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I-Line Stepper -IV

가동중
기자재관리번호 0
장비명(영문) I-Line Stepper -IV
장비명(국문) 자동 정렬 노광기
제조사 ASML 사
모델 PAS5500 200B
사양
용도 미세 Pattern 형성용
키워드

장비상세설명

 

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
미세 Pattern 형성용 회/매 0 54,000 Back Side Align 1st Pattern : 70,000
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김동현 054-279-0237 best820@postech.ac.kr
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