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Mask Aligner

가동중
기자재관리번호 B0000055-082011-A0000
장비명(영문) Mask Aligner
장비명(국문) 마스크 정렬 노광 장비
제조사 Suss Microtec
모델 MA8
사양 8 inch wafer, 200mm/200mm Square
용도 8 inch wafer 정렬 노광, Top side ,Back side Align 가능.
키워드

장비상세설명

 

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
마스크 정렬 노광용(8인치) 회/매 60,000 80,000 1.직접사용시 시간당 기본 1매 청구 2.Align 공정 의뢰시 10,000원/회 추가, 3.Back side align /특수 align 공정 의뢰시 20,000원/회 추가
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
이남걸 054-279-0282 leeng@postech.ac.kr
김동현 054-279-0237 best820@postech.ac.kr
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