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Medium Current Implanter

가동중
기자재관리번호 B0000055-082002-A0008
장비명(영문) Medium Current Implanter
장비명(국문) 중전류 이온주입장치
제조사 Varian
모델 E220HP
사양 Only 8
용도 저농도, 깊은 깊이의 불순물 주입
키워드

장비상세설명

구분 Medium Current Implanter
Maker Varian
Model E220HP
wafer 조각, 4,6,8inch
DOPANT(AMU) Ar(40) P(31) B(11)
DOSE(min-max) 2E12~1E16 1E12~1E16 5E11~1E15
Energy Range(min-max) 30~200keV

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
Ar, P, B IMP 회/매 0 100,000 Dose 1e15(Ar, P), 5e14(B) 초과 별도 협의
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
기종 054-279-0232 kijong@postech.ac.kr
이정익 054-279-0267 kb3000@postech.ac.kr
최찬호 054-279-0225 chanho@postech.ac.kr
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