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장비소개

Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

장비명(영문) :  Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

장비명(국문) :  2차이온질량분석기

제조사 :  CAMECA

모델 :  IMS 6F

사양 :  

용도 :  박막 표면 분석, 성분원소 분석, 주성분 정량 분석, 깊이 분포 분석, 공간 분포 분석

키워드 :  반도체, 태양전지, 유기 및 바이오, 박막, 증착

장비 사양

 O2 primary ion at 1keV DUO(+3kV)/Secondary(+2kV) without Oxygen flooding/ Cs

 Boron deta layer in Si 50nm(1.9nm/e)

 Sputter rate 3nm/min

 

응용분야

 질량분석기를 통해 시편에서 튀어나온 이차이온의 원소의 정보 동소체 혹은 분자의 조성 등을 ppb 단위까지 분석 

  ① mass spectrum

    : 임의의 물질의 성분을 분석하기 위한 방법으로 이온 질량에 따른 성분들의 분포를 확인하는 방법

  ② depth profile

    : 대표적인 분석방법으로 분석원소의 성분이 ppm ppb 단위의 미량 분석을 가능하게 하는 분석법이며 깊이 방향에 따라 성분 분포를 확인 할 수 있는 분석법

  ③ image scan

    : 표면의 분석 성분이 어떻게 분포하는지 확인하는 방법으로 cluster의 존재유무와 성분을 확인하는 방법


장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
기본료 직접사용 서비스
박막 표면 분석, 성분원소 분석, 주성분 정량 분석, 깊이 분포 분석, 공간 분포 분석 회/매 0 0 150,000 시료당(시료당 4개원소, 1H 기준), 원소 추가시(1개당)10,000원
  • 장비예약 취소를 원할 경우 예약일 전일 까지 장비담당자에게 요청하시기 바랍니다.
  • 예약 당일에 취소할 경우 불이익을 받을 수 있습니다. (특성평가 장비는 장비 예약시간의 50% 취소 수수료 부과 청구)
  • 장비이용 후 청구담당자가 다음 월에 이용료 결제를 요청합니다. (부과세 별도 적용 / 포스텍 비적용)

  • <장비 이용료 할인 안내>
    1) 포항공과대학교 내 이용자(입주기업 포함)는 이용료의 10%를 할인율 적용합니다.
    2) 장비 운영 라이선스 취득 후 심야시간대(당일 18:00 ~ 익일 09:00) 직접이용 이용료의 50% 할인율 적용합니다.
       *특성평가팀 특정장비 심야할인 별도 적용되는 경우 있으니 사전에 담당자에게 문의바랍니다.
    3) 전년도 이용 실적 5천만원 이상 이용자는  5~20% 특별 할인 적용합니다.
        * 포항공과대학교 내 이용자는 특별 할인 추가됩니다.

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
권정현 054-279-0315 jhkwon87@postech.ac.kr

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