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장비소개

3D Profiler

장비명(영문) :  3D Profiler

장비명(국문) :  3차원 프로파일러

제조사 :  Veeco Touson

모델 :  Wyko NT1100

사양 :  0.5nm

용도 :  비접촉식 3차원 구조분석

키워드 :  

 u Application
l High resolution 3D surface measurement.
l Non-contact 3D surface profile measurements
l Roughness Measurement.
u Equipment Performance
l Objectives : 5x, 10x and 50x ESD Compliant
l Field-of-View Lenses : 0.5x, 1x and 2x
l Vertical Measurement Range : 0.1nm to 1mm
l Vertical Resolution : 1A Ra
l RMS Repeatability : 0.01nm
l Vertical Scan Speed : up to 7.2um/sec
l Lateral Spatial Sampling : 0.08um to 3.36um
l Field-of-View
     : From 2.47mm x 1.88mm to 60um x 50um

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
기본료 직접사용 서비스
비접촉식 3차원 구조분석(30min/매 기준) 회/매 30,000 20,000 30,000 30분/매 초과 시 1회 추가
  • 장비예약 취소를 원할 경우 예약일 전일 까지 장비담당자에게 요청하시기 바랍니다.
  • 예약 당일에 취소할 경우 불이익을 받을 수 있습니다. (특성평가 장비는 장비 예약시간의 50% 취소 수수료 부과 청구)
  • 장비이용 후 청구담당자가 다음 월에 이용료 결제를 요청합니다. (부과세 별도 적용 / 포스텍 비적용)

  • <장비 이용료 할인 안내>
    1) 포항공과대학교 내 이용자(입주기업 포함)는 이용료의 10%를 할인율 적용합니다.
    2) 장비 운영 라이선스 취득 후 심야시간대(당일 18:00 ~ 익일 09:00) 직접이용 이용료의 50% 할인율 적용합니다.
       *특성평가팀 특정장비 심야할인 별도 적용되는 경우 있으니 사전에 담당자에게 문의바랍니다.
    3) 전년도 이용 실적 5천만원 이상 이용자는  5~20% 특별 할인 적용합니다.
        * 포항공과대학교 내 이용자는 특별 할인 추가됩니다.

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
김병욱 054-279-0284 kin0531@nate.com
이남걸 054-279-0282 leeng@postech.ac.kr

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