4 Point Probe - 1 장비일지

 기자재관리번호 : -
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-04-07 10시 11시 INGAZNO RS 포항공과대학교 물리학과 강세준 30,000원
2 2010-04-27 15시 16시 저장 측정 (너무 높아 측정은 안됨) 포항공과대학교 신소재공학과 최미리 15,000원
3 2010-06-01 15시 17시 전도도측정 포항공과대학교 신소재공학과 우성훈 96,000원
4 2010-10-06 13시 15시 저항측정 영남대 물리학과 배상윤 80,000원
5 2010-10-13 13시 15시 저항측정 영남대 물리학과 배상윤 80,000원
6 2010-10-26 15시 16시 저항 측정 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 48,000원
7 2010-11-09 14시 15시 저항 측정 및 교육 포항공과대학교 화학공학과 강현준 16,000원
8 2010-11-16 10시 12시 저항측정 영남대 물리학과 배상윤 144,000원
9 2010-11-19 10시 12시 면저장 측정 포항공과대학교 화학공학과 배강홍 80,000원
10 2010-12-20 16시 18시 Metal Rs 측정 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
11 2011-01-06 15시 16시 2-4-2 Rs Mea. (S1012-02) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 15,000원
12 2011-01-07 14시 16시 Metal etch Rs 측정 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 75,000원
13 2011-01-12 16시 17시 Si Rs 측정 포항공과대학교 기계공학과 이상규 64,000원
14 2011-01-13 14시 15시 Rs 측정 포항공과대학교 기계공학과 박우성 48,000원
15 2011-01-17 13시 14시 Ni Rs 측정 (Ni etch Test) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 30,000원
16 2011-01-18 16시 18시 Metal Hillock Test (Ra Mea. 6ea) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
17 2011-01-21 15시 17시 Metal thickness 측정 포항공과대학교 기계공학과 박우성 80,000원
18 2011-01-24 14시 15시 Al2O3 Dry Etch 평가 (Etch Thickness 측정) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 30,000원
19 2011-01-26 14시 16시 Metal Hillock Test (Ra Mea. 6ea) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
20 2011-01-26 17시 18시 7-4-2 Rs Mea. (S1012-02) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 15,000원
21 2011-02-21 13시 14시 Metal Dry Etch_Ti_Al_Ni_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 60,000원
22 2011-02-22 11시 12시 3-5 S/D metal depo_선행_4ea_Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
23 2011-03-04 14시 15시 6-4-2 Al Sputter Rs 측정 (S03-0131) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
24 2011-03-09 13시 15시 S04 S/D Metal 선행 테스트 Rs 측정 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
25 2011-03-09 17시 18시 3-5 S/D Metal Depo Rs Meas. (S04-0221) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
26 2011-03-10 15시 16시 Al BOE wet etch Test_Al Rs 측정 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
27 2011-03-21 11시 12시 6-5-2 Rs Meas. (S04-0221) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
28 2011-03-22 13시 14시 Ni Wet etch 선행 Rs 측정_S04 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
29 2011-03-30 10시 11시 Ni Wet etch_Ni thickness meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
30 2011-03-30 11시 12시 TiN Wet Etching Test_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
31 2011-03-30 17시 18시 TiN Wet Etching Test_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
32 2011-04-04 15시 16시 Fe_Rs 측정 포항공과대학교 화학공학과 오유진 48,000원
33 2011-04-06 13시 15시 si-wafer 면저항측정 영남대 물리학과 배상윤 64,000원
34 2011-04-11 11시 12시 TiN etch Test_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 112,500원
35 2011-04-12 10시 11시 TiN etch Test_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
36 2011-04-12 14시 15시 TiN etch Test_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
37 2011-04-12 23시 24시 Rs Meas. 포항공과대학교 화학공학과 오유진 16,000원
38 2011-04-13 17시 18시 TiN etch Test_TiN Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
39 2011-04-14 11시 12시 TiN etch Test_TiN etch Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
40 2011-04-19 10시 11시 5-4 S/D Metal Rs Meas. (S05-0328) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
41 2011-04-28 10시 11시 4-5 Rs Meas. (S06-0331) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
42 2011-04-28 14시 15시 7-4-4 Rs Meas. (S05-0328) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
43 2011-05-03 17시 18시 6-4-2 Rs Meas. (S06-0331) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
44 2011-05-04 10시 11시 TiN etch Test_Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
45 2011-05-04 11시 12시 TiN etch Test_Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
46 2011-05-16 11시 12시 3-6-2 TiN Rs Meas. (S07a-0503) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 52,500원
47 2011-05-17 09시 10시 8-4-4 Rs Meas (S06-0331) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 105,000원
48 2011-05-17 14시 15시 3-6-2 Gate TiN Rs Meas. (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 52,500원
49 2011-05-19 13시 14시 5-4-2 SD Metal Depo_Ti Rs Meas. (S07a-0503) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
50 2011-05-19 14시 15시 5-4-4 SD Metal Depo_Al Rs Meas. (S07a-0503) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
51 2011-05-23 17시 18시 5-4-4 Rs Meas. (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
52 2011-05-25 11시 12시 3-6-2 TiN Rs Meas. (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
53 2011-05-25 14시 16시 Metal Dry Etch_Ti_Al Rs Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
54 2011-05-25 18시 19시 4-2-2 TiN etch Rs Meas. (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
55 2011-05-31 10시 11시 5-4-2 SD Metal Depo_Ti Rs (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
56 2011-05-31 11시 12시 5-4-4 SD Metal Depo_Al Rs (S09-0512) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
57 2011-05-31 15시 16시 7-4 FP Metal Rs Meas. (S08-0429) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
58 2011-06-07 11시 12시 3-6-2 Gate TiN Rs Meas. (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
59 2011-06-09 11시 12시 TiN Depo Thickness Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
60 2011-06-09 13시 14시 TiN etch Power Split Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
61 2011-06-15 13시 15시 Ti_Al_TiN etch test_Rs Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 135,000원
62 2011-06-20 10시 11시 5-4-2 S/D Metal Depo_Ti Meas. (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
63 2011-06-20 11시 12시 5-4-4 S/D Metal Depo_Al Meas. (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
64 2011-06-20 12시 13시 5-4-6 S/D Metal Depo_TiN Meas. (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
65 2011-06-28 13시 14시 5-4 S/D Metal Rs Meas. (S11-0526) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
66 2011-07-04 10시 11시 3-7-2 Gate TiN Rs Meas. (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
67 2011-07-06 18시 19시 7-4 FP Metal Rs Meas_Ti/Al/TiN (S10-0518) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
68 2011-07-13 10시 11시 5-4-1 S/D Metal depo_Ti Rs (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 52,500원
69 2011-07-13 11시 12시 5-4-4 S/D Metal depo_Al Rs (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 52,500원
70 2011-07-13 14시 15시 5-4-6 S/D Metal depo_TiN Rs (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 52,500원
71 2011-07-20 10시 11시 7-4-2 FP Metal Depo_Ti Rs (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
72 2011-07-20 12시 13시 7-4-4 FP Metal Depo_Al Rs (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
73 2011-07-20 13시 14시 7-4-6 FP Metal Depo_TiN Rs (S12-0609) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
74 2011-08-04 11시 12시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S13-0620) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
75 2011-08-04 14시 15시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S14a-0725) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
76 2011-08-05 17시 18시 Rs Meas. 포항공과대학교 화학과 손민혁 24,000원
77 2011-08-11 15시 17시 5-4 S/D Metal Depo_Rs Meas. (S13-0620) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
78 2011-08-12 11시 12시 5-4 S/D Metal Depo_Rs Meas. (S14a-0725) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
79 2011-08-22 16시 17시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
80 2011-08-23 09시 10시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S18a-0809) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
81 2011-08-23 12시 13시 4-2-2 Gate TiN Etch Meas. (S18a-0809) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
82 2011-08-24 08시 09시 5-4 S/D Metal Meas._Ti/Al/TiN (S18a-0809) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
83 2011-08-24 13시 14시 5-4-2 S/D Metal Depo_Ti Meas. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
84 2011-08-24 14시 15시 5-4-5 S/D Metal Depo_Al Meas. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
85 2011-08-24 15시 16시 5-4-7 S/D Metal Depo_TiN Meas. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
86 2011-08-24 17시 19시 6-2 S/D Metal Etch Meas. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
87 2011-08-29 14시 15시 7-4 FP Metal Meas. (S13-0620) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
88 2011-09-01 12시 14시 7-4 FP Metal Meas_Ti/Al/TiN (S18a-0809) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
89 2011-09-01 18시 20시 7-4 FP Metal Meas. (S19-0810) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
90 2011-09-07 10시 11시 TiN depo Test_burning Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
91 2011-09-07 12시 13시 TiN etch Test_burning Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
92 2011-09-07 15시 17시 5-4 S/D Metal Meas._Ti/Al/TiN (S16b-0803) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
93 2011-09-19 16시 17시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
94 2011-09-20 14시 15시 5-4-2 S/D Metal depo_Ti Meas. (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
95 2011-09-20 15시 18시 Rs measurement (주)알파플러스 김동우 144,000원
96 2011-09-20 18시 19시 5-4-4 S/D Metal depo_Al Meas. (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
97 2011-09-20 19시 20시 5-4-6 S/D Metal depo_TiN Meas. (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
98 2011-09-21 13시 14시 Rs meas. (주)알파플러스 김동우 54,000원
99 2011-09-22 10시 11시 Rs meas. (주)알파플러스 김동우 54,000원
100 2011-09-23 10시 12시 Rs meas. (주)알파플러스 김동우 216,000원
101 2011-09-23 17시 18시 3-7-2 Gate TiN Rs Meas. (S21-0909) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
102 2011-09-26 13시 14시 Rs meas (주)알파플러스 김동우 72,000원
103 2011-09-26 19시 20시 5-4 S/D Metal depo_Rs Meas. (S21-0909) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
104 2011-09-27 10시 11시 Rs Meas. (주)알파플러스 김동우 72,000원
105 2011-09-27 13시 15시 Rs Meas. (주)알파플러스 김동우 72,000원
106 2011-09-28 09시 11시 Rs meas. (주)알파플러스 김동우 72,000원
107 2011-09-28 14시 16시 Rs Meas. (주)알파플러스 김동우 72,000원
108 2011-09-29 10시 12시 Rs meas. (주)알파플러스 김동우 72,000원
109 2011-10-04 10시 11시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S17a-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
110 2011-10-04 15시 17시 7-4 FP Metal Meas_Ti/Al/TiN (S20-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
111 2011-10-05 18시 20시 TiN etch(SF6)_TiN depo Meas. 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 135,000원
112 2011-10-06 09시 12시 절연막 테스트용 Al Meas. 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 270,000원
113 2011-10-10 12시 14시 5-4 S/D metal depo_Meas. (S17a-0901) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
114 2011-10-10 14시 16시 0-4-3 Rs Meas. 삼성전기 AMD랩 한승훈 80,000원
115 2011-10-11 10시 11시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S22-1004) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
116 2011-10-11 20시 22시 5-4 S/D Metal Meas. Ti/Al/TiN (S22-1004) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
117 2011-10-19 10시 11시 2-4-2 Gate TiN meas. (S24-1013) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
118 2011-10-19 14시 15시 Rs meas 포항공과대학교 신소재공학과 임경근 48,000원
119 2011-10-24 11시 12시 5-4 S/D Metal Meas_Ti/Al/TiN (S24-1013) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
120 2011-10-26 11시 12시 3-7-2 Gate TiN Meas (S26-1017) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
121 2011-10-27 10시 12시 5-4 S/D Metal Meas_Ti/Al/TiN (S26-1017) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
122 2011-11-04 12시 13시 3-7-2 Gate TiN Meas. (S23-0928) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
123 2011-11-09 13시 18시 Wet Ox 전후 Rs 측정 삼성전기 AMD랩 한승훈 180,000원
124 2011-11-14 16시 17시 2-4-2 Gate TiN meas (S27-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
125 2011-11-15 13시 14시 5-4-6 S/D Metal Meas_Ti/Al/TiN (S23-0928) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
126 2011-11-15 17시 18시 Res. 측정 삼성전기 AMD랩 한승훈 90,000원
127 2011-11-16 18시 19시 2-4-2 Gate TiN meas (S28-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
128 2011-11-17 09시 11시 Al 10000A_Ti 5000A Meas. (황인준) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
129 2011-11-21 12시 13시 5-4 S/D Metal Meas_Ti/Al/TiN (S27-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
130 2011-11-28 13시 18시 Al sputter 290A target Test 측정 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 405,000원
131 2011-11-29 13시 14시 2-4-2 Gate TiN Meas. (S30-1124) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 22,500원
132 2011-12-02 17시 18시 Al Metal 증착 장비간 유의차 확인 Test
- Al Rs 측정(thickness 확인 목적)		 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 45,000원
133 2011-12-07 10시 12시 Gate Module 공정 Test
- Poly-Si Rs 측정		 (주)디엠에스 김성해 81,000원
134 2011-12-19 18시 19시 5-5 S/D Metal Meas_Ti/Al/TiN (S28-1103) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 90,000원
135 2011-12-20 16시 18시 Ti Silicide 단위 공정 Test
- Ti Sputter 후 Rs 측정		 (주)디엠에스 김성해 675,000원
136 2011-12-21 13시 14시 5-4 S/D Metal meas_Ti/Al/TiN (S29-1114) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 112,500원
