E-Beam Lithography System - 1 장비일지

 기자재관리번호 : B0000055-062005-A0021
No 장비이용내역 이용내역 사용자 장비이용료
시작일 종료일 세부내용 기관명 부서(학과명) 성명 확정금액
1 2010-01-01 09시 02시 Pr Pattern 50nm , Gap 30nm 영남대학교 물리학과 박영순 0원
2 2010-01-14 09시 18시 Bio_FET 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
3 2010-01-18 10시 11시 Si 기판에 20nm Dot Au pattern 제작 포항공과대학교 기계공학과 김성주 375,000원
4 2010-01-18 14시 17시 ★ Si 기판에 20nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 1,500,000원
5 2010-01-19 15시 17시 ★ Si 기판에 20nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 1,000,000원
6 2010-01-22 15시 16시 ★ Si 기판에 20nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 500,000원
7 2010-01-25 09시 12시 ★ Si 기판에 20nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 1,500,000원
8 2010-01-25 16시 12시 Bio_FET 제작 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
9 2010-02-01 09시 18시 Postech 기계과 이진원교수 Lab 실험 테스트 ( 25nm Line )
Etch Test Sample		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
10 2010-02-02 09시 18시 Postech 기계과 이진원교수 Lab 실험 테스트 25nm Line
및 Etch Test Sample		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
11 2010-02-03 17시 23시 GaN Pattern 제작 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
12 2010-02-08 13시 18시 ★ Si 기판에 23nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 2,500,000원
13 2010-02-09 11시 12시 ★ Si 기판에 23nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 500,000원
14 2010-02-11 13시 15시 ★ Si 기판에 23nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 1,000,000원
15 2010-02-12 11시 12시 ★ Si 기판에 23nm Dot Au pattern 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 500,000원
16 2010-02-16 09시 12시 W 25nm L 100nm Line Test 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
17 2010-02-16 13시 14시 W 25nm L 100nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 황광석 375,000원
18 2010-02-16 14시 15시 W 25nm L 100nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 황광석 375,000원
19 2010-02-16 15시 16시 W 25nm L 100nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 황광석 375,000원
20 2010-02-16 16시 17시 W 25nm L 100nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 황광석 375,000원
21 2010-02-17 09시 10시 W 25nm L 100nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 황광석 375,000원
22 2010-02-17 10시 11시 W 25nm L 100nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 황광석 375,000원
23 2010-02-17 11시 18시 Bio_FET Pattern 제작 전북대학교 전자공학부 김기현 2,625,000원
24 2010-02-18 09시 18시 50nm pattern 제작 영남대학교 물리학과 박영순 0원
25 2010-03-01 09시 10시 Steel 기판에 20nm 패터닝 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 0원
26 2010-03-01 10시 09시 Steel 기판에 20nm 패터닝 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 0원
27 2010-03-04 09시 10시 Steel 기판에 20nm 패터닝 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 0원
28 2010-03-08 10시 02시 Steel 기판에 20nm 패터닝 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 6,000,000원
29 2010-03-15 09시 12시 Poly Etch Test Sample 제작 (25nm Pattern) 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
30 2010-03-16 09시 12시 Poly Etch Test Sample 제작 (25nm Pattern) 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
31 2010-03-17 09시 12시 Poly Etch Test Sample 제작 (25nm Pattern) 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
32 2010-03-29 09시 09시 150nm, 200nm Square 제작 영남대학교 물리학과 박영순 0원
33 2010-04-08 09시 14시 0.4um, 0.8um Line 제작 삼성모바일디스플레이 Device Lab/기술연구소 서상준 1,875,000원
34 2010-04-12 09시 15시 50nm Line 제작 삼성모바일디스플레이 Device Lab/기술연구소 서상준 2,250,000원
35 2010-04-13 09시 18시 Negative PR Test 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
36 2010-04-28 09시 10시 Al 위에 패턴 제작 포항공과대학교 물리학과 박종현 375,000원
37 2010-05-19 15시 16시 Bio-FET 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
38 2010-05-24 13시 16시 pattern 제작(100nm) 삼성모바일디스플레이 Device Lab/기술연구소 서상준 1,200,000원
39 2010-05-25 18시 20시 pattern 제작(200nm) 삼성모바일디스플레이 Device Lab/기술연구소 서상준 800,000원
40 2010-05-27 10시 13시 pattern 제작(300nm) 삼성모바일디스플레이 Device Lab/기술연구소 서상준 1,200,000원
41 2010-06-03 09시 18시 Line test 50,100,200,400nm (DMS) 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
42 2010-06-04 09시 12시 Line test 50,100,200,400nm (DMS) 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
43 2010-06-04 20시 18시 DMS Sample 제작
50,100,200,400nm Line		 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
44 2010-06-14 09시 09시 NIL 관련 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
45 2010-06-15 16시 16시 NIL 관련 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
46 2010-06-17 13시 14시 100nm L&S 제작 (주)엘란테크놀러지 이상민 500,000원
47 2010-06-24 13시 18시 NIL 관련 패턴 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
48 2010-07-01 10시 17시 NIL Stamp Etch Test Sample 제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
49 2010-07-08 09시 08시 NIL Stamp제작 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
50 2010-07-20 10시 11시 Line 제작 10,30,50,80,100nm 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 500,000원
51 2010-07-21 09시 18시 NIL 관련 Pattern 제작 (Etch TEST 용 광주 생기원) 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
52 2010-07-26 10시 11시 Quartz 위에 패턴 포항공과대학교 물리학과 박종현 400,000원
53 2010-07-26 13시 14시 Quartz 위에 패턴 포항공과대학교 물리학과 박종현 400,000원
54 2010-07-27 10시 09시 NIL Pattern 제작 125nm Dot 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
55 2010-08-18 13시 18시 AR test pattern 제작 (주)디엠에스 김성해 2,000,000원
56 2010-09-07 10시 11시 10,20,30nm Line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 500,000원
57 2010-09-14 13시 15시 NIL관련 AR Pattern 제작 (주)디엠에스 김성해 800,000원
58 2010-09-16 11시 14시 NIL 관련 AR Pattern 제작 (주)디엠에스 김성해 1,200,000원
59 2010-09-28 13시 18시 NIL 6inch Quartz 원판 제작 (주)디엠에스 김성해 2,000,000원
60 2010-09-29 11시 14시 Quartz 위에 패턴 3장 제작 포항공과대학교 물리학과 박종현 1,200,000원
61 2010-10-05 11시 18시 NIL 6inch Quartz 원판 제작 (주)디엠에스 김성해 2,800,000원
62 2010-10-20 14시 20시 NIL Stamp 원판 제작 (주)디엠에스 김성해 2,400,000원
63 2010-10-25 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
64 2010-10-27 16시 01시 NIL Stamp제작 (주)디엠에스 김성해 3,600,000원
65 2010-10-29 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
66 2010-11-02 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
67 2010-11-05 10시 18시 NIL Stamp (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
68 2010-11-08 10시 18시 NIL Stamp (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
69 2010-11-17 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
70 2010-11-24 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
71 2010-11-26 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
72 2010-11-29 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
73 2010-12-06 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
74 2010-12-07 10시 18시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 3,200,000원
75 2010-12-08 10시 15시 NIL Stamp 제작 (주)디엠에스 김성해 0원
76 2010-12-13 10시 11시 10nm Line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 500,000원
77 2011-01-11 14시 15시 20nm Line 제작 엑사테크 기술영업부 황회철 500,000원
78 2011-01-13 13시 18시 Beam 조정및 안정화 10nm Line Test 주식회사 아르케 SIC 생산본부 노병훈 0원
79 2011-01-19 15시 16시 88nm, 100nm, 128nm Line 제작 한양대학교 신소재공학과 이인환 500,000원
