07-26 10시 11시 FEM Exposure 1EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 158,000원
947 2022-07-26 13시 14시 FEM Groove layer Exposure 1EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 158,000원
948 2022-07-28 17시 17시 1-1-3 Align expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 292,000원
949 2022-07-29 11시 12시 2-1-3 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 593,000원
950 2022-08-01 11시 12시 1.2 Align/Expo 나노융합기술원 미래기술팀 이상권 485,500원
951 2022-08-01 11시 11시 1-2-3 Align/Expo 주식회사 이엔아이솔루션 공정 임태산북두 636,000원
952 2022-08-01 16시 21시 - (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 325,200원
953 2022-08-04 10시 10시 FEM Exposure 2EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 196,000원
954 2022-08-05 15시 15시 3-1-3 분파 Align/Expo (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 249,000원
955 2022-08-08 10시 12시 Photo Patterning (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 222,600원
956 2022-08-08 9시 9시 FEM Groove 2차 Exposure
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 158,000원
957 2022-08-10 10시 10시 SD22Y05M-01 LEG layer Exposure 6인치 1EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 158,000원
958 2022-08-10 10시 11시 2-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 292,000원
959 2022-08-11 11시 11시 SD22Y05M LEG Exposure 6인치 1EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 196,000원
960 2022-08-12 10시 10시 SD22Y05M - LEG Exposure 6인치 1EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 158,000원
961 2022-08-16 15시 15시 Etch 평가용 2매 Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 206,000원
962 2022-08-16 15시 15시 Photo split 평가용 7매Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 901,000원
963 2022-08-16 17시 20시 2장 진행 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 188,400원
964 2022-08-16 9시 9시 SD22Y05M- LEG Exposure 6인치 1EA
[나노융합기반 고도화사업]		 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,200원
965 2022-08-17 10시 12시 4장 진행 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 256,800원
966 2022-08-17 13시 14시 8매 Etch 평가용 Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 584,000원
967 2022-08-17 14시 14시 Photo split 평가용 2매 Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 326,000원
968 2022-08-17 15시 16시 3매 진행 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 222,600원
969 2022-08-18 10시 10시 SD22Y05M-01 LEG Exposure 6인치 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,200원
970 2022-08-19 9시 9시 SD22Y05M- LEG Exposure 6인치 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,200원
971 2022-08-22 15시 15시 SD22Y05M- LEG Exposure 6인치 2매 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,400원
972 2022-08-23 13시 13시 SD22Y05M-LEG Exposure 6인치 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,200원
973 2022-08-23 9시 9시 3-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 292,000원
974 2022-08-29 10시 10시 6매 선작업 진행 Photo split Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 858,000원
975 2022-08-29 11시 11시 SD22Y05M - Sample Develop 6인치 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,200원
976 2022-08-29 16시 24시 49매 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 1,795,800원
977 2022-08-30 1시 9시 42매 4inch SiC wafer 직접 진행 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 1,556,400원
978 2022-09-01 14시 15시 6장 진행 (주)예스파워테크닉스 부설연구소 김기현 325,200원
979 2022-09-01 21시 3시 2매 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 188,400원
980 2022-09-05 14시 14시 SD22Y05M - LEG Exposure 6인치 2매 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,400원
981 2022-09-05 16시 18시 1.1 Align/Expose 나노융합기술원 미래기술팀 이상권 485,500원
982 2022-09-07 14시 15시 4-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 292,000원
983 2022-09-12 14시 15시 4.1 Align/Expo 나노융합기술원 미래기술팀 이상권 485,500원
984 2022-09-13 10시 11시 2매 선진행 요청Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 326,000원
985 2022-09-13 13시 18시 Photo 현상, 노광 split 7매 Align/Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 781,000원
986 2022-09-14 9시 11시 5.2 Align/Expo 나노융합기술원 미래기술팀 이상권 412,400원
987 2022-09-19 9시 10시 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김형정 274,800원
988 2022-09-19 9시 10시 Expo(Full shot) 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김형정 274,800원
989 2022-09-20 17시 18시 5-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 335,000원
990 2022-09-21 15시 16시 SD22Y09M - ELEC Exposure 6인치 3EA 주식회사 보다 연구개발 김형원 222,600원
991 2022-09-22 20시 3시 3매 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 222,600원
992 2022-09-26 12시 14시 SAIT_PSPI Set up_ Align/Expo 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 5,090,900원
993 2022-09-26 17시 17시 Etch 평가 2매Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 206,000원
994 2022-09-27 16시 16시 SD22Y09M - MI Exposure - 2EA 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,400원
995 2022-09-28 13시 13시 SVS Track 호환 확인 2매Expo 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 326,000원
996 2022-09-29 15시 16시 SD22Y09M - PHOLE Exposure_6인치 2매 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,400원
