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E-Beam Evaporator-I

가동중
기자재관리번호 B0000055-052002-A0003
장비명(영문) E-Beam Evaporator-I
장비명(국문) 전자빔증착기-I
제조사 KVT
모델 KVE-C300160
사양 4,6inch wafer 전용 (Max 4장/회, 8 inch wafer 사용 불가)
용도 Ag, Al, Au, Cr, Cu, Fe, Ni, Ti증착 lift-off 공정은 별도 문의
키워드

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
금속 증착(Au : 80,000원/500Å, Ag : 40,000원/500Å, Pt : 100,000원/500Å 그외 : 10,000원/500Å 기준) 회/매 0 130,000 Lot(4매) 단위, 5,000Å이상 시 비용(13만원) 추가, 개인 재료/특수 재료 사용 시 Crucible 비용 추가, 1㎛ 이상 시 담당자와 비용 협의 후 진행 필요
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
최찬호 054-279-0283 chanho@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr
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