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장비소개

Sputter-I

장비명(영문) :  Sputter-I

장비명(국문) :  물리증착장치(스퍼터)-I

제조사 :  에스엔텍

모델 :  MSS5000

사양 :  8inch(Max)

용도 :  금속박막증착(Al, Ti, Cr)

키워드 :  


장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
기본료 직접사용 서비스
Al, Cr, TaO 증착(두께 1000Å 기준) 회/매 0 50,000 70,000 1. 기본공정(100nm)외 추가 두께 증착시 10,000원/100nm 추가 비용 청구 2. 1um 이상에 대해서는 담당자와 비용 협의하여 진행
Ti, TiN, CrN, Ta 증착 (두께 500Å 기준) 회/매 0 50,000 70,000 1. 기본공정(50nm)외 추가 두께 증착시 10,000원/50nm 추가 비용 청구 2. 1um 이상에 대해서는 담당자와 비용 협의하여 진행
Ni 증착(두께 500Å 기준) 회/매 0 70,000 100,000 1. 기본공정(50nm)외 추가 두께 증착시 30,000원/50nm 추가 비용 청구
개인재료 증착(두께 500Å 기준) 회/매 0 0 60,000 Test 비용 추가, 500Å 이상 시 비용(6만원) 추가
  • 장비예약 취소를 원할 경우 예약일 전일 까지 장비담당자에게 요청하시기 바랍니다.
  • 예약 당일에 취소할 경우 불이익을 받을 수 있습니다. (특성평가 장비는 장비 예약시간의 50% 취소 수수료 부과 청구)
  • 장비이용 후 청구담당자가 다음 월에 이용료 결제를 요청합니다. (부과세 별도 적용 / 포스텍 비적용)

  • <장비 이용료 할인 안내>
    1) 포항공과대학교 내 이용자(입주기업 포함)는 이용료의 10%를 할인율 적용합니다.
    2) 장비 운영 라이선스 취득 후 심야시간대(당일 18:00 ~ 익일 09:00) 직접이용 이용료의 50% 할인율 적용합니다.
       *특성평가팀 특정장비 심야할인 별도 적용되는 경우 있으니 사전에 담당자에게 문의바랍니다.
    3) 전년도 이용 실적 5천만원 이상 이용자는  5~20% 특별 할인 적용합니다.
        * 포항공과대학교 내 이용자는 특별 할인 추가됩니다.

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
최찬호 054-279-0225 chanho@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr

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