997 2022-09-30 9시 10시 TLM Exposure_6인치 5매 주식회사 보다 연구개발 김형원 291,000원
998 2022-10-04 10시 11시 1-1-3 Align/Expo 삼성전자 생산기술연구소 구자명 550,000원
999 2022-10-04 10시 10시 #3,#4 Photo expose split Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 326,000원
1000 2022-10-04 13시 14시 TLM Pattern Exposure _6인치 5매 주식회사 보다 연구개발 김형원 291,000원
1001 2022-10-04 15시 15시 Etch split 평가용 7매 Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 421,000원
1002 2022-10-04 16시 16시 #5~#10 6매 PEB, COOL Split test Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 378,000원
1003 2022-10-05 13시 13시 #1,#2 Photo 평가 2매Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 326,000원
1004 2022-10-05 15시 15시 Etch 평가용 추가 5매Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 335,000원
1005 2022-10-06 11시 11시 Etch 평가용 추가 1매Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 163,000원
1006 2022-10-11 10시 11시 1-1-3 Align/Expo 삼성전자 생산기술연구소 구자명 550,000원
1007 2022-10-11 16시 17시 7-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 335,000원
1008 2022-10-14 11시 11시 SD22Y09M - NHOLE Exposure_2EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
1009 2022-10-17 10시 11시 Align/Expo(Stepper) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 1,219,200원
1010 2022-10-18 14시 18시 12매 진행 입니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 530,400원
1011 2022-10-24 7시 12시 6inch SiC wafer 15매 직접 사용 합니다 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 633,000원
1012 2022-10-25 19시 21시 6Inch 6매 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 325,200원
1013 2022-10-26 11시 11시 6-1차 Photo split Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 652,000원
1014 2022-10-26 20시 21시 6inch 노광 목적으로 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 291,000원
1015 2022-10-27 10시 20시 6inch 34매 SiC 직접 사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 1,282,800원
1016 2022-10-27 9시 10시 Etch split 평가용 Photo 190/-1.6
Expose		 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 464,000원
1017 2022-10-28 15시 16시 8-5-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 335,000원
1018 2022-11-01 13시 14시 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 화학공학과 김형정 197,400원
1019 2022-11-01 13시 14시 Etch 평가용 추가 2매Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 206,000원
1020 2022-11-01 14시 16시 6inch 제품 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 427,800원
1021 2022-11-01 16시 17시 안녕하세요.노준석 교수님 연구실 정충환입니다.
Al, Au 금속 박막이 100nm 가량 깔려있는 4\" Si wafer에 포토 리소그래피를 진행하려 합니다. 레티클은 이전에 저희 측(노준석 교수님 연구실)에서 보관해둔 것을 사용하시면 되고, lift-off 용으로 4-5um 이상의 두꺼운 네거티브 PR(보통 의뢰했던 케이스와 반대로, 패턴 부분에 PR이 남아야 합니다)을 사용해주시길 부탁드립니다. PR 코팅, 노광, develop까지 부탁드립니다. 웨이퍼는 11월 1일 오후 3시까지 맡기는 시편함에 넣어두도록 하겠습니다. 혹시 궁금하신 점이 있으시면 010-3292-6396으로 전화 부탁드립니다.		 포항공과대학교 화학공학과 정충환 188,800원
1022 2022-11-02 11시 12시 6inch 제품 진행 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 393,600원
1023 2022-11-02 13시 14시 Photo lithography 6-2차 Test Expose 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 978,000원
1024 2022-11-04 13시 13시 4 inch Stepper
(최병철 프로 Expose 평가)		 삼성전자 Chip개발그룹 김시한 876,000원
1025 2022-11-04 20시 24시 11매진행입니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 496,200원
1026 2022-11-10 10시 11시 VOx Test Pattern Exposure 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
1027 2022-11-14 10시 11시 Expose 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 327,600원
1028 2022-11-18 15시 15시 3-6-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 188,800원
1029 2022-11-21 10시 11시 VOx Test Pattern Exposure_6인치 3EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
1030 2022-11-22 11시 11시 Oxide etch 4-1차 DOE table 10매
Expose		 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 550,000원
1031 2022-12-02 9시 10시 Align/Expo 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김태균 892,800원
1032 2022-12-05 17시 18시 NINT Etch back Up용 Photo process 확인
Expose		 주식회사 엘엑스세미콘 소자팀 황준하 652,000원
1033 2022-12-05 19시 23시 SIC 6inch 14매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 598,800원
1034 2022-12-06 12시 12시 VOx Test Pattern Exposure 6인치 3EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
1035 2022-12-06 19시 22시 6inch SIC 11매 직접사용 (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 496,200원
1036 2022-12-07 13시 15시 VOx Test Pattern Exposure 6인치 3매 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
1037 2022-12-07 7시 10시 15매 장비 사용 하겠습니다. (주)예스파워테크닉스 제조그룹 이유진 633,000원
1038 2022-12-08 10시 12시 VOx Test Pattern Exposure_6인치_3EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 234,000원
1039 2022-12-08 15시 16시 VOx Test Pattern Exposure 6인치 2EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
1040 2022-12-12 10시 11시 Align/Expo(Stepper) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 박후근 1,391,200원
1041 2022-12-13 10시 11시 SD22Y10M_Meta PA_Exposure 1EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
1042 2022-12-15 16시 18시 1950 소재 평가 test 8회
Expose		 삼성전자 chip개발 최병철 1,304,000원
1043 2022-12-16 11시 12시 1-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 197,400원
