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RTP for Silicide

가동중
기자재관리번호 B0000055-062002-A0026
장비명(영문) RTP for Silicide
장비명(국문) 실리사이드용 급속열처리기
제조사 MATTSON
모델 AST2800
사양 8inch(Max)
용도 Ti, Co, Ni Silicidation
키워드

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
Ti, Co, Ni Silicidation 회/매 40,000 50,000 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
최찬호 054-279-0283 chanho@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr
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