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PE-CVD-Ⅱ

가동중
기자재관리번호 B0000055-092002-A0007
장비명(영문) PE-CVD-Ⅱ
장비명(국문) 플라즈마증착장치-Ⅱ
제조사 AMAT
모델 P5000
사양 8 only
용도 SiN 박막증착, 8" 자동진행
키워드

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
SiN 박막증착 회/매 0 50,000 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
기종 054-279-0232 kijong@postech.ac.kr
이정익 054-279-0267 kb3000@postech.ac.kr
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