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소자공정SPM cleaning 장비 사용 문의

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작성자 강소라 등록일 2020-02-25 조회수 288

안녕하세요

 

동진쎄미켐 슬러리팀 강소라입니다.

 

SPM Cleaning에 관해 문의드립니다.

 

기술원에  NEMS Base System(Wet station 1~4) 4개의 장비 중에 3번 장비가 SPM Cleaning 용도의 장비라고 적혀있던데, 3번 장비만 SPM이 가능한지요?

 

그리고 장비를 직접 사용시 SPM 용액을 직접 제조 해서 Wafer와 함께 준비해 가야되는지, Wafer만 전달 해 드리면 되는지 궁금합니다.

 

(기관 의뢰시에 준비해야 될 준비물도 알려주시면 감사하겠습니다._wafer만 전달 드리면 되는지요?) 

 

답변 기다리겠습니다.

 

감사합니다.

 

 

 

 

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