80 2011-02-15 13시 14시 80nm Line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 500,000원
81 2011-02-15 15시 16시 Mask_I_Au 포항공과대학교 신소재공학과 유제원 400,000원
82 2011-02-17 10시 12시 20nm Line 제작 포항공과대학교 화학과 박재성 800,000원
83 2011-02-23 13시 14시 15nm Line 25nm Space 제작 엑사테크 기술영업부 황회철 500,000원
84 2011-03-07 10시 23시 Nanowire paaterning 전북대학교 전자공학부 김기현 5,200,000원
85 2011-03-17 13시 17시 케이반 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 1,600,000원
86 2011-03-18 10시 18시 NIL 200nm test (주)디엠에스 김성해 0원
87 2011-03-23 16시 17시 NIL Stamp 제작 한국생산기술연구원 친환경청정기술센터 배민아 570,000원
88 2011-03-24 16시 19시 케이반 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 1,200,000원
89 2011-03-29 10시 18시 WGP(Wire Grid Polarizer)
50nm Line test		 (주)디엠에스 김성해 0원
90 2011-03-31 16시 18시 ZEP520A (케이반) 전북대학교 전자공학부 김기현 800,000원
91 2011-04-04 10시 15시 nano pattern 포항공과대학교 전자전기공학과 조동환 2,000,000원
92 2011-04-08 16시 19시 케이반 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 1,200,000원
93 2011-04-12 13시 15시 100nm, 160nm, 200nm, 400nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 박병규 800,000원
94 2011-04-14 13시 14시 100nm, 160nm, 200nm, 400nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 박병규 400,000원
95 2011-04-18 10시 13시 100nm Dot (Center to Center 1um) LG디스플레이 김민철 1,200,000원
96 2011-04-19 10시 11시 WGP(Wire Grid Polarizer) 50nm Line test
Negative,Positive		 (주)디엠에스 김성해 0원
97 2011-05-02 15시 16시 200nm dot 제작 LG Display 연구센터 김재현 440,000원
98 2011-05-26 10시 11시 100nm, 160nm, 200nm, 400nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 박병규 500,000원
99 2011-05-26 11시 12시 100nm, 160nm, 200nm, 400nm Line 제작 포항공과대학교 기계공학과 박병규 500,000원
100 2011-06-07 09시 12시 - precision e-beam pattering on si wafer
- run : 3 times		 포항공과대학교 가속기연구소 김종현 1,200,000원
101 2011-06-07 13시 14시 Quartz Wafer 50nm positive pattern 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 600,000원
102 2011-06-07 15시 16시 88nm, 100nm, 128nm Line 제작 한양대학교 신소재공학과 이인환 500,000원
103 2011-06-21 15시 17시 50nm Line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 1,200,000원
104 2011-06-29 17시 18시 PRAM 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 400,000원
105 2011-06-29 20시 22시 PRAM 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 500,000원
106 2011-06-30 09시 13시 Nano Dot 제작 30nm, 50nm, 70nm 포항공과대학교 기계공학과 김성주 1,600,000원
107 2011-07-11 10시 18시 NIL Stamp 50nm 제작 및 Test (주)디엠에스 김성해 0원
108 2011-07-12 10시 12시 50nm line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 1,200,000원
109 2011-07-21 10시 14시 NIL Stamp Etch test sample 제작 (주)디엠에스 김성해 2,200,000원
110 2011-07-26 10시 18시 NIL Stamp Etch test sample 제작 (주)디엠에스 김성해 4,000,000원
111 2011-07-27 10시 18시 NIL Stamp Etch test sample 제작 (주)디엠에스 김성해 4,000,000원
112 2011-07-28 10시 11시 line 88nm,100nm,128nm 제작 한양대학교 신소재공학과 이인환 500,000원
113 2011-08-01 10시 11시 50nm line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 600,000원
114 2011-08-01 13시 18시 NIL Stamp Etch test sample 제작 (주)디엠에스 김성해 2,350,000원
115 2011-08-17 10시 12시 50nm line제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 1,200,000원
116 2011-08-18 13시 14시 50nm line 제작 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 600,000원
117 2011-09-27 17시 20시 Pattern_GaN 포항공과대학교 전자전기공학과 김태희 1,200,000원
118 2011-11-01 15시 16시 pattern 전북대학교 전자공학부 김기현 400,000원
119 2012-02-27 10시 12시 NIL pattern (주)디엠에스 김성해 900,000원
120 2012-02-28 09시 10시 NIL pattern (주)디엠에스 김성해 600,000원
121 2012-03-19 15시 17시 나노와이어 패턴 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 800,000원
122 2012-04-09 17시 19시 나노와이어 패턴 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 800,000원
123 2012-04-23 11시 12시 나노와이어 패턴 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 400,000원
124 2012-05-01 15시 16시 나노와이어 패턴 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 400,000원
125 2012-05-02 15시 16시 나노와이어 패턴 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 400,000원
126 2012-05-03 15시 16시 나노와이어 패턴 포항공과대학교 전자전기 박찬훈 400,000원
127 2012-05-09 17시 18시 ARN Dot Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 400,000원
128 2012-05-10 15시 17시 ARN Dot Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 800,000원
129 2012-05-15 13시 15시 나노패턴_과제번호(4.0007810.03-2-1-4) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 820,000원
130 2012-05-21 15시 16시 ARN Dot Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 400,000원
131 2012-05-24 15시 16시 ARN Dot Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 400,000원
132 2012-05-29 13시 14시 nano pattern (과제번호:4.0007810.03-2-1-4) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 400,000원
133 2012-05-30 10시 11시 nano pattern (과제번호:4.0007810.03-2-1-4) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 400,000원
134 2012-06-04 13시 15시 Nano Pattern(과제번호4.0007810.03-2-1-4) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 800,000원
135 2012-06-11 10시 12시 Nano pattern (과제번호:4.0007810.03-2-1-4) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 800,000원
136 2012-06-12 10시 11시 Nano Pattern (과제번호:4.0007810.03-2-1-4) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 400,000원
137 2012-06-12 14시 18시 ZnO_NiO sub Pattern Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
138 2012-06-27 13시 14시 NiO Sub Pattern_88,100,128nm 한양대학교 신소재공학과 김종석 600,000원
139 2012-07-10 14시 15시 50nm Line pattern TEST 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 450,000원
140 2012-07-10 15시 17시 PMMA Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
141 2012-08-13 10시 13시 50nm Pattern 울산과학기술대학교 연구지원본부 박동규 1,350,000원
142 2012-08-24 01시 02시 바이오 팻 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 250,000원
143 2012-08-24 16시 18시 BioFET 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 800,000원
144 2012-08-24 19시 21시 Honeycomb Gold test & real 전북대학교 전자공학부 김기현 500,000원
145 2012-08-27 09시 11시 특성화고 교육 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,000,000원
146 2012-08-29 10시 12시 Pattern (4.7382.01) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 1,200,000원
147 2012-09-04 10시 12시 Direct Pattern 엠프리시젼 문우영 1,000,000원
148 2012-10-10 10시 11시 GK03 PI 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 600,000원
149 2012-10-11 13시 14시 E-beam pattern test 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 500,000원
150 2012-10-15 13시 15시 Nano pattern 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,000,000원
151 2012-10-17 10시 12시 Nano dot pattern test 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,000,000원
152 2012-10-22 09시 11시 Nano Pattern 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 1,000,000원
153 2012-10-22 15시 17시 Direct pattern 포항나노기술집적센터 연구개발부 전영권 1,000,000원
154 2012-10-23 13시 15시 Grating Pattern Test 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,000,000원
155 2012-10-25 10시 13시 Nano Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 1,200,000원
156 2012-10-25 14시 16시 Grating Pattern Test 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,000,000원
157 2012-10-29 10시 11시 Grating writing 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 750,000원
