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PR Asher_FEOL-I

가동중
기자재관리번호 B0000055-092002-A0005
장비명(영문) PR Asher_FEOL-I
장비명(국문) 감광제 제거 시스템-I
제조사 PSK
모델 DAS2000
사양 Only 8
용도 FEOL 공정의 잔류 PR 제거 및 Etch
키워드

장비상세설명

 

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
FEOL 공정의 잔류 PR 제거 및 Etching(Ashing Time 5분 기준) 회/매 0 30,000 1. 초과 시 50,000원/기준 2. Standard 이외의 시편은 추가공정비 별도 협의
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
김병욱 054-279-0284 kin0531@nate.com
이남걸 054-279-0282 leeng@postech.ac.kr
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