137 2011-12-21 15시 17시 Ti Silicide 단위 공정 Test
- RTP 후 Rs 측정		 (주)디엠에스 김성해 675,000원
138 2011-12-21 17시 18시 5-5 S/D Metal meas_Ti/Al/TiN (S30-1124) 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 67,500원
139 2012-01-02 14시 15시 2-4-1 Gate TiN Depo 1000 ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
140 2012-01-26 16시 17시 6-2-2 S/D Metal Etch ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 57,500원
141 2012-02-02 14시 15시 2-4-2 Gate TiN Depo ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
142 2012-02-22 17시 19시 7-4-2 FP Metal Depo. (Ti,Al,TiN) ★과청구로 인한 할인율 적용 삼성종합기술원 반도체 랩 하종봉 0원
143 2012-03-05 16시 17시 Rs Meas. (Ti Silicidation 후) 나노융합기술원 공정기술팀 김수곤 0원
144 2012-03-06 14시 15시 Metal 1 Sputter
Rs Mean.		 나노융합기술원 공정기술팀 김수곤 0원
145 2012-03-09 12시 17시 4-2-2 MET Sputter Rs Meas. 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 90,000원
146 2012-03-12 16시 17시 Ag Rs 측정 (주)알파플러스 기술연구소 차수영 162,000원
147 2012-03-12 17시 18시 G01
2-1-3 Rs 측정		 성균관대학교 김성규 30,000원
148 2012-03-15 17시 18시 Glass 시편 Rs 측정(5ea X 3points) 알파플러스 김광식 18,000원
149 2012-04-09 14시 17시 4-2-5 MET Sputter Al 2000A Rs Meas. 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 30,000원
150 2012-04-09 14시 17시 4-2-3 MET Sputter Ti 50A Rs Meas. 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 30,000원
151 2012-04-25 14시 16시 시편 측정 4매 포항공과대학교 신소재공학과 윤은유 64,000원
152 2012-05-11 21시 22시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김래호 16,000원
153 2012-05-21 15시 16시 MET Sputter Rs Meas 전자부품연구원 메디컬IT융합 이국녕 60,000원
154 2012-06-07 11시 12시 LGIT GaN on Si 전력 소자 단위 공정 Test
- Ti,Al Rs 측정		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
155 2012-06-11 10시 12시 Metal Wet Etch 공정 평가 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 120,000원
156 2012-06-27 17시 18시 1-4-3 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 0원
157 2012-08-13 13시 14시 면저항 측정(시편) 포항공과대학교 화학공학과 김래호 16,000원
158 2012-08-14 13시 14시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김래호 16,000원
159 2012-08-14 17시 18시 면저항 측정(시편) 포항공과대학교 신소재공학과 김호범 16,000원
160 2012-08-16 18시 19시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김래호 80,000원
161 2012-08-17 01시 01시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김래호 16,000원
162 2012-08-21 14시 15시 2-1-2 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
163 2012-08-27 14시 15시 면저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 양성관 72,000원
164 2012-09-20 18시 18시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김래호 16,000원
165 2012-09-24 11시 12시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 박선욱 16,000원
166 2012-09-28 14시 15시 6-1-3 Metal Meas. 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 30,000원
167 2012-10-24 09시 10시 6-1-3 Rs Meas. 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 30,000원
168 2012-10-26 12시 13시 3-6-2 Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
169 2012-11-01 15시 16시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
170 2012-11-20 15시 16시 0-2-2 MET1 Sputter Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 150,000원
171 2012-11-30 15시 17시 박막두께의 Uniformity를 확인하기위한 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 108,000원
172 2012-12-03 13시 15시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 108,000원
173 2012-12-04 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 144,000원
174 2012-12-05 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 144,000원
175 2012-12-05 16시 18시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 144,000원
176 2012-12-07 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 144,000원
177 2012-12-07 15시 16시 면저항 측정(시편) 포항공과대학교 기계공학과 이상유동연구실 김지민 64,000원
178 2012-12-07 16시 18시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 144,000원
179 2012-12-11 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 144,000원
180 2012-12-12 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 72,000원
181 2012-12-12 15시 18시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 72,000원
182 2012-12-13 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 36,000원
183 2012-12-14 09시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 36,000원
184 2012-12-14 16시 18시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 72,000원
185 2012-12-15 09시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 72,000원
186 2012-12-15 14시 16시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 18,000원
187 2012-12-16 15시 17시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 18,000원
188 2012-12-17 10시 12시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 36,000원
189 2012-12-17 13시 18시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 108,000원
190 2012-12-18 09시 18시 면저항 측정 (주)알파플러스 김동우 180,000원
191 2013-01-04 10시 11시 3-6-2 RCSS Gate Metla Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
192 2013-01-10 14시 15시 SiC 단위공정 평가_P-Doped Poly-Si (6000Å)
P-Doped Poly-Si Sheet R (*After Annealing) 측정 2매		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 60,000원
193 2013-01-22 10시 11시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김예별 16,000원
194 2013-01-22 11시 12시 7-4-2. MET2 Depo
Rs Measure		 LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 90,000원
195 2013-01-28 16시 17시 0-2-2 MET1 Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 90,000원
196 2013-01-28 17시 18시 SiC MOSFET Process 단위 공정 평가_ P-Doped Poly-Si (DOE)
: Resistivity, Rs Uniformity 등 공정결과에 주요한 영향을 미치는 인자를 선별(Screening Test)
-Sheet R Measurment(4inch_10mmEE_13pt) 8매		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 240,000원
197 2013-02-14 15시 16시 Ni Wet Etch 평가 Test
0-3-3. Rs Measure		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 180,000원
198 2013-02-14 17시 18시 Ni Wet Etch 평가 Test
0-4-1. Rs Measure (After RTP)		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
199 2013-02-18 13시 14시 금속 시편의 면저항 측정 박세민 120,000원
200 2013-02-20 16시 18시 SiC 단위공정 평가(Oxide 절연 특성 확인) 4매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
201 2013-03-19 22시 23시 7-4-2 MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
202 2013-03-26 16시 17시 3-6-2 Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
203 2013-04-01 10시 11시 4-4-3 MET1 Depo. Rs Meas LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
204 2013-04-04 21시 22시 Rs Meas LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
205 2013-04-05 9시 10시 0-2-2 Rs Meas. Microscope Inspet LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
206 2013-04-11 12시 13시 0-3-2 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 60,000원
207 2013-04-12 15시 18시 5-4-3 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
208 2013-04-16 15시 16시 3-6-2 Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
209 2013-04-18 21시 22시 7-4 M2OP MET2 Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
210 2013-04-22 11시 12시 3-4-3 M1OP Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
211 2013-05-07 18시 19시 5-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
212 2013-05-08 15시 17시 Rs 측정(과제번호:4.0008635.02) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 120,000원
213 2013-05-08 17시 18시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
214 2013-05-08 18시 19시 4-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
215 2013-05-10 17시 18시 7-4-3 M2OP MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
216 2013-05-16 17시 18시 5-4-2 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
217 2013-05-23 10시 11시 7-4-3 M2OP MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
218 2013-06-11 18시 19시 5-4-3 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
219 2013-06-11 18시 19시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
220 2013-06-11 21시 22시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
221 2013-06-12 11시 12시 4-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
222 2013-06-18 17시 18시 7-4-3 MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
223 2013-06-20 13시 15시 5-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
224 2013-06-26 13시 14시 7-4-3 M2OP MET2 Depo, Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
225 2013-07-01 14시 16시 sample 면저항 측정 4회 코닝정밀소재 개발2팀 박경욱 80,000원
226 2013-07-05 16시 17시 3-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
227 2013-07-05 18시 19시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
228 2013-07-10 23시 24시 5-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
229 2013-07-18 17시 18시 7-4-3 MET2 Depo. RS Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
230 2013-07-26 17시 18시 5-6-2 RCSS Gate Metal Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
231 2013-08-01 10시 12시 Rs 측정 4회 코닝정밀소재 개발2팀 박경욱 80,000원
232 2013-08-14 15시 16시 7-4-2 M2OP MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
233 2013-08-14 16시 17시 cu/cuO E.P sample 5ea 3points 포항공과대학교 신소재공학과 한언빈 84,000원
234 2013-08-29 11시 12시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 30,000원
235 2013-09-02 10시 12시 Rs 측정 4회(9월) 코닝정밀소재 개발2팀 박경욱 80,000원
236 2013-09-04 10시 12시 5-4-2 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
237 2013-09-11 15시 16시 7-4-3 M2OP MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
238 2013-10-01 14시 16시 Rs 측정 4회 코닝정밀소재 개발2팀 박경욱 80,000원
239 2013-11-06 14시 15시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발팀 서덕원 30,000원
240 2013-11-12 17시 18시 5-4-3 MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 30,000원
241 2013-11-19 14시 15시 7-4-3 MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 30,000원
242 2013-11-28 14시 15시 3-6-2 RCSS Gate Metal Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 30,000원
243 2013-12-05 16시 17시 5-4-3 M1OP MET1 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 30,000원
244 2013-12-20 12시 13시 7-4-3 MET2 Depo. Rs Meas. LG이노텍 차세대소자개발 서덕원 0원
245 2013-12-26 10시 15시 SC-11 Poly Rs 최적화 Test (1-3-1) Gate Poly-Si Depo. Rs. Meas. 11매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 264,000원
246 2013-12-27 15시 18시 (1-5-1) Gate Poly-Si Depo. Rs. Meas. after Anneal 11매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 264,000원
247 2014-01-06 14시 15시 SC-14 Poly Rs 최적화 Test 2차 (1-3-1) Gate Poly-Si Depo. Rs Measurement 8매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 192,000원
248 2014-01-07 17시 18시 SC-14 Poly Rs 최적화 Test 2차 (1-9-1) Rs Measurement 8매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 192,000원
249 2014-01-07 9시 12시 SC-11 Poly Rs 최적화 Test (1-7-1) Rs Measurement 4PP 11매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 264,000원
250 2014-01-09 11시 12시 SC-12 Contact Metal Module Test(구조 run) (4-13-4) Gate Poly-Si Depo. Rs Measurement 10매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 240,000원
251 2014-01-16 11시 12시 SC15 P-Doped Poly Rs 재현성 Test (1-3-1) Gate Poly-Si Rs measurement. 8매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 192,000원
252 2014-01-16 19시 20시 SC15 P-Doped Poly Rs 재현성 Test (1-7-1) Gate Poly-Si Anneal Rs measurement. 8매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 192,000원
253 2014-01-20 18시 19시 2-5-4 CONT Ni Sputter Rs. Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 24,000원
254 2014-01-22 13시 14시 3-4-4 Slicidation Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 24,000원
255 2014-01-27 18시 19시 1-4-4 Gate Ni Sputter Rs. Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 24,000원
256 2014-01-28 18시 20시 2-4-4 Silicidation Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 24,000원
257 2014-02-04 13시 14시 2-5-2 MET Sputter Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 24,000원
258 2014-03-03 18시 19시 2-7-1 Rs Meas. 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 42,000원
259 2014-04-15 21시 22시 전기저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 노현우 16,000원
260 2014-04-25 16시 17시 전기저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 노현우 16,000원
261 2014-06-13 12시 13시 6-5-3 Ni Sputter Rs Meas.
6-6-2 Ni Sputter Rs Meas.
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
262 2014-06-16 13시 16시 Ni Rs 측정
SC31_ 선행 Etching 전후값
본장 Etching 전후값		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 84,000원
263 2014-06-17 10시 11시 8-7-1 MET1 Sputter Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 84,000원
264 2014-07-08 16시 17시 샘플 저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 김래호 14,000원
265 2014-07-15 23시 24시 두께 측정 포항공과대학교 기계공학과 김중길 14,000원
266 2014-08-04 9시 12시 silicon wafer위에 전극용으로 금증착, 금증착된 부분에 10*10mm의 면적에 bismuth telluride 도금되어 있음. thin film에 대한 4 point probe 공정을 통해 표면저항 측정하고자 함 부산대학교 기계공학부 정경국 150,000원
267 2014-08-19 11시 12시 6-5-3 silicide ni sputter meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
268 2014-08-20 9시 10시 Glass 위에 증착된 ITO 박막의 면저항 측정 그린사이언스 기업부설연구소 장현석 27,000원
269 2014-08-22 11시 12시 8-1-2 Ni sputter Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
270 2014-08-25 11시 12시 9-2-2 cont met1 sputter meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
271 2014-08-28 20시 21시 SC33_Front Ni Rs 측정 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
272 2014-08-28 20시 21시 SC33_ Back Ni Rs thickness 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
273 2014-08-29 15시 15시 SC33_ Metal 두께 확인 (선행 포함) 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
274 2014-09-26 17시 18시 2-2-1 Metal depo. stress meas. 120,000원
275 2014-09-29 13시 14시 6-5-3 ni sputter rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