158 2012-10-29 13시 17시 Nano Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 1,600,000원
159 2012-10-31 10시 15시 Nano Pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 2,200,000원
160 2012-11-12 10시 12시 Grating pattern Test 포항공과대학교 대외협력팀 김인철 1,000,000원
161 2012-11-15 13시 15시 Nano Pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 800,000원
162 2012-11-16 15시 18시 Nano Pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 1,200,000원
163 2012-11-20 14시 17시 Nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 1,300,000원
164 2012-11-21 13시 16시 Nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 1,300,000원
165 2012-11-22 10시 11시 Nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 400,000원
166 2012-11-23 14시 16시 Direct Writing 실습 나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
167 2012-11-23 16시 18시 nanowire gate pattern (JNT Group / 이호준) 포항공과대학교 전자전기공학과 김지원 800,000원
168 2012-12-06 13시 14시 DW_포항TP 지원 심화교육 나노융합기술원 교육홍보팀 김병수 700,000원
169 2012-12-12 14시 17시 특성화고 실습교육_DW 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,500,000원
170 2012-12-17 14시 16시 특성화고 실습교육_DW 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
171 2012-12-18 13시 15시 특성화고 실습교육_DW 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
172 2012-12-20 14시 17시 특성화고 실습교육_DW 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,500,000원
173 2012-12-24 10시 12시 특성화고 실습교육_DW 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
174 2012-12-26 10시 12시 특성화고 실습교육_DW 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
175 2013-01-03 13시 15시 DW_nanopattern 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
176 2013-01-15 13시 15시 DW_nanopattern 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
177 2013-01-22 10시 12시 DW_nanopattern 실습 포항나노기술집적센터 이용자서비스팀 김병수 1,000,000원
178 2013-03-04 14시 17시 Nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 1,500,000원
179 2013-03-07 10시 15시 Nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 2,500,000원
180 2013-03-13 10시 12시 Bio sensor_nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 800,000원
181 2013-03-15 13시 16시 Bio sensor_nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 1,200,000원
182 2013-03-18 10시 12시 Bio sensor_nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 백창기 800,000원
183 2013-05-13 13시 15시 nano pattern split 한양대학교 나노반도체공학과 김정식 1,200,000원
184 2013-05-14 10시 11시 nano pattern split 한양대학교 나노반도체공학과 김정식 500,000원
185 2013-05-14 13시 15시 5인치 Direct pattern_mask 2ea (주)엔디디 경영총괄 권현화 1,000,000원
186 2013-05-15 10시 12시 5인치 Direct pattern_mask 2ea (주)엔디디 경영총괄 권현화 1,000,000원
187 2013-05-21 10시 14시 Direct Writing (NCNT 사용료) 포항공과대학교 기계공학과 박동용 2,000,000원
188 2013-06-03 13시 17시 Pattern(NO Furnace) 포항공과대학교 전자과 백상원 1,600,000원
189 2013-06-04 10시 14시 Pattern(NO Furnace) 포항공과대학교 전자과 백상원 1,600,000원
190 2013-06-21 14시 17시 Nano pattern_Z stage 전북대학교 전자공학부 김기현 1,050,000원
191 2013-06-24 13시 18시 Pattern Test 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 0원
192 2013-06-25 13시 16시 Nano pattern_Z stage 전북대학교 전자공학부 김기현 1,050,000원
193 2013-06-28 15시 17시 Nano pattern_Z stage 전북대학교 전자공학부 김기현 700,000원
194 2013-07-03 13시 16시 Nano pattern_Z stage 전북대학교 전자공학부 김기현 1,050,000원
195 2013-07-04 15시 18시 Nano pattern_Z stage 전북대학교 전자공학부 김기현 1,050,000원
196 2013-07-16 18시 19시 나노와이어 전북대학교 전자공학부 김기현 350,000원
197 2013-07-22 13시 17시 Nano pattern (i-Lab) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
198 2013-08-05 16시 18시 Nano Pattern_i-Lab 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
199 2013-08-19 17시 18시 나노패턴 형성(i-Lab) 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
200 2013-08-22 9시 18시 Nano Pattern(i-Lab) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
201 2013-08-26 13시 18시 Nano Pattern (i-Lab) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
202 2013-08-27 14시 16시 BioFET_pattern Test 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
203 2013-09-03 17시 20시 GaN Pattern Test 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
204 2013-09-09 14시 22시 GaN Etch test 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
205 2013-09-16 11시 18시 Suspended Honeycomb Nanowire 형성을 위한 패터닝 조건 수립
ER: AR-N
B/C: 100 keV, 100 pA
 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
206 2013-09-23 13시 22시 Nano pattern on GaN 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
207 2013-10-01 1시 11시 HCNW Nanowire Pattern
HCNW 나노선의 식각 특성을 알아보기 위한 테스트 패턴 제조 공정으로 AR-N PR을 이용하여 50nm 넓이의 벌집 나노선 구조를 패터닝한 후 플라즈마 식각장치를 이용하여 100nm 식각한다. 이를 위한 테스트 패턴을 EBL을 이용하여 구현하였다.		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
208 2013-10-03 10시 13시 나노선 BioFET의 나노선을 제작하기 위하여 EBL을 이용하여 나노선을 패터닝하고자 합니다. 사용하는 PR은 ZEP520A로 thinner와 희석하여 두께 200nm 입니다. 이빔을 이용하여 200nm 넓이의 나노선 구조를 제작하고자 합니다. 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
209 2013-10-04 22시 3시 GaN on Sapphire pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
210 2013-10-07 21시 9시 GaN on Sapphire pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
211 2013-10-12 19시 18시 nano pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
212 2013-10-14 20시 2시 GaN on Sapphire pattern 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
213 2013-11-04 21시 23시 BioFET 제작을 위한 50nm 나노와이어 패턴 형성 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
214 2013-11-05 12시 18시 HCNW 메인패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
215 2013-11-07 15시 16시 HCNW패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
216 2013-11-10 1시 24시 HCNW 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
217 2013-11-19 13시 17시 나노패턴 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
218 2013-11-20 17시 3시 나노패턴 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
219 2013-11-21 10시 23시 나노 패턴 주식회사 아르케 연구개발 사공성환 0원
220 2013-11-29 13시 18시 나노패턴 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
221 2013-11-30 18시 18시 HCNW 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
222 2013-12-17 9시 24시 Transistor 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
223 2014-01-09 13시 18시 Photo Process (NINT 팹사용료) 포항공과대학교 기계공학과 서창호 2,000,000원
224 2014-01-20 16시 18시 nanowire 패터닝` 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
225 2014-01-23 19시 22시 BioFET 제작을 위한 나노선 패턴 형성 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
226 2014-01-24 11시 13시 BioFET 제작을 위한 50나노 나노선 패턴 형성 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
227 2014-02-11 16시 18시 GaN on Sapphire 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
228 2014-02-14 10시 15시 Photo Process 사용 (NINT 팹사용료) 포항공과대학교 기계공학과 김민재 2,000,000원
229 2014-02-18 11시 11시 GaN on Sapphire 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
230 2014-03-03 14시 14시 GaN on Sapphire pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
231 2014-03-10 13시 22시 GaN on Sapphire pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
232 2014-03-13 17시 19시 바이오센서 제작을 위한 나노와이어 패턴 형성 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
