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소자공정[답변] SPM cleaning 장비 사용 문의

게시물 등록정보
작성자 강민재 등록일 2020-02-26 조회수 297

안녕하세요. 공정기술팀장입니다.

아래 말씀하신 장비는 Manual 장비입니다. 

현재 Chemical 공급장치는 사용하고 있지 않습니다.

SPM Cleaning은 Wet Station_Acid 장비로 신청하시면 됩니다.

Wet 장비라서 가급적 직접사용은 권장하지 않습니다.

정해진 비율로 희석되어서 공급되며, 초기 Wafer Cleaning 또는 PR 제거용으로만 사용됩니다.

웨이퍼에 다른 물질을 cleaning할 경우 별도 협의를 하셔야 됩니다.

장비 담당자는 이정익선임(kb3000@postech.ac.kr, 054-279-0267)입니다.

저에게 연락주셔도 됩니다. (ggang25@postech.ac.kr, 054-279-0228)

웨이퍼는 택배로 발송해 주시면 공정 후 택배발송 해드립니다.

기타 문의사항 있으시면 전화나 메일 부탁드립니다.

감사합니다.

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↓ 원문 : 강소라 님께서 2020-02-25 15:57에 작성하신 글입니다. ↓
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안녕하세요

 

동진쎄미켐 슬러리팀 강소라입니다.

 

SPM Cleaning에 관해 문의드립니다.

 

기술원에  NEMS Base System(Wet station 1~4) 4개의 장비 중에 3번 장비가 SPM Cleaning 용도의 장비라고 적혀있던데, 3번 장비만 SPM이 가능한지요?

 

그리고 장비를 직접 사용시 SPM 용액을 직접 제조 해서 Wafer와 함께 준비해 가야되는지, Wafer만 전달 해 드리면 되는지 궁금합니다.

 

(기관 의뢰시에 준비해야 될 준비물도 알려주시면 감사하겠습니다._wafer만 전달 드리면 되는지요?) 

 

답변 기다리겠습니다.

 

감사합니다.

 

 

 

 

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