Sputter (OLED) 장비일지

기자재관리번호 : B0000055-062011-A0018
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-11-02 13시 18시 ITO 증착 포항공과대학교 전자과 임미현 760,000원
2 2010-11-03 13시 18시 ZnO/ITO 박막 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 855,000원
3 2010-11-10 13시 16시 ZnO, ITO 박막증착. 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 513,000원
4 2010-12-01 10시 12시 ITO 500nm 증착 포항공과대학교 전기전자 노양균 304,000원
5 2010-12-22 09시 12시 ITO증착 포항공과대학교 전자전기공학과 이정무 456,000원
6 2011-02-16 10시 11시 ITO 증착 포항공과대학교 전자과 임미현 152,000원
7 2011-03-09 10시 12시 ZnO, ITO 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 342,000원
8 2011-03-22 09시 12시 ZnO, ITO 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 513,000원
9 2011-03-29 10시 12시 ITO 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 이정무 304,000원
10 2011-03-30 10시 12시 ZnO, ITO 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 342,000원
11 2011-04-25 09시 11시 ITO 증착 포항공과대학교 전자과 임미현 304,000원
12 2011-04-26 10시 12시 ITO 증착. 삼성전자 종합기술원 이태한 304,000원
13 2011-04-26 16시 18시 ZnO, ITO 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 342,000원
14 2011-05-24 13시 15시 ZnO, ITO 증착. 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 342,000원
15 2011-06-08 10시 11시 ZnO 증착 포항공과대학교 가속기연구소 이현휘 152,000원
16 2011-06-22 14시 16시 ZnO, ITO 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 342,000원
17 2011-07-04 14시 15시 ITO 증착 포항공과대학교 신소재공학과 이원모 152,000원
18 2011-07-12 14시 16시 ZnO, ITO 증착 대구경북과학기술원 녹색에너지융합기술연구실 김찬 342,000원
19 2011-07-20 13시 19시 TiO2 5,10,15nm 증착 제주대학교 메카트로닉스 당현우 1,140,000원
20 2011-11-28 11시 14시 ZnO 증착 포항공과대학교 가속기연구소 이현휘 152,000원
21 2011-12-07 13시 14시 ZnO 증착 포항공과대학교 가속기연구소 이현휘 152,000원
22 2012-01-30 08시 18시 ZnO 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,520,000원
23 2012-01-31 10시 11시 ZnO 증착 포항공과대학교 가속기연구소 이현휘 152,000원
24 2012-02-01 10시 20시 metal sputter (주)알파플러스 기술연구소 김은도 1,710,000원
25 2012-02-06 09시 19시 ZnO 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,520,000원
26 2012-02-07 09시 19시 ZnO 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,520,000원
27 2012-02-08 09시 19시 ZnO 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,520,000원
28 2012-02-09 09시 19시 ZnO 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,520,000원
29 2012-03-05 10시 11시 ZnO증착 포항공과대학교 가속기연구소 김성혜 152,000원
30 2012-03-23 08시 18시 ZnO증착 포항공과대학교 화학공학과 김래호 1,280,000원
31 2012-03-30 16시 22시 ZnO증착 포항공과대학교 화학공학과 김래호 384,000원
32 2012-04-09 11시 12시 ZnO 30nm측정 포항공과대학교 가속기연구소 김성혜 152,000원
33 2012-04-23 11시 12시 ZnO 30nm증착 포항공과대학교 가속기연구소 김성혜 152,000원
34 2012-05-21 14시 15시 Zno 100nm 증착 포항공과대학교 가속기연구소 김성혜 152,000원
35 2012-06-07 10시 11시 ZnO 30nm증착 포항공과대학교 가속기연구소 김성혜 152,000원
36 2014-02-17 10시 17시 표면처리용 ITO 증착
포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 456,000원
37 2014-08-27 10시 12시 Metal Electroad Deposition 대구경북과학기술원 에너지연구부 백성호 432,000원
38 2014-11-03 13시 17시 OLED Metal Deposition 포항공과대학교 창의IT융합공학과 권지민 1,064,000원
39 2014-11-04 13시 18시 나노융합기술교육_OLED 1일차 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 3,420,000원
40 2014-11-04 17시 17시 ITO 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 266,000원
41 2014-11-20 9시 13시 ITO 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 133,000원
42 2014-11-27 15시 16시 ITO 증착
과제명: (민간)미래IT융합연구원 /과제번호: 4.0010492.02-2-2-4
정산 담당자명: 신은영 / 연락처 054-279-8873
포항공과대학교 창의IT융합공학과 김형준 133,000원
43 2015-03-27 10시 18시 OLED 제작 포항공과대학교 화학공학과 김래호 1,120,000원
44 2015-04-28 15시 18시 ITO 증착 100nm (4/28일 진행) 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
45 2015-05-06 10시 16시 ITO deposition 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
46 2015-06-03 11시 12시 ITO deposition 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 133,000원
47 2015-06-22 14시 16시 ITO 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 266,000원
48 2015-07-20 10시 18시 Deposition 공정 메이플세미컨덕터(주) 포항지점 생산기술팀 김동협 1,000,000원
49 2015-12-01 14시 15시 1. ITO 100nm 증착
2. ITO 200nm 증착
포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 266,000원
50 2016-03-28 10시 12시 ITO 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
51 2016-04-06 11시 15시 ITO 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
52 2016-04-07 13시 15시 ITO 150nm 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
53 2016-04-08 10시 14시 ITO 증착(100nm, 200nm) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
