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3D Profiler

가동중
기자재관리번호 -
장비명(영문) 3D Profiler
장비명(국문) 3차원 프로파일러
제조사 Veeco Touson
모델 Wyko NT1100
사양 0.5nm
용도 비접촉식 3차원 구조분석
키워드

장비상세설명

 u Application
l High resolution 3D surface measurement.
l Non-contact 3D surface profile measurements
l Roughness Measurement.
u Equipment Performance
l Objectives : 5x, 10x and 50x ESD Compliant
l Field-of-View Lenses : 0.5x, 1x and 2x
l Vertical Measurement Range : 0.1nm to 1mm
l Vertical Resolution : 1A Ra
l RMS Repeatability : 0.01nm
l Vertical Scan Speed : up to 7.2um/sec
l Lateral Spatial Sampling : 0.08um to 3.36um
l Field-of-View
     : From 2.47mm x 1.88mm to 60um x 50um

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
비접촉식 3차원 구조분석(30min/매 기준) 회/매 20,000 30,000 30분/매 초과 시 1회 추가
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
김수곤 054-279-0227 sukoni@postech.ac.kr
김병욱 054-279-0284 kin0531@nate.com
이남걸 054-279-0282 leeng@postech.ac.kr
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