233 2014-03-17 10시 18시 HCNW패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
234 2014-03-22 17시 24시 HCNW 패턴 테스트 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
235 2014-03-24 10시 18시 HCNW 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
236 2014-04-06 12시 13시 ZEP 520 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
237 2014-04-08 12시 15시 bioFET 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
238 2014-04-15 14시 15시 Photo Pattern Test
- ARN PR, 4000rpm(60sec), 85℃(60sec)
- 100pA, 0.4~1.0us
- Develop 3min		 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 500,000원
239 2014-04-21 14시 18시 Photo pattern Test (Electroad pattern Test)
- ARN : Thinner = 1:0.5
- Coating : 4000rpm, 60sec
- Expose : 100pA, 2.8us, 300um
 디지탈지노믹스 연구2팀 김수진 2,000,000원
240 2014-04-28 10시 11시 EBL test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
241 2014-04-29 9시 22시 Biofet lot main ptn 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
242 2014-05-15 13시 18시 Photo Process (NINT 팹사용료 2차) 포항공과대학교 화학공학과 이문찬 2,000,000원
243 2014-05-19 10시 11시 EBL test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
244 2014-05-19 14시 23시 biofet patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
245 2014-05-20 10시 14시 BioFET Pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
246 2014-06-10 22시 23시 나노선 패턴 형성을 위한 조건 테스트 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
247 2014-06-17 16시 17시 나노선 패턴 테스트 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
248 2014-07-04 16시 17시 나노선 패턴 테스트 진행 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
249 2014-07-08 1시 16시 BioFET 8inch 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
250 2014-07-14 15시 18시 Nanowire Patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
251 2014-07-14 21시 5시 NW Pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
252 2014-07-18 9시 18시 HCNW ptn 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
253 2014-07-24 9시 8시 HCNW patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
254 2014-08-04 10시 8시 HCNW patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
255 2014-12-01 9시 9시 ZEP pattern(2014년 8월) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
256 2014-12-08 9시 13시 ZEP, ARN pattern(2014년9월 사용) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
257 2014-12-15 13시 8시 ZEP, ARN pattern (2014년 10월 사용) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
258 2014-12-22 13시 19시 ZEP, ARN pattern (2014년 11월~12월 사용) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
259 2015-03-25 13시 18시 BioFET EBL 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
260 2015-03-28 13시 18시 BioFET 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
261 2015-03-30 10시 18시 biofet 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
262 2015-04-10 16시 12시 pmma test
 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
263 2015-04-14 10시 24시 BioFET 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
264 2015-04-15 16시 18시 50nm 선폭 나노선 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
265 2015-04-16 15시 18시 pmma test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
266 2015-04-22 15시 17시 pattern condition split (창의IT) 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 0원
267 2015-04-24 16시 19시 pattern test (창의IT) 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 0원
268 2015-05-02 16시 19시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
269 2015-05-02 23시 7시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
270 2015-05-03 15시 18시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
271 2015-05-04 14시 16시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
272 2015-05-04 16시 18시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
273 2015-05-06 13시 14시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
274 2015-05-11 11시 18시 PMMA 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
275 2015-05-20 10시 5시 HCNW ptn 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
276 2015-06-10 15시 11시 바이오 센서 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
277 2015-07-08 16시 24시 NW patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
278 2015-07-24 21시 23시 나노닷 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
279 2015-07-31 9시 11시 나노 닷 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
280 2015-08-02 11시 19시 6월 SOI Pattern 미청구(23h+18h+15h) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
281 2015-08-07 18시 13시 SOI Pattern(7월미청구 79hr-12hr=67hr) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
282 2015-08-12 17시 19시 나노닷 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
283 2015-08-12 20시 21시 마이크로 링 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
284 2015-08-13 12시 13시 nanodot patterning 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
285 2015-08-13 16시 17시 MMR 패터닝 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
286 2015-08-14 17시 18시 AR-N patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
287 2015-08-28 17시 18시 Line 패턴 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
288 2015-09-01 11시 12시 nanowire test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
289 2015-09-02 12시 13시 나노 닷 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
290 2015-09-02 19시 19시 나노 닷 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
291 2015-09-02 19시 20시 나노 닷 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
292 2015-09-09 14시 18시 biofet 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
293 2015-09-10 10시 18시 biofet 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
294 2015-09-10 18시 22시 biofet 패터닝 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
295 2015-09-15 16시 24시 806 BioFET 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
296 2015-09-16 1시 3시 806 biofet 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
297 2015-09-16 10시 13시 806 biofet 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
298 2015-09-16 22시 2시 806 biofet 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
299 2015-09-23 10시 12시 나노 닷 패턴 형성 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
300 2015-10-14 11시 12시 Si 나노선 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
301 2015-10-16 15시 16시 100nm~200nm 나노닷 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
302 2015-10-22 9시 19시 808 NW patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
303 2015-10-23 12시 15시 Biofet patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
304 2015-10-27 18시 19시 나노 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
305 2015-11-05 23시 2시 나노 닷 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
306 2015-11-09 13시 18시 609 HCNW 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
307 2015-12-04 15시 16시 ptn test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
308 2015-12-07 1시 20시 6101 ebl 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
309 2015-12-08 15시 20시 나노 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
310 2015-12-15 6시 20시 6102 wafer ebl 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