1044 2022-12-19 10시 12시 VOx Test Pattern Exposure_6인치 2매 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
1045 2022-12-19 9시 10시 Align/Expo 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김태균 446,400원
1046 2022-12-19 9시 11시 Align/Expo 삼성디스플레이 LED Lab 송영진 464,000원
1047 2022-12-20 13시 14시 Align/Expo(Stepper) 삼성디스플레이 선행제품연구팀 김상조 154,400원
1048 2022-12-23 15시 15시 10-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 335,000원
1049 2022-12-26 11시 12시 Align/Expo(Stepper) 동우화인캠(주) 반도체소재2팀 윤수빈 1,195,000원
1050 2023-01-02 11시 11시 VOx Test Pattern Exposure_6인치 4매 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 272,000원
1051 2023-01-11 11시 11시 11-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 249,000원
1052 2023-01-11 13시 13시 PA_META - Exposure_1EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 158,000원
1053 2023-01-12 9시 9시 PA_META - Exposure_6인치 2EA 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 196,000원
1054 2023-01-17 22시 24시 TC 불량 개선 6차 & 7차 개선 대응 Test 제품 PI 공정 진행 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 348,000원
1055 2023-01-31 22시 24시 TC검증 5차, 시그넷向 총9매 공정 진행 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 424,000원
1056 2023-02-01 16시 16시 Metal Key open photo Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 249,000원
1057 2023-02-02 16시 16시 12-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 249,000원
1058 2023-02-06 15시 17시 Align/Expo 삼성디스플레이 SDC硏 LED LAB 원치훈 618,400원
1059 2023-02-22 13시 13시 MLA 평가 Expose 삼성디스플레이 Microdisplay팀 고효진 154,400원
1060 2023-02-27 16시 16시 11-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 206,000원
1061 2023-03-08 17시 18시 VOX_SENS_DNR Exposure_1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,000원
1062 2023-03-09 12시 13시 12-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1063 2023-03-09 13시 14시 Expose 총 6매 진행 (3회 각기 진행 기본료 추가) 삼성디스플레이 Microdisplay팀 고효진 600,000원
1064 2023-03-09 13시 14시 12-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1065 2023-03-10 17시 17시 10-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1066 2023-03-13 16시 17시 SD NHOLE Exposure 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,000원
1067 2023-03-14 9시 10시 SD NHOLE Exposure 2매 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,000원
1068 2023-03-15 10시 11시 SD ELEC_Exposure 3매 주식회사 보다 연구개발 김형원 222,000원
1069 2023-03-16 14시 15시 SD MI - Exposure_3매 주식회사 보다 연구개발 김형원 256,000원
1070 2023-03-20 15시 16시 SD PHOLE - Exposure _ 3매 주식회사 보다 연구개발 김형원 222,000원
1071 2023-03-20 18시 19시 SD PHOLE - Exposure 2매 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,000원
1072 2023-03-29 10시 11시 SD NHOLE - Exposure_3매 주식회사 보다 연구개발 김형원 222,000원
1073 2023-03-29 17시 18시 SD NHOLE - Exposure_3매 주식회사 보다 연구개발 김형원 222,000원
1074 2023-03-31 10시 11시 SD LEG - Exposure 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,000원
1075 2023-03-31 11시 12시 SD LEG - Develop 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,000원
1076 2023-04-03 14시 15시 SD PHOLE - Exposure 2EA 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,000원
1077 2023-04-05 17시 18시 SD SEED - Exposure 주식회사 보다 연구개발 김형원 188,000원
1078 2023-04-07 13시 14시 SD CONT - Exposure 1매 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,000원
1079 2023-04-13 13시 14시 SD22Y03M - NHOLE Exposure_1먜 주식회사 보다 연구개발 김형원 154,000원
1080 2023-04-17 13시 14시 [나노융합기반 고도화사업]
SD LEG - Exposure_2매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 200,000원
1081 2023-04-19 11시 12시 [나노융합기반 고도화사업]
SD SEED - Exposure_6인치 2매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 200,000원
1082 2023-04-20 13시 14시 [나노융합기반 고도화사업]
SD23Y04M - ELEC
- Exposure_3매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 240,000원
1083 2023-04-25 13시 14시 [나노융합기반 고도화사업]
SD23Y04M - PHOLE Exposure		 주식회사 보다 연구개발 김형원 240,000원
1084 2023-04-26 9시 10시 [나노융합기반 고도화사업]
SD NHOLE - Exposure_4매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 280,000원
1085 2023-05-02 12시 13시 [나노융합기반 고도화사업]
SD LEG - DEvelop 3매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 240,000원
1086 2023-05-03 9시 10시 [나노융합기반 고도화사업]
SD SEED - Exposure_2매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 200,000원
1087 2023-05-09 14시 16시 Exposure 직접 이용
 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 336,000원
1088 2023-05-10 10시 11시 [나노융합기반 고도화사업]
SD PA - Exposure 1매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 160,000원
1089 2023-05-10 13시 14시 [나노융합기반 고도화사업]
SD PA - Exposure 3매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 240,000원
1090 2023-05-11 9시 13시 [나노융합기반 고도화사업]
SD PA - Exposure 3매		 주식회사 보다 연구개발 김형원 240,000원
1091 2023-05-17 10시 12시 Exposure 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 336,000원
1092 2023-05-18 13시 14시 SiC 포커스 작업 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 156,000원
1093 2023-06-07 10시 12시 Exposure 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
1094 2023-06-12 10시 12시 SiC Wafer test Expose 주식회사 제이티엔유 영업팀 제이티엔유 220,000원
1095 2023-06-28 10시 12시 Exposure