276 2014-09-30 12시 13시 8-1-2 ni sputter rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
277 2014-09-30 17시 18시 9-2-2 met1 sputter rs meas 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
278 2014-10-29 17시 18시 6-5-3 Ni Sputter
Ni Sputter Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
279 2014-10-30 10시 11시 8-1-2 Ni Sputter
Back Ni Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
280 2014-10-30 15시 16시 9-2-2 MET1 Sputter
Metal Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
281 2014-11-06 16시 17시 1-2-3 RS Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
282 2014-11-28 11시 12시 6-5-3 Ni sputter
Rs Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
283 2014-11-28 17시 18시 8-1-2 Ni Sputter
Rs Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
284 2014-11-28 18시 19시 9-2-2 MET1 Sputter
Rs Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
285 2014-12-02 16시 17시 전기적 특성 검토를 위한 Sample 제작
Wafer NO. Wf01 Wf02 Wf03
Average 17.8 17.88 18.32
Min 17.2 16.95 17.28
Max 18.8 19.10 19.75
Std. Dev. 0.42 0.50 0.59
% Range 9.10 12.0 13.48
% Unif. 2.36 2.78 3.21
 (주)피코셈 관리 김용국 300,000원
286 2014-12-05 16시 17시 6-5-3 Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
287 2014-12-09 17시 17시 8-1-2 Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
288 2014-12-17 14시 15시 6-3-3
Rs meas. 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
289 2014-12-18 15시 16시 9-2-2
Rs meas 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
290 2014-12-18 15시 16시 8-1-2
Rs meas 		포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
291 2014-12-30 12시 13시 6-5-3 Ni Sputter
Rs Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
292 2014-12-30 16시 17시 8-1-2 Ni Sputter
Rs Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
293 2015-02-23 15시 16시 0-1-2 fab-in Rs meas. 120,000원
294 2015-03-06 15시 16시 면저항 측정 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
295 2015-03-25 15시 16시 3-6-3 sd.ipp ion implant mwasurement 3회 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
296 2015-03-31 14시 15시 0-1-2 Rs 측정 60,000원
297 2015-04-07 17시 18시 2-2-1 metal depo rs meas. 30,000원
298 2015-04-15 11시 12시 ion implantation 후 면저항 측정 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
299 2015-04-15 17시 18시 면저항측정 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 0원
300 2015-04-24 16시 17시 0-1-2 저항측정 60,000원
301 2015-05-04 18시 19시 VW Oxide Test_VW Measurement (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 100,000원
302 2015-05-06 15시 16시 Ti Etch Target Test_Measurement (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 40,000원
303 2015-05-06 18시 19시 Ti Etch Target Test_Measurement (주)유우일렉트로닉스 부설연구소 김형원 40,000원
304 2015-05-21 13시 14시 1-2-5 Poly SOI RS meas. 전북대학교 전자공학부 김기현 126,000원
305 2015-05-27 16시 16시 resistance measurement of back side Si 포항공과대학교 전자전기공학과 윤솔 28,000원
306 2015-07-24 16시 17시 7/24
E2nd-07 N2/H2 plasma treatment 4PP 전/후 측정
E2nd-08 N2/H2 plasma treatment 4PP 전/후 측정		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 84,000원
307 2015-08-27 17시 17시 5-4-3 4pp Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
308 2015-08-28 15시 16시 ion implantation 후 저항 측정 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 14,000원
309 2015-08-28 15시 15시 7-4-3 Rs meas. 4PP 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
310 2015-09-09 12시 13시 SD implantation 후 저항 측정 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 42,000원
311 2015-09-09 17시 18시 0-1-2 fab-in rs meas. 150,000원
312 2015-09-23 22시 23시 5-4-3 MET1 Depo Rs. Meas 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
313 2015-09-24 13시 14시 5-4-3 MET1 Depo Rs. Meas 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
314 2015-10-16 13시 17시 Rs Meas. 포항공과대학교 화학공학과 김래호 160,000원
315 2015-10-20 16시 17시 Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 42,000원
316 2015-10-30 16시 17시 Ti Silicide 평가 Test
RTP silicide 후 Ti 제거 후 면저항 측정 (24장 24포인트 측정)
 전북대학교 전자공학부 김기현 504,000원
317 2015-11-05 15시 16시 0-1-2 measurement 4point probe 전북대학교 전자공학부 김기현 63,000원
318 2015-11-09 17시 18시 1-3-3 silicide oxide etching meas. 전북대학교 전자공학부 김기현 42,000원
319 2015-11-11 13시 14시 1-4-1 silicide 4pp meas. 전북대학교 전자공학부 김기현 84,000원
320 2015-11-12 19시 20시 면저항 측정 포항공과대학교 화학공학과 정용진 14,000원
321 2015-11-19 10시 11시 연구
Phosphorus on glass
4pp 장비 설명 및 test		 포항공과대학교 화학공학과 이원재 24,000원
322 2015-11-19 11시 12시 Graphene/Copper on si
E2nd-A/B Rs Meas.		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 126,000원
323 2015-11-27 16시 17시 - 포항공과대학교 미래IT융합연구원 김유미 14,000원
324 2016-02-04 15시 16시 Si 조각위의 ITO층의 resistance를 측정하려고 합니다. 포항공과대학교 기계공학과 김인기 24,000원
325 2016-02-04 16시 17시 4 point probe RS meas. 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 14,000원
326 2016-02-05 16시 17시 ITO 면저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 김인기 16,000원
327 2016-02-26 13시 14시 Quartz 기판위의 ITO 박막 전도도 측정 포항공과대학교 기계공학과 김인기 16,000원
328 2016-02-29 17시 18시 ITO 면저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 김인기 20,000원
329 2016-03-14 16시 17시 0-2-9 Bottom Poly Rs measurement 1매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
330 2016-03-21 15시 16시 resistance measurement 포항공과대학교 전자전기공학과 김동훈 14,000원
331 2016-03-24 14시 18시 1-2-3 Cap Poly Rs Meas 4Point 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 63,000원
332 2016-03-25 17시 18시 ITO 면저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 윤관호 16,000원
333 2016-05-12 16시 17시 0-2-9 bottom poly rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
334 2016-06-17 16시 17시 4pp 포항공과대학교 신소재공학과 박명주 21,000원
335 2016-06-23 11시 12시 3-2-9 4Point Probe , RS, 1 point : 171.3ohm/sq 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 21,000원
336 2016-11-01 9시 12시 Rs data 측정 6inch 5매 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 105,000원
337 2016-11-25 15시 16시 No1,No2 Metal annealing sample Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 63,000원
338 2017-02-06 10시 11시 resistivity measurement 포항공과대학교 NEML Niloufar 42,000원
339 2017-03-07 17시 18시 Rs meas. 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 42,000원
340 2017-03-13 15시 16시 Poly-Si 17년 2차
Rs measurement 3매		 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 63,000원
341 2017-03-14 9시 10시 Rs meas.
Etch 후 Rs meas.
총 2회진행		 포항공과대학교 물리분석팀 김성규 84,000원
342 2017-03-21 17시 18시 Metal Al 두께 측정 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 60,000원
343 2017-04-05 14시 15시 0-2-9 Bottom Poly Rs Meas 4Point
 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 22,500원
344 2017-04-11 16시 17시 Rs Meas. 포항가속기연구소 빔라인부 이익재 51,000원
345 2017-05-12 15시 16시 3-2-2 3th Poly Cap Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 22,500원
346 2017-05-19 13시 14시 일반 SiO2 기판과 ITO 기판입니다. 포항공과대학교 신소재공학과 황보희 25,500원
347 2017-05-30 9시 10시 면저항 측정 6points 6매 프로템 연구소 박송기 60,000원
348 2017-06-02 10시 11시 0-2-10 0 Poly Rs Meas 4Point 2 4Point Probe , RS, 13point
포항공과대학교 기술지원팀 최경근 45,000원
349 2017-06-07 11시 12시 O2 plasma 처리된 ITO 기판
4point probe 쓰는 방법 배우고 싶습니다.		 포항공과대학교 신소재공학과 황보희 25,500원
350 2017-06-30 13시 14시 glass 위에 ITO있습니다. 포항공과대학교 신소재공학과 황보희 25,500원
351 2017-06-30 15시 16시 Al+Pr coating 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 25,500원
352 2017-07-04 10시 11시 0-2-10 poly rs meas 4point 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 45,000원
353 2017-07-05 14시 15시 전화드리겠습니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 51,000원
354 2017-07-10 14시 15시 Rs meas. 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
355 2017-07-11 12시 13시 Ti silicide sheet resistance measure 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
356 2017-07-12 14시 15시 Ni Rsh measure 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
357 2017-07-14 11시 12시 SiGe 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
358 2017-07-24 15시 16시 Rs Meas. 포항공과대학교 전자과 백상원 30,000원
359 2017-07-26 10시 11시 Ni silicide 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
360 2017-09-20 10시 12시 저항률 측정 요청드립니다. (옴/cm) 포항공과대학교 기계공학과 신다슬 25,500원
361 2017-09-27 16시 17시 Rs measurement 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 17,000원
362 2017-09-29 10시 11시 300 nm SiO2 위 ITO 면저항 측정. 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 17,000원
363 2017-09-29 16시 17시 Cu Rs Meas. 포항공과대학교 신소재공학과 김우열 45,000원
364 2017-10-12 15시 18시 구리 판재의 저항 contour 제작 목적 포항공과대학교 신소재공학과 김우열 45,000원
365 2017-10-13 15시 16시 bare silicon wafer의 sheet resistance 측정 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
366 2017-10-24 10시 11시 carbon implantation되어있음 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
367 2017-10-25 16시 17시 silicon 조각 샘플 면저항 측정 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
368 2017-10-26 15시 16시 Nickel deposition된 실리콘 웨이퍼 조각 샘플 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
369 2017-10-30 16시 17시 NiSi 실리콘 웨이퍼 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
370 2017-11-01 16시 17시 nickel silicide 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
371 2017-11-03 14시 18시 구리 ECAP disk.
 포항공과대학교 신소재공학과 김우열 30,000원
372 2017-11-14 15시 16시 Ni metal 10nm 증착된 실리콘 샘플 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
373 2017-11-23 15시 16시 Nickel silicide 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
374 2017-12-15 16시 17시 Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 90,000원
375 2018-01-03 10시 11시 Si wafer 위 ITO 증착 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 17,000원
376 2018-01-03 11시 12시 4-probe 측정 (12월 29일 사용) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 75,000원
377 2018-01-04 10시 11시 Si wafer 위 ITO 면저항 측정 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 17,000원
378 2018-01-16 14시 17시 소성가공 여부에 따른 구리판재의 면저항 차이 측정 포항공과대학교 신소재공학과 이학현 60,000원
379 2018-02-02 10시 11시 Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 90,000원
380 2018-03-06 11시 12시 Ti 10nm deposition 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
381 2018-03-06 17시 18시 Ti silicide sheet resistance 측정 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
382 2018-03-07 15시 16시 Ti 증착된 Si/Ge wafer 면저항 측정 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
383 2018-03-07 9시 10시 Ti silicide sheet resistance measurement 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
384 2018-03-09 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
385 2018-03-15 12시 13시 Fe 시편 저항률 측정 포항공과대학교 기계공학과 신다슬 51,000원
386 2018-04-02 15시 16시 베어 웨이퍼 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
387 2018-04-03 17시 18시 Rs Meas. 포항공과대학교 전자전기공학과 박성민 51,000원
388 2018-04-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
389 2018-04-11 16시 17시 Rs measurement 6inch 5points(TBCLR) 2매 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 45,000원
390 2018-04-12 16시 17시 Rs measurement 6inch 5points(TBCLR) 2매 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 45,000원
391 2018-04-13 11시 12시 bare silicon 면저항 측정 포항공과대학교 전자과 백상원 15,000원
392 2018-04-13 13시 18시 Rs Measurement 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 360,000원
393 2018-05-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
394 2018-06-08 11시 12시 Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 45,000원
395 2018-06-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
396 2018-06-14 15시 16시 Rs Meas. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
397 2018-06-29 15시 17시 BiTe, SbTe 각 매에 대한 26point 면저항 측정 요청 드립니다.
좌표는 기종선임님에게 전달 드리겠습니다.		 60,000원
398 2018-07-03 13시 14시 Rs Meas. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,000원
399 2018-07-05 9시 24시 해당 시편의 면저항을 포함한 측정 가능한 데이터들을 측정하여 보내주시기 바랍니다.
또한 장비에서 시편 측정하는 사진과 측정기의 단자간의 거리와 전류값 등의 측정 조건도 함께 보내주시기를 바랍니다.
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7/3		 120,000원
400 2018-07-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
401 2018-07-12 16시 17시 Mosteg 측정입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,000원
402 2018-08-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
403 2018-08-27 15시 16시 4 Pont probe 측정 (2회) 60,000원
404 2018-09-05 16시 16시 Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 45,000원
405 2018-09-05 16시 17시 18Y1M Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 45,000원
406 2018-09-10 11시 12시 13 Point Probe 측정 30,000원
407 2018-09-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
408 2018-10-05 14시 15시 Rs Meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 67,500원
409 2018-10-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
410 2018-11-09 15시 16시 장비사용입니다 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
411 2018-11-12 15시 16시 장비사용입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
412 2018-11-12 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
413 2018-12-05 14시 15시 Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 90,000원
414 2018-12-12 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
415 2018-12-27 9시 10시 Rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 67,500원
416 2019-01-08 14시 15시 측정 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 20,000원
417 2019-01-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
418 2019-02-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
419 2019-02-14 10시 11시 rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 90,000원
420 2019-02-25 9시 11시 그래핀 박막의 면저항 측정을 위하여 분석 요청드립니다.

