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소자공정단 결정 금 표면 클리닝 문의

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작성자 최성호 등록일 2018-11-26 조회수 359

안녕하세요.

 

포항공대 물리학과 대학원생 최성호 입니다.

 

단 결정 금 표면을 (플라즈마)클리닝 하고 싶은데 가능한 장비가 있는지 문의 드립니다.

혹은 플라즈마 클리닝이 아니더라도 표면을 클리닝 할 수 있는 장비가 있을 까요?

 

 

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