54 2016-04-18 10시 15시 ITO 150, 200nm 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
55 2016-06-13 14시 17시 압력센서 하판 투명전극 (ITO 100nm 증착) 포항공과대학교 화학공학과 배근열 152,000원
56 2016-06-28 11시 14시 ITO 증착 대구대학교 전자전기공학부 이강현 570,000원
57 2016-06-28 9시 10시 ITO 200 nm 증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 266,000원
58 2016-07-01 11시 13시 압력센서 어레이용 전극패턴 증착 포항공과대학교 화학공학과 배근열 152,000원
59 2016-09-02 11시 12시 ITO 150nm, 웨이퍼 준비되면 연락드리겠습니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 133,000원
60 2016-09-02 15시 17시 ITO 150nm증착 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 133,000원
61 2016-09-09 11시 18시 ZnO 50nm, ITO 600nm 증착 대구대학교 물리교육과 홍성욱 760,000원
62 2016-09-12 10시 15시 ITO 100nm 2회 증착 대구대학교 물리교육과 홍성욱 380,000원
63 2016-09-29 16시 17시 ITO 150nm 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 133,000원
64 2016-10-28 14시 15시 ITO 100 nm deposition 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 133,000원
65 2016-11-02 10시 11시 ITO 150nm depostion 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 133,000원
66 2016-11-14 15시 17시 ITO 100 nm deposition 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 266,000원
67 2016-12-06 11시 13시 ITO 150 nm deposition 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 133,000원
68 2016-12-12 10시 12시 NW/Plannar ITO deposition 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 266,000원
69 2017-06-20 10시 13시 ITO 200nm증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 161,500원
70 2018-07-11 9시 18시 ITO 150nm 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 760,000원
71 2019-01-14 9시 21시 ITO 증착 고려대학교 전기전자공학과 안순성 1,520,000원
72 2019-04-29 14시 15시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
73 2019-05-09 11시 12시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
74 2019-07-30 7시 21시 ITO 300nm 증착 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 1,900,000원
75 2019-12-11 9시 23시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
76 2020-01-22 15시 16시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
77 2020-02-27 8시 23시 ITO 300nm 주식회사 아르케 제조개발센터 사공성환 570,000원
78 2020-03-24 13시 16시 ITO 250nm 증착 고려대학교 전기전자공학과 안순성 760,000원
79 2020-04-07 13시 14시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
80 2020-04-21 18시 19시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
81 2020-04-21 9시 10시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
82 2020-05-07 10시 14시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
83 2020-06-05 9시 10시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
84 2020-07-01 10시 11시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
85 2020-07-13 9시 18시 SiC Ohmic 평가를 위한 Metal 증착 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,615,000원
86 2020-07-30 15시 16시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
87 2020-09-22 10시 12시 ITO 200nm 증착 고려대학교 전기전자공학과 안순성 380,000원
88 2020-10-12 7시 20시 ZnO 30nm 서울아산병원 의공학연구소 주미연 950,000원
89 2020-10-15 15시 16시 ITO 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 342,000원
90 2020-12-28 7시 24시 ITO 300nm 증착 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 1,900,000원
91 2021-01-04 13시 14시 ITO, 2500 A 두께 요청드립니다. 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
92 2021-01-14 9시 12시 ITO, 2500A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
93 2021-02-01 10시 18시 ITO 2500A 요청드립니다 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
94 2021-02-02 13시 18시 전문인력양성 실습교육_SiC 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 1,900,000원
95 2021-02-03 13시 17시 전문인력양성 실습교육_SiC 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 950,000원
96 2021-02-03 14시 14시 100 nm ZnO sputter coating 연세대학교 나노소자연구실 김범식 190,000원
97 2021-03-04 11시 12시 ITO 2500A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
98 2021-03-15 15시 16시 ITO, 2500A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
99 2021-03-15 17시 18시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
100 2021-03-22 07시 19시 SIO2 1um 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,900,000원
101 2021-03-29 10시 24시 SiO2 4um 증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 2,470,000원
102 2021-04-05 10시 14시 SPM cleaning한 bare sapphire substrate에 ITO 750 nm 증착 요망합니다.

두 shadow mask 중 H 자의 패턴이 ITO 증착용이며
나머지 0.3 mmD의 홀이 나있는 shadow mask는 Ti/Pt 증착용입니다.