혹시 시편 관련하여 문제가 있거나 궁금하신 점 있으시면 아래 번호로 연락주시면 감사하겠습니다.

휴대폰 번호 : 010-3903-4031



 부산대학교 재료공학부 정연욱 216,000원
421 2019-03-05 15시 16시 Rs meas. 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 16,000원
422 2019-03-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
423 2019-03-12 16시 17시 mutimetal rs 평가 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 21,000원
424 2019-04-11 15시 16시 . 포항공과대학교 전기전자공학부 고형민 18,000원
425 2019-04-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
426 2019-04-15 15시 16시 . 포항공과대학교 전기전자공학부 고형민 18,000원
427 2019-04-22 17시 18시 CV 포항공과대학교 전자공학 하태경 18,000원
428 2019-04-23 11시 12시 cv 포항공과대학교 전자공학 하태경 18,000원
429 2019-04-23 14시 15시 . 포항공과대학교 전기전자공학부 고형민 18,000원
430 2019-04-25 16시 17시 cv 포항공과대학교 전자공학 하태경 18,000원
431 2019-05-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
432 2019-06-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
433 2019-07-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,340,000원
434 2019-07-29 13시 14시 TiSiGe 면저항 측정 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 16,000원
435 2019-08-07 12시 13시 , 포항공과대학교 전자과 서태원 16,000원
436 2019-08-09 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,040,000원
437 2019-09-06 15시 16시 . 포항공과대학교 전자전기공학과 박혁 16,000원
438 2019-09-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,040,000원
439 2019-10-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,040,000원
440 2019-11-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,040,000원
441 2019-12-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체

 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,010,000원
442 2020-01-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,010,000원
443 2020-02-03 9시 18시 한국나노마이스터고 교육 1차, 2차, 3차_Thinfilm 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 900,000원
444 2020-02-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 2,010,000원
445 2020-02-13 15시 16시 6-4-3 0 stress meas. 4pp 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 42,000원
446 2020-02-17 14시 15시 6-4-3 0 stress measure 49pp 요청 2ea 삼성종합기술원 기반기술랩 황선규 42,000원
447 2020-02-17 16시 17시 투명폴리이미드 필름 위에 Cu 나노파이버 네트워크가 형성되어있는 Flexible Transparent electrode 입니다.

5cm X 5cm 정사각형 크기의 필름입니다.
한 필름마다 5 point의 면저항을 측정하여 distribution을 관찰하고자 합니다.
5 point는 주사위의 5를 나타내는 위치의 면저항을 측정하려고 합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 우현수 72,000원
448 2020-02-18 15시 16시 3매 진행 입니다. powertechnix powertechnix 파워테크닉스 0원
449 2020-02-19 11시 12시 Cu nanofiber networks on color-less polyimide film 포항공과대학교 기계공학과 우현수 18,000원
450 2020-02-27 13시 14시 전기전도도 측정 주식회사 그래핀엣지 연구팀 전인엽 20,000원
451 2020-03-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
452 2020-03-19 11시 12시 Oxide + Ti (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
453 2020-03-25 14시 15시 4" Si wafer 1매 Rs 49point 측정 요청 입니다.

