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PR Asher for BEOL

가동중
기자재관리번호 0
장비명(영문) PR Asher for BEOL
장비명(국문) 메탈 공정용 감광막 제거 장치
제조사 PSK
모델 DAS2000
사양 8 inch
용도 PR Plasma Ashing
키워드 Plasma Ashing
  • 미가동사유 :
  • 가동가능일자 :

장비상세설명

 

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
BEOL 공정의 잔류 PR 제거 및 Etch 회/매 20,000 30,000 (Auto PR Ashing)
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김수곤 279-0227 sukoni@postech.ac.kr
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