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장비소개

Wet Station_Acid

장비명(영문) :  Wet Station_Acid

장비명(국문) :  세정 및 에칭장치

제조사 :  HIT

모델 :  HWC-MCP

사양 :  up to 8

용도 :  APM/DHF/SPM, QDR

키워드 :  

No Module SPM SC-I(APM) SC-2(HPM) DHF BOE H3PO4 TMAH
1 Chemical 1 H2SO4(93%) NH4OH(25%) HCL (38%) HF (49%) BOE(10:1/6:1) H3PO4 (87%) TMAH (25%)
2 H2O2 (32%) H2O2 (32%) H2O2 (32%) DI      
3   DI DI        
2 Chemical Mix Ratio  4:1 1:1:5 1:1:6 1:100/1:500 원액  원액  원액 
3 Operation Temp 120±3℃ 70±3℃ 80±3℃ room temp. room temp. 150±3℃ 90±3℃
4 Bath Material PTFE PTFE Quartz PTFE PTFE Quartz/Accu  Sus 
5 Meagsonic     1800W,970kHz        
6 Cleaning/Etch layer Heavy Organic
Metal
Organic
I,II족 Metal
Particle
Metal Oxide Film
Metal
Oxide Film Silicon Nitride Silicon


장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
기본료 직접사용 서비스
SPM,APM 회/매 0 120,000 150,000 Lot(10매) 단위, 10,000/회(Spin Dry)
DHF 회/매 0 80,000 100,000 Lot(10매) 단위, 10,000/회(Spin Dry)
SC2, BOE, TMAH, H3PO4, KOH 회/매 0 250,000 300,000 Lot(10매) 단위, 10,000/회(Spin Dry)
  • 장비예약 취소를 원할 경우 예약일 전일 까지 장비담당자에게 요청하시기 바랍니다.
  • 예약 당일에 취소할 경우 불이익을 받을 수 있습니다. (특성평가 장비는 장비 예약시간의 50% 취소 수수료 부과 청구)
  • 장비이용 후 청구담당자가 다음 월에 이용료 결제를 요청합니다. (부과세 별도 적용 / 포스텍 비적용)

  • <장비 이용료 할인 안내>
    1) 포항공과대학교 내 이용자(입주기업 포함)는 이용료의 10%를 할인율 적용합니다.
    2) 장비 운영 라이선스 취득 후 심야시간대(당일 18:00 ~ 익일 09:00) 직접이용 이용료의 50% 할인율 적용합니다.
       *특성평가팀 특정장비 심야할인 별도 적용되는 경우 있으니 사전에 담당자에게 문의바랍니다.
    3) 전년도 이용 실적 5천만원 이상 이용자는  5~20% 특별 할인 적용합니다.
        * 포항공과대학교 내 이용자는 특별 할인 추가됩니다.

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
기종 054-279-0232 kijong@postech.ac.kr
이정익 054-279-0288 kb3000@postech.ac.kr
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr

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