YPT IMP PM후 검증
 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
454 2020-03-26 13시 14시 저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
455 2020-03-31 11시 12시 CH.2 Ti 1매 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
456 2020-04-01 14시 15시 CH.2 dailyt Rs check (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
457 2020-04-06 15시 16시 CH.2 Rs TEST wafer (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
458 2020-04-08 15시 16시 CH.4 Rs check (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
459 2020-04-10 17시 18시 Poly test wafer RFW 후 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
460 2020-04-10 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
461 2020-04-16 13시 14시 poly Rs test 측정























 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
462 2020-04-20 8시 9시 면저항 측정 포항공과대학교 전자전기공학과 박익수 17,000원
463 2020-05-08 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
464 2020-05-18 14시 15시 Al Depo. 후 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
465 2020-05-18 17시 18시 Ni, Ag 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
466 2020-05-19 11시 12시 Ni 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
467 2020-05-20 14시 15시 Ti 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
468 2020-05-26 17시 18시 Poly RS (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
469 2020-06-08 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 900,000원
470 2020-06-29 9시 12시 MP11 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
471 2020-07-01 16시 17시 Poly Si 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
472 2020-07-08 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 630,000원
473 2020-07-15 17시 18시 Poly-Si 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
474 2020-07-27 17시 18시 Al 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
475 2020-08-03 17시 18시 XM90 단위평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
476 2020-08-04 15시 18시 MP11 재가동 검증 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
477 2020-08-05 10시 12시 MP11 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
478 2020-08-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
479 2020-09-02 13시 15시 4 inch wafer, 49 point auto-measurement (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
480 2020-09-04 16시 17시 MP11 Ch#1~#4 막질 면저항 확인 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
481 2020-09-09 10시 12시 MP11 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
482 2020-09-11 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
483 2020-09-16 17시 18시 Poly 4k 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
484 2020-09-17 17시 18시 Poly Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
485 2020-09-18 14시 15시 Al 증착 후 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
486 2020-09-18 9시 10시 Poly 5000 recipe Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
487 2020-09-21 16시 18시 Ni , Al 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
488 2020-09-23 11시 12시 Ni Silicide 전후 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
489 2020-09-25 10시 11시 MP12 Ch#2 Al Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
490 2020-09-28 15시 16시 MP11 Ch#3 Ag Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
491 2020-09-28 16시 17시 MP12 Ch#2, Ch#3 Al Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
492 2020-10-12 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
493 2020-10-14 16시 17시 Poly Si Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
494 2020-10-15 17시 18시 MP12 Al Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
495 2020-10-16 10시 11시 DF03 poly Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
496 2020-10-21 16시 17시 PCB 기판상에 탄소나노섬유 필름의 두께별로 전기저항을 측정하고자 합니다. 대구대학교 물리교육과 이희조 30,000원
497 2020-10-27 14시 15시 *직접 측정하고자 하오니, 담당 선생님께서 관련장비 동작에 대해 간단한 설명을 부탁드립니다. 대구대학교 물리교육과 이희조 60,000원
498 2020-10-27 15시 16시 Al, Ti 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
499 2020-10-29 17시 18시 cu nanofiber network 포항공과대학교 기계공학과 우현수 18,000원
500 2020-11-03 16시 17시 Cu nanofiber network 기반 투명전극 면저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 우현수 18,000원
501 2020-11-03 17시 18시 Ti 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
502 2020-11-06 21시 22시 Ti 면저항 확인 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
503 2020-11-10 15시 16시 Ti 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
504 2020-11-12 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
505 2020-11-27 15시 16시 Poly Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 54,000원
506 2020-12-10 11시 12시 MP11 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
507 2020-12-10 15시 16시 MP11 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
508 2020-12-11 10시 12시 자세한 샘플 정보는 샘플 택배 발송 시 동봉 하겠습니다. 전북대학교 생명공학부 장점석 30,000원
509 2020-12-11 13시 14시 MP11 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
510 2020-12-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
511 2020-12-17 10시 11시 VW_01 VWO박막 Test 2-2-3 RS 측정 삼성종합기술원 Imaging Device Lab 김동균 72,000원
512 2020-12-23 13시 13시 VW_01 VWO박막 Test 3-1-3 RS측정 삼성종합기술원 Imaging Device Lab 김동균 72,000원
513 2021-01-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 600,000원
514 2021-01-15 16시 17시 NI, TI 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
515 2021-01-18 15시 16시 Poly Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
516 2021-01-18 16시 17시 MP11 Ch#4 Ti (3000) 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
517 2021-01-19 14시 15시 IH01 재가동 평가 2매, 49 point Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
518 2021-01-20 13시 14시 이온 주입 단위평가 용 Si test wafer 2매
49 포인트 면저항 측정		 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
519 2021-01-26 14시 15시 MP12 Al DEPO 3um Test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
520 2021-02-02 10시 11시 Poly Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
521 2021-02-15 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
522 2021-03-10 15시 16시 MP11 Ch3,4 Test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
523 2021-03-12 11시 12시 IH01 재가동평가 시료 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
524 2021-03-15 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
525 2021-03-17 16시 17시 면저항 측정 (주)이너센서 경영, 연구소 강문식 27,000원
526 2021-03-18 10시 11시 Poly 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
527 2021-03-24 11시 12시 IH01 재가동 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
528 2021-03-24 16시 17시 MP12 Al DEPO 재가동평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
529 2021-03-25 15시 16시 Al 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
530 2021-03-26 17시 18시 Ch.2 Ti 면저항 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
531 2021-03-29 13시 15시 MP11 ch2 Ti 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
532 2021-04-01 16시 17시 6inch square Quartz (SiO2) 기판 상의 CrN 박막의 면저항 분석
CrN 박막의 두께 : Sample 1 : 100nm / Smple 2 : 43nm
 에스앤에스텍 IC선행 서경원 60,000원
533 2021-04-02 11시 12시 TiW/V+Ni Rs test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
534 2021-04-02 14시 15시 TiW/V+Ni silicide Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
535 2021-04-05 10시 11시 6\" SiC / Pure Ni Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
536 2021-04-05 11시 12시 TiW / V+Ni silicide Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
537 2021-04-05 14시 15시 Pure Ni silicide Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
538 2021-04-06 9시 18시 \"8인치 적외선 MEMS Sensor 제작공정\" 계약
 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 1,500,000원
539 2021-04-07 11시 12시 SiC VNi silicide Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
540 2021-04-07 14시 15시 VNi silicide Ni strip 후 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
541 2021-04-07 9시 10시 6\" BMT Rs 측정
4\" VNi Rs 측정		 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
542 2021-04-08 9시 13시 \"8인치 적외선 MEMS Sensor 제작공정\" 계약 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 1,500,000원
543 2021-04-09 14시 15시 Poly Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
544 2021-04-14 14시 15시 V+Ni silicide
Ni etch 후 면저항 확인		 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
545 2021-04-14 15시 16시 BMT 후 면저항 확인 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
546 2021-04-14 17시 18시 Copper nanofiber network-based flexible transparent film 면저항 측정 포항공과대학교 기계공학과 우현수 18,000원
547 2021-04-15 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
548 2021-04-16 10시 11시 NiV 49 point Rs 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
549 2021-04-22 15시 16시 Cu nanofiber network-based transparent film electrode 포항공과대학교 기계공학과 우현수 18,000원
550 2021-04-22 16시 17시 MP11 호기 재가동 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
551 2021-04-22 17시 18시 #1 ~ 10 중 1매 Rs (49 pt)
#11 ~ 20 중 1매 Rs (49 pt) -> #20 FE-SEM 후속 확인		 (주) 이너센서 이너센서 강문식 60,000원
552 2021-04-23 10시 11시 MP11 Ch#2 Ti (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
553 2021-04-23 13시 14시 Copper nanofiber-based transparenct conductive film 포항공과대학교 기계공학과 우현수 18,000원
554 2021-05-03 11시 12시 6 inch Ni-V silicide 면저항 측정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
555 2021-05-12 10시 11시 IH01 PF3 면저항 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
556 2021-05-12 17시 18시 IH01 PH3 평가 49 포인트 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
557 2021-05-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
558 2021-05-21 14시 15시 poly pre depo 1매 rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
559 2021-05-25 11시 12시 5/24 poly 재가동 평가 후 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
560 2021-05-25 17시 18시 5/25 mp12 재가동 평가, Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
561 2021-05-26 11시 12시 5/25~5/26 poly 재가동 평가 시료 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
562 2021-05-28 15시 15시 5/27 poly test 후 rs 측정
pre depo gas. time / main time 변경		 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
563 2021-06-02 14시 15시 6/2 DF03 Boat, jig, dummy 교체, poly pre Depo 시 1 매 test wafer 투입, Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
564 2021-06-03 10시 11시 Poly 평가 Rs 확인 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
565 2021-06-03 18시 17시 6/3 poly 2차 단위평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
566 2021-06-04 10시 11시 Poly Depo 시료 Reflow 후 Rs 확인 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
567 2021-06-07 17시 18시 6/7 poly main depo gas 량 변경 Test. Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
568 2021-06-07 18시 19시 poly rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
569 2021-06-07 8시 9시 6/4 poly time 변경 110분 -> 150분 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
570 2021-06-08 16시 17시 6/7 poly 진행 제품 reflow 후 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
571 2021-06-08 18시 19시 6/8 poly 5000 test Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
572 2021-06-08 8시 9시 6/7 poly test Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
573 2021-06-09 18시 19시 XM90 Back Metal Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
574 2021-06-10 10시 11시 6/8 poly test Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
575 2021-06-11 9시 10시 Poly Depo Test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
576 2021-06-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
577 2021-06-16 9시 10시 6/15 현대차 실런 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
578 2021-06-18 10시 11시 XM90 평가 시료 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
579 2021-06-18 14시 15시 MP11 ch 1 Ni 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
580 2021-06-21 15시 16시 RTP 후 표면 변색 부분 면저항 확인 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
581 2021-06-22 14시 15시 6/21 poly 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
582 2021-06-23 14시 15시 6/22 poly 2차 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
583 2021-06-24 14시 15시 6/23 poly 재가동 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
584 2021-07-06 10시 11시 IH01 재가동평가
49 point Rs 측정		 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
585 2021-07-08 15시 16시 Cu nanofiber network on polyimide film 포항공과대학교 기계공학과 우현수 72,000원
586 2021-07-13 17시 18시 7/13 poly 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
587 2021-07-14 15시 16시 7/14 poly 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
588 2021-07-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
589 2021-07-20 17시 18시 21/7/20 poly 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
590 2021-07-28 15시 16시 고석민 선임 예약 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
591 2021-08-11 9시 10시 8/11 MP11 Ni edge 1mm 제외 Depo 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
592 2021-08-12 15시 16시 21/8/12 MP11 Ch#1 Ni 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
593 2021-08-13 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
594 2021-08-20 10시 12시 시료 정보 : Cu기판 상에 Ag 도금된 시료
1) Ag 3um(J, K, H)/Cu
2) Ag 3um(J, K, H)/Rough Cu
3) Rough Cu
4) Cu
 해성디에스 LF 개발팀 송영진 60,000원
595 2021-08-23 18시 19시 8/23 poly 단위 평가 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
596 2021-08-24 16시 17시 8/24 poly 단위 평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
597 2021-08-26 10시 11시 MP11 Ni 가이드라인 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
598 2021-08-27 15시 16시 MP11 Ni 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
599 2021-08-30 10시 12시 200mm W wafer(New 박막 두께 약 8000Å)
[샘플정보]
①New
②CMP 1.
③CMP 2.
(②~③ 의 경우 CMP 평가 후의 wafer임으로 약 3000~5000Å으로 예상됨.)

