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Wet Station_Acid

가동중
기자재관리번호 -
장비명(영문) Wet Station_Acid
장비명(국문) 세정 및 에칭장치
제조사 HIT
모델 HWC-MCP
사양 up to 8
용도 SPM, SC-I(APM), SC-II(HPM), DHF, BOE, H3PO4, TMAH
키워드

장비상세설명

 

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
SPM, SC-I(APM) 회/매 120,000 150,000 Lot(10매) 단위
DHF 회/매 80,000 100,000 Lot(10매) 단위
H3PO4, TMAH, SC2(HPM), BOE 회/매 250,000 300,000 Lot(10매) 단위
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
기종 054-279-0232 kijong@postech.ac.kr
이정익 054-279-0288 kb3000@postech.ac.kr
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
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