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Local Electrode Atom Probe

가동중
기자재관리번호 ..
장비명(영문) Local Electrode Atom Probe
장비명(국문) 국소 레이져 전계형 원자단층현미경
제조사 CAMECA
모델 LEAP4000X HR
사양 FWHM 1:1000, FWTM 1:475, FW1%M 1:275 Resolution: 0.2~0.4nm
용도 3차원원자성분위치측정 철강, 반도체, LED, 나노소재 위치정보 및 성분분석
키워드 LEAP, Atom Probe, APT

장비상세설명

장비 규격

  Mass resolution (FWHM)1: 1:1000 

  Mass resolution (FWTM)1: 1:475 

  Mass resolution (FW1%M)1: 1:275 

  Maximum voltage mode pulse rate (kHz): 200

  Maximum laser mode pulse rate (kHz): 250

  Maximum data collection rate (ions/minute): > 2 M  

  Base pressure2 (Torr): < 1E-10 

  Minimum specimen temperature (K): 25

 

 1 Standard Al specimen

 2 50K specimen temperature

 

장비 응용분야

  ① 샘플 내 특정 영역에서 화학적 구성 확인  

  ② Grain boundary 확인 및 경계면의 원소 변화 특징 확인 (TKD, TEM)

  ③ 샘플 내 경계면과 특정 층에서 Dopant 분포 특징 확인 

  ④ 특정 방향에 따른 농도 변화 곡선 확인 (ex., Depth profile)

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
3차원원자성분위치측정 철강, 반도체, LED, 나노소재 위치정보 및 성분분석 1시간 150,000 250,000 직접이용: 기본요금 450,000원(3시간 기본사용) + 시간당 150,000원, 서비스: 시편 당 1,500,000원 (6시간 기준), FIB시편제작 별도
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김동효 054-279-0236 envir@postech.ac.kr
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