고도화 사업		 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 320,000원
1096 2023-07-06 9시 11시 1-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 520,000원
1097 2023-07-17 16시 18시 Exposure 직접 이용

고도화 사업		 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 280,000원
1098 2023-07-26 10시 12시 고도화사업 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 280,000원
1099 2023-07-27 10시 12시 8인치 Photo 3장 주식회사 보다 연구개발 김형원 222,000원
1100 2023-08-02 9시 10시 1-1-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1101 2023-08-03 9시 11시 expo 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 1,440,000원
1102 2023-08-07 9시 11시 1-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1103 2023-08-08 12시 13시 2-2-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1104 2023-08-08 13시 14시 2-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1105 2023-08-18 13시 14시 10-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 박민지 210,000원
1106 2023-08-18 15시 16시 3-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1107 2023-08-21 10시 11시 3-2-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1108 2023-08-21 14시 15시 Exposure

 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 228,000원
1109 2023-08-23 9시 12시 wafer 1 : GXR 46cp PR Collapse 파악 용
wafer 2 : Ti 1000A Depo, GXR 46cp PR collaspe X 파악 용
wafer 3 : YPP 1700, PR Collase X, line size ~1.2um
wafer 4 : YPP 1700, NO PEB PR Collase X, line size ~1.2um
wafer 5 : 노광 조건 확인 후 YPP 1700, PR Collase X, line size ~1.5um
wafer 6 : PEB O YPP 1700, PR Collase X, line size ~1.5um
wafer 7 : PEB 30s YPP 1700, PR Collase X, line size ~1.5um

총 7매 개별 진행 Expose		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 1,120,000원
1110 2023-08-24 10시 12시 1-1-3 Akey Expose 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
1111 2023-08-25 10시 11시 Rainbow 장비 Oxide Etch 평가 1매

Align/Expo		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 160,000원
1112 2023-08-25 9시 10시 영진전문대학교 반도체공정 실습교육

Expose/Align		 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 750,000원
1113 2023-08-28 10시 12시 Exposure

