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E-beam Evaporator-Ⅱ

가동중
기자재관리번호 00000
장비명(영문) E-beam Evaporator-Ⅱ
장비명(국문) 전자빔 증착장비
제조사 코리아바큠테크(KVT)
모델 KVE-4000
사양 4,6,8인치 Lift-off 전용( 4,6인치 wafer : 10장/회 8인치 wafer: 6장/회)
용도 Ag, Al, Au, Cr, Ti증착 (타 metal은 별도 문의)
키워드 evaporator, lift-off,MEMS

장비상세설명

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
금속 증착(Au :160,000원/500Å, Ag : 80,000원/500Å, 그외 : 10,000원/500Å 기준) 회/매 0 200,000 5,000Å이상 시 장비사용료 1회 추가 정산, 개인 재료/특수 재료 사용 시 Crucible 비용 청구, 1㎛ 이상 시 담당자와 비용 협의 후 진행 필요, Lift-off 전용
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
최찬호 054-279-0283 chanho@postech.ac.kr
이원범 054-279-0226 wblee@postech.ac.kr
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