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Sputter-Ⅲ

가동중
기자재관리번호 B0000055-092005-A0004
장비명(영문) Sputter-Ⅲ
장비명(국문) 물리증착장치(스퍼터)- III
제조사 AMAT
모델 E5500
사양 8inch, 6inch
용도 Al, Ti, TiN 증착
키워드

장비상세설명

 

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
Al 증착 회/매 0 50,000 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨
Ti, TiN 증착 회/매 0 40,000 기본가 100,000원에 서비스 비용이 합산됨
pre- cleaning 회/매 0 30,000
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
최찬호 054-279-0283 chanho@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr
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