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장비소개

Local Electrode Atom Probe

장비명(영문) :  Local Electrode Atom Probe

장비명(국문) :  국소 레이져 전계형 원자단층현미경

제조사 :  CAMECA

모델 :  LEAP4000X HR

사양 :   FWHM 1:1000, FWTM 1:475, FW1%M 1:275 Resolution: 0.2~0.4nm

용도 :  3차원원자성분위치측정 철강, 반도체, LED, 나노소재 위치정보 및 성분분석

키워드 :  LEAP, Atom Probe, APT

장비 규격

  Mass resolution (FWHM)1: 1:1000 

  Mass resolution (FWTM)1: 1:475 

  Mass resolution (FW1%M)1: 1:275 

  Maximum voltage mode pulse rate (kHz): 200

  Maximum laser mode pulse rate (kHz): 250

  Maximum data collection rate (ions/minute): > 2 M  

  Base pressure2 (Torr): < 1E-10 

  Minimum specimen temperature (K): 25

 

 1 Standard Al specimen

 2 50K specimen temperature

 

장비 응용분야

  ① 샘플 내 특정 영역에서 화학적 구성 확인  

  ② Grain boundary 확인 및 경계면의 원소 변화 특징 확인 (TKD, TEM)

  ③ 샘플 내 경계면과 특정 층에서 Dopant 분포 특징 확인 

  ④ 특정 방향에 따른 농도 변화 곡선 확인 (ex., Depth profile)


장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
기본료 직접사용 서비스
3차원원자성분위치측정 철강, 반도체, LED, 나노소재 위치정보 및 성분분석 1시간 0 150,000 250,000 직접이용: 기본요금 450,000원(3시간 기본사용) + 시간당 150,000원, 서비스: 시편 당 1,500,000원 (6시간 기준), FIB시편제작 별도
  • 장비예약 취소를 원할 경우 예약일 전일 까지 장비담당자에게 요청하시기 바랍니다.
  • 예약 당일에 취소할 경우 불이익을 받을 수 있습니다. (특성평가 장비는 장비 예약시간의 50% 취소 수수료 부과 청구)
  • 장비이용 후 청구담당자가 다음 월에 이용료 결제를 요청합니다. (부과세 별도 적용 / 포스텍 비적용)

  • <장비 이용료 할인 안내>
    1) 포항공과대학교 내 이용자(입주기업 포함)는 이용료의 10%를 할인율 적용합니다.
    2) 장비 운영 라이선스 취득 후 심야시간대(당일 18:00 ~ 익일 09:00) 직접이용 이용료의 50% 할인율 적용합니다.
       *특성평가팀 특정장비 심야할인 별도 적용되는 경우 있으니 사전에 담당자에게 문의바랍니다.
    3) 전년도 이용 실적 5천만원 이상 이용자는  5~20% 특별 할인 적용합니다.
        * 포항공과대학교 내 이용자는 특별 할인 추가됩니다.

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김동효 054-279-0236 envir@postech.ac.kr

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