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UHV-CVD

가동중
기자재관리번호 B0000055-062002-A0016
장비명(영문) UHV-CVD
장비명(국문) 초고진공화학기상증착기
제조사 Jusung Eng.
모델 Eureka 2000
사양 up to 8
용도 Si, Si-Ge Epi 형성
키워드
  • 미가동사유 : 정기 Wet PM
  • 가동가능일자 : 2013-07-19

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
SiGe_Epi/SiGe_SEG 회/매 0 200,000 공정조건 협의 후 진행/Ge content ~50% / 두께 1000Å 기준
Si_Epi/Si_SEG 회/매 0 200,000 공정조건 협의 후 진행/두께 1000Å 기준
Ge_Epi 회/매 0 250,000 공정조건 협의 후 진행/두께 1000Å 기준
SiGeP(B)_Epi/ SiGeP(B)_SEG) 회/매 0 250,000 공정조건 협의 후 진행/Ge content ~50% / 두께 1000Å 기준
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
기종 054-279-0232 kijong@postech.ac.kr
이정익 054-279-0267 kb3000@postech.ac.kr
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