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Wet Station_Acid

가동중
기자재관리번호 -
장비명(영문) Wet Station_Acid
장비명(국문) 세정 및 에칭장치
제조사 HIT
모델 HWC-MCP
사양 up to 8
용도 APM/DHF/SPM, QDR
키워드

장비상세설명

No Module SPM SC-I(APM) SC-2(HPM) DHF BOE H3PO4 TMAH
1 Chemical 1 H2SO4(93%) NH4OH(25%) HCL (38%) HF (49%) BOE(10:1/6:1) H3PO4 (87%) TMAH (25%)
2 H2O2 (32%) H2O2 (32%) H2O2 (32%) DI      
3   DI DI        
2 Chemical Mix Ratio  4:1 1:1:5 1:1:6 1:100/1:500 원액  원액  원액 
3 Operation Temp 120±3℃ 70±3℃ 80±3℃ room temp. room temp. 150±3℃ 90±3℃
4 Bath Material PTFE PTFE Quartz PTFE PTFE Quartz/Accu  Sus 
5 Meagsonic     1800W,970kHz        
6 Cleaning/Etch layer Heavy Organic
Metal
Organic
I,II족 Metal
Particle
Metal Oxide Film
Metal
Oxide Film Silicon Nitride Silicon

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
SPM,APM 회/매 120,000 150,000 Lot(10매) 단위, 10,000/회(Spin Dry)
DHF 회/매 80,000 100,000 Lot(10매) 단위, 10,000/회(Spin Dry)
SC2, BOE, TMAH, H3PO4, KOH 회/매 250,000 300,000 Lot(10매) 단위, 10,000/회(Spin Dry)
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
기종 054-279-0232 kijong@postech.ac.kr
이정익 054-279-0288 kb3000@postech.ac.kr
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
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