311 2015-12-16 16시 17시 Polysilicon-on-glass 패턴 형성 테스트 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
312 2015-12-24 14시 20시 나노 닷 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
313 2016-01-05 16시 11시 나노 닷 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
314 2016-01-20 16시 17시 Poly-on-glass ptn test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
315 2016-01-21 18시 19시 dHF cleaning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
316 2016-03-31 17시 19시 mmr 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
317 2016-04-01 14시 16시 나노 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
318 2016-04-06 1시 3시 나노 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
319 2016-04-08 17시 23시 나노 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
320 2016-04-12 23시 24시 PMMA 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
321 2016-04-14 11시 12시 Thermal conductivity 측정 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
322 2016-04-18 14시 16시 PMMA 패턴 (열전도도 측정) 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
323 2016-04-19 14시 16시 PMMA 패턴 (열전도도 측정) 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
324 2016-04-20 14시 16시 PMMA 패턴 (열전도도 측정) 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
325 2016-04-29 11시 12시 EBL test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
326 2016-04-29 15시 16시 test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
327 2016-05-10 17시 19시 나노 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
328 2016-05-15 14시 15시 ebl test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
329 2016-06-02 12시 14시 더블레이어 패턴 테스트 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
330 2016-06-09 10시 12시 ebl test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
331 2016-06-09 15시 16시 패턴 확인 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
332 2016-06-10 16시 17시 poly si patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
333 2016-06-13 11시 16시 PoG patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
334 2016-06-15 11시 13시 nano wire patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
335 2016-06-16 1시 2시 nanowire patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
336 2016-06-16 19시 20시 나노 패턴 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
337 2016-06-21 10시 18시 3 omega pattern 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
338 2016-06-22 13시 22시 patterning 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
339 2016-06-23 1시 10시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
340 2016-06-23 23시 1시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
341 2016-06-24 18시 20시 나노선 패터닝 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
342 2016-06-27 1시 2시 나노선 패터닝 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
343 2016-06-27 15시 17시 NW test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
344 2016-06-30 17시 3시 Si 조각 미세 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
345 2016-07-11 14시 14시 3 omega patterning 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
346 2016-07-14 22시 24시 나노선 패터닝(창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
347 2016-07-15 11시 13시 나노선 패터닝(창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
348 2016-07-19 21시 23시 photonic crystal patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
349 2016-07-20 1시 2시 nanowire patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
350 2016-07-20 12시 13시 nanowire patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
351 2016-07-20 15시 10시 PE oxide on Si sub. 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
352 2016-07-21 11시 5시 patterning 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
353 2016-08-09 13시 8시 3 omega patterning 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
354 2016-08-16 16시 19시 나노 닷 패턴 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
355 2016-08-17 24시 12시 nanowire patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
356 2016-09-20 18시 10시 nanowire patterning (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
357 2016-09-30 1시 19시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
358 2016-10-06 13시 14시 pattern test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
359 2016-10-10 20시 21시 test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
360 2016-10-11 17시 20시 pog3 main 포항공과대학교 창의IT융합공학과 임태욱 0원
361 2016-10-28 17시 15시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
362 2016-11-04 20시 17시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
363 2017-01-24 19시 12시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
364 2017-01-25 16시 7시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
365 2017-02-20 17시 19시 Nanowire pattern (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
366 2017-02-23 17시 19시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
367 2017-03-15 13시 13시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
368 2017-03-17 17시 22시 nano-dot pattern (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
369 2017-03-20 10시 18시 미세 패턴 공정 전북대학교 전자공학부 김기현 0원
370 2017-03-22 14시 17시 Pattern 조건 Test 포스텍 물리학과 신원철 1,050,000원
371 2017-03-24 19시 24시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
372 2017-03-30 14시 17시 Au depo alignment pattern 한국과학기술연구원 센서시스템연구센터 김철기 1,350,000원
373 2017-04-06 17시 24시 Nanowire FET pattern (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
374 2017-04-13 17시 24시 BioFET pattern (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
375 2017-04-14 11시 23시 BioFET pattern (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
376 2017-04-25 18시 24시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
377 2017-05-08 18시 24시 Bio FET 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
378 2017-06-01 14시 20시 BioFET (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
379 2017-06-02 13시 24시 BioFET NW pattern
(창의IT융합공학과)		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
380 2017-07-05 11시 24시 BioFET NW formation
50pA
창의IT융합공학과		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
381 2017-07-13 9시 24시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
382 2017-07-14 17시 17시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
383 2017-07-18 16시 22시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
384 2017-07-21 15시 18시 nanodot pattern (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
385 2017-07-27 19시 24시 nanowire align test (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
386 2017-08-29 18시 19시 AR-N Lithography (8월23일 사용) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
387 2017-09-19 12시 13시 align mark 생성
MMA EL9

2017.09.18 사용		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
388 2017-09-19 13시 14시 MMA EL9

2017.09.17. 13시 사용		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
389 2017-09-21 17시 18시 MMA EL9 patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
390 2017-09-28 11시 12시 MMA EL 9 patterning

9월 27일 오후 17시 40분, 20시 40분 두 차례 사용하였습니다.