 주식회사 아이큐랩 생산기술 김희종 264,000원
1114 2023-08-28 14시 15시 1-1-3 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
1115 2023-08-29 9시 10시 Ox 20000A, YPP 1.5um Target Etching 조건 테스트 용 Expose 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 280,000원
1116 2023-08-30 11시 12시 4-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1117 2023-08-30 9시 10시 4-2-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1118 2023-09-04 13시 14시 3-1-3 GATE Photo Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
1119 2023-09-05 10시 12시 2-2-3 Align/Expo Fox 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
1120 2023-09-07 13시 14시 1-1-3 Align/Expo AKEY 삼성전자 DS 김태훈 0원
1121 2023-09-08 15시 16시 5-2-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1122 2023-09-08 17시 18시 5-2-3 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1123 2023-09-19 20시 21시 1.0 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 255,000원
1124 2023-09-20 14시 15시 2-1-3 Align/Expo (Pwell) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
1125 2023-09-21 13시 14시 1-1-3 Align/Expo AKEY 삼성전자 DS 김태훈 0원
1126 2023-09-22 12시 13시 Fox Layer HMDS Skip, 기존 HB 조건 진행
Align/ Expo		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 200,000원
1127 2023-09-22 13시 14시 1-2-3 Align/Expo ESTOP 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 520,000원
1128 2023-09-25 12시 13시 2-1-3 Align/Expo (Pwell) 나머지 7매 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 400,000원
1129 2023-09-25 17시 18시 L2 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 255,000원
1130 2023-09-26 14시 15시 7-2-3 Align/Expo FOX 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1131 2023-09-26 16시 17시 7-2-3 Align/Expo FOX 삼성전자 DS 김태훈 0원
1132 2023-09-26 17시 18시 SL002 5매 Rework, 기존 조건 HB, HMDS o
Align/Expo		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1133 2023-10-06 14시 15시 2-1-3 Align/Expo (TA Reticle) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 480,000원
1134 2023-10-06 16시 17시 L3 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1135 2023-10-06 17시 18시 2-1-3 Align/Expo (TA Reticle) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1136 2023-10-10 14시 15시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1137 2023-10-10 17시 18시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 280,000원
1138 2023-10-11 13시 14시 3-1-3 Ohmic Layer Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1139 2023-10-13 13시 14시 6-1-3 RCSS Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
1140 2023-10-18 13시 14시 1-1-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1141 2023-10-18 17시 18시 1-1-3 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1142 2023-10-20 10시 11시 Metal 포토 이전, KEY OPEN Step Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1143 2023-10-20 14시 15시 4-2-3 Metal Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1144 2023-10-23 13시 14시 L4 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1145 2023-10-26 14시 15시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1146 2023-10-26 16시 17시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1147 2023-10-26 9시 11시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 640,000원
1148 2023-10-27 13시 14시 8-5-3 Layer7 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1149 2023-10-27 15시 16시 8-5-3 Layer7 Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1150 2023-10-29 15시 16시 10-1-3 Align/Expo L8 Ohmic 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 210,000원
1151 2023-10-29 17시 18시 10-1-3 Align/Expo L8 Ohmic 삼성전자 DS 김태훈 0원
1152 2023-11-02 17시 18시 8-1-3 Align/Expo M4 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
1153 2023-11-06 11시 12시 11-1-3 Via Gate Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1154 2023-11-06 11시 12시 11-1-3 Via Gate Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1155 2023-11-06 15시 16시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 200,000원
1156 2023-11-07 10시 11시 12-2-3 KEY OPEN Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1157 2023-11-07 11시 12시 12-2-3 KEY OPEN Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1158 2023-11-07 15시 16시 2-1-3 Align/Expo Si wafer 4매 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 280,000원
1159 2023-11-07 17시 18시 2-1-3 Align/Expo SiC wafer 1매 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 160,000원
1160 2023-11-08 10시 12시 2-1-3 Align/Expo SiC wafer 4매 Ta 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 400,000원
1161 2023-11-08 16시 17시 9-1-3 Align/Expo M5 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 210,000원
1162 2023-11-13 14시 15시 13-1-3 Align/Expo Metal 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1163 2023-11-13 16시 17시 13-1-3 Align/Expo Metal 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 0원
1164 2023-11-14 14시 15시 2-2-4 Align/Expo JFET 삼성전자 DS 김태훈 0원
1165 2023-11-15 11시 12시 2-2-4 Align/Expo JFET 삼성전자 DS 김태훈 0원
1166 2023-11-17 15시 16시 11-1-3 L9 Via Gate Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1167 2023-11-21 10시 11시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1168 2023-11-21 15시 17시 SL009,10,11 Rework Ta Reticle 1st 포토
Align/Expo		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
1169 2023-11-22 15시 16시 L5 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1170 2023-11-23 17시 18시 12-2-3 Align/Expo (key open) 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1171 2023-11-24 15시 16시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 280,000원
1172 2023-11-27 10시 11시 13-1-3 L10_Metal Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1173 2023-11-27 13시 15시 2-2-3 JFET Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1174 2023-11-27 9시 11시 2-2-4 M02_JFET Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1175 2023-11-28 13시 14시 L11 Passi Align/Expo 포항공과대학교 선행기술팀 박범성 165,000원
1176 2023-11-29 14시 15시 WF 1,2 Passivation PSPI Expose 삼성전자 DS 김태훈 0원
1177 2023-11-29 15시 17시 SDC_U14 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 750,000원
1178 2023-11-29 9시 11시 5-2-3 Passivation Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 200,000원
1179 2023-12-04 13시 14시 L0 Layer Develop 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 255,000원
1180 2023-12-04 14시 15시 WF 3,4,5 14-1-3 PSPI Passi Expose 삼성전자 DS 김태훈 0원
1181 2023-12-04 15시 16시 L6 Layer Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1182 2023-12-07 14시 15시 13-1-3 L10 Metal Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1183 2023-12-08 13시 14시 3-2-4 Pwell Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 200,000원
1184 2023-12-09 12시 13시 6-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1185 2023-12-09 14시 15시 6-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1186 2023-12-11 13시 15시 4-2-4 Nplus Align/Expo YPP-1700 TEST 진행 (Rework 포함 총 4회, 기본료 개별 청구) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 640,000원
1187 2023-12-12 16시 17시 6-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1188 2023-12-12 18시 19시 6-2-4 Align/Expo JTE 삼성전자 DS 김태훈 0원
1189 2023-12-18 10시 11시 3-2-4 Align/Expo (P well) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1190 2023-12-18 14시 15시 3-2-4 Align/Expo (P well) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1191 2023-12-18 16시 17시 SL021 Pwell 포토 PECVD Ox 적용 2매 Expose 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 200,000원
1192 2023-12-20 13시 14시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1193 2023-12-20 15시 16시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1194 2023-12-20 9시 10시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
1195 2023-12-22 16시 17시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1196 2024-01-02 13시 14시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1197 2024-01-02 14시 15시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1198 2024-01-03 10시 11시 SC001 WF#5 Passi Photo
Align/Expo		 삼성전자 DS 김태훈 0원
1199 2024-01-03 14시 15시 3-2-4 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1200 2024-01-03 16시 17시 3-2-4 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1201 2024-01-04 14시 15시 L6, Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 165,000원
1202 2024-01-04 15시 16시 L2 2매 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1203 2024-01-04 16시 17시 L4 2매 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1204 2024-01-15 13시 14시 5-2-4 P+ Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1205 2024-01-15 9시 10시 5-2-4 P+ Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1206 2024-01-17 13시 14시 L0 9매 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 525,000원
1207 2024-01-17 14시 15시 L1 2매 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1208 2024-01-17 15시 16시 L6 2매 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1209 2024-01-18 13시 14시 2-2-4 JFET Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1210 2024-01-18 14시 15시 2-2-4 JFET Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1211 2024-01-18 17시 18시 2-2-4 JFET Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1212 2024-01-22 16시 17시 L5 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1213 2024-01-24 15시 17시 2-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 520,000원
1214 2024-01-24 9시 10시 SL021 Revision N+ 포토 테스트 Expose (Tone 반전 상황 확인) 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 200,000원
1215 2024-01-26 10시 11시 1-1-3 Align/Expo 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1216 2024-01-29 14시 15시 8-3-4 Active 포토 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1217 2024-01-29 16시 17시 8-3-4 Active 포토 Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1218 2024-02-01 10시 11시 SL021 N+ Revision mask (1.8um) 패턴 확인
Align/Expo Split Test 진행		 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 240,000원
1219 2024-02-01 14시 15시 3-2-4 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1220 2024-02-05 16시 17시 2-1-3 Align/Expo Ta Reticle 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 320,000원
1221 2024-02-06 14시 15시 L2 1st 포토 (SiO2 Wafer) 9매 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 525,000원
1222 2024-02-06 15시 16시 L2 포토 (TiN & SiO2 Wafer) 9매 Align Expo
 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 525,000원
1223 2024-02-06 16시 17시 L4 포토 (TiN & SiO2 Wafer) 2매 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 210,000원
1224 2024-02-07 15시 16시 3-2-4 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1225 2024-02-07 17시 18시 3-2-4 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1226 2024-02-13 14시 15시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 345,000원
1227 2024-02-13 16시 17시 1-1-3 AKEY Align/ Expo 삼성전자 DS 김태훈 345,000원
1228 2024-02-15 14시 15시 4-2-4 Align/Expo N+ 삼성전자 DS 김태훈 0원
1229 2024-02-15 17시 18시 4-2-4 Align/Expo N+ 삼성전자 DS 김태훈 0원
1230 2024-02-21 10시 11시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1231 2024-02-21 13시 14시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 255,000원
1232 2024-02-21 15시 16시 L1 Align/Expo

CASE 1
M3 KEY 사용 Align		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 525,000원
1233 2024-02-21 17시 18시 L1 Align/Expo

