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PE-CVD-Ⅱ
| 기자재관리번호 | B0000055-092002-A0007 |
|---|---|
| 장비명(영문) | PE-CVD-Ⅱ |
| 장비명(국문) | 플라즈마증착장치-Ⅱ |
| 제조사 | AMAT |
| 모델 | P5000 |
| 사양 | 8 only |
| 용도 | SiN 박막증착, 8" 자동진행 |
| 키워드 |
- 미가동사유 :
- 가동가능일자 :
장비상세설명
장비사용료
| 장비사용료 | 용도 | 이용료부과기준 | 이용수가(원) | 비고 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 직접사용 | 서비스 | ||||
| SiN 박막증착 | 회/매 | 0 | 50,000 | 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨 | |
- 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
- 장비사용료 청구 는 익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
- 부가가치세(10%) 별도
장비담당자
| 장비담당자 | 전화번호 | 이메일 |
|---|---|---|
| 기종 | 054-279-0232 | kijong@postech.ac.kr |
| 이정익 | 054-279-0267 | kb3000@postech.ac.kr |
| 박광렬 | 054-279-0283 | pgr0024@postech.ac.kr |