신청이 늦어져 죄송합니다.		 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
391 2017-09-28 12시 13시 PMMA A8 patterning
 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
392 2017-10-11 17시 18시 PMMA A8 pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
393 2017-10-13 18시 19시 PMMA A8 pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
394 2017-10-16 17시 23시 ZEP520A patterning 포항공과대학교 창의IT융합공학과 김강현 0원
395 2017-10-17 9시 22시 BioFET HCNW fabrication 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
396 2017-10-19 19시 18시 Nanowire Fabrication for BioFET 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
397 2017-11-20 18시 20시 나노선 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
398 2017-12-01 15시 20시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
399 2017-12-08 16시 24시 나노닷 패턴 (창의IT) 포항공과대학교 창의IT융합공학과 서명해 0원
400 2018-06-04 9시 10시 현재 E-beam 2호기 앞 테이블위에 샘플을 두고왔스비다.
6인치 더미 웨이퍼 위에 총 4조각을 붙여놓았습니다.
PT1000A, Ti300A 증착 해주시면 감사하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 안홍민 0원
401 2018-06-15 14시 15시 nanodot patterb\n 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 0원
402 2018-06-22 14시 14시 e-beam nanodot pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 박태훈 0원
403 2018-07-25 15시 24시 BioFET NW pattern 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
404 2019-05-29 10시 11시 Bio FET Patterning 포항공과대학교 전자전기공학과 곽현탁 0원
405 2019-05-30 10시 17시 Expose 아인스글로볼(주) 기획 아인스글로벌 3,500,000원
406 2019-06-12 10시 15시 차세대 실리콘 나노선 개발 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
407 2019-09-05 6시 12시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
408 2019-09-10 16시 17시 광소자 개발 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
409 2019-09-17 16시 20시 Si기판 위 a-Si가 증착되어 있는 기판에 PR 코팅을 하여 패터닝 부탁드립니다. 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
410 2019-09-23 16시 22시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
411 2019-09-24 16시 20시 align mark를 기준으로 해서 노광을 하려고 합니다. 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
412 2019-12-20 20시 8시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
413 2019-12-23 11시 20시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
414 2020-01-02 9시 20시 바이오 소자 개발 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 3,300,000원
415 2020-01-03 11시 13시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
416 2020-01-06 9시 18시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 4,746,000원
417 2020-01-07 14시 15시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
418 2020-01-08 9시 18시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 4,747,000원
419 2020-01-09 14시 20시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
420 2020-01-10 15시 11시 직접 사용 포항공과대학교 기계공학과 정헌영 0원
421 2020-01-22 11시 17시 PMMA 노광 포항공과대학교 기계공학과 김인기 0원
422 2020-02-01 10시 24시 소자 개발 포항공과대학교 전자전기공학과 이승호 6,600,000원
423 2020-02-03 14시 15시 [나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업] 으로 신청합니다. (주)아이제스트 연구개발팀 김성지 0원
424 2020-02-03 15시 23시 E-Beam Lithography System-I 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 3,689,000원
425 2020-02-03 9시 13시 나노인프라 활용 나노기술 응용제품 제작 지원사업 이코루미 연구소 김석근 0원
426 2020-02-04 13시 18시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 (주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
427 2020-02-04 9시 13시 한국나노마이스터고 교육 1차, 2차, 3차_Photo 나노융합기술원 사업지원팀 박진우 2,000,000원
428 2020-02-05 13시 18시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 (주)제이티에스인더스트리 연구개발부 류세훈 0원
429 2020-02-06 9시 14시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
430 2020-02-07 14시 23시 나노 인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작 지원사업 powertechnix powertechnix 파워테크닉스 4,792,000원
431 2020-02-07 9시 14시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업 (주)라디안큐바이오 바이오 R&D센터 정인혜 전문연구원 최정명 0원
432 2020-08-19 19시 12시 2 CLM Cathode line test 포항공과대학교 창의IT융합공학과 조현수 0원
433 2020-12-10 19시 7시 나노인프라 활용 중소기업 나노기술 응용제품 제작지원사업
전자과 최원영 (010 5436 2518)		 포항공과대학교 전자전기공학과 이정수 6,000,000원
434 2020-12-22 9시 23시 바이오센거 개발 건 (RIST 과제 처리) 포항공과대학교 전자전기공학부 신성환 6,300,000원
435 2021-02-01 13시 17시 전문인력양성 실습교육_포토 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 2,000,000원
436 2021-02-03 15시 18시 대구가톨릭대학교 LINC사업단 반도체 공정 실습_포토 나노융합기술원 교육홍보팀 이현규 1,800,000원
437 2021-04-06 9시 15시 \"8인치 적외선 MEMS Sensor 제작공정\" 계약 (주)유우일렉트로닉스 TIS생산사업부 김도현 3,000,000원
438 2021-04-13 13시 15시 800um glass wafer 위에 TiO2 60nm 증착 한 샘플입니다.