CASE 2
M0 KEY 사용 Align		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 525,000원
1234 2024-02-23 14시 15시 2-2-4 JFET Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1235 2024-02-26 16시 17시 Expo/align 4 매
6inch wafer ( SI 2매, SIC 2매 )		 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 300,000원
1236 2024-02-28 10시 12시 13-1-3 Align/Expo Metal layer 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 345,000원
1237 2024-03-11 16시 17시 1-1-3 AKEY Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1238 2024-03-11 17시 18시 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 546,000원
1239 2024-03-13 11시 12시 5-2-4 P+ Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1240 2024-03-13 15시 16시 5-2-4 P+ Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1241 2024-03-14 14시 15시 2-2-3 Pwell Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1242 2024-03-18 14시 15시 2-1-3 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 700,000원
1243 2024-03-19 14시 15시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 700,000원
1244 2024-03-20 10시 11시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 700,000원
1245 2024-03-20 14시 15시 2-1-3 Pwell Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 700,000원
1246 2024-03-27 11시 12시 6-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1247 2024-03-28 14시 15시 4-2-4 Align/Expo N+ 삼성전자 DS 김태훈 0원
1248 2024-03-29 13시 14시 4-2-4 Nplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1249 2024-03-29 9시 10시 4-2-4 Nplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1250 2024-04-02 19시 20시 1-1-3 Align/Expo AKEY 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 194,000원
1251 2024-04-02 21시 22시 L/S Pattern Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 194,000원
1252 2024-04-03 13시 14시 3-2-3 Nplus Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1253 2024-04-05 14시 15시 5-2-4 Pplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1254 2024-04-08 13시 14시 3-1-3 Gate Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 194,000원
1255 2024-04-09 14시 15시 1-1-3 Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1256 2024-04-12 16시 17시 8-3-4 Align/Expo Active 삼성전자 DS 김태훈 0원
1257 2024-04-15 10시 11시 8-3-4 M7 Active Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1258 2024-04-16 13시 14시 6-1-3 M3 OMR Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 194,000원
1259 2024-04-17 14시 15시 240416 L1 패턴 6매 Expose 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 414,000원
1260 2024-04-17 16시 17시 4-2-3 Pplus Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1261 2024-04-17 9시 10시 2-2-3 Pwell Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1262 2024-04-19 10시 11시 3-1-3 L10 METAL Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1263 2024-04-19 11시 12시 9-4-3 Gate Poly Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1264 2024-04-19 14시 15시 8-1-3 M4 OHM Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 194,000원
1265 2024-04-20 11시 12시 11-1-3 Align/Expo S.CONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
1266 2024-04-22 10시 11시 L2 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 414,000원
1267 2024-04-22 14시 15시 5-2-4 Pplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1268 2024-04-22 16시 17시 5-2-4 Pplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1269 2024-04-22 21시 22시 4-1-3 Align/Expo L11 M2 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1270 2024-04-23 15시 16시 12-1-3 Gate Contact Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1271 2024-04-24 14시 15시 14-1-3 Key Open Align/Expo 파워마스터반도체 주식회사 생산 김태훈 0원
1272 2024-04-24 9시 10시 1-1-3 AKEY Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 315,000원
1273 2024-04-25 10시 11시 9-1-3 M5 Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 194,000원
1274 2024-04-25 13시 14시 L3 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 414,000원
1275 2024-04-25 15시 16시 9-4-3 GPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1276 2024-04-25 16시 17시 9-4-3 GPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1277 2024-04-25 8시 9시 15-1-3 Metal Align/ Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1278 2024-04-26 20시 21시 5-2-3 Align/Expo JFET 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1279 2024-04-29 13시 14시 Nitride Test, Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 425,000원
1280 2024-05-02 14시 15시 9-4-3 Gpoly Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1281 2024-05-02 16시 17시 9-4-3 Gpoly Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1282 2024-05-02 21시 22시 L4 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 414,000원
1283 2024-05-02 9시 10시 5-1-4 L11 Passi Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1284 2024-05-07 9시 10시 1-2-3 NINT Cap Align/Expo 포항공과대학교 전자전기공학과 류용우 414,000원
1285 2024-05-09 16시 17시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 425,000원
1286 2024-05-09 8시 9시 M10_CONTGPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1287 2024-05-09 9시 10시 11-1-3 M10_CONTGPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1288 2024-05-10 13시 14시 13-1-3 KEY Open Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1289 2024-05-10 14시 15시 13-1-3 KEY Open Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1290 2024-05-13 15시 16시 7-2-3 Layer6_FOX Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1291 2024-05-13 18시 19시 14-1-3 Metal Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1292 2024-05-13 20시 21시 14-1-3 Metal Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1293 2024-05-14 13시 14시 1-2-3 NINT_Cap Align/Expo 포항공과대학교 전자전기공학과 류용우 194,000원
1294 2024-05-14 17시 18시 6-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1295 2024-05-14 19시 20시 5-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1296 2024-05-16 10시 11시 4-2-4 N+ Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 205,000원
1297 2024-05-16 8시 9시 2-2-4 JFET Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 205,000원
1298 2024-05-17 16시 17시 17-2-4 M12 PSPI Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1299 2024-05-22 10시 11시 9-4-3 M08_GPOLY Align/Expo (WF02, 05) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1300 2024-05-22 8시 9시 9-4-3 M08_GPOLY Align/Expo (WF05) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1301 2024-05-23 16시 17시 3-2-3 Nplus Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1302 2024-05-24 13시 14시 11-1-3 M09_CONT Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1303 2024-05-24 15시 16시 11-1-3 M09_CONT Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1304 2024-05-28 14시 15시 8-5-3 Layer7_PolySi Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1305 2024-05-28 16시 17시 5-2-4 M05_PPLUS Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 315,000원
1306 2024-05-29 10시 11시 12-1-3 M10_CONTGPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1307 2024-05-29 16시 17시 8-3-4 Active Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1308 2024-05-29 8시 9시 12-1-3 M10_CONTGPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1309 2024-05-31 20시 21시 4-2-3 L4 P+ Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1310 2024-06-03 10시 11시 14-1-3 M01_ZERO Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1311 2024-06-03 12시 13시 14-1-3 M01_ZERO Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1312 2024-06-03 19시 20시 15-1-3 Align/Expo Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1313 2024-06-03 20시 21시 15-1-3 Align/Expo Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1314 2024-06-03 8시 9시 10-1-3 FlatZone Open Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1315 2024-06-04 8시 9시 10-1-3 Layer_Ohm Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1316 2024-06-05 13시 15시 경북 반도체 초격차 전문인력양성사업 안동대학교 공정 실습교육 Align/Expo 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 2,750,000원
1317 2024-06-10 10시 11시 11-1-3 Layer_ViaGate Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1318 2024-06-11 9시 10시 12-2-3 KEY Open Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1319 2024-06-12 15시 16시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 425,000원
1320 2024-06-12 7시 8시 13-1-4 FlatZone Open 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1321 2024-06-12 8시 9시 13-1-3 Power METAL Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1322 2024-06-13 11시 12시 1-2-3 AT Teg-1 Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 194,000원
1323 2024-06-13 9시 10시 1-1-3 M depo Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 194,000원
1324 2024-06-17 10시 11시 HOLD 1매 Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1325 2024-06-17 11시 12시 HOLD 1매 Key open 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1326 2024-06-19 10시 11시 9-4-3 M08_GPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1327 2024-06-19 11시 12시 3-2-4 M03_PWELL Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1328 2024-06-19 8시 9시 2-1-3 PWELL Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 425,000원
1329 2024-06-20 8시 9시 9-4-3 M08_GPOLY Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1330 2024-07-04 12시 13시 15-1-3 Layer11_M2 Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1331 2024-07-08 13시 14시 M2 E-beam Metal 평가용 1매 Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1332 2024-07-09 13시 14시 M2 Furnace Metal 평가용 1매 Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1333 2024-07-10 15시 16시 M2 Metal test용 Bare SI 1매 포토 진행.