분석 의뢰드린 샘플은 모두 회수하여 택배로 받으려고합니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 pad개발팀 김보라 90,000원
600 2021-09-13 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
601 2021-09-14 14시 16시 결과는 raw data(Excel) 과 보고서 양식으로 요청드립니다.
200mm Co wafer (초기박막두께 5000Å)
샘플정보
①New
②CMP1
③CMP2

분석 의뢰드린 샘플은 모두 회수하여 택배로 전달받으려고합니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 pad개발팀 김보라 90,000원
602 2021-09-27 17시 18시 21/09/27 DF03 Poly 단위 평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
603 2021-09-29 18시 19시 21/9/29 MP12 Shield 교체 후 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
604 2021-10-06 16시 17시 10/6 DF03 Poly 단위 평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
605 2021-10-12 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
606 2021-10-13 13시 15시 결과는 raw data (excel)과 보고서 양식으로 요청드립니다.
200mm Co wafer (초기박막두께 5000Å)
1. new-1
2. new-2
3. new-3
4. CMP-1
5. CMP-2
6. CMP-3		 KPX케미칼(주)울산공장 pad개발팀 김보라 180,000원
607 2021-10-14 9시 10시 MP12 재가동 평가용 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
608 2021-10-20 15시 16시 전기 전도도를 계산하고자 합니다.
감사합니다.
ITO 위에 코팅이 되어 있는 형태이며 40nm 코팅되어 있습니다. 		부산대학교 화학과 황도훈 30,000원
609 2021-10-26 16시 18시 mp11 상온 증착 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
610 2021-10-27 17시 18시 MP11 상온 Depo Test
Rs 측정		 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
611 2021-10-28 14시 15시 21/10/28 MP11 Temp 상온 -> 원복 후 ch 1, 2, 3 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
612 2021-11-05 14시 15시 21/11/5 MP11 CH#4 Ti 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
613 2021-11-08 11시 12시 21.11.08 MP11 CH 4 Ti 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
614 2021-11-08 15시 16시 11/08 mp11 ch 4 ti rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
615 2021-11-09 10시 11시 11/9 mp11 ch#4 ti rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
616 2021-11-09 14시 15시 결과는 raw data (excel)과 보고서 양식으로 요청드립니다.
Ru wafer 200mm 초기박막 두께 5000Å 입니다.
1. new
2. new-1
3. Ru CMP

분석 의뢰드린 샘플은 모두 회수하여 택배로 전달받으려고합니다.

 KPX케미칼(주)울산공장 pad개발팀 김보라 90,000원
617 2021-11-09 16시 17시 11/09 poly si Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
618 2021-11-12 11시 12시 21.11.12 DF03 Bottom Dummy Broken 후 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
619 2021-11-12 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
620 2021-11-12 9시 10시 121/11/12 MP12 Al Depo Time 감소 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
621 2021-11-19 14시 16시 결과는 raw data (excel) & 보고서 양식으로 요청드립니다.
Ru wafer 200mm 초기박막 두께 5000Å 입니다.
1. new
2. new
3. new
4. Ru CMP
5. Ru CMP
6. Ru CMP

분석 의뢰드린 샘플은 모두 회수하여 택배로 전달받으려고합니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 pad개발팀 김보라 180,000원
622 2021-12-02 11시 12시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업], 전자과 신성환(010.9081.6590) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 16,000원
623 2021-12-10 17시 18시 rs meas. 삼성전자 Display Innovation Lab. 이근식 30,000원
624 2021-12-13 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
625 2021-12-16 10시 11시 1-2-2 poly rtp anneal rs meas. 템퍼스 생산기술팀 서영민 57,000원
626 2021-12-24 10시 11시 12/23 DF03 단위 평가 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
627 2021-12-29 14시 15시 Ti, Ni Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
628 2021-12-29 17시 18시 MP11 Ti Rs 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
629 2022-01-03 14시 15시 22/01/03 mp11 ch#2 ti Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
630 2022-01-06 17시 18시 1/6 mp11 ch#2 Ti Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
631 2022-01-11 10시 11시 MP11 CH#2,4 Metal layer Rs 측정 충남대학교 재료공학과 황규환 0원
632 2022-01-12 10시 11시 22/1/12 MP11 CH#4 Ti Deporate 변경 440->335sec (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
633 2022-01-13 15시 16시 22/1/13 MP12 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
634 2022-01-13 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
635 2022-01-13 9시 10시 22/1/13 IH01 재가동 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
636 2022-01-14 10시 11시 Ni silicide test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
637 2022-01-14 16시 17시 22/1/14 mp11 ch4, M12 Al (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
638 2022-01-17 15시 16시 1/17 Ti RS측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
639 2022-01-17 17시 18시 22/01/17 MP12 Ch#3 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
640 2022-01-20 15시 16시 22/01/20 PSG Reflow 후 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
641 2022-01-27 11시 12시 22.01.26~22.01.27 ㄱㅖㅎㅗㅣㄱㅈㅓㅇㅈㅓㄴ ㅎㅜ DF03 ㅣㅈㅐㄱㅏㄷㅗㅇ (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
642 2022-02-07 15시 16시 22.02.07 DF03 4inch Boat 교체 후 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
643 2022-02-09 17시 18시 22.02.09 DF03 재가동 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
644 2022-02-11 10시 11시 22/2/10 DF03 SiH4 500sccm 적용 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
645 2022-02-11 14시 15시 MP12 Ch#3 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
646 2022-02-14 16시 17시 22/02/11 DF03 SiH4 100sccm (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
647 2022-02-14 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,500,000원
648 2022-02-16 11시 12시 22/02/15 DF03 SIH4 100sccm/Ph3-1 10sccm (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
649 2022-02-17 10시 11시 22/02/16 DF03 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
650 2022-02-17 16시 17시 22.02.17 mp12 al 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
651 2022-02-17 17시 18시 2-3-4 gate poly rs meas. 포항공과대학교 기술지원팀 김성준 48,000원
652 2022-02-18 10시 11시 22.02.17 DF03 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
653 2022-02-21 11시 12시 22.2.19 DF03 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
654 2022-02-21 15시 16시 Poly si Rs Check (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
655 2022-02-22 10시 11시 22.02.21 DF03 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
656 2022-02-22 14시 15시 22.02.22 DF03 LOW/HIGH 조건 2 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
657 2022-02-24 11시 12시 22/02/23 DF03 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
658 2022-02-24 15시 16시 22.02.24 DF03 Test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
659 2022-02-25 10시 11시 22.02.24 DF03 조건 6 재현 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
660 2022-03-04 14시 15시 3/2 DF03 재현성 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
661 2022-03-04 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
662 2022-03-07 14시 15시 RFW 후 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
663 2022-03-10 14시 15시 22.03.08 df03 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
664 2022-03-15 17시 18시 3/15 MP12 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
665 2022-03-16 11시 12시 22/03/16 MP12 AL RS (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
666 2022-03-29 10시 11시 Mp11 ch1,3 모니터링 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
667 2022-03-29 18시 9시 아이큐랩 \"Si 650V 파워반도체 제작\" 4point probe (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 1,500,000원
668 2022-04-04 15시 16시 22/04/04 mp12 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
669 2022-04-04 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
670 2022-04-08 15시 16시 주간 MP 11 #2,4 Ti Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
671 2022-04-21 10시 11시 4/20 DF03 단위평가(4INCH BOAT) (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
672 2022-04-22 10시 11시 기판-유리
소재-3종류 탄소나노섬유 필름 (샘플사이즈~10mm*10mm)

저항측정: 3종류의 탄소나노섬유 필름(CNF-700, CNF-800, CNF-900)에서 각 필름마다 다른 3 포인트에서 저항값 측정을 부탁 드립니다. 총 9개의 측정 저항값을 제 메일로 송부해 주시면 고맙겠습니다.		 대구대학교 물리교육과 이희조 30,000원
673 2022-04-26 15시 16시 MP11 ch#1,3 Rs monitoring (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
674 2022-05-02 9시 10시 22.04.29 DF03 8inch 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
675 2022-05-03 17시 18시 22.05.03 DF03 재가동 3차 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
676 2022-05-03 9시 10시 5/2 df03 재가동 2차 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
677 2022-05-04 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
678 2022-05-13 10시 13시 아이큐랩 \"Si 650V 파워반도체 제작 6매\" (주)칩스케이 연구개발팀 임진홍 160,000원
679 2022-05-16 11시 12시 22/05/13 DF03 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
680 2022-05-17 10시 11시 22.05.16 DF03 8inch Boat 조건 Test (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
681 2022-05-17 12시 13시 3-2-3 Electrode Metal Rs 4 point probe (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 30,000원
682 2022-05-18 10시 11시 22.05.17 DF03 uniformity 개선 조건 2 & uniformity 개선 조건 1 reflow (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
683 2022-05-20 10시 11시 DF03 Reflow 후 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
684 2022-05-20 13시 14시 DF03 재현성 Reflow 후 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
685 2022-05-30 11시 12시 22.05.27 DF03 재가동 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
686 2022-05-30 13시 14시 22/05/27 df03 bottom 온도 변화 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
687 2022-05-31 17시 18시 22.05.31 df03 기존 조건 Particle check (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
688 2022-06-03 14시 15시 DF03 평가 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
689 2022-06-03 8시 8시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
690 2022-06-08 10시 11시 22/06/07 df03 단위평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
691 2022-06-08 17시 18시 Metal monitoring Ni Ti 3000 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
692 2022-06-09 13시 14시 22.06.09 DF03 단위평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
693 2022-06-13 13시 14시 22.06.10 DF03 단위평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
694 2022-06-16 10시 11시 22.06.15 df03 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
695 2022-06-21 11시 12시 22.06.20 DF03 기존 조건 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
696 2022-06-21 14시 15시 1-2-3 electrode metal rs meas. (주)에스제이컴퍼니 개발팀 박상준 30,000원
697 2022-06-23 15시 16시 DF03 Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
698 2022-06-30 17시 18시 22.06.29 df03 rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
699 2022-07-04 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
700 2022-07-08 11시 12시 MP11 Ch#3 이온게이지 점검 후 재가동 평가 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
701 2022-07-12 16시 17시 22.07.12 df03 단위 평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
702 2022-07-12 9시 10시 첫기기 사용으로 교육 신청합니다. 포항공과대학교 대학원 기계공학과 김재희 27,000원
703 2022-07-13 11시 12시 22.07.13 DF03 단위평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
704 2022-07-18 10시 11시 IH RFW150 Ref. TEST (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
705 2022-07-20 12시 13시 titanium nitride film 의 저항측정 희망합니다.
명지대학교 전자공학과 강주은 30,000원
706 2022-07-20 14시 15시 22.07.19 DF03 재가동 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
707 2022-07-20 16시 17시 Mp11 ch1,4 metal monitoring (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
708 2022-08-04 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
709 2022-08-05 11시 12시 2.1 Rs 측정 삼성전자 생산기술연구소 구자명 190,000원
710 2022-08-08 14시 15시 1.2 4 point probe 삼성전자 생산기술연구소 구자명 190,000원
711 2022-08-15 11시 12시 1.2 Rs 측정 삼성전자 생산기술연구소 구자명 190,000원
712 2022-08-18 12시 13시 1.2 Rs 측정 삼성전자 생산기술연구소 구자명 190,000원
713 2022-08-23 13시 16시 -Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 5,000Å 증착.

-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 300,000원
714 2022-08-25 14시 15시 22.08.24 DF03 단위 평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
715 2022-08-26 14시 15시 22.08.25 DF03 단위평가 Rs (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
716 2022-08-29 9시 11시 -Raw Data , 제출용 성적서 발행 및 Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다. KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 300,000원
717 2022-09-05 8시 20시 차세대 실리콘카바이드 파워반도체
 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 1,200,000원
718 2022-09-13 10시 11시 4.2 Rs 저항 측정 나노융합기술원 미래기술팀 이상권 204,000원
719 2022-09-14 1시 1시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 5,000Å 증착.