최종적으로 8inch wafer에 진행하기 전 dose test 를 위한 샘플입니다.
실제 공정 진행자와 연락 한 번 할 수 있으면 좋겠습니다.		 서울대학교 물리천문학부 이한솔 1,000,000원
439 2021-05-28 19시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
EBL 사용예약하겠습니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
440 2021-05-29 19시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
EBL 사용예약하겠습니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
441 2021-05-30 19시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
EBL 사용예약하겠습니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
442 2021-06-03 21시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
443 2021-06-26 18시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
EBL 사용하겠습니다. 감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
444 2021-06-27 18시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
445 2021-07-16 16시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
446 2021-07-17 18시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
447 2021-07-18 18시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
448 2021-07-22 17시 18시 E-beam lithography 를 이용한 SiN 패터닝 및 식각
(서비스진행불가 - 이용료 청구요청)		 광운대학교 전자공학과 이우빈 500,000원
449 2021-07-24 17시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
450 2021-07-25 17시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
451 2021-07-29 22시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
452 2021-07-30 20시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
453 2021-07-31 18시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
454 2021-08-01 18시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
455 2021-08-13 15시 16시 단일 레이어 및 Bi 레이어 Hole 패턴 테스트 부탁드립니다. 울산과학기술원 신소재공학과 허남욱 500,000원
456 2021-08-14 13시 17시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
457 2021-08-15 14시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
458 2021-08-25 1시 2시 홈페이지 시험분석결과서 자동 출력 기능을 위한 테스트
- ※청구대상에서 제외 부탁드립니다-		 나노융합기술원 교육홍보팀 이상민 500,000원
459 2021-08-26 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
460 2021-08-27 15시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
461 2021-08-28 18시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
462 2021-08-29 16시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
463 2021-09-02 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
464 2021-09-03 14시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
465 2021-09-04 17시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
466 2021-09-05 16시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
467 2021-09-09 18시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
468 2021-09-10 18시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
469 2021-09-11 18시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
470 2021-09-12 18시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
471 2021-09-15 15시 16시 100, 500, 1000 uC/cm^2 dose split 공정 한양대학교 화학과 이재혁 500,000원
472 2021-09-16 11시 20시 안녕하세요, 노준석 교수님 연구실 김주훈입니다.

이빔리소그래피 직접사용 요청드립니다.

항상 감사드립니다.		 포항공과대학교 기계공학과 김주훈 0원
473 2021-09-17 15시 18시 안녕하세요.
포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
474 2021-09-19 15시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
475 2021-09-28 14시 15시 Au 300 nm * 50 nm 패턴 제작 서울대학교 재료공학부 임예찬 500,000원
476 2021-10-07 10시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
477 2021-10-08 10시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
478 2021-10-15 10시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
479 2021-10-16 10시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
480 2021-10-17 10시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
481 2021-10-22 11시 12시 금 나노패턴 50nm * 300 nm 제작을 요청드립니다. 서울대학교 재료공학부 임예찬 500,000원
482 2021-10-23 11시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
483 2021-10-24 10시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
484 2021-10-28 8시 6시 안녕하세요, 노준석 교수님 연구실에 김주훈입니다.

이빔리소그래피 직접사용 요청드립니다.

감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 김주훈 0원
485 2021-10-30 10시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
486 2021-10-31 11시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
487 2021-11-06 13시 17시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
488 2021-11-07 12시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
489 2021-11-10 13시 15시 hexagonal pillar pattern 서울대학교 재료공학부 한정현 1,000,000원
490 2021-11-13 10시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
491 2021-11-14 10시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
492 2021-11-19 11시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
493 2021-11-20 10시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
494 2021-11-21 10시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
495 2021-11-27 10시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
496 2021-11-28 12시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
497 2021-12-02 10시 11시 hexagonal / square nanopillar array 서울대학교 재료공학부 한정현 500,000원
498 2021-12-04 10시 14시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
499 2021-12-05 10시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
500 2021-12-11 20시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
501 2021-12-12 15시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
502 2021-12-17 10시 12시 InP wafer 에 PMMA A2 coating 및패터닝진행(메일로 관련사항 요청드렸습니다.) 고려대학교 물리학과 김하림 1,000,000원
503 2021-12-18 21시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
504 2021-12-19 7시 24시 포항공대 노준석 교수 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
505 2021-12-31 13시 24시 안녕하세요. 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
506 2022-01-02 10시 14시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
507 2022-01-03 17시 18시 신민호 선생님 서울대학교 재료공학부 김령명 500,000원
508 2022-01-05 14시 16시 100, 500, 1500, 2500 uC/cm2 한양대학교 화학과 이재혁 1,000,000원
509 2022-01-15 16시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
510 2022-01-16 16시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
511 2022-01-22 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
512 2022-01-23 20시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
513 2022-01-25 11시 13시 25, 50, 100, 500, 1500, 2500 uC/cm^2

50, 100, 300, 500 nm line pattern		 한양대학교 화학과 이재혁 1,000,000원
514 2022-01-29 11시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
EBL 직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
515 2022-01-30 11시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
EBL 직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
516 2022-02-04 13시 14시 공정의뢰 서울대학교 재료공학부 김령명 500,000원
517 2022-02-05 14시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 공정 진행하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
518 2022-02-06 14시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 공정 진행하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
519 2022-02-07 11시 12시 시편 EBL 공정 포항공과대학교 포항가속기연구소 김지호 500,000원
520 2022-02-18 15시 16시 1mm x 1mm 시편 공정 서울대학교 재료공학부 김령명 500,000원
521 2022-02-19 14시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
522 2022-02-20 14시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
523 2022-02-26 14시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 진행하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
524 2022-03-12 10시 14시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
525 2022-03-13 10시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
526 2022-03-19 10시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
527 2022-03-20 11시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
528 2022-03-26 13시 19시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다 .
