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Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

가동중
기자재관리번호 B0000055-092005-A0001
장비명(영문) Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)
장비명(국문) 2차이온질량분석기
제조사 CAMECA
모델 IMS 6F
사양
용도 박막 표면 분석, 성분원소 분석, 주성분 정량 분석, 깊이 분포 분석, 공간 분포 분석
키워드 반도체, 태양전지, 유기 및 바이오, 박막, 증착

장비상세설명

장비 사양

 O2 primary ion at 1keV DUO(+3kV)/Secondary(+2kV) without Oxygen flooding/ Cs

 Boron deta layer in Si 50nm(1.9nm/e)

 Sputter rate 3nm/min

 

응용분야

 질량분석기를 통해 시편에서 튀어나온 이차이온의 원소의 정보 동소체 혹은 분자의 조성 등을 ppb 단위까지 분석 

  ① mass spectrum

    : 임의의 물질의 성분을 분석하기 위한 방법으로 이온 질량에 따른 성분들의 분포를 확인하는 방법

  ② depth profile

    : 대표적인 분석방법으로 분석원소의 성분이 ppm ppb 단위의 미량 분석을 가능하게 하는 분석법이며 깊이 방향에 따라 성분 분포를 확인 할 수 있는 분석법

  ③ image scan

    : 표면의 분석 성분이 어떻게 분포하는지 확인하는 방법으로 cluster의 존재유무와 성분을 확인하는 방법

장비사용료

장비사용료 용도 이용료부과기준 이용수가(원) 비고
직접사용 서비스
박막 표면 분석, 성분원소 분석, 주성분 정량 분석, 깊이 분포 분석, 공간 분포 분석 회/매 0 150,000 시료당(시료당 4개원소, 1H 기준), 원소 추가시(1개당)10,000원
  • 포항공과대학교 및 현금 출자기관 사용자는 장비사용료에서 20% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 이용자협의회 사용자는 장비사용료에서 10% 할인 된 금액으로 청구 됩니다.
  • 장비사용료 청구익월초 일괄 정산합니다. 단, 요청시 당월 발행도 가능합니다.
  • 부가가치세(10%) 별도

장비담당자

장비담당자 전화번호 이메일
권정현 054-279-0315 jhkwon87@postech.ac.kr
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