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Sputter-I

가동중
기자재관리번호 B0000055-082002-A0001
장비명(영문) Sputter-I
장비명(국문) 물리증착장치(스퍼터)-I
제조사 에스엔텍
모델 MSS5000
사양 8inch(Max)
용도 금속박막증착(Al, Ti, Cr)
키워드

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
Al, Cr, TaO 증착(두께 1000Å 기준) 회/매 50,000 70,000 1. 기본공정(100nm)외 추가 두께 증착시 10,000원/100nm 추가 비용 청구 2. 1um 이상에 대해서는 담당자와 비용 협의하여 진행
Ti, TiN, CrN, Ta 증착 (두께 500Å 기준) 회/매 50,000 70,000 1. 기본공정(50nm)외 추가 두께 증착시 10,000원/50nm 추가 비용 청구 2. 1um 이상에 대해서는 담당자와 비용 협의하여 진행
Ni 증착(두께 500Å 기준) 회/매 70,000 100,000 1. 기본공정(50nm)외 추가 두께 증착시 30,000원/50nm 추가 비용 청구
개인재료 증착(두께 500Å 기준) 회/매 0 60,000 Test 비용 추가, 500Å 이상 시 비용(6만원) 추가
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
박광렬 054-279-0283 pgr0024@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr
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