직접사용하도록 하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
529 2022-03-27 13시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다 .
직접사용하도록 하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
530 2022-04-06 9시 15시 LNO HZO 기판 각 1ea 시편 PR pattening 경희대학교 물리학과 금윤형 3,000,000원
531 2022-04-16 13시 17시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
532 2022-04-23 13시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
533 2022-04-24 13시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
534 2022-04-26 11시 12시 불투명 기판 Test용 PR pattening 경희대학교 물리학과 금윤형 500,000원
535 2022-05-07 11시 15시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
536 2022-05-08 10시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
537 2022-05-14 11시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
538 2022-05-15 11시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다. 감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
539 2022-05-21 11시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
540 2022-05-22 11시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
541 2022-05-28 10시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
542 2022-05-29 10시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
543 2022-06-04 13시 17시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
544 2022-06-05 14시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
545 2022-06-18 13시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
546 2022-06-19 13시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
547 2022-06-24 19시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.
포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
548 2022-06-25 12시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.
포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
549 2022-06-26 12시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.
포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
550 2022-06-30 10시 11시 dose - 10, 25, 50, 100, 500, 1000, 1500, 2500 μC/cm2 한양대학교 화학과 이재혁 500,000원
551 2022-07-25 14시 18시 계약 사용료 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
552 2022-07-27 13시 14시 시편 4ea dose split 한양대학교 화학과 이재혁 500,000원
553 2022-07-30 10시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
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554 2022-07-31 10시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
555 2022-08-06 14시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다
직접사용하겠습니다
감사합니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
556 2022-08-07 14시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다
직접사용하겠습니다
감사합니다		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
557 2022-08-12 9시 11시 시편 4ea dose split 노광 & Dev 한양대학교 화학과 이재혁 1,000,000원
558 2022-08-13 13시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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559 2022-08-14 13시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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560 2022-08-20 13시 19시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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561 2022-08-21 13시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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562 2022-08-27 12시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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563 2022-08-28 12시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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564 2022-09-01 15시 16시 시편 4ea 한양대학교 화학과 이재혁 500,000원
565 2022-09-02 12시 16시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
566 2022-09-03 12시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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567 2022-09-04 12시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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568 2022-09-08 11시 12시 시편 3EA 한양대학교 화학과 이재혁 500,000원
569 2022-09-22 13시 15시 Dose split 한양대학교 화학과 이재혁 1,000,000원
570 2022-10-25 9시 13시 계약금액 2,000,000원 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
571 2022-11-22 11시 15시 계약금액 2,000,000 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
572 2022-12-20 12시 16시 계약금액 2,000,000원 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
573 2022-12-31 11시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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574 2023-01-01 10시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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575 2023-01-05 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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576 2023-01-06 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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577 2023-01-07 13시 19시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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578 2023-01-08 13시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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579 2023-01-12 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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580 2023-01-13 15시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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581 2023-01-14 15시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
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582 2023-01-15 15시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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583 2023-01-26 15시 24시 안녕하세요.
포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
584 2023-01-27 14시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
585 2023-01-30 9시 10시 시편 Nega PR 패턴 공정 진행 서울대학교 재료공학부 김령명 500,000원
586 2023-02-09 14시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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587 2023-02-10 15시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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588 2023-02-11 13시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
589 2023-02-12 13시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
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590 2023-02-18 13시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
591 2023-02-19 12시 16시 2월 계약 금액
 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
592 2023-02-23 14시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
593 2023-02-24 11시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
594 2023-03-04 11시 19시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
595 2023-03-05 11시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
596 2023-03-09 10시 12시 SK EBL Dose split 평가 나노융합기술원 기술지원팀 강민재 1,000,000원
597 2023-03-11 11시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
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598 2023-03-12 13시 21시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
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599 2023-03-18 14시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
600 2023-03-19 7시 18시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
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601 2023-03-24 10시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
602 2023-03-25 10시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
603 2023-03-26 10시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
604 2023-03-28 15시 18시 80 space 320 line lift off용 photo 공정의뢰 한양대학교 신소재공학과 김연수 1,500,000원
605 2023-03-29 13시 17시 3월 사용 금액 2,000,000원 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
606 2023-03-30 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
607 2023-03-31 18시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
608 2023-04-01 13시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
609 2023-04-02 13시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
610 2023-04-06 15시 17시 M1, M2 시편 Dose split 공정 진행 한양대학교 신소재공학과 김연수 1,000,000원
611 2023-04-07 21시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
612 2023-04-08 14시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
613 2023-04-09 11시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
614 2023-04-10 10시 11시 200pA 0.7 도면 수정 후 시편 진행 한양대학교 신소재공학과 김연수 500,000원
615 2023-04-13 19시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
616 2023-04-14 9시 24시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
617 2023-04-15 9시 20시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
618 2023-04-16 10시 22시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하도록 하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
619 2023-04-17 9시 22시 ARN 공정 포항공과대학교 창의IT융합공학과 유형석 0원
620 2023-04-25 15시 16시 4.25 시편 2ea 공정 진행 (0.2s / 0.4s) 한양대학교 신소재공학과 김연수 500,000원
621 2023-04-28 13시 17시 4월 사용 금액 2,000,000원 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
622 2023-04-29 18시 23시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접 사용하겠습니다.
감사합니다. 		포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
623 2023-04-30 10시 19시 포항공대 노준석 교수님 실험실 양영환입니다.
직접사용하겠습니다.
감사합니다.		 포항공과대학교 기계공학과 양영환 0원
624 2023-05-01 19시 22시 50pA 변경 부탁드립니다. 감사합니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤석현 0원
625 2023-05-08 17시 18시 50pA 사용. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤석현 0원
626 2023-05-15 20시 20시 50pA 사용 예정입니다. 포항공과대학교 대학원 전자전기공학과 윤석현 0원
627 2023-05-28 13시 17시 5월 사용 금액 2,000,000원 포항공과대학교 기계공학과 양영환 2,000,000원
628 2023-06-02 18시 20시 Si 기판에 노광 포항공과대학교 기계공학과 김재경 640,000원
629 2023-06-03 15시 17시 Si기판에 노광 포항공과대학교 기계공학과 김재경 640,000원
630 2023-06-08 21시 24시 Si 기판에 노광 포항공과대학교 기계공학과 김재경 960,000원