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장비소개

HR FE-SEM (in Clean Room)

장비명(영문) :  HR FE-SEM (in Clean Room)

장비명(국문) :  전계방출전자현미경

제조사 :  Carl Zeiss

모델 :  LEO SUPRA 35

사양 :  1nm

용도 :  나노재료의 CD 및 형태관찰

키워드 :  SEM

Resolution
1.5nm @ 20kV @ WD = 2mm (1.0nm with auto levelling system)
1.7nm @ 15kV @ WD = 2mm (1.3nm with auto levelling system)
1.9nm @ 10kV @ WD = 2mm (1.5nm with auto levelling system)
2.5nm @   1kV @ WD = 2mm (2.1nm with auto levelling system)
5.8nm @ 200V @ WD = 2mm (5.0nm with auto levelling system)
Acceleration Voltage
Range: 0.1kV to 30kV.
Adjustment: Continuously variable in 10 volt steps.
Probe Current
Range: 4pA to 10nA, 20nA optional.
Stability: Better than 0.2%/h.
Magnification
Range: 20x to 900kx.
 
Adjustment: Continuously variable in either coarse or fine modes.
Pre-sets: Selectable from a user definable table.
Auto-Compensation: Magnification is precisely corrected automatically for changes in working distance or acceleration voltage.
 
Calibration: Display magnification precisely corrected for changes in hard copy output device.

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
기본료 직접사용 서비스
나노재료의 CD 및 형태관찰 1시간 0 60,000 90,000
  • 장비예약 취소를 원할 경우 예약일 전일 까지 장비담당자에게 요청하시기 바랍니다.
  • 예약 당일에 취소할 경우 불이익을 받을 수 있습니다. (특성평가 장비는 장비 예약시간의 50% 취소 수수료 부과 청구)
  • 장비이용 후 청구담당자가 다음 월에 이용료 결제를 요청합니다. (부과세 별도 적용 / 포스텍 비적용)

  • <장비 이용료 할인 안내>
    1) 포항공과대학교 내 이용자(입주기업 포함)는 이용료의 10%를 할인율 적용합니다.
    2) 장비 운영 라이선스 취득 후 심야시간대(당일 18:00 ~ 익일 09:00) 직접이용 이용료의 50% 할인율 적용합니다.
       *특성평가팀 특정장비 심야할인 별도 적용되는 경우 있으니 사전에 담당자에게 문의바랍니다.
    3) 전년도 이용 실적 5천만원 이상 이용자는  5~20% 특별 할인 적용합니다.
        * 포항공과대학교 내 이용자는 특별 할인 추가됩니다.

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
이남걸 054-279-0282 leeng@postech.ac.kr
김병욱 054-279-0284 kin0531@nate.com

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