Align/Expo		 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1334 2024-07-11 11시 12시 15-1-3 WF#2 M2 Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1335 2024-07-12 16시 18시 16-1-4 PI Align/Expo 트리노테크놀로지 경영지원팀 트리노테크놀로지 0원
1336 2024-07-16 9시 10시 2-0-3 AT TEG-1 Layer1 Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 194,000원
1337 2024-07-22 9시 10시 9-4-3 Gpoly Align/Expo (2매, WF2 / WF4) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1338 2024-07-23 13시 15시 1-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 1,525,000원
1339 2024-07-23 8시 9시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 370,000원
1340 2024-07-30 10시 11시 4-2-4 Nplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1341 2024-07-31 9시 10시 2-1-3 TA Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 315,000원
1342 2024-08-01 13시 14시 1-1-3 M1 Align/Expo 포항공과대학교 물리학과 유민우 177,500원
1343 2024-08-01 17시 19시 2-1-3 PWELL Align/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 1,250,000원
1344 2024-08-02 9시 10시 2-1-3 M2 Align/Expo 포항공과대학교 물리학과 유민우 177,500원
1345 2024-08-05 11시 12시 5-2-3 JFET Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1346 2024-08-05 15시 16시 12-1-3 G.CONT Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1347 2024-08-05 9시 10시 11-1-3 CONT Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1348 2024-08-06 10시 11시 8-3-4 Align/Expo Active 삼성전자 DS 김태훈 0원
1349 2024-08-06 15시 16시 12-1-3 CONT.G Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1350 2024-08-06 19시 20시 13-1-3 Align/Expo Key open 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1351 2024-08-07 14시 15시 14-1-3 Key Open Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1352 2024-08-08 18시 19시 15-1-3 Align/Expo Metal 삼성전자 DS 김태훈 0원
1353 2024-08-08 8시 9시 14-1-3 Metal Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 260,000원
1354 2024-08-13 9시 10시 1-2-3 Align/Expo 한국과학기술원 기계공학과 김태영 260,000원
1355 2024-08-16 10시 11시 9-4-3 Gpoly Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1356 2024-08-16 14시 15시 9-4-3 Gpoly Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1357 2024-08-19 11시 12시 7-2-3 Align/Expo Fox 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1358 2024-08-20 14시 15시 L5 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 282,000원
1359 2024-08-20 19시 20시 11-1-3 Align/Expo CONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
1360 2024-08-20 21시 22시 11-1-3 Align/Expo CONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
1361 2024-08-21 9시 10시 11-1-3 CONT Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1362 2024-08-22 10시 11시 2-1-3 TA Aling/Expo 삼성전자 Power device팀 박종원 205,000원
1363 2024-08-23 10시 10시 아이큐랩(장비임대차계약) 아이큐랩 아이큐랩 아이큐랩(장비임대차 계약) 5,976,750원
1364 2024-08-23 11시 12시 12-1-3 CONTG Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1365 2024-08-23 17시 18시 12-1-3 Align/Expo GATECONT 삼성전자 DS 김태훈 0원
1366 2024-08-26 13시 14시 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 282,000원
1367 2024-08-26 19시 20시 14-1-3 Align/Expo Key open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1368 2024-08-26 21시 22시 14-1-3 Align/Expo Key open 삼성전자 DS 김태훈 0원
1369 2024-08-28 11시 12시 15-1-3 Metal Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1370 2024-08-28 9시 10시 15-1-3 METAL Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1371 2024-09-03 13시 13시 아이큐랩(장비임대차계약) 아이큐랩 아이큐랩 아이큐랩(장비임대차 계약) 5,976,750원
1372 2024-09-03 15시 16시 5-2-4 Pplus Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1373 2024-09-04 11시 12시 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 282,000원
1374 2024-09-04 8시 9시 14-1-3 KEY OPEN Align/Expo (2매) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1375 2024-09-05 11시 12시 8-5-3 L7_PolySI Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1376 2024-09-06 9시 10시 15-1-3 METAL Align/Expo (2매) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1377 2024-09-11 17시 18시 2-3-3 Exposure Pwell 삼성전자 Power device팀 박종원 1,470,000원
1378 2024-09-12 9시 10시 1-1-3 AKEY Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 238,000원
1379 2024-09-20 16시 17시 3-1-2 Pplus Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 238,000원
1380 2024-09-23 11시 12시 10-1-3 Ohm Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1381 2024-09-24 16시 17시 6-2-4 JTE Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1382 2024-09-25 16시 17시 7-2-3 Nplus Align/Expo 포항공과대학교 반도체공학과 이지원 315,000원
1383 2024-09-27 9시 10시 2-1-4 Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 194,000원
1384 2024-09-30 11시 12시 1-1-3 AKEY Align/Expo

