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RTP for RTO

가동중
기자재관리번호 B0000055-092005-A0002
장비명(영문) RTP for RTO
장비명(국문) 급속열산화막용 급속열처리기
제조사 MATTSON
모델 AST2800
사양 8inch(Max)
용도 RTO, 급속열처리, High-k 후처리
키워드

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
RTO, 급속열처리, High-k 후처리 회/매 40,000 50,000 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
최찬호 054-279-0283 chanho@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr
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