기자재관리번호 | 00000000000000 |
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장비명(영문) | High Resolution FE-SEM-Ⅱ (JSM 7800F PRIME with Dual EDS) |
장비명(국문) | 전계 방출형 주사전자현미경 |
제조사 | JEOL Ltd. |
모델 | JSM-7800F Prime |
사양 | Quad Detector(LED,UED,USD,BED), Super Hybrid Lens, Dual EDS |
용도 | 나노재료의 표면 및 형태관찰 및 성분분석, 단면 두께 관찰, BSE image (※ 파우더 및 자성물질 측정시 담당자와 사전협의 후 진행) |
키워드 | SEM, FE-SEM, 주사전자현미경, EDS 분석 |
(※ 본 장비에서는 파우더 및 자성물질 측정시 담당자와 사전협의 후 진행 하오니 예약 신청 시 참고 바랍니다.)
SE image resolution : 0.7 nm guaranteed or better (at 15kV, GB mode)
1.2nm guaranteed or better (at 1kV, GB mode)
0.7 nm guaranteed or better (at 1kV, GBSH mode)
3.0nm guaranteed or better (at 5kV, 5nA, WD10mm)
Accelerating voltage : 0.01 to 30 kV (SEM mode &GB mode) or wider
Sample bias voltage : 0 to 5kV
Probe current : pA to 500nA or better
Magnification : x25 to 1,000,000
Electron Gun : In-lens Schottky Plus field emission electron gun
Objective lens : Super Hybrid Lens
Dual EDS Detector System : LN2 Free SDD type , 150mm 2 or larger
Energy resolution : ≤127eV at 20,000cps, (Mn Ka) or better
장비사용료 | 용도 | 이용료부과기준 | 이용수가(원) | 비고 | |
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직접사용 | 서비스 | ||||
나노재료의 표면 및 형태관찰/ 성분분석 SEI/ BEI/ EDS (파우더 및 자성체 측정시 담당자와 사전협의 후 진행) | 1시간 | 0 | 100,000 | 재료비 별도 (Pt Coating/EDS 성분 분석) |