-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 300,000원
720 2022-09-14 15시 16시 1-1-2 metal ni depo. rs meas. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 권민규 25,500원
721 2022-09-20 13시 15시 4inch wafer위에 graphene transfer 된 glass sample (2X2cm) 여러 개 테이프로 붙여서 전달드리도록 하겠습니다. 고려대학교 화학과 최수인 54,000원
722 2022-09-21 9시 11시 -Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착.

-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 300,000원
723 2022-09-22 14시 15시 VOx 저항측정 - 3EA 주식회사 보다 연구개발 김형원 27,000원
724 2022-09-26 17시 18시 1.2 Rs 측정 삼성전자 생산기술연구소 구자명 570,000원
725 2022-09-28 14시 15시 TiN 500A 증착 후 면저항 측정 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 25,500원
726 2022-10-04 10시 11시 Mp11 ch2 ti Rs 측정 (주)예스파워테크니스 공정기술팀 이정훈 0원
727 2022-10-04 16시 17시 2-1-3 Rs측정(시편측정) 삼성전자 생산기술연구소 구자명 215,000원
728 2022-10-07 10시 12시 Silicon wafer 위에 Ruthenium 단일 박막 4,000Å 증착.
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 300,000원
729 2022-10-11 16시 17시 1-2-3 Rs측정(시편측정) 삼성전자 생산기술연구소 구자명 190,000원
730 2022-10-12 13시 15시 Tungestan (W) is deposited by magnetron sputtering in one step. 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 54,000원
731 2022-10-31 17시 18시 VOx 저항 테스트 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 40,000원
732 2022-11-02 14시 15시 25nm tungestan(W) deposited by magnetron sputtering 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 18,000원
733 2022-11-07 13시 14시 VOx 저항 측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 20,000원
734 2022-11-07 16시 17시 4 point probe 삼성전자 생산기술연구소 구자명 205,000원
735 2022-11-16 16시 17시 3.0, 4.0 4 point probe 삼성전자 생산기술연구소 구자명 410,000원
736 2022-11-22 9시 9시 VOx 저항 측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 20,000원
737 2022-11-29 16시 17시 25nm W and Ti co-sputtered by magnetron sputtering 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 36,000원
738 2022-12-14 15시 16시 4 point probe 삼성전자 생산기술연구소 구자명 860,000원
739 2022-12-15 13시 14시 VOx 저항 측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 40,000원
740 2023-01-02 1시 10시 면저항 측정 6인치 3매 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 90,000원
741 2023-01-11 16시 17시 VOx_12 단면 저항 측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 20,000원
742 2023-01-13 17시 18시 VOx_12 단면 저항 측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 18,000원
743 2023-01-16 16시 17시 VOx 면저항측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 20,000원
744 2023-01-17 17시 18시 저항 측정 주식회사 아이디피 부설연구소 김형원 40,000원
745 2023-03-08 15시 17시 직접 이용 (주)티씨씨스틸 연구개발팀 허준영 60,000원
746 2023-03-16 15시 16시 doping 된 Si의 면저항을 알고 싶습니다.
측정 point는 상관없고 임의로 3군데 측정해서 평균 면저항값을 알고 싶습니다.		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 김영동 27,000원
747 2023-03-23 10시 12시 ITO의 sheet resistance를 직접 측정하고자 합니다.

장비 사용 방법 안내 부탁 드립니다. 		포항공과대학교 IT융합공학과 김민수 27,000원
748 2023-04-10 14시 15시 4-Point Probe 삼성디스플레이 Micro LED Lab (Micro Display Team) 유철종 72,000원
749 2023-04-11 14시 16시 상온 및 극저온 면저항 측정 포항공과대학교 대학원 철강대학원 김성호 27,000원
750 2023-06-23 15시 17시 특이사항 없습니다 (주)티씨씨스틸 연구개발팀 허준영 40,000원
751 2023-07-17 10시 11시 TiN 측정 포항공과대학교 대학원 기계공학과 주경재 20,000원
752 2023-07-25 20시 22시 측정 시 전달해드리겠습니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 32,000원
753 2023-08-02 10시 11시 해당 조각 시편은 Mo 박막입니다.

클린룸 안전교육을 아직 이수하지 않아 임시출입증 발급이 필요합니다.		 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
754 2023-08-02 15시 16시 ITO Rs 삼성디스플레이 Micro Display 류용우 240,000원
755 2023-08-03 14시 15시 면저항 측정 직접사용 포항공과대학교 대학원 기계공학과 주경재 18,000원
756 2023-08-09 14시 16시 - 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 김승모 32,000원
757 2023-08-17 11시 12시 나노융합기반 고도화사업, 전자과 손종민 (010-9766-0039) 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 20,000원
758 2023-08-18 11시 12시 클린룸 출입 권한이 없어

임시출입증 발급이 필요합니다.

또한 Mo및 MoOx 박막 면저항 측정이고
전도체이거나, 부도체 일 수도 있습니다. 		포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
759 2023-08-18 13시 14시 W - wOx deposited on silicon oxide 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 18,000원
760 2023-08-21 14시 17시 PET support 위에 Nafion membrane 위에 전사된 single layer graphene이 있을 때와 없을 때 면저항 변화 측정 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 18,000원
761 2023-08-25 15시 16시 임시 출입증 필요합니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 조민수 18,000원
762 2023-08-29 16시 17시 출입 권한이 없어 임시 출입증 발급을 희망합니다. 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
763 2023-09-04 1시 1시 -Raw Data , 제출용 성적서 발행 및 Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.

10매는 공정내역이 없으며 10매는 연마후 입니다.
박막 5,000Å Data 와 박막 4,000Å Data의 성적서는 각각 따로 발행부탁드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 480,000원
764 2023-09-05 13시 14시 Tungsten nitride 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 18,000원
765 2023-09-06 10시 11시 72c, 82c 10ea * 3pp 측정 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 54,000원
766 2023-09-06 14시 15시 1-1-6 gate poly rs meas. 삼성종합기술원 V-T/F 양성석 72,000원
767 2023-09-06 15시 16시 x 비오전스 연구개발팀 편승희 27,000원
768 2023-09-07 11시 12시 WN 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 18,000원
769 2023-09-12 19시 20시 Mo / MoO2 박막 면저항 측정 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
770 2023-09-13 15시 17시 직접사용 요청(2명 입실 예정) (주)티씨씨스틸 연구개발팀 허준영 40,000원
771 2023-09-15 10시 11시 MoOx 박막 저항 측정 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
772 2023-09-18 1시 11시 -Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 5,000Å 증착.

-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 240,000원
773 2023-09-18 11시 12시 WNx films deposited by magnetron sputtering 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 18,000원
774 2023-09-18 16시 17시 없음 포항공과대학교 전자전기공학과 김제규 18,000원
775 2023-09-20 15시 16시 실리콘 doping 후 면저항 변화 측정용 포항공과대학교 전자전기공학과 전길수 18,000원
776 2023-09-20 9시 10시 MoOx film 면저항 측정 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
777 2023-09-21 14시 15시 1종 당 측정을 2번 이상 부탁드립니다. 비오전스 연구개발팀 편승희 54,000원
778 2023-10-04 13시 14시 저번 주부터 유선 연락이 안 되어 예약 먼저 남깁니다.
해당 시간에 찾아 뵙겠습니다.		 포항공과대학교 철강에너지소재대학원 이다온 27,000원
779 2023-10-04 14시 15시 Si/SiO2 wafer위에 InOx를 전면 증착한 sample입니다 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 장호중 27,000원
780 2023-10-05 14시 15시 필름이 얇아 떼어낼 때 조심해주시길 바랍니다. 비오전스 연구개발팀 편승희 54,000원
781 2023-10-06 3시 4시 없음 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이규빈 18,000원
782 2023-10-10 13시 14시 없음 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 이규빈 18,000원
783 2023-10-12 14시 15시 얇고 약한 샘플들이 있으니 주의해서 다뤄주시면 감사하겠습니다 비오전스 연구개발팀 편승희 81,000원
784 2023-10-12 15시 16시 없습니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 김제규 18,000원
785 2023-10-13 14시 15시 없음 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
786 2023-10-16 14시 15시 doped Si 면저항 측정 예정입니다 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 18,000원
787 2023-10-17 11시 12시 조각 샘플 측정 예정 포항공과대학교 전자전기공학과 손종민 27,000원
788 2023-10-19 13시 14시 필름 두께가 얇아 훼손되기 쉬우니 주의해서 측정부탁드립니다. 비오전스 연구개발팀 편승희 54,000원
789 2023-10-24 17시 18시 VOx 특성평가 _ VOx 면저항, 비저항 측정 주식회사 보다 연구개발 김형원 17,000원
790 2023-10-25 10시 11시 VOx 특성평가 _VOx 저항측정 주식회사 보다 연구개발 김형원 17,000원
791 2023-10-26 13시 15시 Cu foil - 개인 장비 사용 - 교육 완료 포항공과대학교 철강에너지소재대학원 이다온 36,000원
792 2023-10-26 15시 16시 샘플이 얇으니 주의부탁드리겠습니다. 비오전스 연구개발팀 편승희 27,000원
793 2023-11-03 13시 16시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착.
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.
 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 90,000원
794 2023-11-10 13시 19시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착.
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 180,000원
795 2023-11-14 22시 23시 산화 몰리브덴 면저항 측정 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
796 2023-11-15 14시 16시 직접사용 요청(2명 입실 예정) (주)티씨씨스틸 연구개발팀 김태하 60,000원
797 2023-11-17 10시 18시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착 8매
Silicon wafer 위에 Ruthenium 단일 박막 4,000Å 증착 8매
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.

Cobalt 와 Ruthenium Wafer 2종을 요청드리오며,
육안상 구분이 어려울수 있으므로 확인하시어 측정 부탁드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 480,000원
798 2023-11-22 14시 15시 저번주에 분석하였는데, 추가적으로 진행할 건이 있습니다.
1명 출입예정이며, 출입만 도와주시면 감사드리겠습니다. 		(주)티씨씨스틸 연구개발팀 김태하 20,000원
799 2023-11-23 1시 18시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착 8매
Silicon wafer 위에 Ruthenium 단일 박막 4,000Å 증착 8매
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.

