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HR FE-SEM (in Clean Room)

가동중
기자재관리번호 -
장비명(영문) HR FE-SEM (in Clean Room)
장비명(국문) 전계방출전자현미경
제조사 Carl Zeiss
모델 LEO SUPRA 35
사양 1nm
용도 나노재료의 CD 및 형태관찰
키워드 SEM

장비상세설명

Resolution
1.5nm @ 20kV @ WD = 2mm (1.0nm with auto levelling system)
1.7nm @ 15kV @ WD = 2mm (1.3nm with auto levelling system)
1.9nm @ 10kV @ WD = 2mm (1.5nm with auto levelling system)
2.5nm @   1kV @ WD = 2mm (2.1nm with auto levelling system)
5.8nm @ 200V @ WD = 2mm (5.0nm with auto levelling system)
Acceleration Voltage
Range: 0.1kV to 30kV.
Adjustment: Continuously variable in 10 volt steps.
Probe Current
Range: 4pA to 10nA, 20nA optional.
Stability: Better than 0.2%/h.
Magnification
Range: 20x to 900kx.
 
Adjustment: Continuously variable in either coarse or fine modes.
Pre-sets: Selectable from a user definable table.
Auto-Compensation: Magnification is precisely corrected automatically for changes in working distance or acceleration voltage.
 
Calibration: Display magnification precisely corrected for changes in hard copy output device.

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
나노재료의 CD 및 형태관찰 1시간 60,000 90,000
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
이남걸 054-279-0282 leeng@postech.ac.kr
김병욱 054-279-0284 kin0531@nate.com
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