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 425,000원
1385 2024-09-30 14시 15시 12-2-3 KEY Open Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1386 2024-10-02 11시 12시 13-1-3 Align/Expo METAL 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1387 2024-10-02 15시 16시 4-1-2 Align/Expo N+ 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 238,000원
1388 2024-10-02 21시 22시 1-2-3 Align/Expo DNR L300 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 194,000원
1389 2024-10-04 11시 12시 1-1-3 AKEY Align Expo 2매 추가 진행

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 260,000원
1390 2024-10-07 16시 17시 5-1-2 Align/Expo Pwell 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 238,000원
1391 2024-10-08 16시 17시 2-2-3 PWELL Align/Expo

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 425,000원
1392 2024-10-09 16시 16시 장비임대차계약 아이큐랩 아이큐랩 아이큐랩(장비임대차 계약) 5,976,750원
1393 2024-10-10 11시 12시 1-2-3 Align/Expo M2 ACTIVE 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 194,000원
1394 2024-10-10 15시 16시 6-1-2 Nwell Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 238,000원
1395 2024-10-11 15시 16시 14-1-4 Polyimide Passivation Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1396 2024-10-14 10시 11시 1-2-3 Align/Expo N+ 현대모비스 전력반도체팀 강민기 260,000원
1397 2024-10-14 14시 15시 2-1-3 FOX Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 315,000원
1398 2024-10-14 16시 17시 17-2-4 Passi Align/Expo (AZ4330) 삼성전자 DS 김태훈 0원
1399 2024-10-16 19시 20시 18-1-4 PSPI Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1400 2024-10-17 19시 20시 1-1-3 No.1 Tip Align/Expo (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 0원
1401 2024-10-21 15시 16시 3-2-3 Align/Expo N+
ICT 제품화지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 425,000원
1402 2024-10-21 17시 18시 8-3-4 Active Align/Expo 삼성전자 DS 김태훈 0원
1403 2024-10-23 20시 21시 1-1-3 AKEY Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 238,000원
1404 2024-10-29 20시 21시 9-4-3 Active Align/Expo 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 238,000원
1405 2024-10-30 18시 19시 3-1-3 M2 GaN Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 238,000원
1406 2024-11-01 16시 17시 2-2-3 Align/Expo N+ 현대모비스 전력반도체팀 강민기 205,000원
1407 2024-11-07 19시 20시 6-1-3 Align/Expo M3 OMR 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 238,000원
1408 2024-11-08 11시 12시 L1 포토 6매 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 414,000원
1409 2024-11-08 18시 19시 6-1-3 Align/Expo POLY GATE 현대모비스 전력반도체팀 강민기 480,000원
1410 2024-11-08 21시 22시 2-2-4 Align/Expo CAP 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 326,000원
1411 2024-11-11 9시 10시 4-2-3 Pplus Align/Expo

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 425,000원
1412 2024-11-12 10시 11시 8-1-3 M4-OHM Align/Expo 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 238,000원
1413 2024-11-13 10시 11시 2-2-3 Mask No.2 D.Poly Expo (주)모이모션 (주) 모이모션 최정례 0원
1414 2024-11-14 10시 11시 8-1-3 SCONT Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 315,000원
1415 2024-11-16 10시 11시 3-3-3 FOX Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 425,000원
1416 2024-11-19 10시 11시 10-1-3 Gate Cont Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 700,000원
1417 2024-11-19 14시 15시 1-2-1 1st shot Align/Expo (Double patterning) 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 238,000원
1418 2024-11-20 19시 20시 11-4-3 Align/Expo Gate WF2 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 194,000원
1419 2024-11-21 14시 15시 11-2-3 KEY OPEN Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 700,000원
1420 2024-11-21 16시 17시 11-4-3 Metal Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 700,000원
1421 2024-11-26 14시 15시 1-2-1 1st shot Align/Expo 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 194,000원
1422 2024-11-27 15시 16시 L2 Align/Expo 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 최지웅 414,000원
1423 2024-11-27 21시 22시 6-4-3 Align/Expo Gate 현대모비스 전력반도체팀 강민기 425,000원
1424 2024-11-29 15시 16시 5-2-3 JFET Align/Expo

ICT 제품화 지원사업		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 425,000원
1425 2024-11-30 11시 12시 8-1-3 SCNT Align/Expo 현대모비스 전력반도체팀 강민기 562,500원