Cobalt 와 Ruthenium Wafer 2종을 요청드리오며,
육안상 구분이 어려울수 있으므로 확인하시어 측정 부탁드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 450,000원
800 2023-12-01 17시 18시 VOx 30nm _넥서스비 샘플 _6인치 주식회사 보다 연구개발 김형원 17,000원
801 2023-12-04 13시 14시 샘플 종류는 총 6가지 입니다.
성적서 발급 부탁드립니다.		 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
802 2023-12-06 10시 11시 2023년 나노융합기반 고도화사업 주식회사 아이큐랩 제품기술 민영미 45,000원
803 2023-12-06 21시 22시 없음 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
804 2023-12-11 11시 12시 전기비저항 측정 의뢰 드립니다. 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
805 2023-12-12 15시 16시 전기비저항 측정의뢰 드립니다.
결과값을 3개 이상으로 송부 부탁드립니다.		 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
806 2023-12-14 10시 11시 전기 비저항 측정 의뢰 부탁드립니다. 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
807 2023-12-21 17시 18시 그래핀 옥사이드 포항공과대학교 전자전기공학과 김제규 18,000원
808 2024-01-08 13시 14시 RS meas. 포항공과대학교 기술지원팀 최경근 135,000원
809 2024-01-15 19시 20시 MoOx 박막 비저항 측정 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
810 2024-01-16 19시 20시 산화몰리브덴 박막 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
811 2024-01-17 10시 11시 SiO2 Wafer 위에 TiN 25nm 가 증착된 2cm 짜리 조각 샘플입니다.
실수로 물리분석팀 맡기는 시편함에 둔 것 같습니다.
케이스에 포스텍 신소재 장호중이라고 적혀있습니다.
면저항을 측정하고 싶고 분석이 끝난 후에는 찾아가는 시편함에 둬주시면 감사하겠습니다.		 포항공과대학교 대학원 신소재공학과 장호중 27,000원
812 2024-01-17 12시 13시 임플란트된 SiC 조각 4개 면저항 측정 / activation 진행 이전 단계 / 조각 2개는 N, 조각 2개는 Al 임플란트 되어 있습니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 최재용 27,000원
813 2024-01-22 14시 15시 산화몰리브덴 박막 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 18,000원
814 2024-01-24 10시 11시 같은 연구실 한건구 연구원 방문 예정 포항공과대학교 대학원 기계공학과 주경재 18,000원
815 2024-02-14 14시 15시 Si wafer/SiO2 285nm 시편 직접 사용예정입니다. 포항공과대학교 전자전기공학과 김제규 18,000원
816 2024-02-14 17시 18시 MoOx films deposited by sputtering 포항공과대학교 대학원 Materials science and engineering Mostafa Habibi 18,000원
817 2024-02-15 14시 15시 Si/SiO 285nm 포항공과대학교 전자전기공학과 김제규 18,000원
818 2024-03-06 22시 24시 사용 시 전달하겠습니다 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 48,000원
819 2024-03-10 24시 1시 직접 사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 24,000원
820 2024-03-13 22시 23시 직접 이용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 24,000원
821 2024-03-14 22시 23시 직접 사용 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 24,000원
822 2024-03-22 10시 11시 Sheet resistance measurement 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
823 2024-04-01 14시 15시 (WF1) BTP 이후 Rs Meas 삼성전자 DS 김태훈 40,000원
824 2024-04-18 15시 16시 동일 연구실 한건구 연구원 직접 분석 예정 포항공과대학교 대학원 기계공학과 주경재 20,000원
825 2024-04-18 19시 20시 SL036 Rs Meas. 1회 청구
 삼성전자 DS 김태훈 40,000원
826 2024-04-23 19시 20시 없음 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 24,000원
827 2024-04-30 16시 17시 9-2-3 Rs Meas 삼성전자 DS 김태훈 0원
828 2024-04-30 16시 17시 9-2-3 Rs Meas 삼성전자 DS 김태훈 0원
829 2024-05-10 11시 12시 면저항 측정 포항공과대학교 공정기술팀 박광진 24,000원
830 2024-05-10 15시 16시 ICT 제품화 지원사업
담당 연구원 : 도정현 (010-6370-5281)
8inch Si wafer 1매		 (주)아이제스트 연구개발팀 길연호 30,000원
831 2024-05-27 15시 16시 Ag 10nm의 4-point probe를 통한 sheet resistance 측정을 의뢰하고 싶습니다.

그리고, 측정하는 동안 측정 과정을 볼 수 있으면 좋겠습니다.		 포항공과대학교 반도체공학과 김정훈 20,000원
832 2024-06-03 1시 17시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 5,000Å 증착 10매
Silicon wafer 위에 Ruthenium 단일 박막 5,000Å 증착 10매
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.

Cobalt 와 Ruthenium Wafer 2종을 요청드리오며,
육안상 구분이 어려울수 있으므로 확인하시어 측정 부탁드립니다		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 640,000원
833 2024-06-14 17시 18시 9-2-4 gate gate poly rs meas. 삼성전자 DS 김태훈 0원
834 2024-06-14 17시 18시 9-2-4 gate gate poly rs meas. 삼성전자 DS 김태훈 40,000원
835 2024-07-03 14시 16시 Fe 강판에 주석도금한 강판의 접촉저항을 측정하려고 합니다.
장비사용을 작년에 두번 진행해보았는데, 다시 한 번 간단하게 알려주시면 감사드리겠습니다.		 (주)티씨씨스틸 연구개발팀 김태하 60,000원
836 2024-07-05 11시 12시 4 point probe 교육 신청입니다. 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 최성윤 182,000원
837 2024-07-09 13시 14시 공정 교육 2회차입니다. 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 최성윤 32,000원
838 2024-07-10 13시 15시 Rs meas. WF01, WF02, WF03, WF04 삼성전자 Power device팀 박종원 80,000원
839 2024-07-10 15시 16시 1st rs meas. 삼성전자 Power device팀 박종원 40,000원
840 2024-07-10 16시 17시 2nd rs meas 삼성전자 Power device팀 박종원 40,000원
841 2024-07-10 17시 18시 3rd rs meas 삼성전자 Power device팀 박종원 40,000원
842 2024-07-11 11시 12시 공정교육 3회차입니다. 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 최성윤 32,000원
843 2024-07-11 16시 17시 rs meas. 삼성전자 Power device팀 박종원 40,000원
844 2024-07-13 13시 14시 InOx 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 24,000원
845 2024-07-17 1시 17시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착 8매
Silicon wafer 위에 Ruthenium 단일 박막 4,000Å 증착 8매
-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.

Cobalt 와 Ruthenium Wafer 2종을 요청드리오며,
육안상 구분이 어려울수 있으므로 확인하시어 측정 부탁드립니다		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 640,000원
846 2024-07-23 14시 18시 측정이 가능한 부분들로 최대한 측정 부탁드리며 측정 포인트 또한 가능한 부분으로 부탁드리겠습니다.
탄소나노튜브 버키페이퍼로, 탄소나노튜브 외 첨가된 다른 물질은 없습니다.
측정 후 시료 반송 부탁드리며, 실험 데이터 값이 급해서 최대한 당일에 데이터를 받을 수 있도록 요청드리겠습니다.		 전북대학교 탄소융복합재료공학과 김지현 160,000원
847 2024-07-25 8시 16시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착 8매

-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 320,000원
848 2024-07-26 13시 14시 wafer가 아닌 전극입니다. 포항공과대학교 대학원 철강에너지소재대학원 윤찬호 20,000원
849 2024-07-31 13시 15시 전극입니다. 포항공과대학교 대학원 철강에너지소재대학원 윤찬호 40,000원
850 2024-08-10 17시 18시 측정 시 전달 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 강보현 22,000원
851 2024-08-14 13시 14시 MoOx film 포항공과대학교 대학원 반도체공학과 박현준 22,000원
852 2024-08-16 15시 19시 1. Group14 (Si, C, O)
2. Nexeon (Si, C, O)
3. SiOx (Si, O)
4. BS7 (C)
5. BA21E (C)
6. K (C)
7. KS (C)
8. KSN (C)		 포항공과대학교 대학원 친환경소재대학원 이준우 80,000원
853 2024-08-21 1시 17시 Silicon wafer 위에 Cobalt 단일 박막 4,000Å 증착 8매
Silicon wafer 위에 Ruthenium 단일 박막 4,000Å 증착 8매

-Raw data , 제출용 성적서 발행 및
Sample(Wafer) 상태 그대로 회수 요청 드립니다.

Cobalt 와 Ruthenium Wafer 2종을 요청드리오며,
육안상 구분이 어려울수 있으므로 확인하시어 측정 부탁드립니다

결제는 의뢰가 끝나는 시점에 일괄신청하고자 하오니, 문제가 된다면
말씀부탁드리겠습니다.		 KPX케미칼(주)울산공장 전자재료기술팀 전은돈 640,000원
854 2024-09-12 9시 10시 Rs meas. 나노융합기술원 대외협력팀 양웅석 32,000원
855 2024-09-19 10시 18시 시료가 도착하는대로 측정 부탁드립니다.

측정이 가능한 부분들로 최대한 측정 부탁드리며 측정 포인트 또한 가능한 부분으로 부탁드리겠습니다.
최대한 모든 시료의 측정 부분이 비슷하게 부탁드리겠습니다.
한 시료 당 7포인트 측정 부탁드립니다.

탄소나노튜브 버키페이퍼로, 탄소나노튜브 외 첨가된 다른 물질은 없습니다.

측정 후 시료 반송 부탁드리며, 실험 데이터 값이 급해서 최대한 당일에 데이터를 받을 수 있도록 요청드리겠습니다.

결제는 7월 분석의뢰 건과 함께 결제할 예정입니다. 결제일이 늦어져 죄송합니다.		 전북대학교 탄소융복합재료공학과 김지현 320,000원
856 2024-09-24 16시 18시 Carbon substrate slice 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 80,000원
857 2024-09-27 13시 15시 paste 도포면에 대한 면저항 측정 부탁드립니다. 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 80,000원
858 2024-10-04 15시 16시 Si 시편 도핑 후 영역 별 면 저항 측정

전자과 공병돈 교수님 연구실 전길수 01052879314		 포항공과대학교 전자전기공학과 전길수 22,000원
859 2024-10-08 10시 13시 유선상으로 말씀 나눴던 내용으로
직경 약 20mm 정도의 원형 금속 foil들의
면저항 및 전기전도도 측정 예정입니다.		 포항공과대학교 대학원 친환경소재대학원 조상흠 60,000원
860 2024-10-08 4시 8시 Bulk carbon slice의 면저항 측정 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 310,000원
861 2024-10-10 15시 16시 탄소 성형체의 면저항 측정 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
862 2024-10-14 16시 17시 탄소 성형체의 면저항 측정 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
863 2024-10-15 11시 13시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
864 2024-10-18 9시 10시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
865 2024-10-21 9시 11시 담당연구원 : 최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 44,000원
866 2024-10-24 10시 11시 각 샘플 당 세 군데에서 면저항 측정 요청 드립니다.
시료는 금요일 오전 2층에서 전달 드리겠습니다. 		포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 22,000원
867 2024-10-29 14시 15시 면저항측정 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
868 2024-10-31 16시 17시 탄소소재의 면저항 측정 포항산업과학연구원 탄소소재연구그룹 이현석 30,000원
869 2024-11-04 15시 16시 담당연구원:최재용/010-2123-3062 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 22,000원
870 2024-11-18 14시 15시 직접분석 포항공과대학교 대학원 첨단원자력공학부 김효주 22,000원
871 2024-11-28 10시 11시 RS meas. 나노융합기술원 대외협력팀 박영재 32,000원