공정 후 E-beam 담당자께 인계 부탁드립니다.
경희대학교 원자력공학과 한지훈 570,000원
103 2021-04-16 10시 11시 ITO 2500A 입니다 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
104 2021-04-16 15시 15시 100 nm ZnO sputter coating 연세대학교 나노소자연구실 김범식 190,000원
105 2021-04-22 9시 10시 Mg Ag 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
106 2021-04-23 13시 14시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
107 2021-04-26 18시 19시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
108 2021-04-27 15시 16시 ITO, 2500A thickness 입니다. 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
109 2021-05-03 10시 11시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
110 2021-05-12 7시 24시 SIO2 3um증착 나노융합기술원 공정지원팀 김동은 1,900,000원
111 2021-05-21 15시 16시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
112 2021-05-21 17시 18시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
113 2021-06-17 11시 12시 ITO 60nm depo. 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 427,500원
114 2021-06-21 1시 1시 ZnO sputter 연세대학교 나노소자연구실 김범식 190,000원
115 2021-06-21 14시 15시 ITO, 2500A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
116 2021-07-05 14시 15시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
117 2021-07-06 12시 12시 45*15*1T 사파이어 시편 8개 삽입 가능한 6 inch wafer 1 EA 입니다.
별도 의뢰할 예정인 클리닝 공정 후 인수하여 공정 진행해 주시고 E-beam 측으로 인계 부탁드립니다.

ITO 250 nm 두께 3회 (총 750 nm) 증착 요망
경희대학교 원자력공학과 한지훈 570,000원
118 2021-07-26 10시 17시 ITO 60nm 증착 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 1,710,000원
119 2021-09-06 11시 12시 ITO 전극 도포 2500 A로 부탁드립니다. 포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 171,000원
120 2021-09-08 10시 12시 ITO 60nm depo 2매 삼성전자 (종합기술원) Nano Electronics Lab. 황경욱 570,000원
121 2021-09-14 9시 18시 태양광용 ITO 증착[과제번호:4.0022777.01] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,520,000원
122 2021-10-06 10시 11시 Ceramic & Ceramic based composite 포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 171,000원
123 2021-11-01 9시 18시 ITO 증착
태양광 발전용 창호 적용을 위한 투명도 50%급 셀 모듈 일체형 탄화규소 태양전지 개발 [4.0022777.01]
나노융합기술원 기술지원팀 강민재 2,000,000원
124 2021-11-02 9시 18시 고도화사업, Lot ID : PZT_03 나노콘 나노콘연구소 조윤빈 4,000,000원
125 2021-11-04 1시 1시 2000A 부탁드립니다. 포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 171,000원
126 2021-11-15 8시 22시 ITO 증착[ 태양광과제 [4.0022777.01] ] 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,000,000원
127 2021-11-17 9시 10시 ITO 2000A 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
128 2021-11-30 1시 2시 2000A 부탁드립니다. 포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 342,000원
129 2021-12-06 9시 18시 나노융합기반고도화 사업_공정 테스트 (주)에코넷코리아 기획부서 (주)에코넷코리아 3,040,000원
130 2021-12-07 10시 11시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
131 2021-12-22 10시 11시 ITO 2000A입니다 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
132 2022-02-09 16시 17시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
133 2022-02-10 10시 11시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
134 2022-02-14 15시 16시 ITO 2000 A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
135 2022-02-21 9시 18시 전문인력양성사업 나노 소자공정 교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 2,500,000원
136 2022-02-25 14시 16시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
137 2022-03-03 10시 18시 ITO 750nm 증착 요청 경희대학교 원자력공학과 한지훈 570,000원
138 2022-03-03 11시 12시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
139 2022-03-14 9시 12시 \"나노 반도체 공정 마스터 과정 실습교육_LX세미콘\" 나노융합기술원 교육홍보팀 김동기 500,000원
140 2022-03-22 14시 16시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
141 2022-03-23 15시 16시 ito 증착 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
142 2022-04-11 14시 15시 2000 A 두께로 ITO sputtering 부탁드립니다. 포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 171,000원
143 2022-05-03 10시 11시 ITO 2000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
144 2022-06-08 10시 14시 2000A 1회
3000A 1회
포항공과대학교 기계공학과 허다솜 342,000원
145 2022-07-04 1시 1시 2000, 3000A 포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 342,000원
146 2022-08-09 10시 11시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
147 2022-08-09 14시 15시 ITO 3000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
148 2022-08-09 15시 16시 ITO 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 190,000원
149 2022-08-25 6시 23시 ZnO 증착 서울아산병원 의공학연구소 주미연 2,850,000원
150 2022-09-02 10시 11시 ITO 3000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원
151 2022-09-02 17시 18시 ito 포항공과대학교 시스템생명공학과 박정우 171,000원
152 2023-05-15 15시 16시 ITO, 3000A 포항공과대학교 기계공학과 허다솜 171,000원